JP2006269489A - 欠陥観察装置及び欠陥観察装置を用いた欠陥観察方法 - Google Patents
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Abstract
半導体ウェハ等の試料上に存在する欠陥の画像を自動収集かつ自動分類する欠陥観察装置において、その高性能分類機能と高スループットな画像収集機能の両立を実現する。
【解決手段】
欠陥が存在する部位の良品状態(参照画像)を、欠陥画像を用いて推定する機能と、該推定結果を用いて欠陥の致命性や凹凸状態などを判定する機能を画像処理部(欠陥分類装置部)に設けることで、参照画像の取得を行わない高スループットな画像収集シーケンスと高精度の欠陥分類とを両立させる。
【選択図】 図2
Description
また、本発明は、さらに、前記良品状態推定算出ステップにおいて算出された欠陥部位の良品状態推定結果を保存または表示するステップを有することを特徴とする請求項1又は2記載の欠陥観察装置を用いた欠陥観察方法。
また、本発明は、前記欠陥観察装置を電子顕微鏡によって構成することを特徴とする。
また、本発明は、欠陥観察装置において、観察する各欠陥毎に、その欠陥が存在する部位の良品状態を推定する推定方法と欠陥の分類する分類方法を変更する機能を持つことを特徴とする。
なお、ステップS509においては、高倍及び低倍の欠陥画像のパターン周期性に応じて分岐されることになる。また、CPU1141の良品状態推定算出機能部1141aは、S203、S504、S505、S508〜S512を実行することになる。
Claims (13)
- 試料上の各欠陥を撮像して欠陥画像を取得する画像取得手段を備えた欠陥観察装置を用いた欠陥観察方法において、
前記画像取得手段で取得された少なくとも欠陥画像を用いて各欠陥が存在する欠陥部位の良品状態を推定する推定方法を決定し、該決定された推定方法を用いて欠陥部位の良品状態推定結果を算出する良品状態推定算出ステップと、
該良品状態推定算出ステップで算出された欠陥部位の良品状態推定結果を用いて各欠陥の分類を行う欠陥分類ステップと
を含む画像処理ステップを有することを特徴とする欠陥観察装置を用いた欠陥観察方法。 - 試料上の各欠陥を撮像して欠陥画像を取得する画像取得手段を備えた欠陥観察装置を用いた欠陥観察方法において、
各欠陥が存在する欠陥部位の良品状態を推定する推定方法を、低倍率の参照画像の取得が必要であるか否かに応じて決定し、該決定された推定方法を用いて欠陥部位の良品状態推定結果を算出する良品状態推定算出ステップと、
該良品状態推定算出ステップで算出された欠陥部位の良品状態推定結果を用いて各欠陥の分類を行う欠陥分類ステップと
を含む画像処理ステップを有することを特徴とする欠陥観察装置を用いた欠陥観察方法。 - 前記良品状態推定算出ステップにおいて、前記決定する推定方法が、前記欠陥画像の内高倍率の欠陥画像を用いて推定する第1の方法、並びに、各欠陥の低倍率の視野における良品状態を前記欠陥画像の内低倍率の欠陥画像を用いて推定し、該推定された低倍率の視野における良品状態を高倍率の視野に拡大する第2の方法、並びに、前記欠陥画像の内低倍率及び高倍率の欠陥画像並びに良品状態を示す部位を前記画像取得手段で撮像して取得される低倍率の参照画像を用いて推定する第3の方法の何れか一つの方法を含むことを特徴とする請求項1又は2記載の欠陥観察装置を用いた欠陥観察方法。
- 前記欠陥分類ステップは、欠陥とその背景にある回路パターンとの位置関係を判定する第1の判定ステップ、及び、欠陥部の凹凸状態を判定する第2の判定ステップのいずれかもしくは両者を含むことを特徴とする請求項1又は2記載の欠陥観察装置を用いた欠陥観察方法。
- さらに、前記良品状態推定算出ステップにおいて算出された欠陥部位の良品状態推定結果を保存または表示するステップを有することを特徴とする請求項1又は2記載の欠陥観察装置を用いた欠陥観察方法。
- 請求項1乃至5記載の何れか一つに記載の欠陥観察装置を用いた欠陥観察方法において、前記欠陥観察装置を電子顕微鏡によって構成することを特徴とする欠陥観察装置を用いた欠陥観察方法。
- 試料上の各欠陥を撮像して欠陥画像を取得する画像取得手段を備えた欠陥観察装置において、
前記画像取得手段で取得された少なくとも欠陥画像を用いて各欠陥が存在する欠陥部位の良品状態を推定する推定方法を決定し、該決定された推定方法を用いて欠陥部位の良品状態推定結果を算出する良品状態推定算出機能部と、
該良品状態推定算出機能部で算出された欠陥部位の良品状態推定結果を用いて各欠陥の分類を行う欠陥分類機能部と
を有する画像処理部を備えたことを特徴とする欠陥観察装置。 - 前記良品状態推定算出機能部において、前記決定する推定方法が、前記欠陥画像の内高倍率の欠陥画像を用いて推定する第1の方法、並びに、各欠陥の低倍率の視野における良品状態を前記欠陥画像の内低倍率の欠陥画像を用いて推定し、該推定された低倍率の視野における良品状態を高倍率の視野に拡大する第2の方法、並びに、前記欠陥画像の内低倍率及び高倍率の欠陥画像並びに良品状態を示す部位を前記画像取得手段で撮像して取得される低倍率の参照画像を用いて推定する第3の方法の何れか一つの方法を含むことを特徴とする請求項7記載の欠陥観察装置。
- 試料上の各欠陥を撮像して欠陥画像を取得する画像取得手段を備えた欠陥観察装置において、
各欠陥が存在する欠陥部位の良品状態を推定する推定方法を、低倍率の参照画像の取得が必要であるか否かに応じて決定し、該決定された推定方法を用いて欠陥部位の良品状態推定結果を算出する良品状態推定算出機能部と、
該良品状態推定算出部で算出された欠陥部位の良品状態推定結果を用いて各欠陥の分類を行う欠陥分類機能部と
を有する画像処理部を備えたことを特徴とする欠陥観察装置。 - 前記良品状態推定算出機能部において、前記決定する推定方法が、前記欠陥画像の内高倍率の欠陥画像を用いて推定する第1の方法、並びに、各欠陥の低倍率の視野における良品状態を前記欠陥画像の内低倍率の欠陥画像を用いて推定し、該推定された低倍率の視野における良品状態を高倍率の視野に拡大する第2の方法、並びに、前記欠陥画像の内低倍率及び高倍率の欠陥画像並びに良品状態を示す部位を前記画像取得手段で撮像して取得される低倍率の参照画像を用いて推定する第3の方法の何れか一つの方法を含むことを特徴とする請求項9記載の欠陥観察装置。
- さらに、前記良品状態推定算出機能部において算出された欠陥部位の良品状態推定結果を保存または表示する手段を備えたことを特徴とする請求項7又は9記載の欠陥観察装置。
- 前記欠陥分類機能部は、欠陥とその背景にある回路パターンとの位置関係を判定する第1の判定機能部、及び、欠陥部の凹凸状態を判定する第2の判定機能部のいずれかもしくは両者を含むことを特徴とする請求項7又は9記載の欠陥観察装置。
- 請求項7乃至12記載の何れか一つに記載の欠陥観察装置は、電子顕微鏡によって構成されることを特徴とする欠陥観察装置。
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