JP4709168B2 - レポート検索方法,レポート検索システム、およびレビュー装置 - Google Patents
レポート検索方法,レポート検索システム、およびレビュー装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP4709168B2 JP4709168B2 JP2007000020A JP2007000020A JP4709168B2 JP 4709168 B2 JP4709168 B2 JP 4709168B2 JP 2007000020 A JP2007000020 A JP 2007000020A JP 2007000020 A JP2007000020 A JP 2007000020A JP 4709168 B2 JP4709168 B2 JP 4709168B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- report
- information
- search
- image
- incidental information
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
- 238000012552 review Methods 0.000 title claims description 44
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims description 18
- 230000007547 defect Effects 0.000 claims description 96
- 238000009826 distribution Methods 0.000 claims description 19
- 238000001878 scanning electron micrograph Methods 0.000 claims description 17
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims description 12
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 claims description 6
- 238000003860 storage Methods 0.000 description 12
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 7
- 238000012545 processing Methods 0.000 description 6
- 239000011163 secondary particle Substances 0.000 description 5
- 238000010894 electron beam technology Methods 0.000 description 4
- 239000000463 material Substances 0.000 description 4
- 230000005856 abnormality Effects 0.000 description 3
- 238000012790 confirmation Methods 0.000 description 3
- 238000009434 installation Methods 0.000 description 3
- 238000002083 X-ray spectrum Methods 0.000 description 2
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 2
- 238000007796 conventional method Methods 0.000 description 2
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 2
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 2
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 1
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 1
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 description 1
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 1
- 230000007613 environmental effect Effects 0.000 description 1
- 238000000605 extraction Methods 0.000 description 1
- 238000007689 inspection Methods 0.000 description 1
- 238000011835 investigation Methods 0.000 description 1
- 238000001000 micrograph Methods 0.000 description 1
- 238000000879 optical micrograph Methods 0.000 description 1
- 230000000007 visual effect Effects 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G06—COMPUTING; CALCULATING OR COUNTING
- G06Q—INFORMATION AND COMMUNICATION TECHNOLOGY [ICT] SPECIALLY ADAPTED FOR ADMINISTRATIVE, COMMERCIAL, FINANCIAL, MANAGERIAL OR SUPERVISORY PURPOSES; SYSTEMS OR METHODS SPECIALLY ADAPTED FOR ADMINISTRATIVE, COMMERCIAL, FINANCIAL, MANAGERIAL OR SUPERVISORY PURPOSES, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- G06Q10/00—Administration; Management
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y02—TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
- Y02P—CLIMATE CHANGE MITIGATION TECHNOLOGIES IN THE PRODUCTION OR PROCESSING OF GOODS
- Y02P90/00—Enabling technologies with a potential contribution to greenhouse gas [GHG] emissions mitigation
- Y02P90/02—Total factory control, e.g. smart factories, flexible manufacturing systems [FMS] or integrated manufacturing systems [IMS]
Landscapes
- Business, Economics & Management (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Economics (AREA)
- Entrepreneurship & Innovation (AREA)
- Human Resources & Organizations (AREA)
- Marketing (AREA)
- Operations Research (AREA)
- Quality & Reliability (AREA)
- Strategic Management (AREA)
- Tourism & Hospitality (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Business, Economics & Management (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Theoretical Computer Science (AREA)
- Testing Or Measuring Of Semiconductors Or The Like (AREA)
- Information Retrieval, Db Structures And Fs Structures Therefor (AREA)
- Management, Administration, Business Operations System, And Electronic Commerce (AREA)
- General Factory Administration (AREA)
Description
105上で細く絞られる。電子ビーム107は真空中で用いられるものであるが、図では真空ポンプ等の環境制御部分は省略している。試料105は3軸方法に移動可能なステージ106に置かれ、ステージ106の移動や停止は、ステージ制御部112により制御される。
117からの入力を解釈し、電子光学系制御部110,ステージ制御部112,画像処理部114を制御する。また、必要に応じてディスプレイ115,記憶装置117に各種の処理内容を出力する。
(b)は、レポート検索機能を欠陥レビュー装置に搭載せず、ネットワーク204に接続されたレポート管理サーバ205で集中管理し、レビュー装置の設置場所以外からレポートへのアクセスが可能なレポートビューワ206,207を設置したシステムを示している。図2(c)は、図2(a)と同じく欠陥レビュー装置にレポート検索機能を搭載し、更にレポートの一括管理が可能なレポート管理サーバ205と、レビュー装置の設置場所以外からレポートへのアクセスが可能なレポートビューワ206,207も設置したシステムを示している。
(c)に示したレポート管理サーバ205で多数の欠陥レビュー装置のレポートの作成,保存,検索機能を集中管理するシステムが望ましい。レポート検索機能を備えたレポートビューワ206,207を導入すれば、各欠陥レビュー装置やレポート管理サーバ205の設置場所から離れた場所からでも、レポート検索が可能となる。図2(c)に示したシステムでは、レポート管理サーバ205,レポートビューワ206,207,欠陥レビュー装置201,202,203のレポート検索機能のすべてで、レポートの検索が可能である。
205,レポートビューワ206,207で検索が実行される。
「2005.06.18〜2005.06.30」を検索条件として指定している。保存ボタン504の指定により、設定した検索条件を保存することができる。
505を指定すると、以前に保存されたデータのうち、「日時」が一致するデータが取得条件リスト502に表示される。
605の指定で、保存された複数のウェーハマップ検索条件を保存された順番で表示させることができる。
113 全体制御部
114 画像処理部
115 ディスプレイ
116 キーボード
117 記憶装置
118 マウス
201,202,203 欠陥レビュー装置
204 ネットワーク
205 レポート管理サーバ
206,207 レポートビューワ
301 画像
302,303 データ内容
304 付帯情報ファイル
501 取得条件タブ
502 取得条件リスト
503 プルダウンリスト
504 保存ボタン
505 読込ボタン
506 検索ボタン
507 閉じるボタン
601 ウェーハマップタブ
602 ウェーハマップ
603 ウェーハマップ検索条件リスト
604 選択されたダイ
605 戻し送りボタン
701,903 検索式表示領域
702 検索条件表示領域
703 検索続行ボタン
801,802 画像
803 順番表示窓
804 前ボタン
805 次ボタン
806 詳細ボタン
807 共通項ボタン
901,902 一覧表
904 頻度表示領域
Claims (4)
- 半導体の製造プロセスにおける外観不良の観察結果として、外観不良の画像と、該画像に関するレポートへ記載されるよう予め設定された付帯情報と、当該記載されるよう設定された付帯情報には含まれない付帯情報とをレポートファイルとしてデータベースへ記憶し、
設定された検索条件に基づき、当該検索条件に一致する第1の付帯情報を含むレポートファイルを前記データベースから検索し、
更に、前記検索条件とは一致しない付帯情報で前記レポートファイルに共通して含まれる第2の付帯情報を前記検索されたレポートファイルから抽出し、
前記第1の付帯情報および当該第1の付帯情報に関する画像と、前記第2の付帯情報とを出力ないし表示画面に表示し、
更に、前記レポートへ記載される付帯情報として、ウェーハマップ,SEM画像,取得条件,ADC結果のいずれかを含む情報を使用し、
前記レポートへ記載されない付帯情報として、OM画像,EDX結果,サイズ分布,メモのいずれかの情報を使用することを特徴とするレポート検索方法。 - 請求項1に記載のレポート検索方法において、
前記第2の付帯情報を含むレポートファイルの前記第1の付帯情報を含むレポートファイルに対する割合を出力することを特徴とするレポート検索方法。 - 請求項1に記載のレポート検索方法において、
前記レポートへ記載される付帯情報と前記レポートへ記載されない付帯情報の中から複数の付帯情報を組み合わせて前記検索条件が設定されることを特徴とするレポート検索方法。 - 試料上に存在する外観不良に関する画像と、該画像に関連する付帯情報とを出力する機能を有するレビュー装置に接続されるレポート検索システムにおいて、
当該レポート検索システムは、前記外観不良に関する画像と前記付帯情報とを含むレポートを出力する機能を有するものであって、
前記レポートへ記載されるよう予め設定された付帯情報と、当該記載されるよう設定された付帯情報には含まれない付帯情報を合わせて記憶するデータベースと、
前記レポート検索を実行するプロセッサと、
前記第1の付帯情報および当該第1の付帯情報に関する画像と、前記第2の付帯情報とを出力するレポートビューワとを有し、
前記プロセッサは、
設定された検索条件に基づき、当該検索条件に一致する第1の付帯情報を含むレポートファイルを前記データベースから検索し、
前記検索条件とは一致しない付帯情報で前記レポートファイルに共通して含まれる第2の付帯情報を前記検索されたレポートファイルから抽出し、
前記データベースには、
前記レポートへ記載される付帯情報として、ウェーハマップ,SEM画像,取得条件,ADC結果のいずれかの情報と、
前記レポートへ記載されない付帯情報として、OM画像,EDX結果,サイズ分布,メモのいずれかの情報とが記憶されることを特徴とするレポート検索システム。
Priority Applications (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2007000020A JP4709168B2 (ja) | 2007-01-04 | 2007-01-04 | レポート検索方法,レポート検索システム、およびレビュー装置 |
US11/969,007 US20080263028A1 (en) | 2007-01-04 | 2008-01-03 | Report Search Method, Report Search System, and Reviewing Apparatus |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2007000020A JP4709168B2 (ja) | 2007-01-04 | 2007-01-04 | レポート検索方法,レポート検索システム、およびレビュー装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2008165671A JP2008165671A (ja) | 2008-07-17 |
JP4709168B2 true JP4709168B2 (ja) | 2011-06-22 |
Family
ID=39695040
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2007000020A Expired - Fee Related JP4709168B2 (ja) | 2007-01-04 | 2007-01-04 | レポート検索方法,レポート検索システム、およびレビュー装置 |
Country Status (2)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US20080263028A1 (ja) |
JP (1) | JP4709168B2 (ja) |
Families Citing this family (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP5349103B2 (ja) * | 2009-03-24 | 2013-11-20 | 大日本スクリーン製造株式会社 | 基板処理装置および障害要因解明プログラム |
US20110283242A1 (en) * | 2010-05-14 | 2011-11-17 | Sap Ag | Report or application screen searching |
JP5707291B2 (ja) * | 2011-09-29 | 2015-04-30 | 株式会社日立ハイテクノロジーズ | 画像分類支援を行う荷電粒子線装置 |
JP6242770B2 (ja) * | 2014-09-03 | 2017-12-06 | 矢崎総業株式会社 | 製造管理システム、製造管理用のモバイル端末及び製造管理方法 |
WO2017094098A1 (ja) * | 2015-12-01 | 2017-06-08 | 株式会社島津製作所 | 分析制御装置及び該分析制御装置用プログラム |
Family Cites Families (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US6741941B2 (en) * | 2002-09-04 | 2004-05-25 | Hitachi, Ltd. | Method and apparatus for analyzing defect information |
JP5107506B2 (ja) * | 2002-11-12 | 2012-12-26 | エフ・イ−・アイ・カンパニー | 欠陥分析器 |
JP2005083948A (ja) * | 2003-09-10 | 2005-03-31 | Hitachi High-Technologies Corp | 検査装置及び検査方法並びにプロセス管理方法 |
US8589373B2 (en) * | 2003-09-14 | 2013-11-19 | Yaron Mayer | System and method for improved searching on the internet or similar networks and especially improved MetaNews and/or improved automatically generated newspapers |
US20070274609A1 (en) * | 2006-05-23 | 2007-11-29 | Hitachi High-Technologies Corporation | Image Search Apparatus, Image Search System, Image Search Method, and Program for Executing Image Search Method |
-
2007
- 2007-01-04 JP JP2007000020A patent/JP4709168B2/ja not_active Expired - Fee Related
-
2008
- 2008-01-03 US US11/969,007 patent/US20080263028A1/en not_active Abandoned
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US20080263028A1 (en) | 2008-10-23 |
JP2008165671A (ja) | 2008-07-17 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US8355559B2 (en) | Method and apparatus for reviewing defects | |
US9129237B2 (en) | Integrated interfacing system and method for intelligent defect yield solutions | |
JP5103058B2 (ja) | 欠陥観察装置及び欠陥観察方法 | |
US8209135B2 (en) | Wafer inspection data handling and defect review tool | |
US7113628B1 (en) | Defect image classifying method and apparatus and a semiconductor device manufacturing process based on the method and apparatus | |
US8428336B2 (en) | Inspecting method, inspecting system, and method for manufacturing electronic devices | |
US8341518B2 (en) | Report format setting method and apparatus, and defect review system | |
US9040937B2 (en) | Charged particle beam apparatus | |
JP5719760B2 (ja) | 欠陥分類装置 | |
US20120233542A1 (en) | Defect review support device, defect review device and inspection support device | |
JP4709168B2 (ja) | レポート検索方法,レポート検索システム、およびレビュー装置 | |
US20070274609A1 (en) | Image Search Apparatus, Image Search System, Image Search Method, and Program for Executing Image Search Method | |
JP4647974B2 (ja) | 欠陥レビュー装置、データ管理装置、欠陥観察システム及び欠陥レビュー方法 | |
US8472696B2 (en) | Observation condition determination support device and observation condition determination support method | |
JP2008135568A (ja) | 欠陥レビュー方法および装置 | |
JP2008004081A (ja) | 画像検索装置、画像検索システム、画像検索方法、および画像検索方法を実行するためのプログラム | |
WO2017203572A1 (ja) | 欠陥画像分類装置および欠陥画像分類方法 | |
WO2010140511A1 (ja) | 表面観察装置および表面観察方法 | |
US6778944B2 (en) | Method and system for managing data | |
WO2012153456A1 (ja) | 欠陥レビュー装置 | |
WO2023242954A1 (ja) | 荷電粒子線装置および注目画像データを出力する方法 | |
JP4788131B2 (ja) | 欠陥解析方法 | |
JP2014149923A (ja) | 荷電粒子線装置 | |
JP2015008059A (ja) | 荷電粒子線装置および画像蓄積方法 | |
JP2005045014A (ja) | 欠陥画像選択装置、欠陥画像選択方法及び欠陥画像選択システム |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20081226 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20081226 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20090310 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20090511 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20090513 |
|
A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20090901 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20091130 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20091202 |
|
A911 | Transfer to examiner for re-examination before appeal (zenchi) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A911 Effective date: 20091225 |
|
A912 | Re-examination (zenchi) completed and case transferred to appeal board |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A912 Effective date: 20100129 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20110124 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20110317 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 4709168 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
S531 | Written request for registration of change of domicile |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313531 |
|
S533 | Written request for registration of change of name |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313533 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |