JP2008004081A - 画像検索装置、画像検索システム、画像検索方法、および画像検索方法を実行するためのプログラム - Google Patents
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Abstract
【解決手段】画像に付帯する情報、例えば、取得日時、取得条件、画像以外の情報を解析した結果、ユーザによるコメントなどを、テキスト情報として画像と対応させて保存する機能を有し、これら付帯情報のキーワード検索により類似画像候補を限定した後、画像の特徴量に基づき検索基準画像に対する類似度を算出し、類似度順に検索結果を出力する。
【選択図】図1
Description
図1は、本発明の一実施形態である半導体欠陥レビュー装置の構成を示す図である。図1において、半導体欠陥レビュー装置1は、電子銃201、レンズ202、偏向器203、対物レンズ204、試料205、ステージ206、二次粒子検出器209、電子光学系制御部210、A/D変換部211、ステージ制御部212、全体制御部213、画像処理部214、ディスプレイ215、キーボード216、検索用のサンプルデータや処理プログラムを記憶している記憶装置217、マウス218等で構成されている。
Claims (19)
- 基準画像に対して関連のある画像を検索する画像検索装置であって、
複数のサンプル画像と、当該画像を取得した条件を示す付帯情報とを有するサンプル画像情報を記憶する記憶手段と、
前記付帯情報が検索条件として入力され、この入力された付帯情報に合致したサンプル画像を前記記憶手段から取得する第1の検索手段と、
前記第1の検索手段による検索結果を提示する結果提示手段と、
を備えることを特徴とする画像検索装置。 - さらに、前記第1の検索手段による検索の結果、取得されたサンプル画像について、画像特徴量分布に基づく類似度検索を実行し、所定の類似度を有するサンプル画像を取得する第2の検索手段を備え、
前記結果提示手段は、前記第2の検索手段による検索結果を提示することを特徴とする請求項1に記載の画像検索装置。 - 前記付帯情報は、サンプル取得日時、サンプルに関連するデバイス名称及びサンプルに関連するプロセス名称を含むことを特徴とする請求項1に記載の画像検索装置。
- 前記サンプル画像情報は、さらに、該サンプル画像情報に含まれるサンプル画像から抽出された欠陥に対する対策内容及びその対策を施した場合の結果を示す対策結果を含む追加情報を有し、
前記第1の検索手段は、検索条件として入力された前記付帯情報及び/又は前記追加情報に合致したサンプル画像を前記記憶手段から取得することを特徴とする請求項1に記載の画像検索装置。 - さらに、前記検索条件として入力された前記付帯情報又は前記追加情報を履歴として保存する検索条件保存手段と、
前記履歴としての付帯情報又は追加情報を前記検索条件保存手段から読み出す読み出し手段と、を備え、
前記第1の検索手段は、前記読み出された付帯情報及び/又は追加情報に合致したサンプル画像を前記記憶手段から取得することを特徴とする請求項4に記載の画像検索装置。 - 前記結果提示手段は、前記基準画像、前記基準画像の付帯情報及び追加情報、前記検索条件、及び検索結果のうち複数の情報を組み合わせて表示部に表示することを特徴とする請求項4に記載の画像検索装置。
- 複数の画像検索装置を、ネットワークを介して接続した画像検索システムであって、第1の画像検索装置に含まれるサンプルに対して第2の画像検索装置から画像検索を実行し、該検索結果を前記第2の画像検索装置上に出力することを特徴とし、
前記画像検索装置は、基準画像に対して関連のある画像を検索する画像検索装置であって、
複数のサンプル画像と、当該画像を取得した条件を示す付帯情報とを有するサンプル画像情報を記憶する記憶手段と、
前記付帯情報が検索条件として入力され、この入力された付帯情報に合致したサンプル画像を前記記憶手段から取得する第1の検索手段と、
前記第1の検索手段による検索結果を提示する結果提示手段と、
を備えることを特徴とする画像検索システム。 - 基準画像に対して関連のある画像を検索する画像検索方法であって、
付帯情報が検索条件として入力され、この入力付帯情報に合致したサンプル画像を記憶手段から取得する第1の検索工程と、
前記第1の検索工程における検索結果を提示する結果提示工程と、を備え、
前記記憶手段は、サンプル画像と当該画像を取得した条件を示す付帯情報とを有するサンプル画像情報を複数記憶することを特徴とする画像検索方法。 - さらに、前記第1の検索工程における検索結果に対して、画像特徴量分布に基づく類似度検索を実行し、所定の類似度を有するサンプル画像を取得する第2の検索工程を備え、
前記結果提示工程では、前記第2の検索工程における検索結果を提示することを特徴とする請求項8に記載の画像検索方法。 - 前記付帯情報は、サンプル取得日時、サンプルに関連するデバイス名称及びサンプルに関連するプロセス名称を含むことを特徴とする請求項8に記載の画像検索方法。
- 前記サンプル画像情報は、さらに、該サンプル画像情報に含まれるサンプル画像から抽出された欠陥に対する対策内容及びその対策を施した場合の結果を示す対策結果を含む追加情報を有し、
前記第1の検索工程では、検索条件として入力された前記付帯情報及び/又は前記追加情報に合致したサンプル画像が前記記憶手段から取得されることを特徴とする請求項8に記載の画像検索方法。 - さらに、前記検索条件として入力された前記付帯情報又は前記追加情報を履歴として保存する検索条件保存手段をセットする工程と、
前記履歴としての付帯情報又は追加情報を前記検索条件保存手段から読み出す読み出し工程と、を備え、
前記第1の検索工程では、前記読み出された付帯情報及び/又は追加情報に合致したサンプル画像が前記記憶手段から取得されることを特徴とする請求項11に記載の画像検索方法。 - 前記結果提示工程では、前記基準画像、前記基準画像の付帯情報及び追加情報、前記検索条件、及び検索結果のうち、複数が組み合わせられて表示部に表示されることを特徴とする請求項11に記載の画像検索方法。
- 基準画像に対して関連のある画像を検索する画像検索方法を実行するためのプログラムであって、
付帯情報が検索条件として入力され、この入力付帯情報に合致したサンプル画像を記憶手段から取得する第1の検索工程を実行するためのプログラムコードと、
前記第1の検索工程における検索結果を提示する結果提示工程を実行するためのプログラムコードと、を備え、
前記記憶手段は、サンプル画像と、当該画像を取得した条件を示す付帯情報とを有するサンプル画像情報を複数記憶することを特徴とする画像検索方法を実行するためのプログラム。 - さらに、前記第1の検索工程における検索結果に対して、画像特徴量分布に基づく類似度検索を実行し、所定の類似度を有するサンプル画像を取得する第2の検索工程を実行するためのプログラムコードを備え、
前記結果提示工程では、前記第2の検索工程における検索結果を提示することを特徴とする請求項14に記載の画像検索方法を実行するためのプログラム。 - 前記付帯情報は、サンプル取得日時、サンプルに関連するデバイス名称及びサンプルに関連するプロセス名称を含むことを特徴とする請求項14に記載の画像検索方法を実行するためのプログラム。
- 前記サンプル画像情報は、該サンプル画像情報に含まれるサンプル画像から抽出された欠陥に対する対策内容及びその対策を施した場合の結果を示す対策結果を含む追加情報を有し、
前記第1の検索工程では、検索条件として入力された前記付帯情報及び/又は前記追加情報に合致したサンプル画像が前記記憶手段から取得されることを特徴とする請求項14に記載の画像検索方法を実行するためのプログラム。 - さらに、前記検索条件として入力された前記付帯情報又は前記追加情報を履歴として保存する検索条件保存手段をセットする工程を実行するためのプログラムコードと、
前記履歴としての付帯情報又は追加情報を前記検索条件保存手段から読み出す読み出し工程を実行するためのプログラムコードと、を備え、
前記第1の検索工程では、前記読み出された付帯情報及び/又は追加情報に合致したサンプル画像が前記記憶手段から取得されることを特徴とする請求項17に記載の画像検索方法を実行するためのプログラム。 - 前記結果提示工程では、前記基準画像、前記基準画像の付帯情報及び追加情報、前記検索条件、及び検索結果のうち、複数が組み合わせられて表示部に表示されることを特徴とする請求項17に記載の画像検索方法を実行するためのプログラム。
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2007
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