JP2010283079A - 表面観察装置および表面観察方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】画像処理部から評価画像入力部に複数の評価画像が入力される(ステップ901)。入力された評価画像はディスプレイ115に表示され、ユーザはディスプレイを参照しながらユーザの評価基準で画像を並べ替えて評価基準を定義する(ステップ902)。入力された評価画像に対して複数の評価指標で評価値を算出する(ステップ903)。各評価指標における評価値と、ユーザが定義した評価基準とを比較して、相関係数を算出して(ステップ904)、ユーザが定義した評価基準に対して、相関係数の絶対値が最大の評価指標を、最も近い評価基準として自動選択する(ステップ905)。相関係数順に、画像が並びけられ、ディスプレイに評価値順に一覧表示される(ステップ906)。
【選択図】図9
Description
Claims (13)
- 試料の表面を観察する表面観察装置において、
試料の表面の複数部分の表面画像を取得する画像取得部と、
上記画像取得部により取得された複数の表面画像が入力され、入力された複数の表面画像を処理する画像処理部と、
上記画像処理部により処理された複数の表面画像のそれぞれを、複数の評価指標に従って、評価値を算出する指標別評価値算出部と、
評価基準が入力される入力手段と、
上記入力手段により入力された評価基準と、上記複数の評価指標のそれぞれとの相関係数を算出し、算出した相関係数が最大の評価指標を選択する相関係数算出部と、
上記相関係数算出部により選択された最大の評価指標を推奨する評価指標として、画面に表示する表示部と、
を備えることを特徴とする表面観察装置。 - 請求項1に記載の表面観察装置において、上記画像処理部は、上記画像取得部により取得された複数の表面画像のうちの観察すべき表面画像を自動的にサンプリングする機能を有することを特徴とする表面観察装置。
- 請求項1に記載の表面観察装置において、上記相関係数算出部は、算出した相関係数が大きい複数の評価指標を合成し、合成評価指標を作成し、作成した合成評価指標と上記評価基準との相関係数を算出し、上記選択した最大の評価指標と比較して、大の評価指標を選択することを特徴とする表面観察装置。
- 請求項1に記載の表面観察装置において、上記評価基準、上記評価基準に従って配列された複数の表面画像、上記評価指標、上記評価指標に従って配列された複数の表面画像、これら複数の表面画像のうちの評価画像として選択された画像の拡大画像、基準画像の拡大表示画像、ウェーハマップ、画像の撮像条件のうちの1つ以上を上記表示部の一画面上に表示することを特徴とする表面観察装置。
- 請求項1に記載の表面観察装置において、定義した評価基準に基づく観察画像の並び順と、複数の各評価指標に基づく観察画像の並び順とを比較して、並び順の類似度を数値化した値と、複数の評価指標を合成する際に各評価指標に掛け合わせる重みの値と、合成した評価指標に基づく観察画像の並び順の類似度を数値化した値のうち、2つ以上を上記表示部の一画面上に表示することを特徴とする表面観察装置。
- 請求項1に記載の表面観察装置において、上記試料は半導体であることを特徴とする表面観察装置。
- 請求項1に記載の表面観察装置は、情報の送受信を行なう信号送受信部を備え、複数の表面観察装置が、それぞれの信号送受信部を介して情報ネットワークに接続され、観察システムを形成することを特徴とする表面観察装置。
- 試料の表面を観察する表面観察法において、
試料の表面の複数部分の表面画像を取得し、
取得した複数の表面画像を画像処理し、
画像処理した複数の表面画像のそれぞれを、複数の評価指標に従って、評価値を算出し、
入力手段により入力された評価基準と、上記複数の評価指標のそれぞれとの相関係数を算出し、算出した相関係数が最大の評価指標を選択し、
上記選択した最大の評価指標を推奨する評価指標として、画面に表示することを特徴とする表面観察方法。 - 請求項8に記載の表面観察方法において、上記取得された複数の表面画像のうちの観察すべき表面画像は、自動的にサンプリングされることを特徴とする表面観察方法。
- 請求項8に記載の表面観察方法において、上記算出した相関係数が大きい複数の評価指標を合成し、合成評価指標を作成し、作成した合成評価指標と上記評価基準との相関係数を算出し、上記選択した最大の評価指標と比較して、大の評価指標を選択することを特徴とする表面観察方法。
- 請求項8に記載の表面観察方法において、上記評価基準、上記評価基準に従って配列された複数の表面画像、上記評価指標、上記評価指標に従って配列された複数の表面画像、これら複数の表面画像のうちの評価画像として選択された画像の拡大画像、基準画像の拡大表示画像、ウェーハマップ、画像の撮像条件のうちの1つ以上を上記表示部の一画面上に表示することを特徴とする表面観察方法。
- 請求項8に記載の表面観察方法において、定義した評価基準に基づく観察画像の並び順と、複数の各評価指標に基づく観察画像の並び順とを比較して、並び順の類似度を数値化した値と、複数の評価指標を合成する際に各評価指標に掛け合わせる重みの値と、合成した評価指標に基づく観察画像の並び順の類似度を数値化した値のうち、2つ以上を上記表示部の一画面上に表示することを特徴とする表面観察方法。
- 請求項8に記載の表面観察方法において、上記試料は半導体であることを特徴とする表面観察方法。
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