CN114270182A - 带电粒子束装置 - Google Patents

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Abstract

本发明的带电粒子束装置(100)具备：照射部(110)，其对试样(S)照射带电粒子束；检测部(130)，其输出向试样(S)照射带电粒子束引起的信号；显示部(154)，其输出用于从多个条件组中选择1个条件组的条件选择界面；以及控制部(151)，其执行与关注对象物相关的评价。条件组包含：从多个已学习模型中确定1个已学习模型的信息；从包含照射条件以及检测条件的至少一方的多个搜索条件中确定1个搜索条件的信息；以及从规定照射部(110)以及检测部(130)的至少一方的动作的多个解析条件中确定1个解析条件的信息。带电粒子束装置(100)经由条件选择界面接受条件组的选择，基于所确定的搜索条件，对试样(S)的第一区域照射带电粒子束，检测由该照射引起的第一信号，向所确定的已学习模型交接基于第一信号的信息，从所确定的已学习模型取得表示包含关注对象物的候选位置的试样(S)的第二区域的信息，第二区域是第一区域的一部分且比第一区域小，基于所确定的解析条件，对第二区域照射带电粒子束，对由该照射引起的第二信号进行检测，将基于第二信号的信息输入到控制部(151)。

Description

带电粒子束装置
技术领域
本发明涉及带电粒子束装置。
背景技术
为了进行试样中的关注对象物的检测和/或评价，使用带电粒子束装置。带电粒子束装置向试样照射带电粒子束，利用由照射引起的信号进行关注对象物的检测和/或评价。在专利文献1中公开了这样的带电粒子束装置的例子。
现有技术文献
专利文献
专利文献1：日本特开2019-60741号公报
发明内容
发明要解决的课题
但是，在使用带电粒子束装置的检查业务中，通过人工进行带电粒子束装置的动作所涉及的各种条件的设定作业、解析区域的设定作业，存在花费时间和劳力的课题。
另外，关注对象物是多种多样的，另一方面，带电粒子束装置价格高，因此有时不得不对具有不同特性的关注对象物沿用相同的带电粒子束装置。在这样的情况下，条件的设定作业、解析区域的设定作业也花费时间和劳力。
本发明是为了解决这样的课题而完成的，其目的在于提供一种自动地进行动作所涉及的各种条件的设定作业、解析区域的设定作业的带电粒子束装置。
用于解决课题的手段
本发明所涉及的带电粒子束装置的一个例子如下：
该带电粒子束装置具备：
照射部，其对试样照射带电粒子束；
检测部，其输出向所述试样照射所述带电粒子束引起的信号；
界面输出部，其输出用于从多个条件组中选择1个条件组的条件选择界面；以及
评价部，其执行与关注对象物相关的评价，
所述条件组包括如下信息：
从多个已学习模型中确定1个已学习模型的信息；
从包含照射条件和检测条件中的至少一方的多个搜索条件中确定1个搜索条件的信息；以及
从规定所述照射部和所述检测部中的至少一方的动作的多个解析条件中确定1个解析条件的信息，
所述带电粒子束装置进行如下动作：
经由所述条件选择界面接受所述条件组的选择；
基于所确定的所述搜索条件，对所述试样的第一区域照射所述带电粒子束，并对由该照射引起的第一信号进行检测；
向所确定的所述已学习模型交接基于所述第一信号的信息；
从所确定的所述已学习模型取得包含所述关注对象物的候选的位置的表示所述试样的第二区域的信息，所述第二区域是所述第一区域的一部分且比所述第一区域小；
基于所确定的所述解析条件，对所述第二区域照射所述带电粒子束，对由该照射引起的第二信号进行检测；以及
将基于所述第二信号的信息输入到所述评价部。
发明效果
根据本发明的带电粒子束装置，不需要单独地进行各种条件的设定，并且能够自动地进行解析区域的设定。
附图说明
图1是概略性地表示本发明的实施方式1所涉及的带电粒子束装置的主视图。
图2是表示图1的带电粒子束装置的动作的流程图。
图3是构成在图2的处理中输出的条件选择界面的一部分的画面的例子。
图4是图3的导航图像的其他例子。
图5是用于进行条件组的设定的画面的例子。
图6是第二区域的例子。
图7是示意性地表示形状解析所涉及的处理的图。
图8是示意性地表示组成解析所涉及的处理的图。
图9是评价结果的例子。
图10是评价结果的显示例。
图11是表示搜索条件的自动调整所涉及的带电粒子束装置的动作的流程图。
图12是变形例所涉及的评价结果的显示例。
具体实施方式
以下，基于附图对本发明的实施方式进行说明。
实施方式1
<关于带电粒子束装置100的结构>
图1是概略性地表示实施方式1所涉及的带电粒子束装置100的主视图。该带电粒子束装置100是扫描型电子显微镜。但是，带电粒子束装置也可以是透射型电子显微镜、离子束装置等其他带电粒子束装置。需要注意的是，带电粒子束装置100的结构只不过是一例。换言之，带电粒子束装置100的各部的具体结构能够根据带电粒子束装置100的种类、构造而变化。
带电粒子束装置100具有对试样S照射带电粒子束的照射部110。该例子的照射部110具有电子源111和镜筒112。电子源111释放成为带电粒子束(在本例中为电子束)的源的电子。镜筒112具有聚焦透镜、扫描线圈、物镜等，向试样S引导带电粒子束。
照射部110与试样室120连接。典型的是，试样室120被未图示的真空泵等抽真空。
在该例中，在试样室120设有检测部130，该检测部130输出因带电粒子束向试样S的照射引起的信号。检测部130检测的对象可以是二次电子、反射电子、X射线、俄歇电子(Auger electron)等。另外，可以设置多个检测部130。在该例子中，带电粒子束装置100具有检测二次电子的第一检测部130A和检测X射线的第二检测部130B。检测部130不限于设置于试样室120。作为一例，在一种扫描型电子显微镜中，检测部130设置于镜筒112的内部。作为另一例，在一种透射型电子显微镜中，检测部130设置于比试样S靠电子束的流动的下游的位置，以检测透过了试样S的电子束。
带电粒子束装置100具备载物台140。载物台140可以是可移动载物台。典型的是，载物台140可以在X方向和/或Y方向(与带电粒子束的光轴垂直的平面内的一个方向：图1的箭头方向)上移动。并且，载物台140可以在Z方向(与带电粒子束的光轴垂直的方向)上移动。并且，载物台140可以是可旋转的(以Z轴方向为旋转轴的旋转)。并且，载物台140可以倾斜(以X方向或Y方向为旋转轴的旋转)。载物台140可以构成为支承试样保持器141。在该例子中，试样S载置于试样保持器141。
带电粒子束装置100可以与控制部151、输入部152、存储部153以及显示部154连接。控制部151、输入部152、存储部153、显示部154可以是带电粒子束装置100的一部分，也可以独立于带电粒子束装置100。各部之间的连接可以是有线连接，也可以是无线连接。因此，图1所图示的连接线只不过是例示。作为追加或代替，也可以采用经由因特网等通信线路的连接。例如，存储部153也可以是内联网、因特网或云服务上的存储部153。在带电粒子束装置100与多个层级的控制部151或存储部153连接的情况下，有时将处于上位层级的控制部151或存储部153称为上位装置。
在典型的带电粒子束装置100中，接收到来自检测部130的信号的控制部151能够生成图像或光谱。并且，控制部151能够进行试样S中被带电粒子束照射的区域的评价。因此，控制部151也可以称为“评价部”。
此外，在本说明书中，“区域”是指例如具有有限的面积的面，但也可以是具有有限的大小的体积，也可以是具有有限的长度以及具有零或者实质上能够忽略的宽度的线，还可以是具有零或者实质上能够忽略的大小的点。另外，在本说明书中，“评价”是指例如基于区域或该区域的一部分来生成与该区域或该区域的一部分相关的信息，包括被称为“分析”或“判定”的动作。
在本实施方式中，控制部151能够生成基于第一检测部130A输出的信号的SEM像(在此为二次电子像)。同样地，控制部151能够生成基于第二检测部130B输出的信号的X射线分析图像或光谱。控制部151能够基于这些图像或信号，进行例如试样S的表面形状或表面元素的评价。
向带电粒子束装置100的信息的输入或来自带电粒子束装置100的信息的输出可以经由UI(用户界面)来进行。在该例子中，UI是GUI(图形用户界面)，并且显示在显示部154上。
控制部151所进行的带电粒子束装置100的控制、图像或光谱的生成以及试样S的评价可以基于存储于存储部153的已学习模型来执行。
控制部151也可以控制带电粒子束装置100整体的动作。控制部151也可以通过执行程序来实现该控制。该程序可以存储在存储部153中，也可以存储在与存储部153独立的控制部151内的存储单元中。
带电粒子束装置100还可以具备导航图像拍摄机160。导航图像拍摄机160对导航图像305(后述)进行拍摄。在图1的例子中，导航图像拍摄机160设置于试样室120。在图1中，在载物台140位于图1的箭头的右端的情况下，导航图像拍摄机160能够对预计存在试样保持器141的部分的至少一部分进行拍摄。在图1的例子中，导航图像拍摄机160是光学照相机，能够拍摄预计存在试样保持器141的全部部分。此外，用于导航图像拍摄机160的光源也可以设置于试样室120。
与图1的例子不同，也可以使用光学照相机以外的图像取得单元作为导航图像拍摄机160。另外，与图1的例子不同，也可以使用与带电粒子束装置100另外独立的导航图像拍摄机160。例如，作为导航图像拍摄机160，也可以使用与带电粒子束装置100另外独立的光学显微镜，即能够将试样保持器141固定在恒定位置且沿恒定方向固定的光学显微镜。另外，导航图像拍摄机160也可以与控制部151、输入部152、存储部153、显示部154连接。
<关于带电粒子束装置100的动作>
图2是表示实施方式1所涉及的带电粒子束装置100的动作的流程图。在图2的处理中，首先带电粒子束装置100选择模型(步骤201)。在该步骤中，带电粒子束装置100输出用于从多个条件组中选择1个条件组的界面(条件选择界面)。条件组包含确定带电粒子束装置100的动作的条件的组合。
图3表示构成在步骤201中输出的条件选择界面的一部分的画面的例子。在本实施方式中，条件选择界面构成为GUI。该画面300作为显示部154中的画面显示而输出。即，在本实施方式中，显示部154作为输出该条件选择界面的界面输出部而发挥功能。
在图3的例子中，条件选择界面包含名称栏301。在本实施方式中，为了选择多个条件组中的1个而使用该名称栏301。例如，不同的名称与各个条件组相关联，并且根据输入与确定的条件组相对应的名称，选择该条件组。
条件选择界面包括装置种类栏302。装置种类栏302用于输入或显示确定所使用的带电粒子束装置的种类的信息。
条件选择界面包括新按钮303和编辑按钮304。新按钮303在制作新的条件组时被操作，编辑按钮304在变更已有的条件组的内容时被操作。
条件选择界面包括导航图像305。导航图像305是用于用户在视觉上指定载置于试样台307(例如与图1的试样保持器141对应)上的试样S中的搜索范围的图像，典型的是通过导航图像拍摄机160进行拍摄。但是，只要能够将带电粒子束装置100的观察倍率设定得足够低，则也可以将SEM像等图像用作导航图像305。导航图像305显示与试样相关的搜索区域306。在图3中，用影线表示搜索区域306。在该例子中，在试样台307上载置有2条导电带308，搜索区域306包含这些导电带308的整体。
图4表示导航图像305的其他例子。在该例子中，配置有多个试样台307，在各试样台307中分别指定不同的搜索区域。
图5表示用于进行条件组的设定(包括已学习模型的选择)的画面的例子。该画面500在本实施方式中构成条件选择界面的一部分，但作为变形例，也可以构成为与条件选择界面不同的画面的GUI。例如根据图3的新按钮303或编辑按钮304被操作这一情况而输出画面500。
根据图5，条件选择界面接受与搜索条件、已学习AI(即通过机器学习生成的已学习模型)、解析条件以及数值化项目有关的信息的输入，或者显示所输入的信息。
搜索条件是包括照射条件(主要是照射部110的动作条件，但也包括载物台140的位置、倾斜(换言之，试样S的位置、倾斜等)、试样室120的真空度等条件等)以及检测条件(主要是检测部130的动作条件，但也包括检测部130的前段的构造(光圈等)的条件等)中的至少一方的条件。关于搜索条件，条件选择界面包括用于确定倍率的倍率选择部501、用于确定扫描的种类的扫描种类选择部502、用于确定图像尺寸的图像尺寸选择部503、用于确定检测器的检测器选择部504、以及用于确定工作距离的WD选择部505。
作为扫描的种类，能够选择扫描速度(包括速度为0的情况)、扫描的路径(光栅扫描、蛇状扫描等)、针对同一区域的扫描的累计数、扫描的累计方式(每行、每个图像等)、或者它们的组合。
作为检测器，可以选择二次电子检测器、反射电子检测器、X射线检测器、俄歇电子检测器、透射电子检测器(例如照相机)、确定结晶方位的检测器等。
另外，条件选择界面包括已学习模型栏506和搜索条件调整按钮507。已学习模型栏506用于从多个已学习模型中确定1个已学习模型。关于搜索条件调整按钮507在后面叙述。
解析条件是规定照射部110以及检测部130的至少一方的动作的条件。解析条件既可以包含与上述的搜索条件重叠的项目，也可以不包含与上述的搜索条件重叠的项目。条件选择界面中，关于解析条件，包括用于确定是否执行形状解析的形状解析复选框508和用于确定是否执行组成解析的组成解析复选框509。
关于形状解析，条件选择界面包括用于确定倍率的倍率选择部510、用于确定扫描的种类的扫描种类选择部511、用于确定图像尺寸的图像尺寸选择部512、用于确定检测器的检测器选择部513和用于确定工作距离的WD选择部514。
关于组成解析，条件选择界面包括用于确定检测器的检测器选择部515和用于确定工作距离的WD选择部516。
在此，带电粒子束装置100的使用者通过针对搜索条件以及解析条件适当地指定分别不同的条件，能够使处理高效化。例如，考虑为了覆盖试样S的整体而需要60个视野，每1个视野需要以40秒的扫描速度进行扫描的情况。作为仅使用单一的条件(解析条件)来解析试样S的情况的一例，需要40[秒]×60[视野]＝2400[秒]＝40[分钟]的时间。
与此相对，作为解析的事前处理，能够进行用于确定需要严格解析的区域的搜索处理。在该搜索中，由于不要求如解析那样严格的扫描，所以能够使用能够更高速地处理的条件。例如，若将扫描速度设为每1个视野1秒，将倍率设为解析条件的1/5(例如若解析条件下的倍率为1500倍，则将搜索条件下的倍率设为300倍)，则搜索所花费的时间成为1[秒]×60[视野]/5＝12[秒]。在该搜索的结果为需要对3个区域进行解析的情况下，解析所花费的时间为40[秒]×3[视野]＝120[秒]，能够以合计132[秒]即2分12秒完成搜索和解析。
此外，该搜索条件以及解析条件的决定方法是一个例子。根据带电粒子束装置100的用途，不需要比解析更高速地完成搜索，或者不需要使处理高效化。
返回到图5，数值化项目是规定作为评价部的控制部151的动作的条件，即也可以说是评价条件。关于形状解析所涉及的数值化项目，条件选择界面包含用于确定是否输出关注对象物的直径的直径复选框517、用于确定是否输出关注对象物的面积的面积复选框518、以及用于确定与评价相关联地使用的程序的脚本栏519(也可以是多个)。
此外，“关注对象物”的含义可以由本领域技术人员适当解释，例如是指粒子或异物。另外，关注对象物不限于从试样分离出的物体，也可以是在试样S中具有能够与其他物体区别的形状、构造或者组成的部分。
关于组成解析所涉及的数值化项目，条件选择界面包含用于确定是否输出关注对象物中的特定成分的含量的含量复选框520、以及用于确定是否输出关注对象物的结晶方位ID的结晶方位ID复选框521。
条件选择界面包括保存按钮522。带电粒子束装置100根据保存按钮522被操作的情况，将在该时间点在条件选择界面上确定出的各条件相互关联起来作为条件组，并存储于存储部153。此时，可以接受确定该条件组的信息(例如图3的名称栏301中显示的名称)的输入，也可以将该信息与条件组相关联地存储于存储部153。
条件组也可以包含结束条件。在图5的例子中，条件选择界面具备用于确定结束条件的结束条件选择部523。结束条件也可以构成搜索条件的一部分。结束条件也可以表示用于在搜索全部的搜索区域之前中止搜索处理的条件。例如，也可以构成为在搜索处理中检测到预定数量以上的特定的关注对象物的情况下中止搜索处理。若使用这样的结束条件，则能够以按照石棉检查的监控手册，对检测出预定数量以上的特定的关注对象物进行组成解析的方式，使带电粒子束装置100的动作遵循各种基准。另外，在搜索处理被中止的情况下，也可以省略图2的步骤205以后的处理(后述)的执行。
这样的条件组的制作以及变更既可以在图2的处理开始之前进行，也可以如上述那样在图2的步骤201中进行。总之，在步骤201中，显示部154输出条件选择界面，带电粒子束装置100经由该条件选择界面接受条件组的选择。
如上所述，在本实施方式中，条件组包含以下信息。
-从多个已学习模型中确定1个已学习模型的信息。
-从规定照射部110以及检测部130的至少一方的动作的多个搜索条件中，确定1个搜索条件的信息。根据该信息，能够使用适合于各已学习模型的搜索条件。
-从规定照射部110以及检测部130的至少一方的动作的多个解析条件中，确定1个解析条件的信息。根据该信息，能够使用适合于各已学习模型的解析条件。
另外，在本实施方式中，条件组包含以下的信息。
-从规定评价部(控制部151)的动作的多个评价条件中确定1个评价条件的信息。根据该信息，能够使用适合于各已学习模型的评价条件。
因此，带电粒子束装置100的使用者仅通过选择1个条件组，就能够决定已学习模型、搜索条件以及解析条件的全部。因此，能够节省个别地决定它们所需的时间和劳动力。
在这样执行了步骤201之后，带电粒子束装置100指定搜索区域306作为搜索范围(步骤202)。带电粒子束装置100可以自动地决定搜索区域306，也可以根据来自使用者的输入来决定。
自动的决定例如能够通过图像处理来进行。例如，也可以在导航图像305中检测出圆板状的区域来检测试样台307。另外，在图1的例子中，导航图像拍摄机160(光学照相机)拍摄导航图像305。因此，在试样台307上，也可以将包含与周边的颜色(即认为是试样台307本身颜色的颜色)不同的颜色的部分决定为搜索区域306。2个颜色是否不同的判定例如也可以基于相对于颜色空间中的识别线是否处于不同的一侧来进行。此外，也可以不基于颜色，而基于图像中的特定区域的明暗等其他信号来决定搜索区域306。不使用与颜色相关的信息适合于导航图像305是单色图像的情况(导航图像拍摄机160是单色照相机等的情况或者SEM像等图像被用作导航图像305的情况)。并且，带电粒子束装置100也可以根据对条件选择界面的操作(例如利用鼠标指针的操作)来决定或变更搜索区域306。
接着，带电粒子束装置100搜索关注构造(步骤203)。即，基于在步骤201中确定的搜索条件，经由照射部110对试样S的搜索区域306(第一区域)照射带电粒子束，经由检测部130检测由该照射引起的信号(第一信号)。在该搜索中，例如能够利用基于低倍率且高速的扫描的拍摄。该步骤203例如也可以根据图3的开始按钮309被操作这一情况而开始。
“关注构造”是指例如关注对象物的候选。第一信号例如可以是基于向试样S照射带电粒子束时产生的电子的信号，也可以是基于向试样S照射带电粒子束时产生的X射线的信号。
接着，带电粒子束装置100使用已学习模型来检测关注构造(步骤204)。例如，首先，向在步骤201中确定出的已学习模型交接基于在步骤203中检测出的信号(第一信号)的信息。该信息可以是第一信号本身，也可以是进行了适当的转换或校正等的信息。然后，从该已学习模型取得表示包含关注对象物的候选的位置的试样S的区域(第二区域)的信息。第二区域是搜索区域306的一部分，是比搜索区域306小的区域。
例如，在已学习模型按每个像素输出表示关注对象物的存在概率的热图的情况下，第二区域能够基于该热图来决定。用于根据热图决定第二区域的具体的处理没有特别说明，但只要是本领域技术人员，就能够基于公知技术适当设计。例如也可以包含使用了适当的阈值的2值化处理。
图6表示第二区域的例子。在图6的(a)中，示出了横3列×纵2行的视野601。各视野601在其周边具有与相邻的视野601重叠的区域即重叠(overlap)区域602。在导电带308上存在关注构造(用字符“A”表示)和其他结构(用字符“B”表示)。
已学习模型基于图6的(a)所示的信息(例如能够以图像的形式表示)，输出图6的(c)所示的信息(例如能够以坐标的组的形式表示)。已学习模型如图6的(b)所示那样学习各种关注构造的形状等(用各种字体的文字“A”表示)，能够检测出关注构造。此外，虽然没有特别示出具有这样的功能的已学习模型的具体例，但只要是本领域技术人员，就能够使用公知的学习用模型以及适当的训练数据来生成。
在图6的(c)的例子中，第二区域由关注构造的位置(用“+”记号表示)表示。第二区域例如可以是关注构造的位置(点)，也可以是以关注构造的位置为中心具有预定的2维尺寸的矩形区域。但是，该第二区域是搜索区域306(第一区域)的一部分，在不超出搜索区域306的范围内定义。
带电粒子束装置100也可以在步骤204之后进行用于高分辨率化的轴调整。另外，在带电粒子束装置100为扫描透射电子显微镜的情况下，也可以在步骤204之后进行方位对准。
接着，带电粒子束装置100基于解析条件，执行形状解析(步骤205)或组成解析(步骤206)或者这两者。即，基于在步骤201中确定的解析条件，经由照射部110对第二区域照射带电粒子束，经由检测部130检测因该照射引起的第二信号。第二信号例如可以是基于向试样S照射带电粒子束时产生的电子的信号，也可以是基于向试样S照射带电粒子束时产生的X射线的信号。特别是，若将第一信号(用于搜索的信号)设为基于电子的信号，将第二信号(用于解析的信号)设为基于X射线的信号，则能够高效地执行搜索，高精度地执行解析。
图7示意性地表示步骤205的形状解析所涉及的处理。用影线表示解析区域701(第二区域)。在该例子中，以高分辨率且高信噪比(高S/N比)拍摄分别包含3个关注构造的3个解析区域701。在形状解析中，例如能够利用基于高倍率且低速的扫描的拍摄。
图8示意性地表示步骤206的组成解析所涉及的处理。解析区域801(第二区域)是与关注构造的位置相对应的点。在该例子中，在各个解析区域801中进行基于特性X射线的光谱解析。在组成解析中，例如能够使用利用了能量分散型X射线分光(EDS)或电子背散射衍射(EBSD)的高倍率的拍摄。另外，在拍摄中也可以使用高加速或者大电流的带电粒子束。
接着，带电粒子束装置100将解析结果数值化(步骤207)。即，将基于在步骤205或步骤206中检测出的信号(第二信号)的信息输入到评价部(控制部151)，取得从评价部输出的评价结果。这里，基于第二信号的信息可以是第二信号本身，也可以是进行了适当的转换或校正等的信息。
此外，在步骤207中，评价部执行与关注对象物有关的评价，但省略该评价的具体的处理内容的说明。具体的处理内容可以由本领域技术人员基于公知技术等适当设计。例如，在步骤205中作为形状解析的结果而取得了图像的情况下，能够通过公知的图像处理以及信号处理等来评价关注对象物的候选的直径或者面积等。
图9表示评价结果的例子。图9的(a)对应于步骤205的形状解析。关于所解析的关注构造，将该关注构造的高度及宽度作为评价结果而示出。图9的(b)对应于步骤206的组成解析。关于所解析的关注构造，将该关注构造的组成作为评价结果而示出。此外，在图9的(b)中，将组成示意性地表示为表示各元素的比例的饼图。
接着，带电粒子束装置100显示评价结果。显示既可以以表形式进行(步骤208)，也可以以与由带电粒子束装置100拍摄到的图像重叠的形式进行(步骤209)，还可以作为这些形式的组合来进行。
接着，带电粒子束装置100输出表示评价结果的数据(步骤210)。例如，该数据也可以是其他应用程序能够处理的形式。该数据也可以包含用于进行再拍摄的位置信息、提高图像处理的精度的信息、能够计算统计数据的信息等。
图10表示评价结果的显示例。这样的显示能够作为在显示部154中显示的画面1000来实现。画面1000也可以构成条件选择界面的一部分。画面1000包括表形式部1001和重叠部1002。
在表形式部1001中，以表形式显示评价结果。在图10的例子中，关于各关注构造，显示有与包含该关注构造的解析区域对应的图像编号(“图像(Image)”)、该解析区域所包含的关注构造中的确定该关注构造的编号(“编号(No)”)、与该关注构造有关的评价结果(“分数(Score)”)、该关注构造的位置(“X”以及“Y”)、该关注构造的面积(“面积(Area)”)。
在重叠部1002中，评价结果与图像重叠显示。在该例子中，在重叠部1002中显示有多个表示评价结果的结果图像1003，与各结果图像1003重叠地，用黑色圆圈表示关注构造的位置。另外，针对各结果图像1003，将与该图像中包含的关注构造有关的评价结果显示为数值。此外，结果图像1003的内容没有特别图示，但例如显示通过解析处理取得的图像。
在该例子中，通过黑色圆圈仅示出了关注构造的位置，但在关注构造具有形状的情况下，该形状也可以与结果图像1003重叠地显示。例如，也可以将构成关注构造的像素的颜色变更为特定的颜色(例如红或绿)。
画面1000也可以包括映射部1004。在映射部1004中显示与各结果图像1003对应的符号1005。符号1005的显示方式分别根据与对应的结果图像1003相关联的信息而变化。显示方式的变化包括形状、颜色、色调、浓淡、大小、位置等的变化。
例如，符号1005的形状(在该例子中为矩形)可以根据结果图像1003的形状来决定，例如也可以与结果图像1003的形状相同。另外，符号1005的颜色或浓淡也可以根据与结果图像1003中包含的关注构造有关的评价结果来决定。另外，符号1005的大小可以根据试样S中的结果图像1003的大小来决定，例如可以根据各结果图像1003间的相对大小来决定各符号1005间的相对大小。另外，映射部1004中的符号1005的位置也可以与试样S中的结果图像1003的位置对应。
另外，画面1000也可以包括导航图像305。
如以上说明的那样，根据本实施方式所涉及的带电粒子束装置100，仅通过选择带电粒子束装置的动作所涉及的条件组来自动地决定搜索条件以及解析条件。另外，由于此时也决定搜索所使用的已学习模型，因此使用该模型自动地决定解析区域。这样，省略了人工进行的作业，节约了时间和劳力。
接着，对图5的搜索条件调整按钮507进行说明。带电粒子束装置100也可以根据搜索条件调整按钮507被操作这一情况来自动地调整搜索条件。关于这样的搜索条件的自动调整，例如能够用于将假定特定的带电粒子束装置以及特定的关注对象物而设定出的搜索条件针对其他带电粒子束装置或者其他关注对象物进行最优化。
图11是表示这样的搜索条件的自动调整所涉及的带电粒子束装置100的动作的流程图。在图11的处理中，首先，带电粒子束装置100将想要检测的关注对象物配置于拍摄的视野(步骤1101)。这也可以由带电粒子束装置100的使用者手动进行。
接着，带电粒子束装置100使用当前指定的条件组中包含的搜索条件(第一搜索条件)进行搜索(步骤1102)。例如，基于第一搜索条件，执行图2的步骤203以及204，取得表示解析区域(第二区域)的信息。
接着，带电粒子束装置100判定是否能够适当地检测出关注对象物(或者适当的关注构造)(步骤1103)。该判定的具体内容作为与表示检测出的解析区域的信息相关的条件，能够由本领域技术人员适当设计。作为一例，在检测出的解析区域的数量为预定的阈值以上的情况下，判定为能够适当地检测出关注对象物，在检测出的解析区域的数量小于预定的阈值的情况下，判定为无法适当地检测出关注对象物。
在能够适当地检测出关注对象物的情况下(例如，表示解析区域的信息满足预定的条件的情况下)，带电粒子束装置100结束处理。在这种情况下，不变更当前的条件组。
另一方面，在无法适当地检测出关注对象物的情况下(例如，表示解析区域的信息不满足预定的条件的情况下)，带电粒子束装置100变更搜索条件(步骤1104)。在如本实施方式那样搜索条件由多个条件的组合构成的情况下，变更其至少一部分。在此，搜索条件的变更既可以随机地进行，也可以根据带电粒子束装置100的机型来进行，还可以根据搜索所使用的图像(例如在步骤203中取得的图像)的画质来进行。这样，生成新的搜索条件(第二搜索条件)。
接着，带电粒子束装置100使用第二搜索条件进行搜索(步骤1105)。例如，基于第二搜索条件，执行图2的步骤203以及204，取得表示解析区域(第二区域)的信息。
接着，带电粒子束装置100与步骤1103同样地，判定是否能够适当地检测出关注对象物(或者适当的关注构造)(步骤1106)。
在能够适当地检测出关注对象物的情况下(例如，表示解析区域的信息满足预定的条件的情况下)，带电粒子束装置100将第二搜索条件存储为条件组的一部分(步骤1107)。例如，将此前选择的条件组的搜索条件变更为与第二搜索条件一致。由此生成的新的条件组可以覆盖变更前的条件组来保存，也可以作为与变更前的条件组不同的条件组来保存。
另一方面，在无法适当地检测出关注对象物的情况下，带电粒子束装置100根据预定的条件使处理返回到步骤1104，执行包含步骤1104～1106的循环。该预定的条件例如能够将循环的执行次数设为预定的阈值以下。在不满足该预定的条件的情况下(例如执行多次循环的结果，执行次数超过了阈值的情况下)，带电粒子束装置100结束图11的处理。在这种情况下，不变更当前的条件组。
根据这样的搜索条件的自动调整，能够更良好地优化对于某个特定的带电粒子束装置或者特定的关注对象物未必最优化的搜索条件。例如，能够不变更带电粒子束装置，而基于针对某个关注对象物的搜索条件，生成针对其他关注对象物的搜索条件。这样，能够有效利用1个带电粒子束装置，并且节约对每个关注对象物设定具体的搜索条件的时间以及劳力。
另外，即使在通过同一带电粒子束装置检测同一关注对象物的情况下，也存在由于带电粒子束装置的维护等而性能发生变化，与搜索条件变得不匹配的情况。即使在这样的情况下，通过进行搜索条件的自动调整，也能够再次使搜索条件最佳化。
在实施方式1中，能够实施以下那样的变形。
在实施方式1中，在步骤201～204的搜索处理中使用了单一的已学习模型。作为变形例，也可以使用多个已学习模型来进行搜索处理。例如也可以选择多个条件组，使用按每个条件组确定的已学习模型来进行搜索。在这种情况下，可以适当地设计解析处理的进行方法。例如，也可以基于各已学习模型的搜索结果分别决定解析区域，针对这些全部的解析区域，以分别对应的解析条件进行解析处理。或者，也可以将基于多个已学习模型的多个搜索结果组合，针对合并后的解析区域，使用单一的解析条件来进行解析处理。能够适当设计该情况下的解析条件的决定方法。
图12是这样的变形例所涉及的评价结果的显示例。在该例子的画面1200中，在显示于重叠部1202的结果图像1203中，以不同的方式显示通过不同的已学习模型检测出的关注构造的位置。例如，第一已学习模型的结果用黑色圆圈表示，第二已学习模型的结果用灰色的五边形表示。
用于表示关注构造的位置的显示方式的差异能够任意地设计，例如可以根据已学习模型而使用不同的形状，也可以根据已学习模型而使用不同的颜色或色调，也可以根据已学习模型而使用不同的涂抹图案(竖条纹、横条纹、斜条纹、渐变等)，也可以根据已学习模型而使是否闪烁不同，也可以将这些方式中的多个进行组合。
在实施方式1中，搜索条件以及解析条件分别包含多个项目，但各自所包含的项目的数量以及内容能够任意地变更，例如也可以由单一的项目构成。
符号说明
100…带电粒子束装置
110…照射部
111…电子源
112…镜筒
120…试样室
130…检测部(130A…第一检测部、130B…第二检测部)
140…载物台
141…试样保持器
151…控制部(评价部)
152…输入部
153…存储部
154…显示部(界面输出部)
160…导航图像拍摄机
201、202、203、204、205、206、207、208、209、210…步骤300…画面(条件选择界面)
500…画面(条件选择界面)
601…视野
602…重叠区域
701、801…解析区域
1000…画面(条件选择界面)
1101、1102、1103、1104、1105、1106、1107…步骤1200…画面(条件选择界面)。

Claims (4)

1.一种带电粒子束装置，其特征在于，具备：
照射部，其对试样照射带电粒子束；
检测部，其输出向所述试样照射所述带电粒子束引起的信号；
界面输出部，其输出用于从多个条件组中选择1个条件组的条件选择界面；以及
评价部，其执行与关注对象物相关的评价，
所述条件组包括如下信息：
从多个已学习模型中确定1个已学习模型的信息；
从包含照射条件和检测条件中的至少一方的多个搜索条件中确定1个搜索条件的信息；以及
从规定所述照射部和所述检测部中的至少一方的动作的多个解析条件中确定1个解析条件的信息，
所述带电粒子束装置进行如下动作：
经由所述条件选择界面接受所述条件组的选择；
基于所确定的所述搜索条件，对所述试样的第一区域照射所述带电粒子束，并对由该照射引起的第一信号进行检测；
向所确定的所述已学习模型交接基于所述第一信号的信息；
从所确定的所述已学习模型取得包含所述关注对象物的候选的位置的表示所述试样的第二区域的信息，所述第二区域是所述第一区域的一部分且比所述第一区域小；
基于所确定的所述解析条件，对所述第二区域照射所述带电粒子束，对由该照射引起的第二信号进行检测；以及
将基于所述第二信号的信息输入到所述评价部。
2.根据权利要求1所述的带电粒子束装置，其特征在于，
所述第一信号是基于对所述试样照射所述带电粒子束时产生的电子的信号，
所述第二信号是基于对所述试样照射所述带电粒子束时产生的X射线的信号。
3.根据权利要求1所述的带电粒子束装置，其特征在于，
所述条件组还包括从规定所述评价部的动作的多个评价条件中确定1个评价条件的信息。
4.根据权利要求1所述的带电粒子束装置，其特征在于，
所述带电粒子束装置进行如下动作：
基于第一搜索条件取得表示所述第二区域的信息；
在所述第一搜索条件所涉及的表示所述第二区域的信息不满足预定条件的情况下，基于对所述第一搜索条件的至少一部分进行变更而得的第二搜索条件取得表示所述第二区域的信息；以及
在所述第二搜索条件所涉及的表示所述第二区域的信息满足所述预定条件的情况下，将所述第二搜索条件存储为所述条件组的一部分。
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