JP7194837B2 - 荷電粒子線装置 - Google Patents
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Description
荷電粒子線を試料に対して照射する照射部と、
前記荷電粒子線の前記試料への照射に起因する信号を出力する検出部と、
複数の条件セットのうちから1つの条件セットを選択するための条件選択インタフェースを出力するインタフェース出力部と、
着目対象物に関する評価を実行する評価部と、
を備え、
前記条件セットは、
‐複数の学習済みモデルのうちから、1つの学習済みモデルを特定する情報と、
‐照射条件および検出条件の少なくとも一方を含む複数の探索条件のうちから、1つの探索条件を特定する情報と、
‐前記照射部および前記検出部の少なくとも一方の動作を規定する複数の解析条件のうちから、1つの解析条件を特定する情報と、
を含み、
前記荷電粒子線装置は、
‐前記条件選択インタフェースを介して前記条件セットの選択を受け付け、
‐特定された前記探索条件に基づき、前記試料の第1の領域に対して前記荷電粒子線を照射し、当該照射に起因する第1の信号を検出し、
‐特定された前記学習済みモデルに、前記第1の信号に基づく情報を受け渡し、
‐特定された前記学習済みモデルから、前記着目対象物の候補の位置を含む前記試料の第2の領域を表す情報を取得し、前記第2の領域は前記第1の領域の一部であって前記第1の領域より小さく、
‐特定された前記解析条件に基づき、前記第2の領域に対して前記荷電粒子線を照射し、当該照射に起因する第2の信号を検出し、
‐前記第2の信号に基づく情報を前記評価部に入力する。
実施形態1.
<荷電粒子線装置100の構成について>
図1は実施形態1にかかる荷電粒子線装置100を概略的に表した正面図である。この荷電粒子線装置100は走査型電子顕微鏡である。ただし、荷電粒子線装置は透過型電子顕微鏡、イオンビーム装置等の他の荷電粒子線装置であってもよい。荷電粒子線装置100の構成は一例にすぎないことに留意されたい。換言すれば、荷電粒子線装置100の各部の具体的な構成は荷電粒子線装置100の種類や構造に応じて変わり得る。
図2は、実施形態1に係る荷電粒子線装置100の動作を表すフローチャートである。図2の処理において、まず荷電粒子線装置100はモデルを選択する(ステップ201)。このステップにおいて、荷電粒子線装置100は、複数の条件セットのうちから1つの条件セットを選択するためのインタフェース(条件選択インタフェース)を出力する。条件セットは、荷電粒子線装置100の動作を特定する条件の組み合わせを含む。
‐複数の学習済みモデルのうちから、1つの学習済みモデルを特定する情報。
‐照射部110および検出部130の少なくとも一方の動作を規定する複数の探索条件のうちから、1つの探索条件を特定する情報。この情報により、各学習済みモデルに適した探索条件を用いることができる。
‐照射部110および検出部130の少なくとも一方の動作を規定する複数の解析条件のうちから、1つの解析条件を特定する情報。この情報により、各学習済みモデルに適した解析条件を用いることができる。
‐評価部(制御部151)の動作を規定する複数の評価条件のうちから、1つの評価条件を特定する情報。この情報により、各学習済みモデルに適した評価条件を用いることができる。
実施形態1では、ステップ201~204の探索処理において単一の学習済みモデルを使用した。変形例として、複数の学習済みモデルを用いて探索処理を行ってもよい。たとえば複数の条件セットを選択し、条件セットごとに特定される学習済みモデルを用いて探索を行ってもよい。その場合には、解析処理の進め方は適宜設計可能である。たとえば、各学習済みモデルの探索結果に基づいてそれぞれ解析領域を決定し、それらすべての解析領域について、それぞれ対応する解析条件で解析処理を行ってもよい。または、複数の学習済みモデルによる複数の探索結果を組み合わせ、統合された解析領域について、単一の解析条件を用いて解析処理を行ってもよい。その場合の解析条件の決定方法は適宜設計可能である。
110…照射部
111…電子源
112…鏡筒
120…試料室
130…検出部(130A…第一の検出部、130B…第二の検出部)
140…ステージ
141…試料ホルダ
151…制御部(評価部)
152…入力部
153…記憶部
154…表示部(インタフェース出力部)
160…ナビゲーション画像撮影機
201,202,203,204,205,206,207,208,209,210…ステップ
300…画面(条件選択インタフェース)
500…画面(条件選択インタフェース)
601…視野
602…オーバーラップ領域
701,801…解析領域
1000…画面(条件選択インタフェース)
1101,1102,1103,1104,1105,1106,1107…ステップ
1200…画面(条件選択インタフェース)
Claims (3)
- 荷電粒子線装置であって、
荷電粒子線を試料に対して照射する照射部と、
前記荷電粒子線の前記試料への照射に起因する信号を出力する検出部と、
複数の条件セットのうちから1つの条件セットを選択するための条件選択インタフェースを出力するインタフェース出力部と、
着目対象物に関する評価を実行する評価部と、
を備え、
前記条件セットは、
‐複数の学習済みモデルのうちから、1つの学習済みモデルを特定する情報と、
‐照射条件および検出条件の少なくとも一方を含む複数の探索条件のうちから、1つの探索条件を特定する情報と、
‐前記照射部および前記検出部の少なくとも一方の動作を規定する複数の解析条件のうちから、1つの解析条件を特定する情報と、
を含み、
前記荷電粒子線装置は、
‐前記条件選択インタフェースを介して前記条件セットの選択を受け付け、
‐特定された前記探索条件に基づき、前記試料の第1の領域に対して前記荷電粒子線を照射し、当該照射に起因する第1の信号を検出し、
‐特定された前記学習済みモデルに、前記第1の信号に基づく情報を受け渡し、
‐特定された前記学習済みモデルから、前記着目対象物の候補の位置を含む前記試料の第2の領域を表す情報を取得し、前記第2の領域は前記第1の領域の一部であって前記第1の領域より小さく、
‐特定された前記解析条件に基づき、前記第2の領域に対して前記荷電粒子線を照射し、当該照射に起因する第2の信号を検出し、
‐前記第2の信号に基づく情報を前記評価部に入力し、
前記荷電粒子線装置は、
‐第1の探索条件に基づいて前記第2の領域を表す情報を取得し、
‐前記第1の探索条件に係る前記第2の領域を表す情報が所定の条件を満たさない場合に、前記第1の探索条件の少なくとも一部を変更した第2の探索条件に基づいて前記第2の領域を表す情報を取得し、
‐前記第2の探索条件に係る前記第2の領域を表す情報が前記所定の条件を満たす場合に、前記第2の探索条件を前記条件セットの一部として記憶する、
荷電粒子線装置。 - 前記第1の信号は、前記試料に前記荷電粒子線が照射された際に生じる電子に基づく信号であり、
前記第2の信号は、前記試料に前記荷電粒子線が照射された際に生じるX線に基づく信号である、
請求項1に記載の荷電粒子線装置。 - 前記条件セットは、前記評価部の動作を規定する複数の評価条件のうちから、1つの評価条件を特定する情報をさらに含む、
請求項1に記載の荷電粒子線装置。
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