JPWO2021044553A5 - - Google Patents

Claims (3)

1. 荷電粒子線装置であって、
   荷電粒子線を試料に対して照射する照射部と、
   前記荷電粒子線の前記試料への照射に起因する信号を出力する検出部と、
   複数の条件セットのうちから１つの条件セットを選択するための条件選択インタフェースを出力するインタフェース出力部と、
   着目対象物に関する評価を実行する評価部と、
   を備え、
   前記条件セットは、
   ‐複数の学習済みモデルのうちから、１つの学習済みモデルを特定する情報と、
   ‐照射条件および検出条件の少なくとも一方を含む複数の探索条件のうちから、１つの探索条件を特定する情報と、
   ‐前記照射部および前記検出部の少なくとも一方の動作を規定する複数の解析条件のうちから、１つの解析条件を特定する情報と、
   を含み、
   前記荷電粒子線装置は、
   ‐前記条件選択インタフェースを介して前記条件セットの選択を受け付け、
   ‐特定された前記探索条件に基づき、前記試料の第１の領域に対して前記荷電粒子線を照射し、当該照射に起因する第１の信号を検出し、
   ‐特定された前記学習済みモデルに、前記第１の信号に基づく情報を受け渡し、
   ‐特定された前記学習済みモデルから、前記着目対象物の候補の位置を含む前記試料の第２の領域を表す情報を取得し、前記第２の領域は前記第１の領域の一部であって前記第１の領域より小さく、
   ‐特定された前記解析条件に基づき、前記第２の領域に対して前記荷電粒子線を照射し、当該照射に起因する第２の信号を検出し、
   ‐前記第２の信号に基づく情報を前記評価部に入力し、
   前記荷電粒子線装置は、
   ‐第１の探索条件に基づいて前記第２の領域を表す情報を取得し、
   ‐前記第１の探索条件に係る前記第２の領域を表す情報が所定の条件を満たさない場合に、前記第１の探索条件の少なくとも一部を変更した第２の探索条件に基づいて前記第２の領域を表す情報を取得し、
   ‐前記第２の探索条件に係る前記第２の領域を表す情報が前記所定の条件を満たす場合に、前記第２の探索条件を前記条件セットの一部として記憶する、
   荷電粒子線装置。
2. 前記第１の信号は、前記試料に前記荷電粒子線が照射された際に生じる電子に基づく信号であり、
   前記第２の信号は、前記試料に前記荷電粒子線が照射された際に生じるＸ線に基づく信号である、
   請求項１に記載の荷電粒子線装置。
3. 前記条件セットは、前記評価部の動作を規定する複数の評価条件のうちから、１つの評価条件を特定する情報をさらに含む、
   請求項１に記載の荷電粒子線装置。