JP5303517B2 - 荷電粒子線装置、および欠陥観察装置、および管理サーバ - Google Patents
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Description
この場合には、(n−m)個の観察画像の撮像に成功したことになる。
2 製造装置
3 検査装置
4 レビュー装置
5 解析装置
6 レビュー・解析装置
7 ネットワーク
8 撮像装置
9 電子源
10,11 コンデンサレンズ
12 偏向走査コイル
13,14 対物レンズ
15 ステージ
16 記憶装置
17 モニタ
18 入力装置
19 制御部
20 画像演算部
21 A/D変換部
22 電子光学系制御部
23 ステージ制御部
24 高電圧安定化電源
25 検出器
26 データ解析演算部
701 チップ
702 フィラメント電流値
703,704 電圧値
705 加速電圧値
706 プローブ電流制御電極
707 引出し電極
708 制御電極
709 加速電極
801 視野
802 中心座標
803 アライメントマークの基準点
901,902 アライメントパターン
903 理想的なステージXY軸
904 アライメントで認識したXY軸
1001 参照画像
1002 欠陥画像
1003 画像処理結果
1004 高倍率画像
1005 欠陥検出座標
1006 視野の中心座標
1101 電子線
1102 励磁コイル
1103 磁場
1104 ウェーハ
1105 収束点
1106 制御範囲
1107 印加電流量
1108 制御前の収束点
1201 ログデータ出力日時
1202 ログ識別コマンド
1203 入出力データ
1300,1400,1500,1600,1700,1800 GUI
1602 グラフ
1603 折れ線
1604 データ平均値
1605 UCL
1606 LCL
Claims (12)
- 試料台上に載置された試料上の複数箇所に対し一次荷電粒子線を照射して、当該複数箇所の画像を自動的に取得するシーケンスを実行する荷電粒子線装置において、
前記画像を取得する撮像手段と、
当該撮像手段を制御する制御手段とを備え、
当該制御手段は、前記シーケンスの実行時に設定または算出された前記撮像手段のモニタリング項目の値と、当該モニタリング項目の履歴情報とを比較し、当該モニタリング項目の該履歴情報に対する変動を求めることで、欠陥座標の誤検出または欠陥の検出漏れの異常を判定することを特徴とする荷電粒子線装置。 - 請求項1に記載の荷電粒子線装置において、
前記変動の時間的な推移が表示される表示手段を備えたことを特徴とする荷電粒子線装置。 - 請求項2に記載の荷電粒子線装置において、
前記変動の幅が所定のしきい値を超えた場合に、前記表示手段上にアラートが出力されることを特徴とする荷電粒子線装置。 - 請求項1に記載の荷電粒子線装置において、
前記試料台を移動させる試料ステージを備え、
前記モニタリング項目として、前記一次荷電粒子線照射位置のアライメントに関連する制御パラメータを用いることを特徴とする荷電粒子線装置。 - 請求項4に記載の荷電粒子線装置において、
前記モニタリング項目として、前記一次荷電粒子線照射位置の基準位置に対するオフセット量あるいは回転量を用いることを特徴とする荷電粒子線装置。 - 請求項1に記載の荷電粒子線装置において、
前記撮像手段は、前記画像を取得するに際し、第1の倍率で撮像される画像を用いて当該第1の倍率よりも高い第2の倍率での撮像の視野中心を決定する2段階の撮像を行い、
前記モニタリング項目として、前記第1の倍率または第2の倍率での撮像に関連する制御パラメータを用いることを特徴とする荷電粒子線装置。 - 請求項6に記載の荷電粒子線装置において、
前記モニタリング項目として、前記撮像時のオートフォーカス精度あるいは前記第2の倍率での撮像の成功率を用いることを特徴とする荷電粒子線装置。 - 請求項3に記載の荷電粒子線装置において、
前記しきい値または前記履歴情報との比較方法を設定する設定画面が前記表示手段上に表示されることを特徴とする荷電粒子線装置。 - 外部の検査装置で取得された所定試料の欠陥位置情報を用い、当該試料の欠陥位置に一次荷電粒子線を照射して、前記欠陥位置の画像を自動的に取得するシーケンスを実行する欠陥観察装置において、
前記画像を取得する撮像手段と、
当該撮像手段を制御する制御手段とを備え、
当該制御手段は、前記シーケンスの実行時に設定または算出された前記撮像手段のモニタリング項目の値と、当該モニタリング項目の履歴情報とを比較し、当該モニタリング項目の該履歴情報に対する変動を求めることで、欠陥座標の誤検出または欠陥の検出漏れの異常を判定することを特徴とする欠陥観察装置。 - 請求項9に記載の欠陥観察装置において、
前記シーケンスの実行を制御するレシピ情報が格納される記憶手段を備え、
前記制御手段は、前記レシピ情報に基づくモニタリング項目の値の設定後に、前記変動の算出処理を実行することを特徴とする欠陥観察装置。 - 請求項9に記載の欠陥観察装置において、
複数の前記試料が格納される試料格納手段を備え、
当該試料格納手段内に格納された一つの試料に対する前記シーケンスの終了後に、前記変動の算出処理を実行することを特徴とする欠陥観察装置。 - 複数の試料が格納される試料格納手段から搬送される一の試料について、当該試料上の複数箇所に一次荷電粒子線を照射して、当該複数箇所の画像を自動的に取得するシーケンスを実行する荷電粒子線装置と通信回線を介して接続されることが可能な管理サーバにおいて、
前記シーケンスの実行時に設定または算出される前記荷電粒子線装置のモニタリング項目の履歴情報が格納される記憶手段と、
前記一の試料に対して設定または算出された前記モニタリング項目の値と前記履歴情報とを比較し、当該モニタリング項目の該履歴情報に対する変動を求めることで、欠陥座標の誤検出または欠陥の検出漏れの異常を判定する演算手段とを備えることを特徴とする管理サーバ。
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