JP3858935B2 - 監視方法および監視システム - Google Patents
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Description
図において、真空系200は、A群としての試料位置監視61,搬送系位置監視62および処理時間監視63が、そしてB群としてのバルブ位置監視64,圧力監視65,真空監視66および処理時間監視67がなされ、A群によって監視されて得られたデータに基づいて搬送制御68が、そしてB群によって監視されて得られたデータに基づいて真空制御69がなされる。これらの制御のために制御用CPU70が使用される。
(1) 工場出検査時に、採取したデータと設計値テンプレートを比較し装置の状態を把握する。このデータから異常と判断された装置は不良と判断される。
(2) (1)の比較結果から正常と判断された装置は、工場出荷時に採取したデータをその装置のリファレンスデータとしてデータベースに登録される。
(3) 顧客据付時に据付時のリファレンスデータを採取,登録(顧客先でのリファレンスデータ採取登録は、据付環境により真空排気速度が変化するため採取する。)
(4) 据付後の装置状態の確認
(2)と(3)のデータを比較することにより、装置の据付時での状態を把握する。この比データから据付後の装置の状態が正常であるか異常であるか判断する。
(5) 判断方法
据付先設置状況で変化する装置状態は、主に真空排気速度の変化が考えられる。これは、据付先での真空ポンプと装置間の配管の長さ,配管径やポンプの排気速度(真空排気能力)に左右されるからである。
真空ゲージの推移・試料の搬入等がある。排気能力から下記の式により正常か異常か判定する。
据付環境での排気能力 :Pi
工場環境での真空ゲージの推移 :Gf
据付環境での真空ゲージの推移 :Gi
工場環境での試料の搬入速度 :Lf
据付環境での試料の搬入速度 :Li
判定閾値 :S(%)
補正率 :Co=Pf/Pi
判定用データ算出
真空ゲージ(RefG)=Co×Gf 搬入速度(RefL)=Co×Lf
据付時の真空ゲージ推移判定
S>|Gi/RefG×100−100|
据付時の試料搬入速度
S>|Li/RefL×100−100|
RefGとRefLを据付環境に合わせた状態テンプレートとしてデータベースに登録する。但し、その他のテンプレートは設計値を使用する。
(1) 装置状態データの採取は、予め決められたシーケンスで試料の搬入,測定、搬出を行う。
(2) データ採取スケジュールは、顧客毎に設定可能である。データ取得タイミングは、装置が使用されていない時間に行う。但し、予め設定されている時間から1時間以上待っても装置が使用されている場合は、取得スケジュールはキャンセルされる。また、顧客が手動でデータ採取シーケンスを起動する事も可能である。
(3) 自動的に採取された装置状態データは、予め登録されている装置状態テンプレートと比較される。その比較したデータが設定されている閾値を超えた場合は、装置データベースに情報を登録する。また設定により顧客あるいはサービスヘレポート(報告)する。
この機能により予防保全効果、及び装置保守時期の把握が可能となる。
(1) エラートラップ機能により、エラー発生時の装置状態を採取する。
その時同時に、装置内部通信の内容を保存する。
(2) エラー発生時の装置状態と据付時のリファレンスデータを比較して、装置不具合原因特定する。
この機能により装置不具合発生時の対策が可能となる。
判定閾値>|採取データ/テンプレートデータ×100−100|
によって行う。
(1) 装置の状態を定期的に採取し装置状態データベースが構築される。
(2) 採取したデータは、データベースに登録したデータと比較することが可能。
(3) エラートラップ機能により装置に異常が発生した時の状態を再生することが可能。異常状態と正常時のデータを比較することにより、装置の不具合原因の特定が飛躍的に向上する。
(4) 設計値の各センサON/OFFタイミングや機構系動作スピードをテンプレート化して、採取データと比較可能とする。また、テンプレート比較時に採取データとの差を自動的に算出し、予め設定した閾値を超えた場合にはデータベースに情報を保存する。この機能付加により定期保守や予防保全に対応する。
以上のことが可能になる。
ムおよび方法。
料ステージ、68…搬送制御、69…真空制御、70…制御用CPU、71…データ処理用CPU、72…電子光学制御、73…画像処理、74…高電圧制御、75…ハードディスク、76…データ処理、77…画像表示処理、78…画面表示、79…画面表示、79…基本データ蓄積、監視データ蓄積、81…データ解析、分析、判定、100…測長システム、121…画面、122…排気系系統図、123…試料搬送系状態図、124…タイムチャート。
Claims (12)
- 真空中において加速電子線を応用する計測装置に関する装置不具合の監視あるいは診断支援の方法において、記録手段に前記計測装置を構成する各種機器についての動作監視用センサからのデータをリアルタイムに同期的に運転履歴データとして記録保存し、比較手段によっての運転履歴データを監視あるいは診断のために蓄積された基本監視データと重ねてタイミングや動作レベルを比較し、予想手段によって比較した両データ上の差異を予め設定した閾値と比較することで各種機器の装置不具合を予想し、エラートラップ手段によって各種機器の装置不具合を予想した時の各種機器の装置状態を採取して再生し、各種機器の装置不具合に至る過程の状態と収集採取した過去のレファレンス記録データとを比較して各種機器の装置不具合の原因の特定を行う前記計測装置の監視あるいは診断を支援することを特徴とする監視方法。
- 請求項1において、前記エラートラップ手段は、各種機器の装置不具合に至る過程の状態と収集採取した過去のレファレンス記録データとを動的にオーバレイして図で表示することを特徴とする監視方法。
- 請求項1において、前記比較手段は同一時刻位置を指定する移動可能な2本の線を表示を行い、これらの2本の線間で前記基本監視データに比べて前記運転履歴データ間のデータ乖離が大きいときに閾値を越えたとすることを特徴とする監視方法。
- 請求項1において、前記動作監視用センサからのデータは、真空リカバリー時間あるいは試料搬送時間であり、真空リカバリー時間あるいは試料搬送時間が閾値と比較されることを特徴とする監視方法。
- 請求項1において、前記過去のレファレンス記録データとして据付・環境に合わせたリファレンステンプレートの生成がなされることを特徴とする監視方法。
- 請求項1において、真空中において加速電子線を応用する装置であって、測長SEM(走査形電子顕微鏡)・SEM・TEM(透過形電子顕微鏡)・質量分析計のいずれかであることを特徴とする監視方法。
- 真空中において加速電子線を応用する計測装置に関する装置不具合の監視あるいは診断支援する監視・支援システムにおいて、前記計測装置を構成する各種機器についての動作監視用センサからのデータをリアルタイムに同期的に運転履歴データとして記録保存する記録手段と、前記運転履歴データを監視あるいは診断のために蓄積された基本監視データと重ねてタイミングや動作レベルを比較した両データ上の差異を予め設定した閾値と比較することで各種機器の装置不具合を予想する予想手段と、各種機器の装置不具合を予想した時の各種機器の装置状態を採取して再生し、各種機器の装置不具合に至る過程の状態と収集採取した過去のレファレンス記録データとを比較して各種機器の装置不具合の原因の特定を行うエラートラップ手段とを備える前記計測装置の監視あるいは診断を支援することを特徴とする監視・支援システム。
- 前記計測装置は測長SEMであって、該測長SEMの電子レンズ・ウェーハ駆動部・給排気部に位置・真空度センサを設けて、保守および不具合の監視・診断支援を行うことを特徴とする請求項7に記載の監視・支援システム。
- 前記計測装置の初期または正常時の装置動作データとリアルタイムに比較し、保守または不具合と診断すべき差異を検知したとき、これを保存することを特徴とする請求項7に記載の監視・支援システム。
- 前記計測装置の動作状態を遠隔装置で監視するとともに、差異検知タイミングを遠隔装置で警報することを特徴とする請求項7に記載の監視・支援システム。
- 前記計測装置は、真空中において加速電子線を応用する装置であって、測長SEM(走
査形電子顕微鏡)・SEM・TEM(透過形電子顕微鏡)・質量分析計のいずれかであることを特徴とする請求項7に記載の監視・支援システム。 - 真空中において加速電子線を応用する計測装置に関する保守および不具合の監視を行うことを特徴とする請求項7に記載の監視・支援システム。
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JP2005273103A JP3858935B2 (ja) | 2005-09-21 | 2005-09-21 | 監視方法および監視システム |
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