JPS60122304A - 自動寸法測定装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 本発明は製品の長さ、幅、斜線角度などの寸法を自動的
に測定する自動寸法測定装置に関する。

従来の寸法測定作業は作業者の目視機能による測定であ
って、測定能率が悪く作業性に劣るとともに作業者の疲
労が早く測定誤差の要因となり測定精度の向上を望めな
い等の不具合があった。

とくに磁気ヘッドその他の電子部品の多用される坦在、
それら部品の仕上り状態を高精度で且つ迅速に寸法測定
をすることが望まれている。

本発明は断る事情に鑑み、ＴＶカメラ、顕微鏡、検査テ
ーブル及び画像処理装置を組合せることによって目視検
査の自動化、測定時間の短縮などを図り、作業性に優れ
るとともに高精度な寸法測定装置を提供ぜんとすること
を目的とする。

断る本発明装置は、機台上に、被検査物を載せＸ軸−Ｙ
軸方向へ可動する検査テーブルを設置するとともに該テ
ーブル上の定位置に顕微鏡を設置し、この顕微鏡にＴＶ
カメラを介して画像処理装置を接続し、該処理装置にＮ
Ｇコントローラ及びモータドライバを介して前記テーブ
ルの駆動用モータを接続し、上記画像処理装置は被検査
物の端縁を検出するカーソル線を有し、このカーソル線
により検出される所要の座標データを保持するメモリ及
びプログラムしたシーケンスを保持するメモリを含む記
憶部と、前記座標データより所定の４法を演算処理する
演算部と、装置の動作制御をする制御部とからなる中央
処理装置（ｃｐｕ）を有し、この中央処理装置により前
記テーブルをシーケンスに応じて移動させることを特徴
とする。

上記検査テーブルのＸ軸−Ｙ軸方向の移動により、該テ
ーブル上の被検査物を顕微鏡下で移動させ、画像処理装
置の画像ラスター上で前記被検査物の画像をカーソル線
により追跡して被検査物の所定各部の端縁を検出し、そ
の各部の座標データを中央処理装置（ｃｐｕ）の記憶部
に保持していき、全データを検出し終えたところで記憶
部より所要データを演算部へ出力して所定の測定寸法を
演算処理すものである。

検査テーブルのＸ軸−Ｙ軸方向への移動に先立って、被
検査物に対する顕微鏡の焦点合せを３− 行なうが、それには顕微鏡を検査テーブル上の定位置で
Ｚ軸方向く上下方向）へ可動状に設置し、顕微鏡を一ト
下移動させながら被検査物の撮像を画像処理装置に送り
該処理装置において像が最も鮮明となるところを検出し
、その位置で顕微鏡の上下移動を停止さ「るものである
。

又、上記顕微鏡のＺ軸方向移動に代えて検査テーブルを
Ｚ軸方向へ移動させることもよい。

上記顕ＩＩＩＩ鏡又は検査テーブルの２軸方向移動は作
業者の手動操作による方法、又は、画像処理装置に接続
したモータにより駆動させる自動方式の何れとすること
もよい。

上記記憶部に保持するシーケンスは、画像処理装置にテ
ンキーなどの入力装置を接続して設け、この入力装置に
より所定のシーケンスをプログラムする方法、あるいは
予め所定のシーケンスをプログラムした外部メモリを用
いる方法、あるいは外部メモリを画像処理装置に着脱自
在に組込み該メモリに前記入力装置よりシーケンスをプ
ログラムする方法の何れとすることでも４− よい。

上記シーケンスによる検査テーブルの送り動作は、一定
寸法送り動作と被検査物の端縁を検出するエツジ検出送
り動作との組合せ方式を用いると高精度が得られ好まし
い。しかし被検査物の外形や表面状態によっては前記一
定寸法送り動作を必要としないこともある。

又、上記中央処理装置（ｃＨ）はその演幹部に検出され
た寸法と許容範囲を含んだ管理値との判定手段を設ける
ことが好ましく、これにより不良な被検査物を判別する
ことができる。

又、画像処理装置に検査寸法、判定結果その他の所要事
項を印字するプリンタを備えることは任意である。

本発明装置は、磁気ヘッドコアなどの電子部品の如き高
い寸法精洩を要求される被検査物の寸法測定に有効であ
る。

本発明の実施例を図面により説明すれば、第１図におい
て、（１）は機台、（２）は検査テーブル、（３）は顕
微鏡、（４）はＴＶカメラ、（５）は画像処理装置、（
１０）は被検査物である。

検査テーブル（２）はＹ軸方向へ移動するＹテーブル（
２ａ）とＸ軸方向へ移動するＸテーブル（２ｂ）との組
合せにより構成し、各テーブル（２ａ　）　（２ｂ　）
に夫々パルスモータ又はサーボモータなどの駆動用モー
タ（１１）　（１１’　）を連結して駆動するようにす
るとともにリニアスケール（１２）　（１２’　）を設
けて移動量を検出するようにする。

上記Ｘテーブル（２ｂ）上に被検査物（１０）を載せて
寸法測定をする。

又、機台（１）には支柱（１′）を起設し、該支柱（１
′）の先端に上下方向（Ｚ軸方向）へ移動するＹテーブ
ル（２Ｃ）を取付け、このＹテーブル（２Ｃ）に顕微鏡
く３）を前記検査テーブル（２）上方に位置するよう設
置する。

上記Ｙテーブル（２Ｃ）にはサーボモータなどの駆動用
モータ〈１３）を連結するとともにリニアスケール〈１
４）を設ける。

顕微鏡（３）は反射用光源（１５）を有し、該光源（１
５）から出る光を対物レンズ（１６）を介して被検査物
（１０）の表面に投光し、この顕微鏡（３）により被検
査物（１０〉表面を拡大してＴＶカメラ（４）に撮像さ
せる。上記顕微鏡（３）はモータ（１３）を駆動さ′ｔ
！Ｚテーブルく２Ｃ）を上下動させることにより被検査
物（１０）に対する焦点合ぜをする。

ＴＶカメラ（４）は前記顕微鏡（３）上に連結して設置
づ−るとともにコード（１７）を介して画像処理装置（
５）に接続し、顕微鏡（３）により拡大された被検査物
（１０）の表面を画像して画像処理装置（５）へ送信す
る。

画像処理装置（５）はその表面図を第２図に示す如く、
表パネル（２０）上に表示用のブラウン管（２１）を有
するとともにその近傍にバブルカセット（２２）　（２
３＞　、プリンタ（２４）及び多数のファンクションキ
ー（２５）を設け、それら各部（２１）〜（２５）が装
置に内蔵する中央処理装置（ｃｐｕ）に接続する。

７− ブラウン管（２１）は画像ラスター（２６）と副表示部
（２７）とに区画し、その画像ラスクー（２６）に前記
ＴＶカメラ（４）より送信された被検査物り１０）の画
像を映ずようにし、副表示部（２７）に英数字、カタカ
ナによるキャラクタ表示やプログラムあるいは測定デー
タなどを表示するようにする。

又、上記画像ラスター（２６）には、上限線（６ａ）、
下限線（６ａ’）、左限線（６ｂ）及び右限線（６ｂ’
　）で形成される計測枠（６）を表示するとともに該枠
（６）内に縦カーソルｍ（７ａ）及び横カーソル線（７
ｂ）を表示しておき、該カーソル線（７ａ）　（７ｂ）
により移動する被検査物（１０〉の画像を追跡して所定
個所の座標データを検出するようにする。

上記計測枠（６）は入力装置（第３図）のキー操作によ
り上限線（６ａ）及び下限線（６ａ’　）を上下方向へ
、左限線（６ｂ）及び右限線（６ｂ’　）を左右方向へ
夫々移動させることができ、それにより計測枠（６）を
縮小又は拡張自在とする。

８− カーソル線（７ａ）　（７ｂ）もまた入力装置によって
縦カーソル線（７ａ）を左右方向へ、横カーソル線（７
ｂ）を上下方向へ可動状とする。

バブルカセット（２２）　（２３）は中央処理装置（ｃ
ｐｕ）の記憶部（Ａ）を構成する外部メモリであって、
そのバブルカセット（２２）に、プログラムされたシー
ケンスを記憶保持せしめるようにし、バブルカセット（
２３）に、前記カーソル線（７ａ）　（７ｂ）により検
出された座標データを記憶保持せしめるようにする。

上記バブルカセット（２２）に記憶保持するシーケンス
は、予めプログラムされたカセットを用意し、それを使
うこともよいが、実施例においては画像処理装置（５）
に第３図に示す入ノ〕装置（８）を接続して設置し、こ
の入力装置（８）により所望のシーケンスをプログラム
し、あるいは記憶しているシーケンスを訂正し得るよう
にする。

上記入力装置（８）はテンキー（置数キー）を含むキー
ボード＜８８）を用いた装置を例示し、図中（８ｂ）は
表示部、（８ｃ）は指数表示部である。

入力装置（８）はそのキーボード（８ａ）の打鍵操作に
よって所要事項をプログラムする。すなわちシーケンス
番号、検査テーブル（２）を一定寸法宛移動させる一定
寸法送り動作指令（定寸送り）及びその送り量、画像ラ
スター〈２６）上でカーソル線（７ａ）　（７ｂ）が被
検査物（１０）の端株を検出するまで移動させるエツジ
検出送り動作指令、カーソル線（７ａ）　（７ｂ）がエ
ツジ検出した位置における座標データの送信指令、演算
指令、印字指令などの各事項を置数操作により入力して
シーケンスをプログラムする。

尚、上記テンキーに代えてフルキーを用いることも自由
である。

又、上記入力装置（８）はシーケンスと関係のない印字
データ、例えば日付、部品コード、ロット番号、担当者
コードなどをへカし、プリンタ（２４）によりデータ打
出し時に前記印字データを印字するようにする。

上記シーケンス内容中、カーソル線（７ａ）（７ｂ）に
よるエツジ検出方法は、カーソル線（７ａ）又は（１ｂ
）が最初に検出した縁部の位置を座標データとする方法
（第４図（＋＞）、カーソル線（７ａ）　（７１１）の
交点が検出した縁部の位置を座標データとする方法（第
４図）（ＩＩ））７Ｊ−ツル線（７ａ）　（７ｂ）が最
後に検出した縁部の位置を座標データとする方法（第４
図（ｌｉｔ　）　）があるが、それら方法の区別も入力
する。

又、定寸送りあるいはエツジ検出送り動作に１３イテｈ
−ツルｍ　（７ａ）　（７ｂ）　ｌ：Ｎ＆検Ｔｊ物（１
０）の端縁を検出する前に計測枠（６）の何れがの線（
６ａ）　（６ａ’　＞　（６ｂ）　（６ｂ’　）　ｆｆ
ｉ当該縁部を検出するが、その計測枠（６）による検出
時までを高速送りとし、それ以後を低速送りとすること
もよい。

画像処理装置（５）のファンクションキー（２５）は中
央処理装置（ｃｐｕ）の制御部（Ｂ）を構成するもので
、シーケンスによる自動操作１１− 又はシーケンスによらない手動操作の何れかを選択する
切換スイッチ（２５ａ　）　、手動時におけるＹテーブ
ル（２ａ）の起動用スイッチ（２５ｂ　）（２５ｂ’）
、Ｘテーブル（２ｂ）の起動用スイッチ（２ｓｃ　）　
（２５ｃ　’　）　、Ｚテーブル（２ｃ）の起動用スイ
ッチ（２５ｄ　）　（２５ｄ　’　）などのスイッチを
有し、前記スイッチ（２５ｂ　）　（２５ｂ　’　）＜
２ｓｃ　）　（２５ｃ　’　＞　（２５ｄ　）　（２５
ｄ　’　）　ハ切換スイッチ（２５ａ）を手動操作側に
したときにのみ作動する。

上記制御部（Ｂ）は切換スイッチ（２５ａ）を自動側に
ＯＮしたときに、バブルカセット（２２）中に記憶保持
され且つ入力装置（８）により指定された所定のシーケ
ンスを前記カセット（２２）より出力するよう用意され
るとともに中央処理装置（ＯｐＬＩ　）の演算部（Ｃ）
へ所定の演算式、管理値などを送信し、スタート信号に
よって前記指定されたシーケンスを順次に出力する。

上記中央処理装＠　（Ｃ１）Ｕ　）の制御部（Ｂ）はＮ
Ｃコントローラ（９）及びモータドライバ１３− １２− （９′）を介して前記モータ（１１）　（１１’　）（
１３）に接続する〈第１図）。中央処理装置（ＯＥｌｕ
）の演算部（Ｃ）は前記カーソル線（７ａ）（７ｂ）に
より検出されてバブルカセット（２３）に記憶保持され
た座標データを基に、被検査物（１０）の寸法、すなわ
ち長さ、幅、開口部の長さ、幅、斜線部の傾斜角などを
所定の演算式により演算処理する。

又、演算部（Ｃ）には判定回路（３０）を設（ブ、入力
装置（８）により演算部（Ｃ）へ入力された管理値〈許
容範囲を含めた被検査物の寸法データ）と前記演算処理
された演算値とを判定回路（３０）により比較判定する
ようにする。

判定回路（３０）は演算値が管理値内である場合にはＯ
Ｋ倍信号出力し、演算部が管理値外である場合にはＮＧ
信号を出力し、このＮＧ信号の出力時にランプ、ブザー
などの警報手段を作動させるようにする。

又、上記演算部（Ｃ）により得られた演算値（寸法値）
及び判定回路（３０）から出力する判１４− 定結束は一個の被検査物（１０）を計測完了後にプリン
タ（２４）により印字し、あるいは所定個数の被検査物
を計測するまでバブル力セツ１〜（２３）に記憶してお
き、全個数の計測完了後にプリンタ（２４）により印字
する。

ｌ配本発明装置のブロック図を第５図に示す。

今、第６図に示す形状の被検査物（１０）を測定する場
合について、その寸法Ｗ　Ｉ　、Ｗ　２、Ｗ３、Ｗ４．
１１、ＪＬ２、Ｌ３、Ｌ４を測定するシーケンスを例示
すれば次の通りである。

図において（ＰＯ）は検査テーブル（２）に取付けであ
る近接スイッチ（図示せず）がＯＮになる点の機械的原
点なるホームポジションであって、全ての計測はここか
ら開始する。、（尚、被検査物（１０）に対し、前もっ
て７テーブル（２Ｃ）を駆動させて顕微鏡の焦点合せを
しておく。） ・シーケンス番号１：ＰＯからＰ＋ ポジションＰＯから被検査物（１０）下辺の延長線より
少し先の位置Ｐ１までの定寸送り。

これは次のシーケンスと共に被検査物（１０）の原点位
置を見出す予備動作である。

・シーケンス番号２：Ｐ１からＰ２ 被検査物（１０）左辺の縁部までのエツジ検出送り。こ
れで左辺の横位置が決定する。

・シーケンス番号３：Ｐ２からＰ３ 被検査動物下の縁部までエツジ検出送り。

この時のデータ（Ｘ３．Ｖ３）が左下隅の位置を示す。

・シーケンス番号４：ＰｓからＰ４ 被検査物の左辺を逃げる位置まで定寸送り。

上辺まで左辺の縁部を検出しないように少し内側に入れ
る。

・シーケンス番号５；Ｐ４からＰ５ 被検査物上辺の少し手前まで定寸送り。途中のキズやゴ
ミの影響を除く為にエツジ検出送りにしない。

・シーケンス番号６：Ｐ５からＰ６ 被検査物の上辺までエツジ検出送り。これ１５− でデータ（Ｘｅ、Ｖｓ）が得られる。

・シーケンス番＠７：ＰｓからＰ７ 被検査物上辺の平行度のバラツキを逃げる程度に定寸送
り。

・シーケンス番号８：ＰｌからＰ８ 被検査物のほぼ中心まで定寸送り。

・シーケンス番号９：Ｐ８からＰ８ 被検査物上辺の縁部までエツジ検出送り。

これでデータ（Ｘｅ、Ｖ９）が得られる。

・シーケンス番号１０：ＰｓからＰｌ。

中間の穴の上辺までエツジ検出送り。これでデータ（Ｘ
＋ｏ、Ｖ＋ｏ）が得られる。

・シーケンス番号１１：ＰＩＯからＰ　ｎ中間の穴の下
辺までエツジ検出送り。これでデータ（Ｘｎ、Ｖ＋＋）
が得られる。

・シーケンス番号１２：ＰｎからＰ＋ｔまで下辺の縁部
までエツジ検出送り。これでデータ（Ｘ　１２　、　Ｖ
　１２　）が得られる。

・シーケンス番号１３：Ｐ＋２からＰ　＋３まで被検査
物下辺の平行度のバラツキを逃げる１６− 程度に定寸送り。

・シーケンス番号１４：ＰＩＯからＰＨまで被検査物右
辺の近くまで定寸送り。

・シーケンス番号１５＋ＰＩ４からＰｕｓまで被検査物
右辺の縁部までエツジ検出送り。

これでデータ（Ｘ＋ｓ、Ｖ＋ｓ）が１ｑられる。

・シーケンス番号１６：ＰＩＯからＰ１６被検査物右辺
の平行度のバラツキを逃げる程度に定寸送り。

・シーケンス番号１７：ＰＩＯからＰ　１７被検査物の
中央まで定寸送り。

・シーケンス番号１８：Ｐ＋７からＰｅａ被検査物右辺
の縁部までエツジ検出送り。

これでデータ（Ｘ＋ａ、Ｖ＋ａ）が得られる。

・シーケンス番号１９：ＰＩＯからＰｕｓ中間の穴の右
辺までエツジ検出送り。これでデータ（Ｘ＋ｓ、ｙ＋ｓ
）が得られる。

・シーケンス番号２０：ＰＩＯからＰｔ。

中間の穴の左辺までエツジ検出送り。この時は穴の部分
の画像のため、ゴミや欠けが無いので全行程エツジ検出
送りで良い。シーケンスが１ステツプ少なければ、それ
だけ早く測定が進む。これでデータ（×卸。

Ｖ　２０　）が得られる。

・シーケンス番号２１：ＰｒｏからＰ２＋被検査物左辺
までエツジ検出送り。これでデータ（Ｘ２１．Ｖ２＋）
が得られる。

・シーケンス番号２２：Ｐ２＋からＰ７２Ｐ１の時の×
位置と同じ所まで定寸送り。

・シーケンス番号２３：Ｐ２２からＰ２３Ｐ１の（Ｘ＋
、Ｖ＋）と等しい位置まで定寸送り。

・シーケンス番号２４ Ｗｌをめるためにシーケンス番号３で得られた位置のデ
ータ（ｙ３）とシーケンス番号６で得られた（ｙ６）の
値から ＷＩ＝１（１／３　Ｖａ）ｌ を割算する。

・シーケンス番号２５ Ｗ２をめるためにシーケンス番＠９゜ １０で得られたデータ（Ｖｓ）、（Ｖ＋ｏ）から Ｗ２＝ｌ（Ｖｓ　Ｖ＋ｏ）ｌ を計算する。

・シーケンス番号２６ Ｗ３をめるためにシーケンス番号１０゜１１で得られた
データ（Ｖ＋ｏ）、（Ｖｕ）から Ｗ３＝ｌ　（ＶＩＯ−１’ｎ　）　ｌ を計算する。

・シーケンス番号２７ Ｗ４をめるためにシーケンス番号１１゜１２で得られた
データＮｌｌ＋）、（ＶＩ２）から Ｗ４　＝ｌ　（ｙｕ−ＶＩ２　）　ｌ を計算する。

・シーケンス番号２８ 又１をめるためにシーケンス番号２゜ １５で得られたデータ （Ｘ２）、（ＸＩ５）から １９− ＪＬ＋　＝ｌ　（Ｘ２−Ｘ’ｓ）　１ を計算する。

・シーケンス番号２９ Ｌ２をめるためにシーケンス番号１８゜１９で得られた
データ（ＸＩ８）、（Ｘ１９＞から Ｊ、２　＝ｌ　（Ｘ＋ａ−Ｘ’ｓ）　１を計算する。

・シーケンス番号３０ Ｊ、ａをめるためにシーケンス番号１９゜２０で得られ
たデータ（ＸＩ９）、（Ｘ２Ｑ）から 、ｔａ　＝ｌ　（Ｘ’５−Ｘｎ）　ｌ を計算する。

・シーケンス番号３１ ＪＬ４をめるためにシーケンス番号２０゜２１で得られ
たデータ（Ｘ２０）、（Ｘ２１＞から ＪＬ４−１　（Ｘ２０−Ｘ２＋＞　１ を計算する。

２０− 尚、上記被検査物（１０）が、その外形の直角度や平行
度が問題にならないほど仕上りが良くて、且つ、ＴＶカ
メラ（４）に対して直角や平行が正確に撮像できるなら
ば、シーケンス番号４．７．１３．１６のステップは省
略する事ができる。また表面状態が良い被検査物であり
、ゴミ等が付着しなければ、シーケンス番号５゜１４は
省略する事ができる。

次に第７図に示す形状の被検査物（１０）であって、そ
の寸法Ｌ５及びθを測定する場合にはエツジ検出により
Ｐ　３１　Ｉ　Ｐ　３２及び任意なＰ３３゜Ｐ３４を検
出し座標データ（Ｘ３１．Ｖａ１）。

（Ｘ３２．ＶＳ２）及び（Ｘ３３．Ｖ３３）、（Ｘ３４
゜ｖ９４）を得て演算部（Ｃ）によって、を計算すれば
よい。

尚、上記実施例は１個の被検査物を測定する場合を説明
したが、検査テーブル上に複数の被検査物をゲージ等を
用いて配列し、それら複数の被検査物を順次に測定して
いくように使用することも任意である。その場合、検査
テーブルを移動させて新たな被検査物のエツジ検出をさ
せるシーケンスを加えて、前述したシーケンスに連続さ
せるようにすればよい。

本発明は叙上の如く構成したので、プログラムされたシ
ーケンスに従って被検査物を載せた検査テーブルを移動
させ、ＴＶカメラにより撮像した被検査物の画像を画像
処理装置においてカーソル線により追跡しエツジ検出を
するとともにカーソル線により得られた座標データに基
いて被検査物の長さ、幅などの寸法を自動的に測定する
ことができる。

従って、従来の作業者の目視機能による検査に較べて測
定時間を著しく短縮することができるとともに作業者の
疲労を軽減させ作業性を向上させることができ、またコ
ンピュータを使い光学的、機械的に測定するので精度を
高めることができる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明装置の正面図、第２図は画像処理装置の
詳細を示す正面図、第３図は入力装置の正面図、第４図
はカーソル線によるエツジ検出方法を示す説明図、第５
図は本発明装置のブロック図、第６図はシーケンス動作
を示す説明図、第７図は他の変形動作を示す説明図であ
る。 図中、（１）は機台、（２）は検査テーブル、〈３）は
顕微鏡、（４）はＴＶカメラ、（５）は画像処理装置、
（７ａ）は縦カーソル線、（７１））は横カーソル線、
（８）は入力装置、くっ）（まＮＣコントローラ、（９
′）はモータドライバ、（１０）は被検査物、（１１）
　（１１”）　（１３）はモータ、（Ａ＞は記憶部、（
２２）　（２３）はバブルカセット、（Ｂ）は制御部、
（Ｃ）は演算部である。 手続補正口 昭和６０年　１月１８日 特許庁長官　志　賀　学　殿 （特許庁審判室　殿） ２、発明の名称 自動寸法測定装置 ３、補正をする者 事件との関係　特許出願人 氏名（名称）　信越エンジニアリング株式会社（外１名
） ４、代理人 住　所　東京都文京区白山５丁目１４番７号昭和　年　
月　日 ［（第４図（ｉｉ））Ｊに訂正する。 （２）　図面第１図を別紙のように訂正する。 １０−

Claims (4)

【特許請求の範囲】
1. （１）　機台上に、被検査物を載せＸ軸−Ｙ軸方向へ可
   動する検査テーブルを設置するとともに該テーブル上の
   定位置に顕微鏡を設置し、この顕微鏡にＴＶカメラを介
   して画像処理装置を接続し、該処理装置にＮＧシコンロ
   ーラ及びモータドライバを介して前記テーブルの駆動用
   モータを接続し、上記画像処理装置は被検査物の端縁を
   検出するカーソル線を有し、このカーソル線により検出
   される所要の座標データを保持するメモリ及びプログラ
   ムしたシーケンスを保持するメモリを含む記憶部と、前
   記座標データより所定の寸法を演算処理する演算部と、
   装置の動作制御をする制御部とからなる中央処理装置（
   Ｃ１１１４）を有し、この中央処理装置により前記テー
   ブルをシーケンスに応じて移動させることを特徴とする
   自動寸法測定装置。
2. （２）　上記検査テーブル又は顕微鏡が、被検査物に対
   して焦点合ぜができるようにＺ軸方向へ可動状である特
   許請求の範囲第１項記載の自動寸法測定装置。
3. （３）　上記中央処理装置（ｃｐｕ）の演算部が検出寸
   法と管理値との判定手段を備えた特許請求の範囲第１項
   又は第２項記載の自動用法測定装置。
4. （４）　上記中央処理装置（ｃｐｕ）にプログラムする
   シーケンスが一定寸法送り動作と被検査物の端縁を検出
   するエツジ検出送り動作とからなる特許請求の範囲第１
   項又は第２項又は第３項記載の自動寸法測定装置。