JPH01102306A - ３次元位置計測方法 - Google Patents
３次元位置計測方法Info
- Publication number
- JPH01102306A JPH01102306A JP26122687A JP26122687A JPH01102306A JP H01102306 A JPH01102306 A JP H01102306A JP 26122687 A JP26122687 A JP 26122687A JP 26122687 A JP26122687 A JP 26122687A JP H01102306 A JPH01102306 A JP H01102306A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- axis
- microscope
- target point
- fine
- block
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 238000000034 method Methods 0.000 title description 6
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 claims abstract description 8
- 238000005259 measurement Methods 0.000 claims abstract description 7
- 238000000691 measurement method Methods 0.000 claims 1
- 230000000007 visual effect Effects 0.000 abstract 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 238000012544 monitoring process Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
- Length Measuring Devices With Unspecified Measuring Means (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
「産業上の利用分野」
この発明は顕微鏡を利用して微小目標点の３次元位置を
計測する３次元位置計測方法に関する。
計測する３次元位置計測方法に関する。
「従来の技術」
従来において顕ｍｓを用いて目標点の３次元位置を計測
するには第２図に示すように光軸が直交する２台の顕微
鏡１１．１２を用い、これら顕微鏡を移動させ、その目
標点に両顕微鏡の視野にある十字形カーソルを合せ、そ
の時の顕微鏡の各軸方向の移動量から目標点の３次元位
置を計測していた。
するには第２図に示すように光軸が直交する２台の顕微
鏡１１．１２を用い、これら顕微鏡を移動させ、その目
標点に両顕微鏡の視野にある十字形カーソルを合せ、そ
の時の顕微鏡の各軸方向の移動量から目標点の３次元位
置を計測していた。
しかし目標点が孔の底にある場合はこの２台の３ａ徽鏡
による計測を行うことはできない、また場所が狭い場合
は２台の顕微鏡を設置することができない。
による計測を行うことはできない、また場所が狭い場合
は２台の顕微鏡を設置することができない。
この発明の目的は１台の顕微鏡を用い、従って狭い場所
でも測定することができ、また目標点が孔の底に在って
もその３次元位置を測定することができる３次元位置計
測方法を提供することにある。
でも測定することができ、また目標点が孔の底に在って
もその３次元位置を測定することができる３次元位置計
測方法を提供することにある。
［問題点を解決するための手段］
この発明によれば光軸方向の移動量をパルスモータで制
御して計測できる微動台に顕微鏡を固定し、光軸に合致
する軸を含む３軸方向の各移動量をそれぞれ各別のパル
スモータで制御して計測できる３軸微動台に目標点を含
む被計測物を固定する。各軸駆動用パルスモータを駆動
制御して目標点に顕微鏡の焦点を合せ、かつ目標点に顕
微鏡の視野にある十字形カーソルを合せる。この時の各
パルスモータによる移動量から目標点の３次元位置を計
測する。
御して計測できる微動台に顕微鏡を固定し、光軸に合致
する軸を含む３軸方向の各移動量をそれぞれ各別のパル
スモータで制御して計測できる３軸微動台に目標点を含
む被計測物を固定する。各軸駆動用パルスモータを駆動
制御して目標点に顕微鏡の焦点を合せ、かつ目標点に顕
微鏡の視野にある十字形カーソルを合せる。この時の各
パルスモータによる移動量から目標点の３次元位置を計
測する。
このようにこの発明では１台の顕微鏡で計測するもので
あるから狭い場所でも計測することができ、また焦点を
合せることにより光軸方向の位置を測定するものである
から目標点が孔の底に在ってもその３次元位置を測定す
ることができる。
あるから狭い場所でも計測することができ、また焦点を
合せることにより光軸方向の位置を測定するものである
から目標点が孔の底に在ってもその３次元位置を測定す
ることができる。
「実施例」
第１図はこの発明の実施例に用いる装置を示す。
基台１１上に支柱１２が立てられ、支柱１２にパルスモ
ータによりＹ軸方向に移動可能な微動台１３が取付けら
れている。微動台１３に顕微鏡１４が固定され、顕微鏡
１４の光軸方向はＹ軸方向とされている。
ータによりＹ軸方向に移動可能な微動台１３が取付けら
れている。微動台１３に顕微鏡１４が固定され、顕微鏡
１４の光軸方向はＹ軸方向とされている。
基台１１にパルスモータによりＹ軸方向に移動可能なＺ
軸微動台１５が取付けられ、Ｚ軸微動台１５にパルスモ
ータによりＸ軸方向に移動可能なＸ軸微動台１６が取付
けられ、更にＸ軸微動台１６上にパルスモータによりＹ
軸方向に移動可能なＹ軸移動台１７が取付けられる。Ｚ
軸微動台１５とＸ軸微動台１６とＹ軸微動台１７とによ
り３軸微動台１８が構成される。
軸微動台１５が取付けられ、Ｚ軸微動台１５にパルスモ
ータによりＸ軸方向に移動可能なＸ軸微動台１６が取付
けられ、更にＸ軸微動台１６上にパルスモータによりＹ
軸方向に移動可能なＹ軸移動台１７が取付けられる。Ｚ
軸微動台１５とＸ軸微動台１６とＹ軸微動台１７とによ
り３軸微動台１８が構成される。
３軸微動台１８上、この例ではＹ軸微動台１７上に目標
点１９を含む被計測物２１が取付けられる。微動台１３
、Ｚ軸微動台１５、Ｘ軸微動台１６、及びＹ軸微動台１
７の各パルスモータはパルスモータ制御装置２２からの
格別のパルスモータ駆動信号によりそれぞれ独立に制御
される。パルスモータ制御量Ｗ２２はコンピュータ２３
により制御され、コンピュータ２３はキーボコド２４に
より入力制御される。
点１９を含む被計測物２１が取付けられる。微動台１３
、Ｚ軸微動台１５、Ｘ軸微動台１６、及びＹ軸微動台１
７の各パルスモータはパルスモータ制御装置２２からの
格別のパルスモータ駆動信号によりそれぞれ独立に制御
される。パルスモータ制御量Ｗ２２はコンピュータ２３
により制御され、コンピュータ２３はキーボコド２４に
より入力制御される。
顕微鏡１４にはビデオカメラ２５が取付けられ、ビデオ
カメラ２５で顕微鏡１４の観察像が盪映され、ビデオカ
メラ２５の映像出力は映像増幅器２６で増幅されて映像
モニタ２７に画像として表示される。
カメラ２５で顕微鏡１４の観察像が盪映され、ビデオカ
メラ２５の映像出力は映像増幅器２６で増幅されて映像
モニタ２７に画像として表示される。
被計測物２１には上面に凹部が形成され、その凹部内に
目標点１９が存在するが、その被計測物２１の凹部内が
顕微鏡１４で観察できるように被計測物２１を３軸徽動
台１８に取付ける。微動台１３、ＹＩＩＩ！微動台１７
をその各パルスモータで制御して目標点１９の１つ例え
ば１９ａに顕微鏡１４の焦点を合せる。その焦点合せは
映像モニタ２７上の目標点像２８を見ながら行う、また
Ｚ軸微動台１５、Ｘ軸微動台１６をそれらのパルスモー
タにより制御して顕微鏡１４の視野にある十字形カーソ
ルを目標点１９ａに合せる。これも映像モニタ２７上の
カーソル像２９を監視しながら目標点像２８に合せるよ
うに各パルスモータを制御して行う。
目標点１９が存在するが、その被計測物２１の凹部内が
顕微鏡１４で観察できるように被計測物２１を３軸徽動
台１８に取付ける。微動台１３、ＹＩＩＩ！微動台１７
をその各パルスモータで制御して目標点１９の１つ例え
ば１９ａに顕微鏡１４の焦点を合せる。その焦点合せは
映像モニタ２７上の目標点像２８を見ながら行う、また
Ｚ軸微動台１５、Ｘ軸微動台１６をそれらのパルスモー
タにより制御して顕微鏡１４の視野にある十字形カーソ
ルを目標点１９ａに合せる。これも映像モニタ２７上の
カーソル像２９を監視しながら目標点像２８に合せるよ
うに各パルスモータを制御して行う。
このようにして目標点１９に顕微鏡１４の焦点を合せ、
かつ十字形カーソルを合せた時の、微動台１３及びＹ軸
微動台１７の各移動量（基準に対する）、つまり対応パ
ルスモータに対する制御量からＹ軸方向における目標点
１９の位置が計測され、Ｚ軸微動台１５、Ｘ軸微動台１
６の各移動量、つまり対応パルスモータに対する制御量
からそれぞれＹ軸方向、Ｘ軸方向における目標点１９の
各位置が計測される。
かつ十字形カーソルを合せた時の、微動台１３及びＹ軸
微動台１７の各移動量（基準に対する）、つまり対応パ
ルスモータに対する制御量からＹ軸方向における目標点
１９の位置が計測され、Ｚ軸微動台１５、Ｘ軸微動台１
６の各移動量、つまり対応パルスモータに対する制御量
からそれぞれＹ軸方向、Ｘ軸方向における目標点１９の
各位置が計測される。
「発明の効果」
以上述べたようにこの発明の方法によれば１台の顕微鏡
のみを使用するため狭い場所でも測定を行うことができ
、また目標点に顕微鏡の焦点を合せて光軸方向における
位置を測定するものであるから、目標点が孔の底に在る
場合も目標点の３次元位置を測定することができる。し
かもこの位置測定を微小目標点を観察しながら行うこと
ができる。
のみを使用するため狭い場所でも測定を行うことができ
、また目標点に顕微鏡の焦点を合せて光軸方向における
位置を測定するものであるから、目標点が孔の底に在る
場合も目標点の３次元位置を測定することができる。し
かもこの位置測定を微小目標点を観察しながら行うこと
ができる。
第１図はこの発明の実施例に用いられる測定装置の一例
を示すブロック図、第２図は従来の測定方法を示す図で
ある。
を示すブロック図、第２図は従来の測定方法を示す図で
ある。
Claims (1)
- （１）光軸方向の移動量をパルスモータで制御して計測
できる微動台に顕微鏡を固定し、 上記光軸に合致する軸を含む３軸方向の各移動量をそれ
ぞれパルスモータで制御して計測できる３軸微動台に目
標点を含む被計測物を固定し、各軸駆動用パルスモータ
を駆動制御して上記目標点に上記顕微鏡の焦点を合せ、 かつ上記目標点に上記顕微鏡の視野にある十字形カーソ
ルを合せて、 上記目標点の３次元位置を上記各パルスモータによる移
動量により計測する３次元位置計測方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP26122687A JPH01102306A (ja) | 1987-10-16 | 1987-10-16 | ３次元位置計測方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP26122687A JPH01102306A (ja) | 1987-10-16 | 1987-10-16 | ３次元位置計測方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01102306A true JPH01102306A (ja) | 1989-04-20 |
Family
ID=17358894
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP26122687A Pending JPH01102306A (ja) | 1987-10-16 | 1987-10-16 | ３次元位置計測方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH01102306A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP0905538A3 (en) * | 1997-09-26 | 1999-11-17 | Picker International, Inc. | Microscope calibration |
| CN105021525A (zh) * | 2015-07-20 | 2015-11-04 | 成都交大普尔实业有限公司 | 整体硬质合金刀具磨损状态检测夹具 |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS60122304A (ja) * | 1983-11-09 | 1985-06-29 | Shinetsu Eng Kk | 自動寸法測定装置 |
| JPS6179110A (ja) * | 1984-09-27 | 1986-04-22 | Rozefu:Kk | 線引ダイスなどの形状測定方法 |
-
1987
- 1987-10-16 JP JP26122687A patent/JPH01102306A/ja active Pending
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS60122304A (ja) * | 1983-11-09 | 1985-06-29 | Shinetsu Eng Kk | 自動寸法測定装置 |
| JPS6179110A (ja) * | 1984-09-27 | 1986-04-22 | Rozefu:Kk | 線引ダイスなどの形状測定方法 |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP0905538A3 (en) * | 1997-09-26 | 1999-11-17 | Picker International, Inc. | Microscope calibration |
| US6081336A (en) * | 1997-09-26 | 2000-06-27 | Picker International, Inc. | Microscope calibrator |
| EP1426806A3 (en) * | 1997-09-26 | 2006-03-29 | Z-Kat, Inc. | Microscope calibration |
| CN105021525A (zh) * | 2015-07-20 | 2015-11-04 | 成都交大普尔实业有限公司 | 整体硬质合金刀具磨损状态检测夹具 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP3612068B2 (ja) | ワークにおける座標測定法 | |
| EP2705935A1 (en) | Coordinate measuring machine | |
| JPH01102306A (ja) | ３次元位置計測方法 | |
| JPH0415967A (ja) | 圧電素子駆動体 | |
| US6859286B2 (en) | Precision video gauging machine for vertically oriented workpieces | |
| JP2602653B2 (ja) | 光ファイバ調芯機 | |
| JPH0478929B2 (ja) | ||
| JP2003140053A (ja) | 光学顕微鏡別軸一体型走査型プローブ顕微鏡 | |
| JP2001091857A (ja) | 微細作業用マイクロマニピュレーション装置 | |
| JP2000039566A (ja) | 拡大観察装置 | |
| KR100200357B1 (ko) | 광특성 측정 장치 | |
| JPH09166607A (ja) | 走査型プローブ顕微鏡およびその測定方法 | |
| JP2964870B2 (ja) | マイクロマニピュレータシステム | |
| JP2909808B2 (ja) | 橋梁箱桁など長尺構造物の自動計測装置 | |
| CN216209253U (zh) | 一种扫描探针显微镜 | |
| JPH05296726A (ja) | 測長機の恒温装置 | |
| JPH0222505A (ja) | レーザ干渉測定装置 | |
| US3743845A (en) | Closed-circuit tv inspection x-ray microscope | |
| KR840001176B1 (ko) | 전기 기계식 디스플레이 장치 | |
| JP2553352Y2 (ja) | 自動寸法測定装置 | |
| JP2658216B2 (ja) | マイクロマニピュレータ | |
| JP2606536B2 (ja) | 材料試験機 | |
| JPH0839466A (ja) | ティーチング装置、ティーチング方法及びティーチング用ヘッド | |
| JPH0256516A (ja) | 顕微鏡画像の視野内自動位置決め装置 | |
| JP2002086376A (ja) | 視覚センサの誘導方法 |