JPH0222505A - レーザ干渉測定装置 - Google Patents
レーザ干渉測定装置Info
- Publication number
- JPH0222505A JPH0222505A JP17227888A JP17227888A JPH0222505A JP H0222505 A JPH0222505 A JP H0222505A JP 17227888 A JP17227888 A JP 17227888A JP 17227888 A JP17227888 A JP 17227888A JP H0222505 A JPH0222505 A JP H0222505A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- magnification
- light
- low
- measured
- image
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 238000005259 measurement Methods 0.000 claims abstract description 30
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 claims description 22
- 238000003384 imaging method Methods 0.000 claims description 15
- 230000004907 flux Effects 0.000 abstract 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 3
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 230000001678 irradiating effect Effects 0.000 description 1
Landscapes
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明はレーザ干渉測定装置に係り、特に低倍率観測用
光学系と高倍率観測用光学系を備えたレーザ干渉測定装
置に関する。
光学系と高倍率観測用光学系を備えたレーザ干渉測定装
置に関する。
従来、レーザ光を測定鏡と参照鏡とに照射すると共に、
その反射光を干渉させ、この干渉光の干渉縞の強弱から
被測定物の表面形状（表面の凹凸の度合）を測定するレ
ーザ干渉測定装置が知られている。
その反射光を干渉させ、この干渉光の干渉縞の強弱から
被測定物の表面形状（表面の凹凸の度合）を測定するレ
ーザ干渉測定装置が知られている。
また、このようなレーザ干渉測定装置において、低倍率
観測用光学系と高倍率観測用光学系とを備えたレーザ干
渉測定装置も知られている。このような低倍率観測用光
学系と高倍率観測用光学系を備えたレーザ干渉測定装置
は、ズーム光学系によって倍率を切換えるタイプと、複
数の対物レンズを備え、この対物レンズを交換レンズ方
式によって倍率を変えるものとがある。このような倍率
切換機構を持ったレーザ干渉測定装置は、先ず最初に低
倍率光学系で測定面を観察し、その後高倍率光学系に切
換えて必要な微細部分を高倍率で測定するようにしてい
る。
観測用光学系と高倍率観測用光学系とを備えたレーザ干
渉測定装置も知られている。このような低倍率観測用光
学系と高倍率観測用光学系を備えたレーザ干渉測定装置
は、ズーム光学系によって倍率を切換えるタイプと、複
数の対物レンズを備え、この対物レンズを交換レンズ方
式によって倍率を変えるものとがある。このような倍率
切換機構を持ったレーザ干渉測定装置は、先ず最初に低
倍率光学系で測定面を観察し、その後高倍率光学系に切
換えて必要な微細部分を高倍率で測定するようにしてい
る。
しかしながら、前記従来の倍率切換機構を持ったレーザ
干渉測定装置では、低倍率光学系で観測した時点と高倍
率光学系で観測した時点とは時間が経過してふり、同一
の条件で観測されていない虞がある。例えば、このよう
なレーザ干渉測定装置の観察は撮像カメラにより行われ
るのであるが、拡大観測した場合、測定面の表面形状に
よる干渉縞の明暗であるのか、時間経過に伴うワークの
傾き、空気のゆらぎ等の影響の干渉縞の明暗なのか時間
が経過しているので判断できないため、低倍率で測定し
た表面形状に対する高倍率で測定した表面形状の相対的
な傾斜及び相対的な高さが測定できない等の不具合があ
る。このような現象は特に磁気ヘッドの表面形状測定に
用いられる１／１００μｍオーダの測定を行う場合に生
じてくる。
干渉測定装置では、低倍率光学系で観測した時点と高倍
率光学系で観測した時点とは時間が経過してふり、同一
の条件で観測されていない虞がある。例えば、このよう
なレーザ干渉測定装置の観察は撮像カメラにより行われ
るのであるが、拡大観測した場合、測定面の表面形状に
よる干渉縞の明暗であるのか、時間経過に伴うワークの
傾き、空気のゆらぎ等の影響の干渉縞の明暗なのか時間
が経過しているので判断できないため、低倍率で測定し
た表面形状に対する高倍率で測定した表面形状の相対的
な傾斜及び相対的な高さが測定できない等の不具合があ
る。このような現象は特に磁気ヘッドの表面形状測定に
用いられる１／１００μｍオーダの測定を行う場合に生
じてくる。
本発明はこのような事情に鑑みてなされたもので、同一
の条件で低倍率光学系と高倍率光学系とで観測できるレ
ーザ干渉測定装置を提案することを目的としている。
の条件で低倍率光学系と高倍率光学系とで観測できるレ
ーザ干渉測定装置を提案することを目的としている。
本発明は、レーザ光を測定鏡と参照鏡とに照射すると共
にその反射光を干渉させ、この干渉光の干渉縞の強弱か
ら被測定物の表面形状を測定するレーザ干渉測定装置に
於いて、干渉光を２方光に分けるビームスプリッタを設
け、分光した光の一方を撮像カメラを含む低倍率撮像光
学系に導くと共に、他方の光を撮像カメラを含む高倍率
撮像光学系に導き、夫々の撮像カメラからの画像信号を
記憶するメモリ手段を設けると共に低倍率で撮像した画
像と高倍率で撮像した画像を表示する表示手段を設けた
ことを特徴としている。
にその反射光を干渉させ、この干渉光の干渉縞の強弱か
ら被測定物の表面形状を測定するレーザ干渉測定装置に
於いて、干渉光を２方光に分けるビームスプリッタを設
け、分光した光の一方を撮像カメラを含む低倍率撮像光
学系に導くと共に、他方の光を撮像カメラを含む高倍率
撮像光学系に導き、夫々の撮像カメラからの画像信号を
記憶するメモリ手段を設けると共に低倍率で撮像した画
像と高倍率で撮像した画像を表示する表示手段を設けた
ことを特徴としている。
本発明に係るレーザ干渉測定装置においては、干渉縞を
低倍率光学系と高倍率光学系との両方で同時に観測する
ことができる。従って、先ず低倍率光学系で撮像してそ
の表面形状等の画像信号をメモリ手段に記憶し、同時に
高倍率光学系で撮像してその画像信号をメモリ手段で記
録し、その後、低倍率光学系で撮像した形状と高倍率光
学系で撮像した形状の両方をＣＲＴ画面又はプリンタで
表示する。この結果、同一の条件で低倍率と高倍率との
両方で観測することができる。
低倍率光学系と高倍率光学系との両方で同時に観測する
ことができる。従って、先ず低倍率光学系で撮像してそ
の表面形状等の画像信号をメモリ手段に記憶し、同時に
高倍率光学系で撮像してその画像信号をメモリ手段で記
録し、その後、低倍率光学系で撮像した形状と高倍率光
学系で撮像した形状の両方をＣＲＴ画面又はプリンタで
表示する。この結果、同一の条件で低倍率と高倍率との
両方で観測することができる。
以下添付図面に従って本発明に係るレーザ干渉測定装置
の好ましい実施例を詳説する。
の好ましい実施例を詳説する。
第１図は本発明に係るレーザ干渉測定装置を用いて面形
状を測定する場合の装置の構造が示され、ｌＯはレーザ
光源、１２はミラー １４はビームエキスパンダ、１６
はハーフミラ−である。更に、１８は被測定面、２０は
参照面、２２はピエゾ素子、２４はビームスプリフタ、
２６は低倍率用結像レンズ、２８は低倍率測定用カメラ
、３０は高倍率用結像レンズ、３２は高倍率測定用カメ
ラである。カメラ２８で撮像した画像信号はメモリ３４
で記録され、コンピュータ３６で画像処理されたのちＣ
ＲＴ画面３８又はプリンタ等により表示されるようにな
っている。更に、高倍率測定用カメラ３２で撮像された
画像信号はメモリ４０で記録され、コンビ異−夕３６で
画像処理されたのち、ＣＲＴ画面３８又はプリンタによ
り表示されるようになっている。
状を測定する場合の装置の構造が示され、ｌＯはレーザ
光源、１２はミラー １４はビームエキスパンダ、１６
はハーフミラ−である。更に、１８は被測定面、２０は
参照面、２２はピエゾ素子、２４はビームスプリフタ、
２６は低倍率用結像レンズ、２８は低倍率測定用カメラ
、３０は高倍率用結像レンズ、３２は高倍率測定用カメ
ラである。カメラ２８で撮像した画像信号はメモリ３４
で記録され、コンピュータ３６で画像処理されたのちＣ
ＲＴ画面３８又はプリンタ等により表示されるようにな
っている。更に、高倍率測定用カメラ３２で撮像された
画像信号はメモリ４０で記録され、コンビ異−夕３６で
画像処理されたのち、ＣＲＴ画面３８又はプリンタによ
り表示されるようになっている。
前記の如く構成されたレーザ干渉測定装置において、レ
ーザ光源ｌＯから出射した光はミラー１２で９０°方向
変換されたのち、ビームエキスパンダ１４で平行光束と
され、その後ハーフミラ−１６に入射する。ハーフミラ
−１６に入射した光は９０°方向を変えられ、被測定面
１８に向けて出射すると共に参照面２０に向けて出射す
る。被測定面１８と参照面２０からの反射光はビームス
プリッタ２４を通過して干渉光として低倍率用結像レン
ズ２６に入射する。一方、ビームスプリッタ２４で反射
された光は干渉光として高倍率用結像レンズ３０に入射
する。低倍率測定用カメラ２８では低倍率における干渉
縞が撮像され、その画像信号がメモリ３４に送られる。
ーザ光源ｌＯから出射した光はミラー１２で９０°方向
変換されたのち、ビームエキスパンダ１４で平行光束と
され、その後ハーフミラ−１６に入射する。ハーフミラ
−１６に入射した光は９０°方向を変えられ、被測定面
１８に向けて出射すると共に参照面２０に向けて出射す
る。被測定面１８と参照面２０からの反射光はビームス
プリッタ２４を通過して干渉光として低倍率用結像レン
ズ２６に入射する。一方、ビームスプリッタ２４で反射
された光は干渉光として高倍率用結像レンズ３０に入射
する。低倍率測定用カメラ２８では低倍率における干渉
縞が撮像され、その画像信号がメモリ３４に送られる。
また、高倍率測定用カメラ３２では特定部分の高倍率の
干渉縞が撮像され、その画像信号がメモリ４０に送られ
る。
干渉縞が撮像され、その画像信号がメモリ４０に送られ
る。
従って、例えばＣＲＴ画面３８にはコンビニ−タグラフ
イックの技術を用いて低倍率における立体図形Ｐと同一
条件での高倍率における微小部分の立体図形Ｑが第２図
に示すように表示されるようになる。
イックの技術を用いて低倍率における立体図形Ｐと同一
条件での高倍率における微小部分の立体図形Ｑが第２図
に示すように表示されるようになる。
第２図では、干渉縞に基づいて立体図形を表示したので
あるが、これに限定されるものでなく干渉縞を直接表示
するようにしてもよい。
あるが、これに限定されるものでなく干渉縞を直接表示
するようにしてもよい。
以上説明したように本発明に係るレーザ干渉側装置によ
れば、測定面を低倍率と高倍率とで同一条件で撮像する
ことができるので、正確に微細部分の形状等を測定する
ことができる。
れば、測定面を低倍率と高倍率とで同一条件で撮像する
ことができるので、正確に微細部分の形状等を測定する
ことができる。
第１図は本発明に係るレーザ干渉測定装置の構造を示す
説明図、第２図は本発明に係るレーザ干渉測定装置で観
測した表面形状の立体図を示す説明図である。 １０・・・レーザ光源、 １８・・・被測定面、 ２０
・・・参照面、 ２８・・・低倍率測定用カメラ、
３２・・・高倍率測定用カメラ、 ３４．４０・・・
メモリ、３８・・・ＣＲＴ画面。 ！、事件の表示 ２０発明の名称 ３、補正をする者 事件との関係 住 所 名 称 ４、代理人 住 所 手続補正書 昭和６３年特許願第１７２２７８号 レーザ干渉測定装置
説明図、第２図は本発明に係るレーザ干渉測定装置で観
測した表面形状の立体図を示す説明図である。 １０・・・レーザ光源、 １８・・・被測定面、 ２０
・・・参照面、 ２８・・・低倍率測定用カメラ、
３２・・・高倍率測定用カメラ、 ３４．４０・・・
メモリ、３８・・・ＣＲＴ画面。 ！、事件の表示 ２０発明の名称 ３、補正をする者 事件との関係 住 所 名 称 ４、代理人 住 所 手続補正書 昭和６３年特許願第１７２２７８号 レーザ干渉測定装置
Claims (1)
- （１）レーザ光を被測定面と参照鏡とに照射すると共に
その反射光を干渉させ、この干渉光の干渉縞の強弱から
被測定物の表面形状を測定するレーザ干渉測定装置に於
いて、 干渉光を２方光に分けるビームスプリッタを設け、分光
した光の一方を撮像カメラを含む低倍率撮像光学系に導
くと共に、他方の光を撮像カメラを含む高倍率撮像光学
系に導き、夫々の撮像カメラからの画像信号を記憶する
メモリ手段を設けると共に低倍率で撮像した画像と高倍
率で撮像した画像を表示する表示手段を設けたことを特
徴とするレーザ干渉測定装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17227888A JPH0222505A (ja) | 1988-07-11 | 1988-07-11 | レーザ干渉測定装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17227888A JPH0222505A (ja) | 1988-07-11 | 1988-07-11 | レーザ干渉測定装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0222505A true JPH0222505A (ja) | 1990-01-25 |
Family
ID=15938952
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP17227888A Pending JPH0222505A (ja) | 1988-07-11 | 1988-07-11 | レーザ干渉測定装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0222505A (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| FR2813946A1 (fr) | 2000-09-11 | 2002-03-15 | Koito Mfg Co Ltd | Lampe de vehicule |
| US6619825B2 (en) | 2000-09-18 | 2003-09-16 | Koito Manufacturing Co., Ltd. | Vehicle lamp |
| JP2009229235A (ja) * | 2008-03-21 | 2009-10-08 | Fujinon Corp | 干渉縞撮像装置およびこれを備えた光波干渉測定装置 |
| JP2009229234A (ja) * | 2008-03-21 | 2009-10-08 | Fujinon Corp | 光波干渉測定装置 |
| JP2011220816A (ja) * | 2010-04-09 | 2011-11-04 | Niigata Univ | 円筒面の形状計測方法 |
-
1988
- 1988-07-11 JP JP17227888A patent/JPH0222505A/ja active Pending
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| FR2813946A1 (fr) | 2000-09-11 | 2002-03-15 | Koito Mfg Co Ltd | Lampe de vehicule |
| US6619825B2 (en) | 2000-09-18 | 2003-09-16 | Koito Manufacturing Co., Ltd. | Vehicle lamp |
| JP2009229235A (ja) * | 2008-03-21 | 2009-10-08 | Fujinon Corp | 干渉縞撮像装置およびこれを備えた光波干渉測定装置 |
| JP2009229234A (ja) * | 2008-03-21 | 2009-10-08 | Fujinon Corp | 光波干渉測定装置 |
| JP2011220816A (ja) * | 2010-04-09 | 2011-11-04 | Niigata Univ | 円筒面の形状計測方法 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JPH08160305A (ja) | レーザー走査顕微鏡 | |
| JP2930406B2 (ja) | 位相シフトを利用するモアレ法の応用によりテストされるべき表面のモアレパターンを観測するための方法および装置 | |
| JP2000509842A (ja) | 顕微鏡における多軸検査用偏光装置 | |
| JPS63183041A (ja) | 眼底面検査装置 | |
| JPH1090064A (ja) | 顕微ラマン装置 | |
| JPH0222505A (ja) | レーザ干渉測定装置 | |
| US5054925A (en) | Method for aligning an interferometer | |
| JP3489275B2 (ja) | 硬度計 | |
| JP2000275594A (ja) | 基板検査装置 | |
| JP3559071B2 (ja) | 画像重ね合わせ光学装置 | |
| JP2004535601A (ja) | 顕微鏡対物レンズの構成 | |
| JPH102724A (ja) | 光学的３次元計測装置 | |
| JP2009168793A (ja) | 面精度測定及び表面欠陥観察装置、面精度測定及び表面欠陥観察方法、並びに面精度及び表面欠陥の検査方法 | |
| JPH01318908A (ja) | 鏡面体の表面検査装置 | |
| JP3644997B2 (ja) | レーザ加工装置 | |
| JP2521736B2 (ja) | 顕微鏡調整検査装置 | |
| JP2003098034A (ja) | レンズ面間隔測定装置および測定方法 | |
| JP2004069594A (ja) | 偏心量測定機及び偏心量測定方法 | |
| JP2593493B2 (ja) | レンズの調整，検査装置 | |
| JPH09127421A (ja) | 合焦装置を備えた顕微鏡 | |
| JP2001174234A (ja) | 画像計測装置 | |
| JPH07174768A (ja) | 走査型プローブ顕微鏡 | |
| JPH05118843A (ja) | 走査型プローブ顕微鏡 | |
| JP2001249014A (ja) | 対向平面平行度測定装置 | |
| JPH0635964B2 (ja) | 顕微鏡装置 |