JP2009229235A - 干渉縞撮像装置およびこれを備えた光波干渉測定装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】光波干渉測定装置1の撮像系4に、干渉縞撮像装置40を設置する。この干渉縞撮像装置40は、第1の結像面P1上において回転走査される1次元イメージセンサを備え、該1次元イメージセンサにより上記干渉縞の画像情報を取得するように構成されている。
【選択図】図1
Description
所定の回転軸の放射方向に延びるとともに該回転軸回りに回転走査可能に設けられた1次元イメージセンサを備え、該1次元イメージセンサを前記結像面上において回転走査せしめることにより前記干渉縞の画像情報を取得するように構成されてなることを特徴とする。
したがって、本発明に係る干渉縞撮像装置によれば、結像面上に形成された干渉縞を、縞の密度が高い領域についても縞解析し得る程度に細密に撮像することが可能となる。
2,2A 干渉光生成系
3 干渉縞形成系
4 撮像系
7 解析系
8 被検レンズ
8a 被検非球面
21 測定光源
22 ビーム径拡大レンズ
23 ビームスプリッタ
24 コリメータレンズ
25 参照基準板
25a 参照基準平面
26 対物レンズ
27 保持ステージ
28 球面基準レンズ
28a 参照基準球面
31 ビームスプリッタ
32 第1結像レンズ
33 第2結像レンズ
40,40A〜40C 干渉縞撮像装置
41,41A〜41C 1次元イメージセンサ
42 固定板
43 駆動モータ
43a 回転軸
44 回転板
45 回転角度検出部
46 レーザ光源
47,50 ダイクロイックプリズム
47a,50a 透過反射面
48,49 反射プリズム
51 光電変換電源部
52,52A イメージセンサ駆動部
53,53A 信号処理部
54 電光変換部
55 光電変換部
56,56A 信号処理部
57 給電用電源
58 給電用アンテナ
59 受電用アンテナ
60 電力調整部
61 送信アンテナ
62 受信アンテナ
63 軌道部
64 可動部
71 形状解析手段
72 表示装置
73 入力装置
75 撮像手段
76,77 2次元イメージセンサ
80 第1の干渉縞
81 第1高縞密度領域
82 第2高縞密度領域
90 第2の干渉縞
91 第1低縞密度領域
92 第2低縞密度領域
93 第3低縞密度領域
A,B 光軸
C 測定光軸
P1 第1の結像面
P2 第2の結像面
G1〜G5 矢線
Claims (6)
- 被検面に照射された測定光の該被検面からの戻り光を参照光と合成して得られる干渉光により結像面上に形成される干渉縞を撮像する干渉縞撮像装置であって、
所定の回転軸の放射方向に延びるとともに該回転軸回りに回転走査可能に設けられた1次元イメージセンサを備え、該1次元イメージセンサを前記結像面上において回転走査せしめることにより前記干渉縞の画像情報を取得するように構成されてなることを特徴とする干渉縞撮像装置。 - 固定部と、該固定部に設置された駆動モータと、前記固定部に対し回転可能なように前記駆動モータの回転軸に固設された回転部と、を備え、前記1次元イメージセンサは、前記回転部に保持されてなることを特徴とする請求項1記載の干渉縞撮像装置。
- 前記1次元イメージセンサへの電力の供給および該1次元イメージセンサからの信号の伝達を、光を利用して行うことを特徴とする請求項1または2記載の干渉縞撮像装置。
- 前記1次元イメージセンサは、前記回転軸の放射方向に移動可能に構成されてなる、ことを特徴とする請求項1〜3のうちいずれか1項記載の干渉縞撮像装置。
- 前記結像面上に配された2次元イメージセンサを備え、該2次元イメージセンサにより前記干渉縞の縞画像情報を取得するように構成されてなることを特徴とする請求項1〜4のうちいずれか1項記載の干渉縞撮像装置。
- 被検面に測定光を照射し該被検面からの戻り光を参照光と合成して干渉光を得る干渉光生成系と、得られた干渉光により結像面上に干渉縞を形成する干渉縞形成系と、請求項1〜5のうちいずれか1項記載の干渉縞撮像装置と、該干渉縞撮像装置により撮像された前記干渉縞を解析する解析系と、を備えてなることを特徴とする光波干渉測定装置。
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