JP2003090802A

JP2003090802A - 基板検査システム

Info

Publication number: JP2003090802A
Application number: JP2001283764A
Authority: JP
Inventors: Takehiro Takahashi; 武博高橋
Original assignee: Olympus Optical Co Ltd
Current assignee: Olympus Corp
Priority date: 2001-09-18
Filing date: 2001-09-18
Publication date: 2003-03-28

Abstract

(57)【要約】【課題】欠陥分類の信頼性を向上すること。【解決手段】オートマクロ検査による検査結果である結
果画像ファイルの画像及び検査結果ファイル１３に記憶
されているラベリング「３」の欠陥部分の検査結果の情
報、例えば欠陥分類、欠陥名称等からなる欠陥選択ウィ
ンドウＷａを表示する画像表示用ＰＣ１６をマニュアル
マクロ検査装置８に隣接して設け、オートマクロ検査の
検査結果を参照しながら実際のマニュアルマクロ検査を
比較観察し、その結果からオートマクロ検査の検査結果
である例えば欠陥部分の分類、欠陥の名称などがマニュ
アルマクロ検査の結果と異なっていれば、欠陥選択ウィ
ンドウＷａにおいて欠陥部分の分類、欠陥の名称などの
修正を行って仮登録する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、例えば半導体ウェ
ハ基板や液晶ガラス基板などの欠陥を撮像して取得され
た画像データを用いて基板を自動的に検査するオート欠
陥検査と、基板を目視により検査するマニュアル欠陥検
査とを行う基板検査システムに関する。

【０００２】

【従来の技術】オート欠陥検査では、例えば半導体ウェ
ハ基板を撮像してその画像データを取得し、この画像デ
ータに対して予め登録された欠陥種類などの欠陥部分の
特徴に関するデータを用いて半導体ウエハ基板上の欠陥
部分を抽出し、その欠陥分類を自動的に行っている。

【０００３】このときの欠陥部分の特徴に関するデータ
は、辞書ファイルに予め登録されている。この辞書ファ
イルは、半導体ウェハ基板を撮像してその画像をモニタ
表示し、このモニタ表示画像をオペレータが観察しなが
ら半導体ウェハ基板上の欠陥部分の特徴、例えば膜む
ら、キズ、ゴミなどを登録することにより作成される。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、辞書フ
ァイルの登録作業は、欠陥検査に精通していない者や不
用意な欠陥登録作業により誤った欠陥登録、例えば半導
体ウェハ基板上のキズなのにゴミとして誤登録されるお
それがある。このように辞書ファイルの登録作業で欠陥
種類が誤登録されると、それ以降のオート欠陥検査にお
いて例えば半導体ウェハ基板上のキズが誤ってゴミとし
て抽出されてしまう。このため、現状では欠陥検査に熟
練した者などの限られた作業者のみによって行われてい
る。

【０００５】このような現状から複数のオート欠陥検査
装置で検査を行い、これらオート欠陥検査の結果をそれ
ぞれ異なる複数の作業員によって１つの辞書ファイルへ
の登録作業を行うと、欠陥種類の判定結果にばらつきが
生じ、辞書ファイルの信頼性を低下させるおそれがあ
る。

【０００６】そこで本発明は、欠陥分類の信頼性を向上
できる基板検査システムを提供することを目的とする。

【０００７】

【課題を解決するための手段】本発明は、基板を撮像し
て取得された画像データに対して予め登録された欠陥に
関するデータに基づいて基板上の欠陥を自動的に検査す
るオート欠陥検査装置と、基板を目視により検査するマ
ニュアル欠陥検査装置と、マニュアル欠陥検査装置にオ
ート欠陥検査装置による検査結果の画像データを表示す
る表示部と、表示部に表示されたオート欠陥検査装置に
よる検査結果に関するデータと対比してマニュアル欠陥
検査装置により目視判定された結果に基づいて基板上の
欠陥に関するデータを仮登録する仮登録手段と、仮登録
手段より仮登録された基板上の欠陥に関するデータを読
み出し、このデータを辞書ファイルに本登録する本登録
手段とを備えたことを特徴とする基板検査システムであ
る。

【０００８】

【発明の実施の形態】以下、本発明の一実施の形態につ
いて図面を参照して説明する。

【０００９】図１は基板検査システムの構成図である。
基板カセット１には、検査対象となる複数の半導体ウエ
ハ基板やフラットディスプレイ基板（以下、基板と省略
する）２が収納されている。この基板カセット１とオー
トマクロ検査装置７及びマニュアルマクロ検査装置８と
の間の搬送路に基板搬送ロボット３が設けられている。
この基板搬送ロボット３は、直線状の搬送レール４上を
矢印イ方向、すなわち基板カセット１への基板２の取り
出し差し入れ方向と同一方向に移動自在に設けられてい
る。この基板搬送ロボット３は、基板２を吸着保持する
ためのコ字形状のハンドを有するロボットアーム５が矢
印ロ方向に回動自在に備えられ、かつ基板搬送ロボット
３の本体上において前進、後退、回転するものとなって
いる。

【００１０】基板搬送制御パーソナルコンピュータ（以
下、基板搬送制御ＰＣと称する）６は、基板搬送ロボッ
ト３の搬送動作を制御するもので、例えば基板搬送ロボ
ット３を搬送レール４上に移動させて基板カセット１の
前方とオートマクロ検査装置７とマニュアルマクロ検査
装置８とのいずれかに対応する位置にそれぞれ停止させ
る機能と、ロボットアーム５を前進、後退、回動させて
基板２を基板カセット１やオートマクロ検査装置７、マ
ニュアルマクロ検査装置８に対してそれぞれ差し入れ又
は取り出しさせる機能とを有している。

【００１１】オートマクロ検査装置７及びマニュアルマ
クロ検査装置８は、搬送レール４に対して並設されてい
る。このうちオートマクロ検査装置７は、撮像装置で撮
像され基板画像データを画像処理し基板２上の欠陥を自
動的に検出するもので、基板２に対して所定の角度で照
明光を照射するライン照明装置（以下、照明装置と称す
る）と、この照明装置により照明された基板２を照明方
向とは対向する方向から撮像するラインセンサカメラ
（以下、撮像装置と称する）と、これらライン照明装置
とラインセンサカメラを基板２表面に沿って移動させる
駆動部とを備えている。

【００１２】また、このオートマクロ検査装置７には、
辞書作成兼画像サーバパーソナルコンピュータ（以下、
辞書作成兼画像サーバＰＣと称する）９に予め登録され
た基板２上の欠陥部分の特徴に関するデータ、例えば欠
陥の分類、欠陥の名称などの辞書ファイルＦを読み込
み、この辞書ファイルＦを参照して撮像装置の撮像によ
り取得された画像データより欠陥部分を抽出し、その欠
陥部分に対してラベリングを行う機能を有するオートマ
クロ制御パーソナルコンピュータ（以下、オートマクロ
制御ＰＣと称する）１０が接続されている。

【００１３】このうちオートマクロ制御ＰＣ１０は、オ
ートマクロ検査装置７において基板２表面を撮像した画
像データを原画像ファイル１１として取得するととも
に、この画像から欠陥部分を抽出した結果画像ファイル
１２と、検査結果ファイル１３と、欠陥特徴ファイル１
４とを取得し、これらファイル１１〜１４を辞書作成兼
画像サーバＰＣ９に送る機能を有している。

【００１４】原画像ファイル１１は、例えば２０００×
２０００ピクセルの画像データであって、この画像デー
タを圧縮した圧縮ファイルでもよい。

【００１５】結果画像ファイル１２は、原画像ファイル
１１から基板２の欠陥抽出及び欠陥分類の処理を行った
結果を登録したもので、例えば原画像データにおける欠
陥部分を例えば赤色で塗りつぶした画像である。この結
果画像ファイル１２は、原画像ファイル１１をさらに高
圧縮したり、例えば２０００×２０００ピクセルの原画
像を５００×５００ピクセルの画像データのサイズに変
更して保存すれば、後述する画像表示用パーソナルコン
ピュータ（以下、画像表示用ＰＣと称する）１６での表
示速度を速くすることができる。画像データのサイズ変
更は、転送速度とメモリ展開速度とを速める効果があ
る。

【００１６】検査結果ファイル１３は、基板２の検査結
果の情報を格納するもので、例えば検査時間、基板Ｉ
Ｄ、欠陥数、判定結果、ラベル毎の抽出欠陥名称等が保
存されている。

【００１７】欠陥特徴ファイル１４は、原画像ファイル
１１から抽出した基板２の欠陥部分の特徴を登録したも
ので、例えば原画像データから抽出された欠陥部分はラ
ベリングされ、各ラベル毎にその欠陥部分の持つ特徴、
例えば座標、フェレ径、面積、濃度情報等が登録されて
いる。

【００１８】マニュアルマクロ検査装置８は、基板２の
全面又は一部分にマクロ照明光を照射して目視により基
板２上の欠陥を検出するためのもので、基板２に対して
所定の角度でマクロ照明光を照射するマクロ照明装置
と、このマクロ照明装置により照明された基板２を揺動
させる揺動機構と、マニュアルマクロ検査装置８の動作
制御やマニュアルマクロ検査の各種設定などを行うため
のマニュアルマクロ制御パーソナルコンピュータ（以
下、マニュアルマクロ制御ＰＣと称する）１５とを備え
ている。また、目視により検出された欠陥部分を拡大視
する顕微鏡を備えてもよい。

【００１９】このマニュアルマクロ検査装置８の目視観
察位置、例えばマニュアルマクロ検査装置８において揺
動する基板２をオペレータが目視によりマクロ検査する
視線範囲の傍には、表示手段としてのオートマクロ検査
結果を表示する画像表示用ＰＣ１６が設けられている。

【００２０】この画像表示用ＰＣ１６のモニタ部は、オ
ートマクロ検査による検査結果の画像データ、すなわち
結果画像ファイル１２を表示すると共に、オートマクロ
検査による検査結果に関するデータとして例えば検査結
果ファイル１３と欠陥特徴ファイル１４とに登録された
データ（例えば欠陥の分類、欠陥の名称など）を表示
し、これらオートマクロ検査による画像及びデータを参
照しながら目視によるマニュアルマクロ検査を支援する
ものである。

【００２１】又、この画像表示用ＰＣ１６は、オートマ
クロ検査による画像及びデータを参照しながらマニュア
ルマクロ検査で検出された基板２上の欠陥部分の特徴、
例えば膜むら、キズ、ゴミなどに関するデータを仮登録
する仮登録手段１７としての機能を有している。

【００２２】この仮登録手段１７は、画像表示用ＰＣ１
６のモニタ画面上に、図２に示すようなオートマクロ検
査による検査結果の画像データを表示する機能と、図３
に示すようにオートマクロ検査の検査により得られた基
板２上の欠陥部分の特徴に関するデータ、例えば欠陥の
分類、欠陥の名称などを表示し、かつこれらデータを修
正するための欠陥選択ウィンドウＷａとを表示する機能
とを有している。

【００２３】上記辞書作成兼画像サーバＰＣ９は、オー
トマクロ検査装置７において基板２を撮像して取得され
た画像データに基づいて基板２上の欠陥部分を自動的に
分類するための辞書ファイルＦを画像サーバ１８に格納
し、かつ基板２上の欠陥部分の特徴に関するデータ、例
えば欠陥の分類、欠陥の名称などの確認、修正を行って
本登録する本登録手段１９としての機能を有している。

【００２４】この本登録手段１９は、欠陥部分の特徴に
関するデータ、例えば欠陥の分類、欠陥の名称などの確
認、修正を行うための図４に示す欠陥登録ウィンドウＷ
ｂをそのモニタ画面上に表示し、この欠陥登録ウィンド
ウＷｂで本登録された基板２の枚葉ごとの辞書ファイル
Ｆ、すなわち原画像ファイル１１と結果画像ファイル１
２と検査結果ファイル１３と欠陥特徴ファイル１４とを
画像サーバ１８に格納する機能を有している。

【００２５】実際に辞書ファイルＦは、図５に示すよう
に検査する複数の工程（基板２の各表面層毎の検査工
程）、例えば各工程「１」「２」「３」ごとの各辞書１
９ａ〜１９ｃごとに格納されている。そして、これら工
程「１」「２」「３」用辞書１９ａ〜１９ｃは、図６に
示すようにロット２１を構成する複数のスロット、例え
ば各スロット２２ａ〜２２ｃ別に格納されるとともに、
これらスロット２２ａ〜２２ｃにそれぞれ原画像ファイ
ル１１と結果画像ファイル１２と検査結果ファイル１３
と欠陥特徴ファイル１４とが格納されている。なお、検
査結果ファイル１３の具体例を図７に示す。

【００２６】なお、オートマクロ検査装置７が複数台、
例えば図８に示すように２台設置されている場合には、
これらオートマクロ検査装置７ａ、７ｂごとに辞書ファ
イルＦ（原画像ファイル１１、結果画像ファイル１２、
検査結果ファイル１３、欠陥特徴ファイル１４）が格納
されている。

【００２７】次に、上記の如く構成された装置の作用に
ついて説明する。

【００２８】(a)先ず、図９に示す検査フローチャート
に従ってマクロ検査全体の動作について説明する。

【００２９】装置全体が立ち上がると、基板搬送制御Ｐ
Ｃ６は、ステップ＃１において、検査するスロット番号
が設定されると、基板カセット１から指定されたスロッ
ト番号の基板２を取り出してオートマクロ検査装置７に
搬入する指令を基板搬送ロホッド３に発する。

【００３０】この基板搬送ロホッド３は、搬送レール４
上を移動して基板カセット１の前方に至り、ここで基板
カセット１内にロボットアーム５を伸ばし、指定された
スロット番号の基板２をロボットアーム５上に吸着保持
してロボットアーム５を縮め、基板２を取り出す。そし
て、基板搬送ロホッド３は、再び搬送レール４上を移動
してオートマクロ検査装置７の対応位置に至り、ロボッ
トアーム５の方向をオートマクロ検査装置７への差し入
れ方向と一致させるように略９０°回動し、ロボットア
ーム５を伸ばして基板２をオートマクロ検査装置７に搬
入する。

【００３１】次に、オートマクロ検査装置７は、ステッ
ブ＃２において、基板２に対してライン照明装置により
所定の角度で照明光を照射し、この照明された基板２を
照明方向とは対向する方向からラインセンサカメラによ
り撮像する。そして、オートマクロ検査装置７は、撮像
装置から出力された画像信号を順次画像メモリに記憶し
て例えば２０００×２０００ピクセルの原画像ファイル
１１を取得し、かつ辞書作成兼画像サーバＰＣ９に予め
登録されている基板２上の欠陥部分の特徴に関するデー
タ、例えば欠陥の分類、欠陥の名称などの辞書ファイル
Ｆを読み込み、この辞書ファイルＦを参照して基板２の
画像データから自動的に欠陥部分を抽出して基板２に対
するオートマクロ検査を行う。

【００３２】このとき、オートマクロ検査装置７は、上
記原画像ファイル１１を取得すると共に、この原画像フ
ァイル１１から基板２の欠陥抽出及び欠陥分類の処理を
行った結果を登録したもの、例えば原画像データにおけ
る欠陥部分を例えば赤色（他の色でも可）で塗りつぶし
た結果画像ファイル１２と、基板２の検査結果の情報、
例えば検査時間、基板ＩＤ、欠陥数、判定結果、ラベル
毎の抽出欠陥名称等からなる検査結果ファイル１３と、
原画像ファイル１１から抽出した基板２の欠陥部分の特
徴を登録したもの、例えば原画像データから抽出された
欠陥部分はラベリング「１」「２」「３」され、これら
ラベル「１」「２」「３」毎にその欠陥部分の持つ特
徴、例えば座標、フェレ径、面積、濃度情報等が登録さ
れた欠陥特徴ファイル１４とを取得し、これらファイル
１１〜１４を辞書作成兼画像サーバＰＣ９に送る。

【００３３】この辞書作成兼画像サーバＰＣ９は、オー
トマクロ検査装置７から送られてきた原画像ファイル１
１、結果画像ファイル１２、検査結果ファイル１３及び
欠陥特徴ファイル１４を画像サーバ１８に保存する。

【００３４】次に、基板搬送制御ＰＣ６は、ステップ＃
３において、マニュアルマクロ検査の有無について判断
し、マニュアルマクロ検査が有れば、ステップ＃４に移
ってオートマクロ検査装置７により検査済みの基板２を
マニュアルマクロ検査装置８に搬入する指令を基板搬送
ロホッド３に発する。

【００３５】この基板搬送ロホット３は、オートマクロ
検査装置７内にロボットアーム５を伸ばし、基板２をロ
ボットアーム５上に吸着保持してロボットアーム５を縮
め、基板２を取り出す。そして、基板搬送ロホッド３
は、再び搬送レール４上を移動してマニュアルマクロ検
査装置８の対応位置に至り、ロボットアーム５を伸ばし
て基板２をマニュアルマクロ検査装置８に搬入する。

【００３６】このマニュアルマクロ検査装置８は、ステ
ップ＃５において、基板２に対して照明装置により所定
の角度で照明光を照射し、これと共にこの照明装置によ
り照明された基板２を揺動機構により揺動する。このと
き、画像表示用ＰＣ１６は、辞書作成兼画像サーバＰｃ
の画像サーバ１８に保存されている結果画像ファイル１
２と検査結果ファイル１３とを取得し、このうち結果画
像ファイル１２をモニタ表示すると共に、検査結果ファ
イル１３に登録されたデータ（例えば欠陥の分類、欠陥
の名称など）を表示する。

【００３７】従って、マニュアルマクロ検査においてオ
ペレータは、オートマクロ検査の検査結果である結果画
像ファイルの画像と例えば欠陥の分類、欠陥の名称など
の検査結果とを参照しながら、マニュアルマクロ検査装
置８において揺動されている基板２を目視により観察
し、基板２上の欠陥部分を検査する。

【００３８】このようなオートマクロ検査の検査結果を
参照しながらマニュアルマクロ検査を行ない画像表示用
ＰＣ１６にモニタ表示されているオートマクロ検査の検
査結果である結果画像ファイルの画像と例えば欠陥の分
類、欠陥の名称などの検査結果とに誤りが有れば、この
オートマクロ検査の検査結果である基板２上の欠陥部分
の特徴、例えば膜むら、キズ、ゴミなどに関するデータ
を修正し、仮登録手段１７によって仮登録することにな
る。

【００３９】このマニュアルマクロ検査が終了した後、
又は上記ステップ＃３の判断の結果、マニュアルマクロ
検査がなければ、基板搬送制御ＰＣ６は、ステップ＃６
において、検査済みの基板２を基板カセット１内に戻す
指令を基板搬送ロホッド３に発する。

【００４０】この基板搬送ロホッド３は、マニュアルマ
クロ検査装置８内にロボットアーム５を伸ばし、基板２
をロボットアーム５上に吸着保持してロボットアーム５
を縮めて基板２を取り出す。そして、基板搬送ロホッド
３は、再び搬送レール４上を移動して基板カセット１の
前方に至り、ロボットアーム５を伸ばして基板２を基板
カセット１内に戻す。

【００４１】次に、基板搬送制御ＰＣ６は、ステップ＃
７において、次にマクロ検査を行う基板２の有無を判断
し、次の基板２が有れば再びステップ１に戻って上記同
様にオートマクロ検査とマニュアルマクロ検査とを行
い、基板２が無ければ検査を終了する。

【００４２】(b)次に、上記オートマクロ検査装置７に
おける具体的なオートマクロ検査動作について図１０に
示す自動マクロ検査フローチャートに従って説明する。

【００４３】オートマクロ制御ＰＣ１０は、ステップ＃
１０において、基板搬送ロホッド３により基板３が搬入
された後、基板搬送制御ＰＣ６から搬入された基板２の
基板情報、例えばスロット番号、基板２のＩＤ、検査レ
シピ番号などを受け取る。

【００４４】次に、オートマクロ制御ＰＣ１０は、ステ
ップ＃１１において、検査レシピに従って照明装置の光
量を制御するとともに、フィルタの有無を判断してフィ
ルタ有の場合にはそのフィルタを設定し、照明装置によ
り照明された基板２を照明方向とは対向する方向から撮
像装置により撮像する。

【００４５】次に、オートマクロ制御ＰＣ１０は、ステ
ップ＃１２において、撮像装置から出力された画像信号
を順次画像メモリに記憶して例えば２０００×２０００
ピクセルの原画像ファイル１１を取得し、かつ辞書作成
兼画像サーバＰＣ９に予め登録されている基板２上の欠
陥部分の特徴に関するデータ、例えば欠陥の分類、欠陥
の名称などの辞書ファイルＦを読み込み、この辞書ファ
イルＦを参照して基板２の画像データから自動的に欠陥
部分を抽出し、その抽出した欠陥部分に対してラベリン
グ「１」「２」「３」すなわち欠陥名称付けを行う。

【００４６】次に、オートマクロ制御ＰＣ１０は、ステ
ップ＃１３において、欠陥部分を抽出した検査結果から
基板２の判定を行う。例えば基板判定結果の種類が例え
ば廃棄、リワーク、良品の３種類ある場合、「廃棄とリ
ワークとの判定結果に対してマクロ検査を行う」という
ことを予め検査レシピに設定すると、オートマクロ検査
の結果がリワークと判定された場合には、「マクロ検査
あり」となる。

【００４７】次に、オートマクロ制御ＰＣ１０は、ステ
ップ＃１４において、上記原画像ファイル１１を取得す
ると共に、この原画像ファイル１１から基板２の欠陥抽
出及び欠陥分類の処理を行った結果を登録したもの、例
えば原画像データにおける欠陥部分を例えば赤色で塗り
つぶした結果画像ファイル１２と、基板２の検査結果の
情報、例えば検査時間、基板ＩＤ、欠陥数、判定結果、
各ラベル「１」「２」「３」毎の抽出欠陥名称等からな
る検査結果ファイル１３と、原画像ファイル１１から抽
出した基板２の欠陥部分の特徴を登録したもの、例えば
原画像データから抽出された欠陥部分はラベリング
「１」「２」「３」され、これらラベル「１」「２」
「３」毎にその欠陥部分の持つ特徴、例えば座標、フェ
レ径、面積、濃度情報等が登録された欠陥特徴ファイル
１４とを取得し、これらファイル１１〜１４を辞書作成
兼画像サーバＰＣ９に送る。

【００４８】以上により基板２の枚葉ごとのオートマク
ロ検査が終了し、基板搬送ロホット３は、オートマクロ
検査装置７内にロボットアーム５を伸ばし、基板２をロ
ボットアーム５上に吸着保持してロボットアーム５を縮
め、基板２を取り出す。

【００４９】(c)次に、上記マニュアルマクロ検査装置
８における具体的なマニュアルマクロ検査動作について
図１１に示すマニュアルマクロ検査フローチャートに従
って説明する。

【００５０】マニュアルマクロ制御ＰＣ１５は、ステッ
プ＃２０において、基板搬送ロホッド３により基板３が
搬入された後、基板搬送制御ＰＣ６から搬入された基板
２の基板情報、例えばスロット番号、基板２のＩＤ、検
査レシピ番号などを受け取る。

【００５１】次に、画像表示用ＰＣ１６は、ステップ＃
２１において、辞書作成兼画像サーバＰＣ９の画像サー
バ１８に保存されている結果画像ファイル１２及び検査
結果ファイル１３を検索して読み込み、図２に示すよう
に結果画像ファイル１２の画像（例えば原画像データに
おける欠陥部分を例えば赤色で塗りつぶした画像）をモ
ニタ表示するとと共に、図３に示すように検査結果ファ
イル１３に記憶されている基板２の検査結果の情報、例
えば欠陥分類、欠陥名称等を表示する。

【００５２】ここで、マニュアルマクロ検査装置８は、
基板２に対してマクロ照明装置により所定の角度で照明
光を照射し、これと共にこのマクロ照明装置により照明
された基板２を揺動機構により揺動する。

【００５３】従って、マニュアルマクロ検査においてオ
ペレータは、ステップ＃２２において、画像表示用ＰＣ
１６にモニタ表示されているオートマクロ検査の検査結
果である結果画像ファイルの画像及び例えば欠陥の分
類、欠陥の名称などの検査結果を参照しながら、マニュ
アルマクロ検査装置８において揺動されている基板２を
目視により観察し、基板２上の欠陥部分を検査し、判定
を行う。

【００５４】次に、上記オートマクロ検査の検査結果を
参照しながらマニュアルマクロ検査による目視判定結果
から基板２上の欠陥部分の仮登録を行う指示が入力され
ると、画像表示用ＰＣ１６は、ステップ＃２３からステ
ップ＃２４に移り、辞書仮登録を行う。

【００５５】(d)次に、この辞書仮登録の具体的な動作
について図１２に示す仮登録手順フローチャートに従っ
て説明する。

【００５６】先ず、上記の如く基板搬送ロホッド３によ
り基板３がマニュアルマクロ検査装置８に搬入される
と、画像表示用ＰＣ１６は、結果画像ファイル１２の画
像、例えば図２に示すような原画像データにおける欠陥
部分を例えば赤色で塗りつぶした画像をモニタ表示す
る。このモニタ画像には、ラベリング「１」「２」
「３」された各欠陥部分が例えば赤色で塗りつぶた状態
で表示されている。

【００５７】次に、欠陥部分の仮登録を行うためにオペ
レータが画像表示用ＰＣ１６のモニタ画面上からラベリ
ング「１」「２」「３」された欠陥部分、ラベリング
「３」の欠陥部分を選択すると、画像表示用ＰＣ１６の
仮登録手段１７は、ステップ＃３０において、図３に示
すような検査結果ファイル１３に記憶されているラベリ
ング「３」の欠陥部分の検査結果の情報、例えば欠陥分
類、欠陥名称等からなる欠陥選択ウィンドウＷａを表示
する。

【００５８】ここで、オペレータは、画像表示用ＰＣ１
６にモニタ表示されているオートマクロ検査の検査結果
である結果画像ファイルの画像及び欠陥選択ウィンドウ
Ｗａに表示されている欠陥部分「３」の分類、欠陥の名
称などの検査結果を参照しながら、マニュアルマクロ検
査装置８における基板２を目視により比較観察し、オー
トマクロ検査の検査結果である欠陥部分「３」の分類、
欠陥部分の名称などがマニュアルマクロ検査の結果と異
なっていれば、欠陥選択ウィンドウＷａにおける修正指
示を受けて仮登録手段１７により欠陥部分「３」の分
類、欠陥部分の名称などの修正が行われる。例えば、欠
陥部分「３」の欠陥名称が「異物」と表示されている
が、実際のマニュアルマクロ検査の結果では「はがれ」
であれば、オペレータにより欠陥名称「はがれ」に修正
される。又、欠陥分類「レジスト」も実際のマニュアル
マクロ検査の結果では異なっていれば、この欠陥分類も
オペレータにより修正される。

【００５９】次に、画像表示用ＰＣ１６に対してオペレ
ータにより仮登録設定の指示が行われると、画像表示用
ＰＣ１６の仮登録手段１７は、ステップ＃３２におい
て、修正された検査結果ファイル１３を画像サーバ１８
に仮登録する。このとき、仮登録された欠陥部分「３」
については、その結果画像ファイル１２の画像上におい
て表示色、マーク、ラベルなどの仮登録識別情報を付し
て表示する。

【００６０】次に、仮登録手段１７は、ステップ＃３３
において、辞書仮登録作業を継続するか否かを判断し、
オペレータの指示により辞書仮登録作業を継続するので
あれば、再びステップ＃３０に戻り、継続しなければ辞
書仮登録作業を終了する。

【００６１】(e)次に、仮登録された欠陥部分の本登録
について図１３に示す欠陥本登録手順フローチャートを
参照して説明する。

【００６２】先ず、辞書作成兼画像サーバ９は、本登録
の指示が入力されると、本登録手段１９は、辞書作成ツ
ールにより画像サーバ１８に保存されているデータ構
造、例えば図６に示す辞書ファイルＦのデータ構造を表
示する。

【００６３】このデータ構造からスロット２２ｃ内にお
ける所望の基板２が選択されると、本登録手段１９は、
ステップ＃４０において、画像サーバ１８からその選択
された結果画像ファイル１２を読み込み、その画像を図
２に示すようにモニタ表示する。なお、このモニタ表示
画像において仮登録された欠陥部分が本登録された欠陥
部分を容易に識別できるように、例えば仮登録されたラ
ベリング「３」の欠陥部分は、そのラベル「３」の表示
色が例えば緑色に変えて表示される。

【００６４】このモニタ表示画像において例えばラベリ
ング「３」の欠陥部分がマウス等によりクリックされて
選択されると、本登録手段１９は、図４に示すような検
査結果ファイル１３に記憶されているラベリング「３」
の欠陥部分の検査結果の情報、例えば欠陥分類、欠陥名
称等からなる欠陥登録ウィンドウＷｂを表示する。

【００６５】次に、欠陥登録ウィンドウＷｂで仮登録さ
れている例えば欠陥分類、欠陥名称等が正確であれば、
オペレータによる登録の指示を受けることにより本登録
手段１９は、本登録を行う。なお、この本登録作業で
は、複数箇所に配備された各オートマクロ検査装置の仮
登録データを一括管理し欠陥登録に熟練したオペレータ
が行うことが望ましい。また、仮登録から本登録に設定
されると、その欠陥部分から仮登録識別情報が削除され
る。

【００６６】すなわち、オペレータは、辞書作成兼画像
サーバ９のモニタに表示される結果画像ファイル１２の
画像を観察しながら、その画像上の欠陥部分、例えばラ
ベル「３」の欠陥部分に対して仮登録された例えば欠陥
分類、欠陥名称等からなる欠陥登録ウィンドウＷｂの表
示を見ながら仮登録された情報が正確であるか否かを判
断し、正確であればそのまま本登録し、間違いであれ
ば、オペレータによって修正して本登録する。

【００６７】本登録されると、辞書作成兼画像サーバ９
は、画像サーバ１８に保存されている辞書ファイルＦ
に、今回本登録された原画像ファイル１１、結果画像フ
ァイル１２、検査結果ファイル１３及び欠陥特徴ファイ
ル１４を追加登録する。

【００６８】次に、本登録手段１９は、ステップ＃４２
において、辞書本登録作業を継続するか否かを判断し、
オペレータの指示により辞書本登録作業を継続するので
あれば、再びステップ＃４０に戻り、継続しなければス
テップ＃４１において他の画像を表示するか否かを判断
して終了する。

【００６９】このように上記一実施の形態においては、
オートマクロ検査による検査結果である結果画像ファイ
ルの画像及び検査結果ファイル１３に記憶されているラ
ベリング「３」の欠陥部分の検査結果の情報、例えば欠
陥分類、欠陥名称等からなる欠陥選択ウィンドウＷａを
表示する画像表示用ＰＣ１６をマニュアルマクロ検査装
置８の目視検査による視線範囲の周辺近傍に設けたの
で、オートマクロ検査の検査結果である結果画像ファイ
ル１２の画像及び欠陥選択ウィンドウＷａに表示されて
いる欠陥部分「３」の分類、欠陥の名称などの検査結果
を参照しながら、マニュアルマクロ検査装置８における
基板２上の欠陥部分の目視観察を支援し、正確な判定が
行なえる。

【００７０】すなわち、オートマクロ検査の検査結果を
参照しながら実際のマニュアルマクロ検査を観察できる
ので、この観察の結果からオートマクロ検査の検査結果
である例えば欠陥部分「３」の分類、欠陥の名称などが
マニュアルマクロ検査の結果と異なっていれば、欠陥選
択ウィンドウＷａにおいて欠陥部分「３」の分類、欠陥
の名称などの修正を行って仮登録できる。従って、本登
録に先立て欠陥部分の仮登録を行うので、この仮登録で
は、欠陥検査に熟練したオペレータに限ることなく仮登
録作業ができる。

【００７１】又、仮登録されたオートマクロ検査による
検査結果の結果画像ファイル１２及び検査結果ファイル
１３に記憶されている基板２上の欠陥部分の特徴に関す
るデータを読み出して欠陥登録ウィンドウＷｂに表示
し、このうち基板２上の欠陥部分の特徴に関するデータ
の確認、修正を行って本登録するので、仮登録されたデ
ータを例えばマクロ検査に対して熟練したオペレータが
行うことにより、または一括管理して特定のオペレータ
が行なうことにより、辞書ファイルＦへの本登録を間違
いなく正確に行うことができる。従って、オートマクロ
検査装置７において辞書ファイルＦを用いて欠陥部分を
抽出するときの欠陥分類精度を高くできる。

【００７２】又、仮登録を行ってから本登録を行うの
で、欠陥検査に熟練していないオペレータにより仮登録
を進め、仮登録のデータ量がある程度の量以上になった
ときに、まとめて本登録することができる。

【００７３】なお、本発明は、上記一実施の形態に限定
されるものでなく、実施段階ではその要旨を逸脱しない
範囲で種々に変形することが可能である。

【００７４】さらに、上記実施形態には、種々の段階の
発明が含まれており、開示されている複数の構成要件に
おける適宜な組み合わせにより種々の発明が抽出でき
る。例えば、実施形態に示されている全構成要件から幾
つかの構成要件が削除されても、発明が解決しようとす
る課題の欄で述べた課題が解決でき、発明の効果の欄で
述べられている効果が得られる場合には、この構成要件
が削除された構成が発明として抽出できる。

【００７５】例えば、上記一実施の形態は、次の通り変
形してもよい。

【００７６】上記一実施の形態では、液晶ディスプレイ
基板２のマクロ検査について説明しているが、これに限
らず、半導体ウエハなどの不透明基板や液晶ディスプレ
イ以外のフラットディスプレイパネルの透明基板上の欠
陥部分のマクロ検査やミクロ検査にも適用できる。

【００７７】

【発明の効果】以上詳記したように本発明によれば、欠
陥分類の信頼性を向上できる基板検査システムを提供で
きる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明に係わる基板検査システムの一実施の形
態を示す構成図。

【図２】本発明に係わる基板検査システムの一実施の形
態における仮登録手段によるモニタ表示画像を示す図。

【図３】本発明に係わる基板検査システムの一実施の形
態における仮登録を行うための欠陥選択ウィンドウの表
示を示す図。

【図４】本発明に係わる基板検査システムの一実施の形
態における本登録を行うための欠陥登録ウィンドウの表
示を示す図。

【図５】本発明に係わる基板検査システムの一実施の形
態における辞書ファイルの構成図。

【図６】本発明に係わる基板検査システムの一実施の形
態における辞書ファイルの実際の摸式図。

【図７】本発明に係わる基板検査システムの一実施の形
態における検査結果ファイルの具体例を示す模式図。

【図８】本発明に係わる基板検査システムの一実施の形
態における複数のオートマクロ検査装置に対する辞書フ
ァイルの模式図。

【図９】本発明に係わる基板検査システムの一実施の形
態における検査フローチャート。

【図１０】本発明に係わる基板検査システムの一実施の
形態におけるオートマクロ検査フローチャート。

【図１１】本発明に係わる基板検査システムの一実施の
形態におけるマニュアルマクロ検査フローチャート。

【図１２】本発明に係わる基板検査システムの一実施の
形態における仮登録手順フローチャート。

【図１３】本発明に係わる基板検査システムの一実施の
形態における欠陥本登録手順フローチャート。

【符号の説明】

１：基板カセット２：液晶ディスプレイ基板３：基板搬送ロボット４：搬送レール５：ロボットアーム６：基板搬送制御ＰＣ７：オートマクロ検査装置８：マニュアルマクロ検査装置９：辞書作成兼画像サーバＰＣ１０：オートマクロ制御ＰＣ１１：原画像ファイル１２：結果画像ファイル１３：検査結果ファイル１４：欠陥特徴ファイル１５：マニュアルマクロ制御ＰＣ１６：画像表示用ＰＣ１７：仮登録手段１８：画像サーバ１９：本登録手段Ｆ：辞書ファイル

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Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】基板を撮像して取得された画像データに
対して予め登録された欠陥に関するデータに基づいて前
記基板上の欠陥を自動的に検査するオート欠陥検査装置
と、前記基板を目視により検査するマニュアル欠陥検査装置
と、前記マニュアル欠陥検査装置に前記オート欠陥検査装置
による検査結果の画像データを表示する表示部と、前記表示部に表示された前記オート欠陥検査装置による
検査結果に関するデータと対比して前記マニュアル欠陥
検査装置により目視判定された結果に基づいて前記基板
上の欠陥に関するデータを仮登録する仮登録手段と、前記仮登録手段より前記仮登録された前記基板上の欠陥
に関するデータを読み出し、このデータを辞書ファイル
に本登録する本登録手段と、を備えたことを特徴とする基板検査システム。
【請求項２】前記表示手段は、前記オート欠陥検査装
置による検査結果の画像データ及び検出された欠陥に関
するデータを表示することを特徴とする請求項１記載の
基板検査システム。
【請求項３】前記仮登録手段は、前記オート欠陥検査
装置の検査により得られた前記欠陥に関するデータを修
正する欠陥選択ウインドウを表示することを特徴とする
請求項１記載の基板検査システム。
【請求項４】前記本登録手段は、前記オート欠陥検査
装置における検査対象基板の欠陥を自動分類するための
辞書ファイルを作成する機能と、前記仮登録手段で仮登
録された欠陥に関するデータを読み込み、この欠陥に関
係する前記辞書ファイルのデータを修正する欠陥選択ウ
インドウを表示する機能とを有する画像サーバパーソナ
ルコンピュータであることを特徴とする請求項１記載の
基板検査システム。
【請求項５】前記表示手段は、前記マニュアル欠陥検
査装置の目視検査範囲に近接して配置されたモニタ部を
有する画像表示用パーソナルコンピュータであり、この
画像表示パーソナルコンピュータは、さらに前記仮登録
手段として機能することを特徴とする請求項１記載の基
板検査システム。
【請求項６】前記表示手段は、前記マニュアル欠陥検
査装置に設けられた画像表示用パーソナルコンピュータ
であり、この前記画像表示用パーソナルコンピュータ
は、オート欠陥検査装置により取得された結果画像の欠
陥部分に色を付してモニタ部に表示することを特徴とす
る請求項１記載の基板検査システム。
【請求項７】前記本登録手段は、前記仮登録手段で修
正された欠陥に対し本登録された欠陥と識別するための
仮登録識別情報を付し表示し、本登録することを特徴と
する請求項１記載の欠陥検査システム。