JPWO2019155551A1

JPWO2019155551A1 - ファイル管理装置および基板作業システム

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Publication number: JPWO2019155551A1
Application number: JP2019570201A
Authority: JP
Inventors: 勇太横井; 杉山　健二; 健二杉山
Original assignee: Individual
Current assignee: Individual
Priority date: 2018-02-07
Filing date: 2018-02-07
Publication date: 2020-12-03
Anticipated expiration: 2038-02-07
Also published as: JP7220679B2; WO2019155551A1

Abstract

基板に対する所定作業を行う作業装置において撮像された画像のファイルを管理するファイル管理装置は、画像を格納したファイルを作成するファイル作成部と、ファイルのファイル名として、当該ファイルを一意に識別する識別情報を含むファイル名を設定するファイル名設定部と、を備えるものである。

Description

本明細書は、ファイル管理装置および基板作業システムを開示する。

従来より、部品をピックアップして基板に配置するなどの基板に対する作業が行われる際に、部品のピックアップ動作や配置動作に関連して撮像された画像のファイルを管理するものが知られている。例えば、特許文献１には、画像に追跡キーを対応付けたファイルを管理するものとしており、作業後の検査にて部品の配置エラーなどの不良が生じた場合には、追跡キーから画像を検索することで不良の原因調査などを可能としている。

特表２００９−５３８５３０号公報

ところで、上述したような画像が複数の作業装置のそれぞれで撮像されるなど多数の画像が撮像される場合、異なる画像を格納したファイル間でファイル名が重複する可能性がある。特に、近年は要求される作業品質の向上に伴って、できるだけ多くの画像を撮像して不良の原因調査を行えるようにする必要性が高まっているから、ファイル名の重複の可能性もより高いものとなる。ファイル名が重複した場合、上書き保存されたファイル内の画像が消去されるから画像を用いた原因調査ができなくなってしまう。

本開示は、ファイル名の重複を防止して画像ファイルを適切に管理することを主目的とする。

本開示は、上述の主目的を達成するために以下の手段を採った。

本開示のファイル管理装置は、基板に対する所定作業を行う作業装置において撮像された画像のファイルを管理するファイル管理装置であって、前記画像を格納したファイルを作成するファイル作成部と、前記ファイルのファイル名として、当該ファイルを一意に識別する識別情報を含むファイル名を設定するファイル名設定部と、を備えることを要旨とする。

本開示のファイル管理装置は、作業装置において撮像された画像を格納したファイルのファイル名として、そのファイルを一意に識別する識別情報を含むファイル名を設定する。これにより、異なる画像を格納したファイルのファイル名が重複するのを防止することができるから、ファイルが誤って上書きされることなどを防ぐことができる。したがって、ファイル名の重複を防止して画像ファイルを適切に管理することができる。

基板作業システム１０の構成の概略の一例を示す説明図。実装装置２０の構成の概略を示す構成図。実装装置２０と管理装置４０とファイルサーバ５０の電気的な接続関係を示す説明図。実装処理ルーチンの一例を示すフローチャート。画像ファイルＦＬの一例を示す説明図。ファイルサーバ５０の記憶部５４に記憶された画像ファイルＦＬの説明図。変形例の画像ファイルＦＬの説明図。

次に、本開示の実施の形態を図面を用いて説明する。図１は基板作業システム１０の構成の概略の一例を示す説明図であり、図２は実装装置２０の構成の概略を示す構成図であり、図３は実装装置２０と管理装置４０とファイルサーバ５０の電気的な接続関係を示す説明図である。なお、図１，２中、左右方向をＸ軸方向とし、前後方向をＹ軸方向とし、上下方向をＺ軸方向とする。

基板作業システム１０は、図１に示すように、印刷装置１２と、印刷検査装置１４と、複数の実装装置２０と、実装検査装置３０と、管理装置４０と、ファイルサーバ５０と、を備え、これらがネットワークとしてのＬＡＮ１８に接続されている。印刷装置１２は、スクリーンマスクに形成されたパターン孔にはんだを押し込むことで基板Ｓ（図２参照）に印刷するものである。印刷検査装置１４は、印刷装置１２で印刷されたはんだの状態を検査するものである。実装装置２０は、基板Ｓの搬送方向（Ｘ軸方向）に沿って配置され、基板Ｓに部品を実装するものである。実装検査装置３０は、実装装置２０で基板Ｓに実装された部品の実装状態を検査するものである。管理装置４０は、基板作業システム１０の全体を管理するものである。ファイルサーバ５０は、各種ファイルを保存するものである。印刷装置１２と印刷検査装置１４と複数の実装装置２０と実装検査装置３０とは、この順で基板Ｓの搬送方向に並べて設置されて生産ラインを構成する。なお、生産ラインが、これらの装置以外に、部品が実装された基板Ｓのリフロー処理を行うリフロー装置などを備えてもよく、実装検査装置３０がリフロー装置の下流側に配置されていてもよい。

実装装置２０は、図２に示すように、基板Ｓを搬送する基板搬送装置２１と、部品が所定ピッチで収容されたテープを送り出して部品を供給するフィーダ２２と、フィーダ２２が供給した部品を吸着するノズル２４（図３参照）を有するヘッド２３と、ヘッド２３をＸＹ方向に移動させるヘッド移動装置２５と、を備える。フィーダ２２は、複数種類の部品をそれぞれ供給可能となるように、実装装置２０に複数セットされている。図示は省略するが、ヘッド２３にはノズル２４を交換可能に保持する１以上のノズルホルダが配置されている。実装装置２０は、ノズルホルダの配置数が異なる複数種類のヘッド２３のいずれかに交換可能となっており、複数種類のノズル２４のうち吸着する部品の種類に適したものに交換可能となっている。また、実装装置２０は、この他にマークカメラ２６やパーツカメラ２７、ノズルステーション２８と、実装装置２０の全体を制御する実装制御装置２９（図３参照）と、を備える。マークカメラ２６は、ヘッド２３に取り付けられ、基板Ｓに付された基準マークや基板ＩＤなどを上方から撮像するものである。パーツカメラ２７は、フィーダ２２と基板搬送装置２１との間に設置され、ノズル２４に吸着されている部品を下方から撮像するものである。ノズルステーション２８は、吸着する部品の種類に応じて交換可能に複数種類のノズル２４が収容されている。

実装制御装置２９は、周知のＣＰＵやＲＯＭ、ＲＡＭなどで構成されており、内部クロックの計測する時刻によってタイムスタンプを発行するタイムスタンプ機能を有する。なお、実装制御装置２９のＲＯＭには、各種アプリケーションプログラムなどが記憶されており、ＵＵＩＤ(Universally Unique Identifier)を生成するためのプログラムも含まれる。実装制御装置２９には、マークカメラ２６やパーツカメラ２７からの画像が入力される。実装制御装置２９は、例えば、マークカメラ２６で撮像された基板Ｓの画像を処理して基板ＩＤを取得したり、基板Ｓに付された基板マークの位置を認識することにより基板Ｓの位置を認識したりする。また、実装制御装置２９は、パーツカメラ２７で撮像された画像に基づいてノズル２４に部品が吸着されているか否かを判定したり、部品の吸着姿勢を判定したりする。また、実装制御装置２９は、フィーダ２２やヘッド２３、ノズル２４が取り付けられると、フィーダＩＤやヘッドＩＤ、ノズルＩＤをそれぞれ取得してＲＡＭに記憶するものとしている。また、実装制御装置２９は、基板搬送装置２１やヘッド２３、ヘッド移動装置２５などに駆動信号を出力する。

管理装置４０は、図３に示すように、管理制御装置４２と、記憶部４４と、入力デバイス４６と、ディスプレイ４８と、を備える。管理制御装置４２は、ＣＰＵを中心とするマイクロプロセッサとして構成されている。記憶部４４は、処理プログラムなどの各種情報を記憶するＨＤＤなどの装置である。入力デバイス４６は、作業者が各種指令を入力するキーボード及びマウスなどを含む。ディスプレイ４８は、各種情報を表示する液晶表示装置である。また、記憶部４４には、生産ジョブ情報が記憶されている。生産ジョブ情報は、各実装装置２０において、基板Ｓに実装する部品種の情報や各部品の実装順の情報、各部品の実装位置の情報、各部品を供給するフィーダ２２の情報、部品の実装に用いるヘッド２３の情報、部品を吸着するノズル２４の情報、生産する基板Ｓの枚数の情報などが定められている。管理制御装置４２は、実装制御装置２９とＬＡＮ１８を介して通信可能に接続されており、実装制御装置２９から実装装置２０の実装状況に関する情報を受信したり、実装制御装置２９に生産ジョブ情報を送信したりする。管理制御装置４２は、この他に印刷装置１２や印刷検査装置１４、実装検査装置３０の図示しない各制御装置とＬＡＮ１８を介して通信可能に接続されており、各装置から作業状況に関する情報を受信したり、作業指示を送信したりする。

ファイルサーバ５０は、図３に示すように、記憶制御装置５２と、記憶部５４と、を備える。記憶制御装置５２は、ＣＰＵを中心とするマイクロプロセッサとして構成されている。記憶部５４は、画像ファイルなどの各種情報が格納されたファイルを記憶するＨＤＤなどの装置である。記憶制御装置５２は、管理制御装置４２や実装制御装置２９とＬＡＮ１８を介して通信可能に接続されており、管理制御装置４２から送信された情報ファイルを記憶部５４に記憶したり、実装制御装置２９から送信された画像ファイルを記憶部５４に記憶したりする。また、記憶制御装置５２は、印刷装置１２や印刷検査装置１４、実装検査装置３０の各制御装置とＬＡＮ１８を介して通信可能に接続されており、各制御装置から送信された各種ファイルを記憶部５４に記憶する。ファイルサーバ５０の記憶部５４に記憶された各種ファイルは、ＬＡＮ１８上で共有できるものとなっている。このため、例えば、作業者は、ファイルサーバ５０の記憶部５４に記憶されたファイルの読み出し指示を入力デバイス４６を用いて入力し、そのファイルの内容をディスプレイ４８に表示させることができる。なお、ファイルサーバ５０がディスプレイや入力デバイスを備え、ファイルサーバ５０の入力デバイスを用いてファイルの読み出し指示を入力してファイルサーバ５０のディスプレイに表示させるものとしてもよい。

次に、こうして構成された本実施形態の基板作業システム１０の動作について説明する。ここでは、部品を基板Ｓに実装する動作を説明する。図４は実装処理ルーチンの一例を示すフローチャートである。このルーチンは、各実装装置２０の実装制御装置２９によりそれぞれ実行される。このルーチンが開始されると、実装制御装置２９は、まず、管理制御装置４２から送信される生産ジョブ情報から、実装対象の部品に関するフィーダ種やヘッド種、ノズル種、部品種、実装位置などの実装に必要な情報を取得する（Ｓ１００）。なお、実装制御装置２９は、現在のヘッドＩＤやノズルＩＤに基づくヘッド種やノズル種が、生産ジョブ情報に含まれるヘッド種やノズル種と一致しない場合には、生産ジョブ情報に従ってヘッド２３の交換やノズル２４の交換を適宜行うものとする。次に、実装制御装置２９は、基板搬送装置２１を制御して基板Ｓを実装作業位置まで搬入しマークカメラ２６で画像を撮像して基板ＩＤを取得する（Ｓ１１０）。

続いて、実装制御装置２９は、部品を供給するフィーダ２２の供給位置上にヘッド２３を移動させてノズル２４により部品を採取（吸着）する（Ｓ１２０）。そして、実装制御装置２９は、ヘッド２３（ノズル２４）をパーツカメラ２７上に移動させてノズル２４に吸着されている部品を下方からパーツカメラ２７により撮像する（Ｓ１３０）。また、実装制御装置２９は、撮像した画像の画像処理を行い（Ｓ１４０）、部品を実装可能であるか否かを判定する（Ｓ１５０）。実装制御装置２９は、Ｓ１４０，Ｓ１５０では、撮像した画像を処理してノズル２４に対する部品の吸着位置の位置ずれや吸着姿勢の傾きなどを検出し、位置ずれや傾きなどが実装可能な範囲内であるか否かに基づいて実装可否を判定する。また、実装制御装置２９は、実装可能と判定すると、部品の位置ずれや傾きなどを解消するための位置の補正量や回転の補正量などを部品毎に設定する処理を行う。

実装制御装置２９は、Ｓ１５０で部品を実装可能であると判定すると、画像処理にて設定した補正量に基づいて部品を基板Ｓに実装し（Ｓ１６０）、実装した部品の撮像画像と実装完了の旨と部品の実装作業情報とを格納した画像ファイルＦＬを作成する（Ｓ１７０）。また、実装制御装置２９は、Ｓ１５０で部品を実装可能でないと判定すると、所定の廃棄位置に部品を廃棄し（Ｓ１８０）、廃棄した部品の撮像画像と実装不可（廃棄）の旨と部品の実装作業情報とを格納した画像ファイルＦＬを作成する（Ｓ１９０）。なお、Ｓ１７０，Ｓ１９０の実装作業情報には、Ｓ１００の生産ジョブ情報に基づく情報、フィーダＩＤやヘッドＩＤ、ノズルＩＤの情報、Ｓ１１０の基板ＩＤの情報などを含む。

こうして画像ファイルＦＬを作成すると、実装制御装置２９は、ＵＵＩＤ(Universally Unique Identifier)を生成して画像ファイルＦＬのファイル名に設定すると共に（Ｓ２００）、設定したファイル名を画像ファイルＦＬに格納する（Ｓ２１０）。ここで、ＵＵＩＤは、１２８ビットの値であり、１００ナノ秒単位で生成したタイムスタンプと実装装置２０（実装制御装置２９）に割り当てられたＭＡＣアドレスとを含むものや、乱数によるものなどが生成される。このため、同一の実装制御装置２９においてＵＵＩＤの生成を１００ナノ秒以内に連続して行わない限り、ファイル名が重複する可能性は殆どないものとなる。なお、上述したように、実装制御装置２９のＲＯＭなどには、ＵＵＩＤを生成するためのプログラムが記憶されており、ＵＵＩＤを容易に生成することができる。

ここで、図５は画像ファイルＦＬの一例を示す説明図である。図示するように、画像ファイルＦＬは、ファイル名にＵＵＩＤとして例えば「５６９９５ｅｆｄ−３８ｅ０−４１３ａ−９９７５−ｅ７２ｂｆ８ｂａ０ａ２５」が設定されている。また、画像ファイルＦＬには、上述したように、パーツカメラ２７により撮像された画像と、実装作業情報と実装可否の旨とファイル名とが格納されている。実装作業情報は、部品を実装した基板Ｓの基板ＩＤや部品の実装位置、部品種、部品を供給したフィーダ２２のフィーダＩＤ、実装に用いられたヘッド２３のヘッドＩＤ、部品を吸着したノズル２４のノズルＩＤなどを含む。

そして、実装制御装置２９は、画像ファイルＦＬをファイルサーバ５０に送信する（Ｓ２２０）。ファイルサーバ５０の記憶制御装置５２は、画像ファイルＦＬを受信すると、その画像ファイルＦＬを記憶部５４に記憶する。次に、実装制御装置２９は、基板Ｓに実装すべき部品を全て実装したか否かを判定し（Ｓ２３０）、実装していないと判定すると、Ｓ１２０に戻り処理を繰り返す。一方、実装制御装置２９は、全ての部品を実装したと判定すると、基板搬送装置２１を制御し基板Ｓを搬出して（Ｓ２４０）、実装処理ルーチンを終了する。

図６はファイルサーバ５０の記憶部５４に記憶された画像ファイルＦＬの説明図である。ファイルサーバ５０には、複数の実装装置２０の各実装制御装置２９から画像ファイルＦＬが送信されるため、図示するように、多数の画像ファイルＦＬが記憶部５４に記憶されることになる。本実施形態では、画像ファイルＦＬのファイル名にＵＵＩＤを用いるから、記憶済みの画像ファイルＦＬと、新たに記憶する画像ファイルＦＬとのファイル名が重複するのを防止することができる。したがって、誤って画像ファイルＦＬを上書き保存するのを防いで、画像ファイルＦＬを適切に管理することができる。また、作業者は部品種や実装位置などの情報を用いて、実装作業時に撮像された部品の画像をディスプレイ４８に表示させることができる。さらに、各画像ファイルＦＬには実装作業情報も格納されているから、実装作業時の部品の画像と実装作業情報とをディスプレイ４８に表示させることができる。したがって、作業者は、実装検査装置３０などの実装作業の後工程において部品の実装不良が検出された場合に、実装作業時の画像から部品の吸着状態を確認することができるだけでなく、部品の実装に用いられたフィーダＩＤやヘッドＩＤ、ノズルＩＤを容易に特定して実装不良の原因調査を行うこともできる。また、管理装置４０に、実装検査装置３０における複数の部品の検査結果の情報と、画像ファイルＦＬの実装作業情報に含まれるフィーダＩＤやヘッドＩＤ、ノズルＩＤなどの情報との統計情報を作成させることで、各部品の実装不良とフィーダ２２やヘッド２３、ノズル２４との相関有無の調査などを行うこともできる。

ここで、本実施形態の構成要素と本開示の構成要素との対応関係を明らかにする。本実施形態の実装装置２０が作業装置に相当し、実装処理ルーチンのＳ１７０，Ｓ１９０，Ｓ２１０の処理を実行する実装制御装置２９がファイル作成部に相当し、実装処理ルーチンのＳ２００の処理を実行する実装制御装置２９がファイル名設定部に相当し、実装制御装置２９がファイル管理装置に相当する。また、基板作業システム１０が基板作業システムに相当し、ファイルサーバ５０がファイルサーバに相当する。

以上説明した本実施形態の実装制御装置２９では、実装装置２０において撮像された画像を格納した画像ファイルＦＬのファイル名として、その画像ファイルＦＬを一意に識別する識別情報を含むファイル名を設定する。このため、異なる画像を格納した画像ファイルＦＬのファイル名が重複するのを防止して、画像ファイルＦＬの上書きなどを防ぐことができるから画像ファイルＦＬを適切に管理させることができる。また、重複のおそれがないため、ファイルサーバ５０に記憶する画像の種類や枚数を増やしたり、画像の保存期間を長期化したりすることもできるから、作業時に撮像された画像の有効利用を図ることができる。

また、実装制御装置２９は、画像ファイルＦＬの作成に伴ってＵＵＩＤを生成し、そのＵＵＩＤをファイル名に設定するから、ファイル名が重複するのを長期に亘って確実に防止することができる。

また、実装制御装置２９は、実装作業情報を画像ファイルＦＬに格納するから、実装作業情報と画像とを容易にリンクさせて、実装不良の原因の調査などを行うことができる。

また、実装制御装置２９では、設定したファイル名を画像ファイルＦＬに格納するから、作業者などが誤ってファイル名を変更した場合でも、画像ファイルＦＬに格納されたファイル名から画像ファイルＦＬの一意性を保つことができる。

なお、本開示は上述した実施形態に何ら限定されることはなく、本開示の技術的範囲に属する限り種々の態様で実施し得ることはいうまでもない。

例えば、上述した実施形態では、画像ファイルの作成に伴って生成したＵＵＩＤをファイル名に設定するものとしたが、これに限られず、画像の撮像に伴って生成したＵＵＩＤをファイル名に設定するものなどとしてもよい。

上述した実施形態では、実装制御装置２９がＵＵＩＤを生成すると共に画像を格納した画像ファイルＦＬのファイル名にＵＵＩＤを設定するものとしたが、これに限られるものではない。例えば、実装制御装置２９はパーツカメラ２７により撮像された画像をファイルサーバ５０の記憶制御装置５２に送信し、その画像を受信した記憶制御装置５２がＵＵＩＤを生成すると共に画像を格納した画像ファイルのファイル名にＵＵＩＤを設定するものなどとしてもよい。あるいは、管理装置４０の管理制御装置４２がＵＵＩＤを生成すると共に画像ファイルのファイル名にＵＵＩＤを設定するものなどとしてもよい。

上述した実施形態では、実装装置２０が備えるパーツカメラ２７で撮像された画像を画像ファイルＦＬに格納するものを例示したが、これに限られず、例えば基板Ｓへの実装後にマークカメラ２６で撮像された画像を画像ファイルＦＬに格納するものなどとしてもよい。また、印刷装置１２や印刷検査装置１４、実装検査装置３０など、基板に対する作業を行う他の作業装置が備えるカメラで撮像された画像を画像ファイルに格納するものとしてもよい。そのようにする場合において、ＵＵＩＤをファイル名に設定するものとしてもよい。また、他の作業装置で行われた基板に対する所定作業（印刷作業や印刷検査作業、実装検査作業など）に関する作業情報を画像ファイルに格納するものなどとしてもよい。

上述した実施形態では、実装作業情報として生産ジョブの情報や実装可否の旨を示す情報を画像ファイルＦＬに格納するものとしたが、これに限られず、これら以外の情報を画像ファイルＦＬに格納するものなどとしてもよい。あるいは、実装作業情報を画像ファイルＦＬに格納しないものとしてもよい。

上述した実施形態では、設定したファイル名を画像ファイルＦＬに格納するものとしたが、これに限られず、ファイル名を画像ファイルＦＬに格納しないものとしてもよい。

上述した実施形態では、ＵＵＩＤそのものをファイル名に設定するものとしたが、これに限られず、ＵＵＩＤにさらに別の情報を加えたものをファイル名に設定するものとしてもよい。また、ＵＵＩＤをファイル名に設定するものに限られず、実装装置２０の識別情報と、画像の撮像日時または画像ファイルＦＬの作成日時に関する日時情報とを含むファイル名を設定するものなどとしてもよい。図７は変形例の画像ファイルＦＬの説明図である。変形例の画像ファイルＦＬは、図示するように、ファイル名として、実装装置２０毎に設定された装置ＩＤ（Ｄ＊＊＊＊＊＊）と、撮像日時またはファイル作成日時における年月日の情報（２０１８０１３０）と、時分秒の情報（１０１３４２＊＊＊）とを含むものが設定されている。なお、装置ＩＤは、基板作業システム１０において他の作業装置と識別可能なＩＤであればよくＭＡＣアドレスとしてもよい。また、時分秒の情報はミリ秒までの情報を例示するが、ＵＵＩＤと同様に１００ナノ秒までの情報などとしてもよい。あるいは、このような実装装置２０の識別情報と日時情報とを含む情報に限られず、画像ファイルＦＬを一意に識別する識別情報を含むファイル名を設定するものであればよい。

本開示のファイル管理装置において、前記ファイル名設定部は、前記作業装置の識別情報と、前記画像の撮像日時または前記ファイルの作成日時に関する日時情報とを含むファイル名を設定するものとしてもよい。こうすれば、ファイルを一意に識別する識別情報を含むファイル名を簡易な処理で設定することができる。また、複数の作業装置において同時期に撮像された画像のファイルであっても、ファイル名が重複するのを防止することができる。

本開示のファイル管理装置において、前記ファイル名設定部は、前記画像の撮像または前記ファイルの作成に伴ってＵＵＩＤ(Universally Unique Identifier)を生成し、該生成したＵＵＩＤを含むファイル名を設定するものとしてもよい。こうすれば、ファイル名が重複するのを長期に亘って防止することができる。

本開示のファイル管理装置において、前記ファイル作成部は、前記作業装置で行われた前記所定作業に関する作業情報を前記ファイルに格納するものとしてもよい。こうすれば、作業情報と画像とをリンクすることができるから、作業の内容と画像から把握される作業状態との関連の調査などを容易に行うことができる。

本開示のファイル管理装置において、前記ファイル作成部は、前記ファイル名設定部により設定されたファイル名を前記ファイルに格納するものとしてもよい。こうすれば、誤ってファイル名が変更された場合でも、ファイルに格納されたファイル名からファイルの一意性を保つことができる。

本開示の基板作業システムは、複数の前記作業装置により構成された基板作業システムであって、上述したいずれかのファイル管理装置と、異なる前記作業装置において撮像された前記画像をそれぞれ格納した前記ファイルを記憶可能な共用のファイルサーバと、を備えることを要旨とする。

本開示の基板作業システムは、上述したいずれかのファイル管理装置を備えるから、異なる作業装置において撮像された画像をそれぞれ格納したファイルを共用のファイルサーバに記憶しても、ファイル名が重複するのを防止して、ファイルが誤って上書きされることなどを防止することができる。したがって、ファイル名の重複を防止して画像ファイルを適切に管理することができる。

本開示は、基板の作業装置において撮像されたファイルの管理などに利用可能である。

１０基板作業システム、１２印刷装置、１４印刷検査装置、１８ＬＡＮ、２０実装装置、２１基板搬送装置、２２フィーダ、２３ヘッド、２４ノズル、２５ヘッド移動装置、２６マークカメラ、２７パーツカメラ、２８ノズルステーション、２９実装制御装置、３０実装検査装置、４０管理装置、４２管理制御装置、４４記憶部、４６入力デバイス、４８ディスプレイ、５０ファイルサーバ、５２記憶制御装置、５４記憶部、ＦＬ画像ファイル、Ｓ基板。

Claims

基板に対する所定作業を行う作業装置において撮像された画像のファイルを管理するファイル管理装置であって、
前記画像を格納したファイルを作成するファイル作成部と、
前記ファイルのファイル名として、当該ファイルを一意に識別する識別情報を含むファイル名を設定するファイル名設定部と、
を備えるファイル管理装置。
請求項１に記載のファイル管理装置であって、
前記ファイル名設定部は、前記作業装置の識別情報と、前記画像の撮像日時または前記ファイルの作成日時に関する日時情報とを含むファイル名を設定する
ファイル管理装置。
請求項１または２に記載のファイル管理装置であって、
前記ファイル名設定部は、前記画像の撮像または前記ファイルの作成に伴ってＵＵＩＤ(Universally Unique Identifier)を生成し、該生成したＵＵＩＤを含むファイル名を設定する
ファイル管理装置。
請求項１ないし３のいずれか１項に記載のファイル管理装置であって、
前記ファイル作成部は、前記作業装置で行われた前記所定作業に関する作業情報を前記ファイルに格納する
ファイル管理装置。
請求項１ないし４のいずれか１項に記載のファイル管理装置であって、
前記ファイル作成部は、前記ファイル名設定部により設定されたファイル名を前記ファイルに格納する
ファイル管理装置。
複数の前記作業装置により構成された基板作業システムであって、
請求項１ないし５のいずれか１項に記載のファイル管理装置と、
異なる前記作業装置において撮像された前記画像をそれぞれ格納した前記ファイルを記憶可能な共用のファイルサーバと、
を備える基板作業システム。