CN113108715A - 悬浮物的测量装置和气浮卡盘 - Google Patents

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CN113108715A CN202110396643.2A CN202110396643A CN113108715A CN 113108715 A CN113108715 A CN 113108715A CN 202110396643 A CN202110396643 A CN 202110396643A CN 113108715 A CN113108715 A CN 113108715A
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Abstract

本申请实施例提供了一种悬浮物的测量装置和气浮卡盘。该气浮卡盘包括悬浮部件，用于在悬浮部件的上表面形成气垫以使悬浮物悬浮，其中，气垫的上表面相对于水平面倾斜成预设角度以使悬浮物倾斜预设角度；至少一个阻挡部件，位于悬浮部件的侧边，用于阻挡悬浮物沿气垫的上表面的倾斜方向移动。本申请实施例能够使得悬浮物的位置固定，且能够避免悬浮物产生较大的应力而变形。

Description

悬浮物的测量装置和气浮卡盘
技术领域
本申请涉及卡盘结构设计的技术领域，具体涉及一种悬浮物的测量装置和气浮卡盘。
背景技术
物体如晶圆、薄膜等悬浮物在悬浮的过程中，极易沿任何方向随意移动，这使得悬浮物的位置漂移不定。通常采用夹子夹住悬浮物边缘以固定悬浮物的位置，然而，这种方式由于夹持悬浮物的夹持力较大，因而，悬浮物会产生较大的应力而发生形变。
发明内容
有鉴于此，本申请实施例致力于提供一种悬浮物的测量装置和气浮卡盘，以解决现有技术中固定悬浮物时悬浮物产生较大应力而变形的问题。
本申请的第一方面提供了一种气浮卡盘。该气浮卡盘包括：悬浮部件，用于在悬浮部件的上表面形成气垫以使悬浮物悬浮，其中，气垫的上表面相对于水平面倾斜成预设角度以使悬浮物倾斜预设角度；至少一个阻挡部件，位于悬浮部件的侧边，用于阻挡悬浮物沿气垫的上表面的倾斜方向移动。
在本申请一实施例中，至少一个阻挡部件包括第一阻挡部件，第一阻挡部件与悬浮物接触以形成至少一个阻挡点。
在本申请一实施例中，至少一个阻挡点包括第一阻挡点，倾斜方向对应的延长线通过第一阻挡点，延长线为悬浮物的对称轴。
在本申请一实施例中，至少一个阻挡点包括第二阻挡点和第三阻挡点，第二阻挡点和第三阻挡点关于倾斜方向对应的延长线对称，延长线为悬浮物的对称轴。
在本申请一实施例中，至少一个阻挡部件还包括第二阻挡部件，其中，第一阻挡部件和第二阻挡部件分别以与倾斜方向对应的延长线对称的方式设置在悬浮部件的侧边，延长线为悬浮物的对称轴。
在本申请一实施例中，第一阻挡部件和/或第二阻挡部件靠近悬浮物的表面为弧形。
在本申请一实施例中，第一阻挡部件和第二阻挡部件的结构为圆杆。
在本申请一实施例中，悬浮部件包括堆叠的卡盘层和气流层，其中，卡盘层和/或气流层倾斜预设角度以使悬浮物倾斜预设角度，卡盘层远离气流层的表面上设置有与气流层连接的多个压力喷嘴或者多个压力喷嘴和多个吸力喷嘴，用于形成气垫。
在本申请一实施例中，悬浮部件还包括设置在气流层远离卡盘层的表面下方的至少一个倾斜平台，至少一个倾斜平台用于使卡盘层和气流层倾斜预设角度。
在本申请一实施例中，悬浮部件包括堆叠的卡盘层和气流层，其中，气流层中气体产生的作用力沿倾斜方向变小以使气垫倾斜预设角度，气垫驱动悬浮物倾斜预设角度。
在本申请一实施例中，悬浮物包括晶圆。
本申请的第二方面提供一种悬浮物的测量装置。该悬浮物的测量装置包括如本申请的第一方面提供的任一种气浮卡盘；干涉仪，用于获取悬浮物的表面的干涉条纹图像，以基于干涉条纹图像对悬浮物进行形状测量和/或平整度测量，干涉仪设置为倾斜预设角度。
根据本申请实施例提供的技术方案，通过设置由悬浮部件所形成的气垫的上表面相对于水平面倾斜成预设角度，从而使得悬浮物悬浮在悬浮部件的上表面且相对于水平面倾斜预设角度，进而使得悬浮物的移动方向固定。另外，通过在悬浮部件的侧边设置至少一个阻挡部件，利用至少一个阻挡部件阻挡悬浮物沿上表面的倾斜方向移动，从而使得悬浮物的位置固定，且避免悬浮物产生较大应力而变形。
附图说明
图1A所示为本申请一实施例提供的一种气浮卡盘的断面示意图。
图1B所示为本申请另一实施例提供的一种气浮卡盘的断面示意图。
图1C和图1D所示为本申请又一实施例提供的一种气浮卡盘的断面示意图。
图2A和图2B所示为本申请一实施例提供的一种利用气浮卡盘固定悬浮物对应的示意图。
图3A-图3D所示为本申请另一实施例提供的一种利用气浮卡盘固定悬浮物对应的示意图。
图3E所示为本申请一实施例提供的悬浮部件的俯视示意图。
图4所示为本申请一实施例提供的一种悬浮物的测量装置的结构示意图。
具体实施方式
下面将结合本申请实施例中的附图，对本申请实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅是本申请一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本申请中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本申请保护的范围。
本申请说明书中使用的属于仅用来描述特定实施方式，并不意图显示本申请的概念。除非上下文中有明确不同的意义，否则，以单数形式使用的表达涵盖复数形式的表达，在本申请说明书中，应当理解，诸如“包括”、“具有”等术语意图说明存在本申请说明书中揭示的特征、数字、步骤、动作或其组合的可能性，而并不意图排除可存在或可添加一个或多个其他特征、数字、步骤、动作或其组合的可能性。本申请实施例中的“第一”、“第二”等仅仅是为了彼此之间相互区分，并不用于限定具有固定的顺序，也不用于限定具有固定的数量。
本申请实施例中提供了一种悬浮物的测量装置和气浮卡盘，以下分别进行详细说明。
图1A所示为本申请一实施例提供的一种气浮卡盘的断面示意图。该气浮卡盘100包括：悬浮部件110，用于在悬浮部件100的上表面形成气垫1以使悬浮物2悬浮，其中，气垫1的上表面S气垫相对于水平面S水平面倾斜成预设角度α以使悬浮物2倾斜预设角度α；至少一个阻挡部件120，位于悬浮部件110的侧边，用于阻挡悬浮物2沿气垫1的上表面S气垫的倾斜方向A移动。
应当理解，气浮卡盘100可以用于悬浮物的测量装置中，也可以用于悬浮物的制备装置中，还可以用于其他场景中，本申请对此不做具体限定。悬浮物例如可以为板状，也可以为圆柱状，还可以为其他形状，本申请对此不做具体限定。悬浮部件110的上表面可以为圆形，也可以是长方形或正方形等规则或不规则形状，本申请对此不做具体限定。气垫1的上表面S气垫相对于水平面S水平面倾斜成预设角度α可以通过设置悬浮部件110的上表面相对于水平面S水平面倾斜预设角度的方式来实现，也可以通过调整气体产生的作用力来实现，还可以通过其他方式来实现，本申请对此不做具体限定。气垫1可以由压力产生，也可以有压力和真空共同作用产生，还可以由其他方式产生，本申请对此不做具体限定。预设角度α的数值可以是0.01°、0.5°、3°、30°、55°等，本申请对此不做具体限定。
还应当理解，至少一个阻挡部件120可以固定安装在悬浮部件110的侧边，也可以可拆卸安装在悬浮部件110的侧边，还可以独立于悬浮部件110设置，在使用时将至少一个阻挡部件120放置在悬浮部件110的侧边固定位置处，只要能够阻挡悬浮物2沿气垫1的上表面的倾斜方向A移动即可，本申请对此不做具体限定。至少一个阻挡部件120可以与悬浮物2垂直设置，也可以与悬浮物2之间呈其他角度设置；至少一个阻挡部件120可以与悬浮部件110垂直设置，也可以与悬浮部件110之间呈其他角度，本申请对此不做具体限定。至少一个阻挡部件120的数量可以为一个、两个甚至更多个，本申请对此不做具体限定。至少一个阻挡部件120可以是圆杆，也可以是挡板，还可以是其他结构如挡块等，本申请对此不做具体限定。至少一个阻挡部件120与悬浮物2的接触方式可以为点接触，也可以为线接触或面接触等方式，本申请对此不做具体限定。至少一个阻挡部件120可以是固定的结构，也可以是可伸缩的结构，本申请对此不做具体限定。
根据本申请实施例的技术方案，通过设置气浮卡盘包括悬浮部件，由于利用悬浮部件能够在悬浮部件的上表面形成气垫，利用气垫使悬浮物悬浮，且气垫的上表面相对于水平面倾斜成预设角度，由于气垫与悬浮物相邻的表面摩擦力很小，从而使得悬浮物倾斜预设角度，进而使得悬浮物的移动方向固定，即悬浮物可以沿着与倾斜角度平行的倾斜方向移动。
另外，本申请实施例中通过设置气浮卡盘包括至少一个阻挡部件，至少一个阻挡部件位于悬浮部件的侧边且用于阻挡悬浮物沿气垫的上表面的倾斜方向移动，从而使得悬浮物的边缘靠在至少一个阻挡部件上即可实现阻止悬浮物的移动，且保证对悬浮物进行多次固定时悬浮物都能够处于同一位置。由于悬浮物的边缘靠在至少一个阻挡部件时，至少一个阻挡部件对悬浮物的阻力非常小，悬浮物产生的应力也会非常小，从而能够大大减小固定悬浮物时悬浮物所受的阻力，进而避免悬浮物产生较大应力而明显变形。
此外，当悬浮物的移动方向随机时，无法确定悬浮物碰到哪个方向上的阻挡点而停止移动，通常需要一个方向上的阻挡部件向悬浮物中心方向移动来保证悬浮物边缘每次都是固定三个方向上的阻挡部件接触，使得悬浮物在水平面上定位，这样的定位产生三个或更多个从边缘同时向悬浮物中心方向的作用力也会容易导致悬浮物变形。本申请实施例中由于悬浮物的倾斜方向固定，因而有利于利用较少的阻挡部件如一个或两个或者利用阻挡部件与悬浮物接触形成较少的阻挡点即可阻挡悬浮物的移动，从而实现对悬浮物的位置准确定位，且能够大大减小固定悬浮物时悬浮物所受的阻力，避免悬浮物产生较大的应力而变形。
在本申请一实施例中，悬浮物2包括晶圆。
应当理解，悬浮物2包括但不限于晶圆，也可以为薄膜或板材等，本申请对此不做具体限定。
本申请实施例中，通过设置悬浮物为晶圆，从而保证晶圆在悬浮时的位置固定，且能够减小晶圆所受的阻力，避免晶圆产生较大的应力而变形，进而有利于保持晶圆的原始形状。
图1B所示为本申请另一实施例提供的一种气浮卡盘的断面示意图。图1B所示实施例为图1A所示实施例的一个例子。在本申请一实施例中，悬浮部件110包括堆叠的卡盘层111和气流层112，其中，气流层112中气体产生的作用力F沿倾斜方向A变小以使气垫1倾斜预设角度α，气垫1驱动悬浮物2倾斜预设角度α。
举例来说，气流层112中气体产生的作用力F沿倾斜方向A依次包括F1、F2、F3、F4、F5、F6、F7和F8，其中F1>F2>F3>F4>F5>F6>F7>F8，从而气体产生的作用力F沿倾斜方向A变小，进而使得气垫1倾斜预设角度α，气垫1驱动悬浮物2倾斜预设角度α。
应当理解，气流层112中气体产生的作用力F可以是由压力产生的作用力，也可以是由压力和真空共同产生的作用力，本申请对此不做具体限定。
根据本申请实施例提供的技术方案，通过设置悬浮部件包括堆叠的卡盘层和气流层，气流层气体产生的作用力F沿倾斜方向变小，从而使得由卡盘层和气流层形成的气垫倾斜预设角度，利用气垫驱动悬浮物倾斜预设角度，进而有利于使悬浮物沿一个固定的方向移动，也有利于对悬浮物进行准确地定位。
图1C和图1D所示为本申请又一实施例提供的一种气浮卡盘的断面示意图。图1C-1D所示实施例为图1A所示实施例的一个例子。如图1C-1D所示，与图1A所示实施例的不同之处在于，悬浮部件110包括堆叠的卡盘层111和气流层112，其中，卡盘层111和/或气流层112倾斜预设角度α以使悬浮物2倾斜预设角度α，卡盘层111远离气流层112的表面上设置有与气流层112连接的多个压力喷嘴1121(如图1C所示)或者多个压力喷嘴1121和多个吸力喷嘴1122(如图1D所示)，用于形成气垫1。
在一些实施例中，卡盘层111倾斜预设角度α；在另一些实施例中，气流层112倾斜预设角度α；在又一些实施例中，卡盘层111和气流层112倾斜预设角度α，只要能够使悬浮物2倾斜预设角度α即可，本申请对此不做具体限定。
应当理解，悬浮部件110还可以包括支撑层3，支撑层3可以是层状的，也可以是柱状的，还可以是其他类型的结构，只要能够支撑卡盘层111和气流层112即可，支撑层3也可以称为基底层或底板层等，本申请对此不做具体限定。多个压力喷嘴1121和多个吸力喷嘴1122可以以任意方式排布，只要能够在悬浮部件110的上表面形成气垫即可，本申请对此不做具体限定。卡盘层111和气流层112沿堆叠的方向上的厚度可以相同或不同，本申请对此不做具体限定。
根据本申请实施例提供的技术方案，通过设置悬浮部件包括堆叠的卡盘层和气流层，卡盘层和/或气流层倾斜预设角度，从而使得由卡盘层和气流层形成的气垫的上表面相对于水平面倾斜成预设角度，进而利用该气垫使得悬浮物倾斜预设角度。另外，通过在卡盘层远离气流层的表面上设置与气流层连接的多个压力喷嘴或者多个压力喷嘴和多个吸力喷嘴，从而利用由多个压力喷嘴喷出的气体的作用力形成气垫，或者利用由多个压力喷嘴喷出的气体和多个吸力喷嘴吸入气体的共同作用力形成气垫，进行利用气垫使得悬浮物悬浮在卡盘层的顶部表面上方。
在本申请一实施例中，悬浮部件110包括设置在气流层112远离卡盘层111的表面下方的至少一个倾斜平台113，至少一个倾斜平台113用于使卡盘层111和气流层112倾斜预设角度α。(参考图1D)
应当理解，至少一个倾斜平台113的倾斜角度可以是固定的，也可以是可调节的，只要能够使卡盘层111和气流层112倾斜预设角度α即可，本申请对此不做具体限定。至少一个倾斜平台113的数量可以为一个、两个或者更多个，本申请对此不做具体限定。支撑层3除起到支撑的作用外，也可以起到与至少一个倾斜平台113相同的作用；至少一个倾斜平台113除起到倾斜的作用外，也可以起到与支撑层3相同的作用；悬浮部件110中可以仅设置支撑层3或者至少一个倾斜平台113，也可以同时设置支撑层3和至少一个倾斜平台113，本申请对此不做具体限定。
本申请实施例中，通过在气流层远离卡盘层的表面下方设置至少一个倾斜平台，从而利用至少一个倾斜平台使得卡盘层和气流层倾斜预设角度，进而使得由卡盘层和气流层形成的气垫的上表面相对于水平面倾斜成预设角度，再利用该气垫使得悬浮物倾斜预设角度。当至少一个倾斜平台设置为可调节时，可以增加调整预设角度的灵活性，也可以用于调整气垫的倾斜方向，避免由于如搬迁或者水平面不够平整等原因造成的倾斜方向或预设角度发生变化。
图2A和图2B所示为本申请一实施例提供的一种利用气浮卡盘固定悬浮物对应的示意图。图2A和图2B所示实施例为图1A-1D所示实施例的一个例子。如图2A或图2B所示，至少一个阻挡部件120包括第一阻挡部件121，第一阻挡部件121与悬浮物2接触以形成至少一个阻挡点10。
应当理解，至少一个阻挡点10的数量可以为一个、两个甚至更多个，本申请对此不做具体限定。第一阻挡部件121的横截面(即沿水平面平行的平面对第一阻挡部件121切割后的平面)可以为圆形，也可以为弧形，还可以为弯折形等规则或不规则形状，本申请对此不做具体限定。
根据本申请实施例提供的技术方案，通过设置至少一个阻挡部件包括第一阻挡部件，第一阻挡部件与悬浮物接触以形成至少一个阻挡点，从而利用第一阻挡部件阻挡悬浮物沿气垫的上表面的倾斜方向移动，由于阻挡部件较少，因而能够大大减小固定悬浮物时对悬浮物的阻力，使悬浮物产生的应力较小甚至几乎为零，有利于保持悬浮物的原始形状。
在本申请一实施例中，至少一个阻挡点10包括第一阻挡点11，倾斜方向A对应的延长线A’通过第一阻挡点11，其中，延长线A’为悬浮物2的对称轴(如图2A所示)。
本申请实施例中，通过设置至少一个阻挡点包括第一阻挡点，由于倾斜方向对应的延长线通过第一阻挡点，延长线为悬浮物的对称轴，从而利用第一阻挡点即可实现阻挡悬浮物的移动。另外，由于第一阻挡点所产生的阻力很小，从而大大减小固定悬浮物时悬浮物产生的应力，进而使得悬浮物的变形非常小，可以忽略不计，有利于保持悬浮物的原始形状，使得悬浮物能够无应力且稳定悬浮。
在本申请一实施例中，至少一个阻挡点10包括第二阻挡点12和第三阻挡点13，第二阻挡点12和第三阻挡点13关于倾斜方向A对应的延长线A’对称，延长线A’为悬浮物2的对称轴(如图2B所示)。
应当理解，第一阻挡部件121与悬浮物2接触形成两个阻挡点，即第二阻挡点12和第三阻挡点13，第一阻挡部件121的横截面可以是圆弧形、V形或者W形等规则或不规则图形，只要与悬浮物2接触形成两个阻挡点即可，本申请对此不做具体限定。第二阻挡点12和第三阻挡点13分别与悬浮物2的中心(或圆心)的两个连线的夹角β的范围可以在0-180°之间，本申请对此不做具体限定。
本申请实施例中，通过设置至少一个阻挡点包括第二阻挡点和第三阻挡点，一方面，由于第二阻挡点和第三阻挡点均位于第一阻挡部件上，从而增加了第一阻挡部件的稳定性，也增加了第二阻挡点和第三阻挡点的位置的稳定性，另一方面，由于通过第二阻挡点和第三阻挡点同时对悬浮物进行阻挡，从而利用第二阻挡点和第三阻挡点更加精准地固定悬浮物的位置，使得悬浮物在固定后不易向任何方向移动。另外，通过设置第二阻挡点和第三阻挡点关于倾斜方向对应的延长线对称，延长线为悬浮物的对称轴，从而使得第二阻挡点和第三阻挡点对悬浮物产生的阻力关于延长线对称，有利于悬浮物在与延长线垂直的方向上受力均匀。并且，由于第二阻挡点和第三阻挡点所产生的阻力很小，从而使得悬浮物的变形非常小，可以忽略不计，有效避免悬浮物产生较大的应力而变形，有利于保持悬浮物的原始形状，进而使得悬浮物能够无应力且稳定悬浮。
图3A-图3D所示为本申请另一实施例提供的一种利用气浮卡盘固定悬浮物对应的示意图。图3A-图3D所示实施例为图1A所示实施例的一个例子。如图3A-3D所示，至少一个阻挡部件120包括第一阻挡部件121和第二阻挡部件122，其中，第一阻挡部件121和第二阻挡部件122分别以与倾斜方向A对应的延长线A’对称的方式设置在悬浮部件的侧边，延长线A’为悬浮物2的对称轴。
应当理解，第一阻挡部件121和第二阻挡部件122可以是相互连接的，也可以是不连接的，本申请对此不做具体限定。第一阻挡部件121和第二阻挡部件122的结构可以相同或不同，如当第一阻挡部件121的结构为挡板时，第二阻挡部件122的结构可以为挡板(如图3A所示)，也可以为圆杆(如图3B所示)，还可以为其他结构，本申请对此不做具体限定。第一阻挡部件121和第二阻挡部件122可以嵌入到悬浮部件中，也可以独立于悬浮部件设置，本申请对此不做具体限定。
根据本申请实施例提供的技术方案，通过至少一个阻挡部件包括第一阻挡部件和第二阻挡部件，且第一阻挡部件和第二阻挡部件分别以与倾斜方向对应的延长线对称的方式设置在悬浮部件的侧边，延长线为悬浮物的对称轴，从而利用第一阻挡部件和第二阻挡部件对悬浮物进行阻挡，且更加精准地固定悬浮物的位置，使得悬浮物在固定后不易向任何方向移动。通过设置第一阻挡部件和第二阻挡部件关于倾斜方向对应的延长线对称，延长线为悬浮物的对称轴，从而使得第一阻挡部件和第二阻挡部件对悬浮物产生的阻力关于延长线对称，有利于悬浮物在与延长线垂直的方向上受力均匀。并且，由于第一阻挡部件和第二阻挡部件所产生的阻力很小，从而使得悬浮物的变形非常小，可以忽略不计，有效避免悬浮物产生较大的应力而变形，有利于保持悬浮物的原始形状，进而使得悬浮物能够无应力且稳定悬浮。
在本申请一实施例中，第一阻挡部件121和/或第二阻挡部件122靠近悬浮物2的表面为弧形(如图3B-3D所示)。
应当理解，第一阻挡部件121和/或第二阻挡部件122的横截面(即沿水平面平行的平面对第一阻挡部件121或第二阻挡部件122切割后的平面)可以为圆形(如图3B和图3D所示)，也可以为扇形(如图3C所示)，还可以为椭圆形(如图3C所示)、半圆形或者月牙形等，只要能够使第一阻挡部件121和第二阻挡部件122中的任何一个或多个的靠近悬浮物2的表面为弧形即可，本申请对此不做具体限定。
本申请实施例中，通过设置第一阻挡部件和/或第二阻挡部件靠近悬浮物的表面为弧形，弧形的表面可以保证第一阻挡部件和/或第二阻挡部件与悬浮物接触时为点接触，由于点接触所产生的阻力远远小于线接触或面接触等方式所产生的阻力，从而使得第一阻挡部件和/或第二阻挡部件对悬浮物的阻力大大减小，进而大大减小了悬浮物产生的应力，有利于保持悬浮物的原始形状，使得悬浮物能够无应力且稳定悬浮。
在本申请一实施例中，第一阻挡部件121和第二阻挡部件122的结构为圆杆(如图3D所示)。
应当理解，圆杆的形状可以为圆柱状，也可以为圆锥状，还可以为圆台状等，只要第一阻挡部件121和第二阻挡部件122与悬浮物2接触的表面的横截面为圆形即可，本申请对此不做具体限定。
本申请实施例中，通过设置第一阻挡部件和第二阻挡部件的结构为圆杆，从而使得第一阻挡部件和第二阻挡部件与悬浮物接触的表面均为弧形，保证了悬浮物沿倾斜方向移动时，能够与第一阻挡部件和第二阻挡部件相互接触且形成两个阻挡点，有效防止悬浮物的旋转并精准定位悬浮物的位置。并且由于通过点接触的方式阻挡悬浮物移动且阻挡点的数量较少，因而使得第一阻挡部件和第二阻挡部件对悬浮物的阻力大大减小，同时大大减小了悬浮物产生的应力，有利于保持悬浮物的原始形状，使得悬浮物能够无应力且稳定悬浮。
图3E所示为本申请一实施例提供的一种悬浮部件的俯视示意图。图3E所示为图3D所示实施例对应的悬浮部件的俯视示意图。图3E所示实施例仅仅为一种示例性的实施例，本申请对此不做具体限定。如图3E所示，悬浮部件110的侧边设置有与第一阻挡部件121和第二阻挡部件122对应的第一凹槽310和第二凹槽320，第一阻挡部件121和第二阻挡部件122可以以插入或卡扣等方式分别固定在第一凹槽310和第二凹槽320中。
应当理解，悬浮部件110的表面设置有多个喷嘴，多个喷嘴可以为多个压力喷嘴，也可以为多个压力喷嘴和多个真空喷嘴，本申请对此不做具体限定。
图4所示为本申请一实施例提供的一种悬浮物的测量装置的结构示意图。该悬浮物的测量装置400包括如本申请的第一方面提供的任一种气浮卡盘410；干涉仪420，用于获取悬浮物的表面的干涉条纹图像，以基于干涉条纹图像对悬浮物进行形状测量和/或平整度测量，干涉仪420设置为倾斜预设角度，所述干涉仪420的倾斜方向与气垫的倾斜方向一致。
应当理解，气浮卡盘410可以为上述图1A-图3E实施例中描述的任何一种气浮卡盘，也可以是基于图1A-图3E实施例中描述的任何一种气浮卡盘进行等同替换或明显变型后的气浮卡盘，本申请对此不做具体限定。干涉仪420可以为菲索干涉仪、迈克尔逊干涉仪或剪切干涉仪等，只要能够获取悬浮物的表面的干涉条纹图像即可，本申请对此不做具体限定。干涉仪420除了能够用于测量悬浮物的形状和/或平整度以外，还可以用于测量悬浮物的翘曲度和/或厚度等几何参数，本申请对此不做具体限定。悬浮物的表面可以是悬浮物的上表面，也可以是悬浮物的下表面，本申请对此不做具体限定。
根据本申请实施例提供的技术方案，通过采用上述实施例中的气浮卡盘，从而保证对悬浮物进行多次固定时悬浮物都能够处于同一位置，提高悬浮物的测量重复度，同时能够大大减小固定悬浮物时悬浮物所受的阻力，进而避免悬浮物产生较大应力而明显变形，提高了利用干涉仪测量悬浮物的形状和/或平整度的准确度。另外，通过将干涉仪设置为倾斜预设角度，从而使得干涉仪中的光束与悬浮物的表面垂直，进而利用干涉仪精准地获取悬浮物的表面的干涉条纹图像，且基于干涉条纹图像精准地对悬浮物进行形状测量和/或平整度测量。
需要说明的是，本申请实施例中各技术特征的组合方式并不限本申请实施例中所记载的组合方式或是具体实施例所记载的组合方式，本申请所记载的所有技术特征可以以任何方式进行自由组合或结合，除非相互之间产生矛盾。
以上所述仅为本申请的较佳实施例而已，并不用以限制本申请，凡在本申请的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换等，均应包含在本申请的保护范围之内。

Claims (12)

1.一种气浮卡盘，其特征在于，包括：
悬浮部件，用于在所述悬浮部件的上表面形成气垫以使悬浮物悬浮，其中，所述气垫的上表面相对于水平面倾斜成预设角度以使所述悬浮物倾斜所述预设角度；
至少一个阻挡部件，位于所述悬浮部件的侧边，用于阻挡所述悬浮物沿所述气垫的上表面的倾斜方向移动。
2.根据权利要求1所述的气浮卡盘，其特征在于，所述至少一个阻挡部件包括第一阻挡部件，所述第一阻挡部件与所述悬浮物接触以形成至少一个阻挡点。
3.根据权利要求2所述的气浮卡盘，其特征在于，所述至少一个阻挡点包括第一阻挡点，所述倾斜方向对应的延长线通过所述第一阻挡点，其中，所述延长线为所述悬浮物的对称轴。
4.根据权利要求2所述的气浮卡盘，其特征在于，所述至少一个阻挡点包括第二阻挡点和第三阻挡点，所述第二阻挡点和所述第三阻挡点关于所述倾斜方向对应的延长线对称，所述延长线为所述悬浮物的对称轴。
5.根据权利要求2所述的气浮卡盘，其特征在于，所述至少一个阻挡部件还包括第二阻挡部件，其中，所述第一阻挡部件和所述第二阻挡部件分别以与所述倾斜方向对应的延长线对称的方式设置在所述悬浮部件的侧边，所述延长线为所述悬浮物的对称轴。
6.根据权利要求5所述的气浮卡盘，其特征在于，所述第一阻挡部件和/或所述第二阻挡部件靠近所述悬浮物的表面为弧形。
7.根据权利要求6所述的气浮卡盘，其特征在于，所述第一阻挡部件和所述第二阻挡部件的结构为圆杆。
8.根据权利要求1所述的气浮卡盘，其特征在于，所述悬浮部件包括堆叠的卡盘层和气流层，其中，所述卡盘层和/或所述气流层倾斜所述预设角度以使所述悬浮物倾斜所述预设角度，所述卡盘层远离所述气流层的表面上设置有与所述气流层连接的多个压力喷嘴或者所述多个压力喷嘴和多个吸力喷嘴，用于形成所述气垫。
9.根据权利要求8所述的气浮卡盘，其特征在于，所述悬浮部件还包括设置在所述气流层远离所述卡盘层的表面下方的至少一个倾斜平台，所述至少一个倾斜平台用于使所述卡盘层和所述气流层倾斜所述预设角度。
10.根据权利要求1所述的气浮卡盘，其特征在于，所述悬浮部件包括堆叠的卡盘层和气流层，其中，所述气流层中气体产生的作用力沿所述倾斜方向变小以使所述气垫倾斜所述预设角度，所述气垫驱动所述悬浮物倾斜所述预设角度。
11.根据权利要求1-10中任一项所述的气浮卡盘，其特征在于，所述悬浮物包括晶圆。
12.一种悬浮物的测量装置，其特征在于，包括：
如权利要求1-11中任一项所述的气浮卡盘；
干涉仪，用于获取悬浮物的表面的干涉条纹图像，以基于所述干涉条纹图像对所述悬浮物进行形状测量和/或平整度测量，所述干涉仪设置为倾斜预设角度。
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