KR20090118630A - 리프트 핀 구조체 및 이를 구비하는 기판 처리 장치 - Google Patents

리프트 핀 구조체 및 이를 구비하는 기판 처리 장치 Download PDF

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KR20090118630A
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Abstract

본 발명은 리프트 핀 구조체 및 이를 구비하는 기판 처리 장치에 관한 것이다. 리프트 핀 구조체는 기판과 접촉되는 상부 핀과, 상부 핀의 하단부와 결합되는 하부 핀 및, 상부 핀과 하부 핀 사이에 제공되어, 안착된 기판의 하중을 감소시키는 완충부재를 포함한다. 이러한 리프트 핀 구조체를 구비하는 기판 처리 장치는 기판을 상하로 이동할 때, 리프트 핀에 안착되는 기판의 하중을 감소시켜서 기판의 손상을 방지할 수 있으며, 기판의 얼룩을 최소화할 수 있다.
기판 처리 장치, 리프트 핀, 기판 하중, 완충부재

Description

리프트 핀 구조체 및 이를 구비하는 기판 처리 장치{LIFT PIN STRUCTURE AND SUBSTRATE TREATING APPARATUS WITH IT}
본 발명은 기판 처리 장치에 관한 것으로, 좀 더 구체적으로 대형의 기판을 업, 다운할 때, 기판의 하중을 감소시켜서 기판의 손상을 방지하는 리프트 핀 구조체 및 이를 구비하는 기판 처리 장치에 관한 것이다.
기판 처리 장치 예를 들어, 슬릿 코터(slit coater)는 대형 기판 예를 들어, 글래스(glass) 기판 상에 약액을 코팅한다. 즉, 슬릿 코터는 기판 상에 일정량의 포토레지스트(photo resist) 액을 토출하여 도포시킴으로써 균일한 두께의 막을 형성한다.
도 1을 참조하면, 이러한 슬릿 코터(10)는 기판(2)이 안착되는 플래이트(또는 스테이지)(4)와, 기판(2)을 지지하는 복수 개의 리프트 핀(8)들과, 리프트 핀(8)들이 플래이트(4)를 관통하여 상하로 이동되도록 리프트 핀(8)들을 연결하는 연결부재(12) 및, 연결부재(12)를 상하로 이동(UP/DOWN)시키는 구동부(14)를 구비한다.
플래이트(4)는 복수 개의 리프트 핀(8)이 관통되어 업다운되도록 일정 간격 으로 형성된 복수 개의 핀 홀(6)들이 제공된다. 또 플래이트(4)는 상부의 공기를 진공 흡입하여 기판(2)을 상부 표면에 흡착시키는 복수 개의 진공 홀(미도시됨)이 형성된다. 핀 홀(6)들과 진공 홀들은 상호 일정 간격을 유지하면서 배열된다. 또 진공 홀들은 플래이트(4) 내부에 형성된 글루브 라인(groove line)(미도시됨)들에 의해 상호 연결된다.
리프트 핀(8)들은 플래이트(4) 가장자리 부분과 중앙 부분이 서로 다른 높이를 유지하여 기판(2)을 지지한다. 이는 기판(2)이 대형화됨에 따라 리프트 핀(8)이 다운될 때, 기판(2)과 플래이트(4) 사이에 기류가 형성되는 것을 방지하기 위해, 기판(2)의 중앙 부분부터 플래이트(4)에 안착되고, 순차적으로 기판(2)의 가장자리 부분이 플래이트(4)에 안착되도록 하여 기판(2)과 플래이트(4) 사이의 공기 배출이 용이하도록 리프트 핀(8)들을 단차(도 3의 D)를 둔다.
연결부재(12)는 예를 들어, 플래이트(4) 하부에서 리프트 핀(8)들의 하단부와 연결되는 플래이트 형상으로 구비되어, 구동부(14)에 의해 상하로 이동된다.
그리고 구동부(14)는 슬릿 코더(10)의 제반 동작을 제어하는 제어부(미도시됨)의 제어를 받아서 기판(2)이 플래이트(4)에 로딩되면, 기판(2)을 지지하도록 연결부재(12)를 이동(UP/DOWN)시킨다.
구체적으로 도 2를 참조하면, 리프트 핀(8)은 플래이트(4)에 관통된 핀 홀(6)에 설치되어 기판(2)을 지지하도록 플래이트(4) 상부 또는 내부로 업다운되는 상부 핀(8a)과, 핀 홀(6) 내부에 설치되어 상단이 상부 핀(8a)과 결합되고, 하단이 연결부재(12)와 결합되는 하부 핀(8b)을 포함한다. 이러한 2 단의 리프트 핀(8)은 종래의 일체형 리프트 핀에 비하여 유지 보수 시, 상부 핀(8a) 만을 교체할 수 있어 매우 편리하다.
그리고 상부 핀(8a)과 하부 핀(8b)은 서로 다른 직경을 갖는다. 예컨대, 상부 핀(8a)은 하부 핀(8b)보다 작은 직경을 갖는다. 이를 위해 핀 홀(6)은 상부 핀(8a)이 업다운되는 플래이트(4) 상부의 관통된 직경이 하부 핀(8b)이 업다운되는 플래이트(4) 내부의 관통된 직경보다 작게 제공된다. 즉, 핀 홀(6)은 상부 관통홀(6a)과 하부 관통홀(6b)이 서로 다른 직경을 갖으며, 내부에 리프트 핀(8)이 상하로 이동시, 하부 핀(8b)이 걸리도록 걸림턱(6c)이 형성된다.
또 상부 관통홀(6a) 및 하부 관통홀(6b) 측벽에는 상부 핀(8a) 및 하부 핀(8b)이 용이하게 업다운되도록 가이드하는 가이드용 하우징(16, 18)들이 설치된다. 이러한 하우징(16, 18)은 핀 홀(6) 내부에서 리프트 핀(8)이 업다운될 때 유격이 발생되는 것을 방지하고, 용이하게 업다운되도록 윤할 기능을 한다.
이러한 기판 처리 장치(10)는 로봇암(미도시됨)으로 기판(2)을 플래이트(4) 상부로 이송하면, 리프트 핀(8)들을 업 이동하여 기판(2)을 지지한다. 이어서 기판 처리 장치(10)는 로봇암이 플래이트(4) 상부로부터 이탈되고 리프트 핀(8)들을 다운 이동하여 플래이트(4)에 기판(2)을 안착시킨다. 이어서 기판 처리 장치(10)는 플래이트(4) 상부면에 진공 홀 및 글루브 라인들을 통해 기판(2)을 고정시켜서 포토레지스트 액을 도포한다. 이 후, 도포가 완료되면, 다시 역순으로 리프트 핀(8)들을 업다운하여 로봇암을 이용하여 기판(2)을 이송한다.
그러나 이러한 기판 처리 장치(10)는 로봇암으로부터 리프트 핀(8)들로 기판(2)을 인계할 때 또는 진공 척킹 시, 리프트 핀(8)들과 접촉하는 기판(2)의 지지면 일부에 하중이 집중적으로 발생되어 기판(2)이 손상될 우려가 크다. 예컨대, 도 3에 도시된 바와 같이, 플래이트(4)의 가장자리로부터 중앙 부분으로 갈수록 리프트 핀(8)들의 단차(D)로 인하여 기판(2)이 휘어지게 되고, 그로 인해 해당 리프트 핀과 접촉되는 부위(A)에 하중이 집중되는 현상이 발생된다. 또 리프트 핀(8)의 높이에 따른 설정값을 정확하게 설정해야 하므로 여유폭이 없어서, 많은 설정 시간이 소요되며, 기판(2)에 얼룩(mura)이 발생될 위험이 크다.
본 발명의 목적은 기판 손상을 방지하기 위하여, 기판의 하중을 완충시키는 리프트 핀 구조체를 제공하는 것이다.
본 발명의 다른 목적은 기판의 하중을 감소시키는 복수 개의 리프트 핀 구조체를 구비하여 기판의 하중을 분산하는 기판 처리 장치를 제공하는 것이다.
상기 목적들을 달성하기 위한, 본 발명의 리프트 핀 구조체는 기판의 하중을 완충시키는 완충부재를 구비하는데 그 한 특징이 있다. 이와 같이 리프트 핀 구조체는 리프트 핀에 안착되는 기판의 하중을 감소시켜서 기판의 손상을 방지할 수 있다.
본 발명의 리프트 핀 구조체는, 기판과 접촉하여 상기 기판을 지지하는 상부 핀과; 상기 상부 핀의 하단부와 결합되는 하부 핀 및; 상기 상부 핀과 상기 하부 핀 사이에 제공되어, 상기 기판이 상기 상부 핀에 안착되면, 상기 기판의 하중을 감소시키는 완충부재를 포함한다.
한 실시예에 있어서, 상기 상부 핀은; 몸체와, 상기 몸체의 상부에 배치되어 기판과 접촉하는 지지부 및, 상기 몸체의 하부에 제공되어, 상기 완충부재와 결합되는 결합부를 포함한다.
다른 실시예에 있어서, 상기 완충부재는 스프링 장치 또는 공압 완충 장치로 구비된다.
또 다른 실시예에 있어서, 상기 하부 핀은 상단에 상기 상부 핀이 설치되는 체결홈을 구비하되; 상기 완충부재는 상기 기판의 하중에 의해 상기 상부 핀이 상하로 이동되도록 상기 체결홈 내부에 설치된다.
본 발명의 다른 특징에 의하면, 복수 개의 리프트 핀 구조체를 구비하는 기판 처리 장치가 제공된다. 이와 같은 본 발명의 기판 처리 장치는 기판 안착시, 리프트 핀들 각각에 제공되는 완충부재들에 의해 기판의 하중이 기판 전체로 균등하게 분산되어 기판이 완만한 곡선으로 안착 가능하다.
본 발명의 기판 처리 장치는, 기판이 안착되고, 내부에 관통되는 복수 개의 핀 홀들을 구비하는 플래이트와; 상기 핀 홀들 각각 설치되어 상기 기판을 지지하고, 지지된 상기 기판의 하중을 감소시켜서 상기 기판의 하중을 분산하는 복수 개의 리프트 핀 구조체와; 상기 리프트 핀 구조체들을 연결하는 연결부재 및; 상기 연결부재를 구동하여 상기 리프트 핀 구조체를 상하로 이동시키는 구동부를 포함한다.
한 실시예에 있어서, 상기 리프트 핀 구조체는; 상기 기판과 접촉하여 상기 기판을 지지하는 상부 핀과; 상기 상부 핀의 하단부와 결합되는 하부 핀 및; 상기 상부 핀과 상기 하부 핀 사이에 제공되어, 상기 기판이 상기 상부 핀에 안착되면, 상기 기판의 하중을 감소시키는 완충부재를 포함한다.
다른 실시예에 있어서, 상기 하부 핀은 상단에 상기 상부 핀이 설치되는 체결홈을 구비하되; 상기 완충부재는 상기 기판의 하중에 의해 상기 상부 핀이 상하로 이동되도록 상기 체결홈 내부에 설치된다.
또 다른 실시예에 있어서, 상기 완충부재는 스프링 장치 또는 공압 완충 장치로 구비된다.
상술한 바와 같이, 본 발명의 리프트 핀 구조체 및 이를 구비하는 기판 처리 장치는 복수 개의 리프트 핀 각각의 하부에 완충부재를 구비하여 안착되는 기판의 하중을 감소시킴으로써, 기판의 손상을 방지할 수 있다.
따라서 완충부재에 의한 리프트 핀의 높이를 설정하는 값을 여유롭게 설정 가능하고, 이로 인해 리프트 핀이 접촉하는 기판의 하부면에 얼룩이 발생되는 것을 방지할 수 있다.
본 발명의 실시예는 여러 가지 형태로 변형될 수 있으며, 본 발명의 범위가 아래에서 서술하는 실시예로 인해 한정되어지는 것으로 해석되어서는 안된다. 본 실시예는 당업계에서 평균적인 지식을 가진 자에게 본 발명을 보다 완전하게 설명하기 위해서 제공되는 것이다. 따라서 도면에서의 구성 요소의 형상 등은 보다 명확한 설명을 강조하기 위해서 과장되어진 것이다.
이하 첨부된 도 4 내지 도 7을 참조하여 본 발명의 실시예들을 상세히 설명한다.
도 4는 본 발명에 따른 기판 처리 장치의 구성을 도시한 도면이다.
도 4를 참조하면, 기판 처리 장치(100)는 예를 들어, 대형의 글래스 기판(102)에 포토레지스트 액을 도포하는 슬릿 코터(slit coater)나, 이송 로봇에 의 해 기판(102)을 플래이트(104)로 로딩 가능한 건조 장치(Vacuum Dryer : VCD), 베이크(bake) 장치 등을 포함한다. 기판 처리 장치(100)는 리프트 핀(110)들에 의해 기판(102)이 지지될 때, 기판(102)의 하중을 감소시키는 복수 개의 완충부재(120)를 구비한다. 본 발명의 기판 처리 장치(100)는 복수 개의 리프트 핀(110) 각각에 제공되는 복수 개의 완충부재(120)에 의해 기판(102)의 하중을 기판(102) 전체로 균등하게 분산시킴으로써, 리프트 핀(110)들과 접촉되는 부위에서 기판(102)의 손상을 방지할 수 있다.
또 기판 처리 장치(100)는 기판(102)이 안착되는 플래이트(또는 스테이지)(104)와, 기판(102)을 지지하는 복수 개의 리프트 핀(110)들과, 리프트 핀(110)들이 플래이트(104)를 관통하여 상하로 이동되도록 리프트 핀(110)들을 연결하는 연결부재(108) 및, 연결부재(108)를 상하로 이동(UP/DOWN)시키는 구동부(130)를 포함한다.
플래이트(104)는 예컨대, 석정반 등으로 구비되며, 복수 개의 리프트 핀(110)이 관통되어 업다운되도록 균등하게 배치되는 복수 개의 핀 홀(106)들이 제공된다. 또 플래이트(104)는 상부의 공기를 진공 흡입하여 기판(102)을 상부 표면에 흡착시키는 복수 개의 진공 홀(미도시됨)이 형성된다. 핀 홀(106)들과 진공 홀들은 상호 일정 간격을 유지하면서 배열된다. 또 진공 홀들은 플래이트(104) 내부에 형성된 글루브 라인(groove line)(미도시됨)들에 의해 상호 연결된다.
또 핀 홀(106)은 측벽에 리프트 핀(110)이 용이하게 업다운되도록 가이드하는 복수 개의 가이드용 하우징(미도시됨)들이 설치된다. 이러한 가이드용 하우징은 핀 홀(106) 내부에서 리프트 핀(110)이 업다운될 때 유격이 발생되는 것을 방지하고, 용이하게 업다운되도록 윤할 기능을 한다.
리프트 핀(110)들은 플래이트(104) 가장자리 부분과 중앙 부분이 서로 다른 높이를 유지하여 기판(2)을 지지한다. 이는 기판(102)이 대형화됨에 따라 리프트 핀(110)이 다운될 때, 기판(102)과 플래이트(104) 사이에 기류가 형성되는 것을 방지하기 위해, 기판(102)의 중앙 부분부터 가장자리 부분으로 플래이트(104)에 순차적으로 안착되도록 하여 기판(102)과 플래이트(104) 사이의 공기 배출이 용이하도록 리프트 핀(110)들을 단차를 둔다. 따라서 리프트 핀(110)들은 높이 조절을 위한 시간 등의 설정값에 의해 플래이트(104)의 가장자리 부분과 중앙 부분이 서로 다른 높이로 조절된다.
또 리프트 핀(110)들은 각각 상부 핀(114)과 하부 핀(112)이 분리되고, 그 사이에 완충부재(120)가 설치된다. 상부 핀(114) 및 하부 핀(112)은 서로 다른 직경을 갖는다. 예컨대, 상부 핀(114)은 하부 핀(112)보다 작은 직경을 갖는다. 이를 위해 핀 홀(106)은 상부 핀(114)이 업다운되는 플래이트(104) 상부의 관통된 직경이 하부 핀(112)이 업다운되는 플래이트(104) 내부의 관통된 직경보다 작게 제공되고, 내부에 리프트 핀(110)이 상하로 이동시, 상부 핀(114) 및 하부 핀(112)이 핀 홀(106)로부터 이탈되는 것을 방지하도록 구비된다.
연결부재(108)는 예를 들어, 플래이트(104) 하부에서 리프트 핀(110)들의 하부 핀(112)들와 연결되는 플래이트 형상으로 구비되어, 구동부(130)에 의해 상하로 이동된다.
구동부(130)는 기판 처리 장치(100)의 제반 동작을 제어하는 제어부(미도시됨)의 제어를 받아서 기판(102)을 플래이트(104)에 로딩 및 언로딩하기 위하여, 리프트 핀(110)들이 기판(102)을 지지하도록 연결부재(108)를 상하 이동(UP/DOWN)시킨다. 따라서 연결부재(108)는 구동부(130)의 업다운 구동(UP/DOWN)에 의해 리프트 핀(110)들을 업/다운시킨다.
그리고 완충부재(120)는 예를 들어, 스프링 장치 또는 공기, 유체 등의 압력을 이용하는 공압 완충 장치 등으로 구비되어, 상부 핀(114)에 안착되는 기판(102)의 하중을 완충시킨다.
본 발명의 리프트 핀(110)은 상부 핀(114) 및 하부 핀(112) 사이에 완충부재(120)를 제공하여 기판 안착 시, 상부 핀(114)이 완충되어 기판(102)의 하중을 감소시킨다. 따라서 복수 개의 리프트 핀(110)을 구비하는 기판 처리 장치(100)는 기판(102) 안착시, 리프트 핀(110)들 각각에 제공되는 완충부재(120)들에 의해 기판(102)의 하중이 기판(102) 전체로 균등하게 분산되어 기판(102) 전체가 완만한 곡선으로 안착 가능하다.
구체적으로 도 5 내지 도 7을 이용하여, 완충부재의 실시예들에 따른 리프트 핀 구조체를 상세히 설명한다.
도 5 및 도 6을 참조하면, 일 실시예의 리프트 핀 구조체(110)는 플래이트(104)에 관통된 핀 홀(106)에 설치되어 기판(102)을 지지하도록 플래이트(104) 상부 또는 내부로 업다운되는 상부 핀(114)과, 핀 홀(106) 내부에서 상단이 상부 핀(114)과 결합되고, 하단이 연결부재(108)와 결합되는 하부 핀(112) 및, 상부 핀(114)과 하부 핀(112) 사이에 제공되어, 기판의 하중을 감소시키는 완충부재(120)를 포함한다. 이 실시예의 완충부재(120)는 스프링 장치로 구비된다.
상부 핀(114)은 몸체(114b)와, 몸체(114b) 상단에 배치되어 기판(102)과 접촉하여 기판을 지지하는 지지부(114a) 및, 몸체(114b) 하단에 배치되어 완충부재(120)를 고정, 설치하는 결합부(114c)를 포함한다. 지지부(114a)는 기판(102)과 접촉 시, 기판(102)의 손상을 방지하는 재질로 구비된다.
그리고 하부 핀(112)은 상단에 상부 핀(114)이 설치되는 체결홈(116)이 형성되고, 하단이 연결부재(108)와 결합된다. 따라서 하부 핀(112)는 체결홈(116)을 통해 상부 핀(114)과 결합되고, 상부 핀(114)의 결합부(114c)와 완충부재(120)가 결합되어 체결홈(116) 내부에 설치된다. 이 때, 기판(102)이 상부 핀(114)의 지지부(114a)에 안착되면, 기판(102)의 하중에 의해 완충부재(120)를 수축하고, 완충부재(120)의 탄성에 의해 기판(102)의 하중이 감소된다. 따라서, 리프트 핀 구조체(110)는 체결홈(116) 내부에서 완충부재(120)에 의해 상부 핀(114)이 상하로 이동 가능하고, 동시에 체결홈(116) 내부에서 이탈되지 않도록 이탈 방지 장치(미도시됨)를 제공하거나, 상부 핀과 하부 핀 사이에 상하 이동 및 고정 가능한 기구적인 구조(예를 들어, 돌기, 가이드 홈 등)를 갖는다. 이러한 기구적인 구조는 다양하게 구비될 수 있으며, 당업자에게는 자명한 것이므로 여기서는 상세한 설명은 생략한다.
다른 실시예로서 도 7을 참조하면, 리프트 핀 구조체(110')는 플래이트(104)에 관통된 핀 홀(106)에 설치되어 기판(102)을 지지하도록 플래이트(104) 상부 또 는 내부로 업다운되는 상부 핀(114')과, 핀 홀(106) 내부에서 상단이 상부 핀(114')과 결합되고, 하단이 연결부재(108)와 결합되는 하부 핀(112') 및, 상부 핀(114')과 하부 핀(112') 사이에 제공되어, 공기, 유체(122) 등의 압력에 의해 기판(102)의 하중을 완충시키는 완충부재(120')를 포함한다. 이 실시예의 완충부재(120')는 공압 완충 장치로 구비되며, 상부 핀(114')이 하부 핀(112')의 체결홈(116')에 설치되고, 공기, 유체 등이 압력이 감소되지 않도록 체결홈(116')이 밀폐된다.
따라서 이 실시예의 리프트 핀 구조체(110')는 상부 핀(114')의 지지부(114a')에 기판(102)이 안착되면, 공기, 유체 등의 압력에 의해 기판(102)의 하중을 감소시킨다.
상술한 바와 같이, 본 발명에 따른 리프트 핀 구조체(110, 110')를 구비하는 기판 처리 장치(100)는 기판(102)을 업다운 시, 완충부재(120)에 의해 기판(102)과 리프트 핀(110)이 접촉하는 접촉면의 응력을 감소시킴으로써, 리프트 핀(110)의 높이에 따른 설정값의 여유폭이 크므로 설정이 용이하고, 기판(102)의 손상을 방지할 수 있으며, 접촉면의 얼룩(mura) 발생을 최소화할 수 있다.
이상에서, 본 발명에 따른 리프트 핀 구조체 및 이를 구비하는 기판 처리 장치의 구성 및 작용을 상세한 설명과 도면에 따라 도시하였지만, 이는 실시예를 들어 설명한 것에 불과하며, 본 발명의 기술적 사상을 벗어나지 않는 범위 내에서 다양한 변화 및 변경이 가능하다.
도 1은 대형의 기판을 처리하는 기판 처리 장치의 개략적인 구성을 도시한 도면;
도 2는 도 1에 도시된 리프트 핀의 구성을 도시한 단면도;
도 3은 도 1에 도시된 기판 처리 장치에서 리프트 핀의 단차로 인하여 기판의 하중이 큰 부위에서 기판이 휘어진 상태를 나타내는 도면;
도 4는 본 발명에 따른 리프트 핀 구조체를 갖는 기판 처리 장치의 구성을 도시한 도면;
도 5는 도 4에 도시된 리프트 핀 구조체의 일 실시예를 나타내는 단면도;
도 6은 도 5에 도시된 리프트 핀 구조체의 구성을 나타내는 분해도; 그리고
도 7은 도 4에 도시된 리프트 핀 구조체의 다른 실시예를 나타내는 단면도이다.
* 도면의 주요 부분에 대한 부호 설명 *
100 : 기판 처리 장치 102 : 기판
104 : 플래이트 106 : 핀 홀
108 : 연결부재 110 : 리프트 핀 구조체
112, 112' : 하부 핀 114, 114' : 상부 핀
116, 116' : 체결홈 120, 120' : 완충부재
130 : 구동부

Claims (8)

  1. 리프트 핀 구조체에 있어서:
    기판과 접촉하여 상기 기판을 지지하는 상부 핀과;
    상기 상부 핀의 하단부와 결합되는 하부 핀 및;
    상기 상부 핀과 상기 하부 핀 사이에 제공되어, 상기 기판이 상기 상부 핀에 안착되면, 상기 기판의 하중을 감소시키는 완충부재를 포함하는 것을 특징으로 하는 리프트 핀 구조체.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 상부 핀은;
    몸체와,
    상기 몸체의 상부에 배치되어 기판과 접촉하는 지지부 및,
    상기 몸체의 하부에 제공되어, 상기 완충부재와 결합되는 결합부를 포함하는 것을 특징으로 하는 리프트 핀 구조체.
  3. 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,
    상기 완충부재는 스프링 장치 또는 공압 완충 장치로 구비되는 것을 특징으로 하는 리프트 핀 구조체.
  4. 제 3 항에 있어서,
    상기 하부 핀은 상단에 상기 상부 핀이 설치되는 체결홈을 구비하되;
    상기 완충부재는 상기 기판의 하중에 의해 상기 상부 핀이 상하로 이동되도록 상기 체결홈 내부에 설치되는 것을 특징으로 하는 리프트 핀 구조체.
  5. 기판 처리 장치에 있어서:
    기판이 안착되고, 내부에 관통되는 복수 개의 핀 홀들을 구비하는 플래이트와;
    상기 핀 홀들 각각 설치되어 상기 기판을 지지하고, 지지된 상기 기판의 하중을 감소시켜서 상기 기판의 하중을 분산하는 복수 개의 리프트 핀 구조체와;
    상기 리프트 핀 구조체들을 연결하는 연결부재 및;
    상기 연결부재를 구동하여 상기 리프트 핀 구조체를 상하로 이동시키는 구동부를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 처리 장치.
  6. 제 5 항에 있어서,
    상기 리프트 핀 구조체는;
    상기 기판과 접촉하여 상기 기판을 지지하는 상부 핀과;
    상기 상부 핀의 하단부와 결합되는 하부 핀 및;
    상기 상부 핀과 상기 하부 핀 사이에 제공되어, 상기 기판이 상기 상부 핀에 안착되면, 상기 기판의 하중을 감소시키는 완충부재를 포함하는 것을 특징으로 하 는 기판 처리 장치.
  7. 제 5 항 또는 제 6 항에 있어서,
    상기 하부 핀은 상단에 상기 상부 핀이 설치되는 체결홈을 구비하되;
    상기 완충부재는 상기 기판의 하중에 의해 상기 상부 핀이 상하로 이동되도록 상기 체결홈 내부에 설치되는 것을 특징으로 하는 기판 처리 장치.
  8. 제 7 항에 있어서,
    상기 완충부재는 스프링 장치 또는 공압 완충 장치로 구비되는 것을 특징으로 하는 기판 처리 장치.
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