JP3146681B2 - ペレット突き上げ用ピン - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、半導体装置の製造装置
に関し、リードフレーム上にペレットをマウントする際
にペレットを突き上げてコレットに吸着させるために用
いるペレット突き上げ用ピンに関する。

【０００２】

【従来の技術】従来のペレット突き上げピン５は図２に
示すように先端に円錐形状に形成されたピン形状を有し
ている。

【０００３】次に動作について説明する。図４に示すよ
うにペレット突き上げピン５は、荷重，突き上げ停止位
置，スピードが最適な条件に調整された後、シートにの
っているペレット７を、ペレットの裏面よりコレット６
の吸着面（コレット真空引口８の開口端）まで突き上
げ、ペレット７はコレット６に吸着される。吸着された
ペレット７は、リードフレーム上まで移動され、リード
フレーム上にマウントされる。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】この従来のペレット突
き上げピンは、ペレットを突き上げる条件が荷重，適正
な停止位置，スピードからはずれて異常な状態となった
時、図４に示すコレット６に対してペレット７を突き上
げてペレットを湾曲させたり、最悪な条件では、コレッ
トに対してペレット表面が接触するという問題点があっ
た。

【０００５】本発明の目的は、ペレットの湾曲やコレッ
トとペレット表面との接触を回避したペレット突き上げ
用ピンを提供することにある。

【０００６】

【課題を解決するための手段】前記目的を達成するた
め、本発明に係るペレット突き上げ用ピンは、ペレット
を突き上げてコレットに吸着させるペレット突き上げ用
ピンであって、ペレットを突き上げるピン部と、前記ピ
ン部を摺動可能に支持し、突き上げ力が加えられる突き
上げピン支持部と、前記ピン部と前記突き上げピン支持
部との間に介在する緩衝バネとを有し、前記突き上げ力
は、前記ペレットに接触した時点で最も小さく、前記ペ
レットが突き上げられるに従って次第に大きくなるよう
に、前記突き上げ支持部から前記緩衝バネを介して前記
ピン部に伝わるものである。

【０００７】また、前記ピン部の先端は、ペレットと面
接触する平坦面形状としたものである。

【０００８】

【作用】ペレット突き上げピンが緩衝バネ２を備えるこ
とにより、図４のようにペレット突き上げ異常時でも、
ペレットに加わる力が緩衝バネで吸収され、結果として
ペレットに加わる衝撃が緩和される。

【０００９】

【実施例】次に本発明について図面を参照して説明す
る。

【００１０】（実施例１）図１は、本発明の実施例１を
示す断面図である。

【００１１】図１において、本発明は、軸形状の突き上
げピン支持部３と、緩衝バネ２と、ピン部１とを有して
いる。

【００１２】突き上げピン支持部３は、上端側にシリン
ダ部３ａが設けられている。ピン部１はシリンダ部３ａ
内に摺動可能に設けられている。シリンダ部３ａの上端
開口部は縮径されており、またピン部１は緩衝バネ２に
より常時上方に付勢されている。ピン部１の先端１ａは
円錐形状となっている。

【００１３】図１はウェハ厚４００μｍ，チップ寸法１
４ｍｍ×６ｍｍの突き上げピンの実施例で、緩衝バネ２
の係数は１００ｇ／１００μｍとなっている。

【００１４】次に動作について説明する。ピンの突き上
げ条件が異常となった場合、図５のように緩衝バネ２は
縮み、ペレットに加わる力を分散させる作用をもつ。こ
のようにしてペレットの湾曲，ペレット表面とコレット
との接触を防ぐ保護機能の役目を果している。

【００１５】（実施例２）図３は、本発明の実施例２を
示す断面図である。

【００１６】本実施例は、ピン部１の先端４ａをペレッ
トと面接触する平坦面形状としたものである。

【００１７】本実施例によれば、ピン先端部分に加わる
力を分散させることができ、ペレット湾曲を防止する点
で更に有効となる。

【００１８】

【発明の効果】以上説明したように本発明は、緩衝バネ
を有しているので、ペレット突き上げ異常時に、ペレッ
トに加わる衝撃を緩衝バネにより分散させ、ペレットの
湾曲を防止、又はペレット表面とコレットとの接触を防
止できる。

【００１９】更に、ピン部の先端を平坦面形状とするこ
とにより、ペレットに加わる衝撃力をよりよく分散させ
ることができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の実施例１を示す断面図である。

【図２】従来の突き上げピンを示す断面図である。

【図３】本発明の実施例２を示す断面図である。

【図４】突き上げピンのペレット突き上げ状態を示した
説明図である。

【図５】本発明の実施例１の動作を説明した断面図であ
る。

【符号の説明】

１ 突き上げピンのピン部 ２ 緩衝バネ ３ 突き上げピン支持部 ４ａ ピン部の先端

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (58)調査した分野(Int.Cl.⁷，ＤＢ名) H01L 21/68 H01L 21/301 H01L 21/52

Claims (2)

(57)【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 ペレットを突き上げてコレットに吸着さ
   せるペレット突き上げ用ピンであって、 ペレットを突き上げるピン部と、 前記ピン部を摺動可能に支持し、突き上げ力が加えられ
   る突き上げピン支持部と、 前記ピン部と前記突き上げピン支持部との間に介在する
   緩衝バネとを有し、前記突き上げ力は、前記ペレットに接触した時点で最も
   小さく、前記ペレットが突き上げられるに従って次第に
   大きくなるように、 前記突き上げ支持部から前記緩衝バ
   ネを介して前記ピン部に伝わることを特徴とするペレッ
   ト突き上げ用ピン。
2. 【請求項２】前記ピン部の先端は、ペレットと面接触す
   る平坦面形状としたものであることを特徴とする請求項
   １に記載のペレット突き上げ用ピン。