KR102488539B1 - 웨이퍼 이송 장치 - Google Patents

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KR102488539B1
KR102488539B1 KR1020210055592A KR20210055592A KR102488539B1 KR 102488539 B1 KR102488539 B1 KR 102488539B1 KR 1020210055592 A KR1020210055592 A KR 1020210055592A KR 20210055592 A KR20210055592 A KR 20210055592A KR 102488539 B1 KR102488539 B1 KR 102488539B1
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Abstract

웨이퍼 이송 장치(100)는 액추에이터 모듈(1) 및 두 개의 운반 암들(2)을 포함한다. 상기 액추에이터 모듈(1)은 상기 운반 암들(2)이 각기 서로 멀어지고, 서로에 대해 근접하는 초기 위치 및 작업 위치 사이에서 상기 운반 암들(2)을 이동시키기 위해 동작할 수 있다. 상기 운반 암들(2)은 상기 운반 암들(2)이 상기 초기 위치에 있을 때에 카세트(B) 내로 연장되도록 동작할 수 있고, 상부에 웨이퍼(W)를 운반하도록 상기 초기 위치로부터 상기 작업 위치까지 상기 액추에이터 모듈(1)에 의해 이동될 수 있다. 각각의 상기 운반 암들(2)은 암 몸체(21), 공기 흡인 부재(22) 및 지지 돌기(24)를 포함한다. 상기 운반 암들(2)이 상기 카세트(B) 내로 연장되고, 상기 작업 위치에 있을 때, 각각의 운반 암(2)에 대해, 상기 공기 흡인 부재(22)는 상기 웨이퍼(W)를 흡인하도록 적용되고, 상기 지지 돌기(24)는 상기 웨이퍼(W)를 지지하도록 적용된다.

Description

웨이퍼 이송 장치{WAFER TRANSFER DEVICE}
본 발명은 웨이퍼 이송 장치에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 카세트로부터 웨이퍼를 제거하기 위한 웨이퍼 이송 장치에 관한 것이다.
도 1을 참조하면, 반도체 제조 동안에 카세트(C)는 일반적으로 다음의 워크스테이션으로 이송되도록 준비되는 복수의 웨이퍼들(F)을 저장하는 데 이용된다. 반도체 장치 제조의 백-엔드(back-end) 공정 동안, 상기 웨이퍼들(F)은 접지되며, 이에 따라 그 강성이 감소되어, 상기 카세트(C) 내에 저장될 때에 상기 웨이퍼들(F)이 큰 변형을 가지기 쉬워진다. 상기 카세트(C)가 많은 변형된 웨이퍼들(F)을 포함할 때, 상기 카세트(C) 내의 웨이퍼들(F) 중의 하나가 하방으로 만곡될 수 있는 반면, 인접하는 아래의 것이 상방으로 만곡되는 상황이 발생할 수 있다. 이러한 상황에서는 두 개의 인접하는 웨이퍼들(F) 사이의 갭이 좁아질 것이다.
현재는, 두 개의 가지가 있는 포크 형상의 기계 암(도시되지 않음)이 상기 카세트(C)로부터 상기 웨이퍼(F)를 제거하기 위해 일반적으로 이용되고 있다. 상기 기계 암이 상기 카세트(C) 내로 연장될 때, 상기 카세트(C)의 측벽들(C1) 중의 하나에 대응되는 상기 기계 암들의 각각의 가지들 사이의 거리가 실질적으로 상기 측벽들(C1) 중의 대응되는 것으로부터 상기 웨이퍼(F)의 중심까지의 거리의 절반이 되어야 하기 때문에, 상기 두 인접하는 웨이퍼들(F) 사이의 갭이 너무 좁을 때에 상기 두 인접하는 웨이퍼들(F) 사이에 상기 기계 암이 내부로 연장되기 위한 충분한 공간이 없으므로 상기 기계 암이 종종 상기 웨이퍼(F)를 제거하는 데 실패할 수 있거나, 종종 상기 웨이퍼(F)와 부딪치게 될 수 있다.
이에 따라, 본 발명의 목적은 전술한 종래 기술의 문제점을 해결할 수 있는 웨이퍼 이송 장치를 제공하는 것이다.
본 발명에 따르면, 상기 웨이퍼 이송 장치는 카세트로부터 웨이퍼를 제거하기 위해 적용된다. 상기 웨이퍼 이송 장치는 액추에이터 모듈 및 두 개의 운반 암들을 포함한다. 상기 운반 암들은 상기 액추에이터 모듈 상에 배치되고, 서로로부터 이격된다. 상기 액추에이터 모듈은 상기 운반 암들이 각기 서로 멀어지고, 서로에 대해 근접하는 초기 위치 및 작업 위치 사이에서 상기 운반 암들을 이동시키기 위해 동작할 수 있다. 상기 운반 암들은 상기 운반 암들이 상기 초기 위치에 있을 때에 상기 카세트 내로 연장되도록 동작할 수 있고, 상부에 상기 웨이퍼를 운반하도록 상기 액추에이터 모듈에 의해 상기 초기 위치로부터 상기 작업 위치까지 이동될 수 있다. 각각의 상기 운반 암들은 암 몸체, 공기 흡인 부재 및 지지 돌기를 포함한다. 상기 암 몸체는 연장 방향으로 상기 액추에이터 모듈로부터 연장되며, 제1 단부, 제2 단부 및 상부 표면을 가진다. 상기 제1 단부는 상기 액추에이터 모듈에 연결된다. 상기 제2 단부는 상기 암 몸체의 자유단에 위치한다. 상기 상부 표면은 상방으로 향하고, 상기 제1 단부로부터 상기 제2 단부까지 연장된다. 상기 공기 흡인 부재는 상기 암 몸체 상에 배치되고, 상기 상부 표면으로부터 돌출되며, 상기 제1 단부보다 상기 제2 단부에 더 근접하고, 상기 운반 암들이 상기 카세트 내로 연장되고 상기 작업 위치에 있을 때에 상기 웨이퍼를 흡인하도록 적용된다. 상기 지지 돌기는 상기 암 몸체 상에 배치되고, 상기 상부 표면으로부터 연장되며, 상기 운반 암들이 상기 카세트 내로 연장되고 상기 작업 위치에 있을 때에 상기 웨이퍼를 지지하도록 적용된다.
본 발명들에 따르면, 상기 초기 위치에서 상기 웨이퍼에 부딪치지 않고 상기 카세트 내로 연장되는 상기 운반 암들에 의해서 및 상기 카세트 내로 연장된 후에 상기 작업 위치로 이동하는 상기 운반 암들에 의해서, 상기 웨이퍼가 상기 웨이퍼 이송 장치에 의해 효과적으로 운반되므로, 상기 웨이퍼가 상기 카세트(B)로부터 계속적으로 제거될 수 있으며, 상기 웨이퍼를 제거하는 데 실패할 가능성 및 상기 웨이퍼에 손상을 입힐 가능성이 감소된다.
본 발명의 다른 특징들 및 이점들은 첨부된 도면들을 참조하여 다음의 실시예들의 상세한 설명을 통해 보다 명확해질 것이며, 첨부 도면들에 있어서,
도 1은 카세트 내에 저장되는 웨이퍼들을 예시하는 개략적인 부분 단면도이고,
도 2는 초기 위치에서 실시예의 운반 암들을 예시하는 본 발명에 따른 웨이퍼 이송 장치의 상면도이며,
도 3은 작업 위치에서 운반 암들을 예시하는 상면도이고,
도 4는 카세트로부터 웨이퍼를 제거하는 실시예를 예시하며,
도 5는 정상 상태에서 운반 암들 중의 하나의 공기 흡인 부재를 예시하는 부분 단면도이고,
도 6은 상방으로 이동되는 공기 흡인 부재를 예시하는 부분 단면도이다.
도 2 내지 도 4를 참조하면, 본 발명에 따른 웨이퍼 이송 장치(100)의 일 실시예는 카세트(B)로부터 웨이퍼(W)를 제거하기 위해 적용된다. 상기 웨이퍼 이송 장치(100)는 액추에이터 모듈(actuator module)(1) 및 두 개의 운반 암(carrying arm)들(2)을 포함한다.
상기 운반 암들(2)은 상기 액추에이터 모듈(1) 상에 배치되며, 서로로부터 이격된다. 상기 액추에이터 모듈(1)은 상기 운반 암들(2)이 각기 서로로부터 멀어지며, 서로에 대해 근접하는 초기 위치(도 2 참조) 및 작업 위치(도 3 참조) 사이에서 상기 운반 암들(2)을 이동시키기 위해 동작할 수 있다. 상기 운반 암들(2)은 상기 운반 암들(2)이 상기 초기 위치에 있을 때에 상기 카세트(B) 내로 연장되게 동작할 수 있으며, 상부에 상기 웨이퍼(W)를 운반하도록 상기 액추에이터 모듈(1)에 의해 상기 초기 위치로부터 상기 작업 위치까지 이동되게 동작할 수 있다. 상기 액추에이터 모듈(1)은 공기압 실린더들, 스크류들, 벨트 풀리들, 기어들, 기어 랙들 등과 같은 통상적인 기계적 구조물들을 통해 상기 운반 암들(2)을 이동시킬 수 있다.
각각의 상기 운반 암들(2)은 암 몸체(arm body)(21), 공기 흡인 부재(air suction member)(22), 롤러(23) 및 지지 돌기(supporting protrusion)(24)를 포함한다. 상기 암 몸체(21)는 상기 액추에이터 모듈(1)로부터 연장 방향(D1)으로 연장되며, 상기 액추에이터 모듈(1)에 연결되는 제1 단부(211), 상기 암 몸체(21)의 자유단(free end)에 위치하는 제2 단부(212), 그리고 상부를 향하고 상기 제1 단부(211)로부터 상기 제2 단부(212)까지 연장되는 상부 표면(213)을 포함한다. 상기 공기 흡인 부재(22)는 상기 암 몸체(21) 상에 배치되고, 상기 상부 표면(213)으로부터 돌출되며, 상기 제1 단부(211)보다 상기 제2 단부(212)에 더 근접하고, 상기 운반 암들(2)이 상기 카세트(B) 내로 연장되고, 상기 작업 위치에 있을 때에 상기 웨이퍼(W)를 흡인하도록 적용된다. 상기 롤러(23)는 상기 암 몸체(21) 상에 배치되고, 상기 상부 표면(213)으로부터 돌출되며, 상기 공기 흡인 부재(22)에 근접하게 배치되고, 상기 연장 방향(D1)으로 연장되는 축(A)에 대해 회전할 수 있으며, 상기 운반 암들(2)이 상기 카세트(B) 내로 연장될 때에 상기 초기 위치로부터 상기 작업 위치까지의 상기 운반 암들(2)의 이동 동안에 상기 웨이퍼(W)를 지지하고, 상기 웨이퍼(W)에 대해 회전하도록 적용된다. 이러한 실시예에서, 상기 롤러(23)는 상기 롤러(23) 및 상기 웨이퍼(W) 사이의 접촉 면적을 증가시키기 위해 상기 연장 방향(D1)으로 길어진다. 상기 지지 돌기(24)는 상기 암 몸체(21) 상에 배치되고, 상기 상부 표면(213)으로부터 돌출되며, 상기 운반 암들(2)이 상기 카세트(B) 내로 연장되고, 상기 작업 위치에 있을 때에 상기 웨이퍼(W)를 지지하도록 적용된다.
이러한 실시예에서, 각각의 상기 운반 암들(2)의 암 몸체(21)는 상기 제1 단부(211)를 가지는 베이스 섹션(base section)(214) 및 상기 베이스 섹션(214)으로부터 연장되고, 상기 제2 단부(212)를 가지는 연장 섹션(extending section)(215)을 더 구비한다. 각각의 운반 암(2)에 대하여, 상기 상부 표면(213)은 상기 베이스 섹션(214)으로부터 상기 연장 섹션(215)까지 연장된다. 각각의 운반 암(2)에 대하여, 상기 연장 방향(D1)을 가로지르는 횡단 방향으로의 상기 베이스 섹션(214)의 폭은 상기 연장 섹션(215)의 폭보다 크다. 각각의 운반 암(2)에 대하여, 상기 공기 흡인 부재(22) 및 상기 롤러(23)는 상기 연장 섹션(215)에 위치하며, 상기 지지 돌기(24)는 상기 베이스 섹션(214)에 위치하고, 상기 연장 섹션(215)에 근접하게 배치된다. 각각의 운반 암(2)에 대하여, 상기 지지 돌기(24)는 상기 공기 흡인 부재(22) 및 상기 롤러(23)보다 다른 하나의 운반 암(2)에 근접한다. 다시 말하면, 각각의 운반 암(2)에 대해, 상기 베이스 섹션(214)은 다른 하나의 운반 암(2)을 향해 마주하는 내측부(214a)를 가지며, 상기 지지 돌기(24)는 상기 내측부(214a)에 근접하게 위치한다.
도 4를 참조하면, 이러한 실시예에서, 상기 운반 암들(2)의 초기 위치는 상기 카세트(B)의 두 측벽들(B1) 사이의 거리에 대응되도록 구성되며, 상기 운반 암들(2)이 상기 카세트(B) 내로 연장될 때에 상기 운반 암들(2)은 각기 상기 초기 위치에서 상기 측벽들(B1)에 가까워질 수 있다. 상기 측벽들(B1)이 상기 웨이퍼(W)의 두 대향하는 단부들을 협력하여 각기 지지하기 때문에, 상기 웨이퍼(W)가 변형될 경우에도 상기 웨이퍼(W)의 대향하는 단부들은 실질적으로 변형되지 않을 것이며, 상기 웨이퍼(W)의 다른 영역들만큼 이동될 것이다. 이에 따라 동일한 이유로, 변형되는 다중 웨이퍼들(W)이 상기 카세트(B) 내에 저장될 때, 웨이퍼(W)의 단부 및 상기 웨이퍼(W)의 단부에 정렬되는 인접하는 웨이퍼(W)의 단부 사이의 갭(gap)이 상기 두 인접하는 웨이퍼들(W)의 중간 부분 사이의 갭보다 많은 공간을 가질 것이며, 상기 운반 암들(2)이 상기 인접하는 웨이퍼(W)에 부딪치는 것이 방지되도록 상기 운반 암들(2) 내부로 연장되기에 충분한 공간을 여전히 제공할 수 있다. 상기 운반 암들(2)이 상기 초기 위치에 있고, 상기 카세트(B) 내로 연장될 때, 상기 운반 암들(2)은 상기 웨이퍼(W)의 바닥 표면에 인접하도록 약간 상방으로 이동할 수 있고, 이후에 상기 작업 위치로 서로에 대해 이동할 수 있다. 상기 운반 암들(2)이 상기 작업 위치에 있을 때, 상기 공기 흡인 부재들(22)이 동작되고, 상기 웨이퍼(W)가 흡인되고 상기 운반 암들(2) 상에 고정되도록 상기 웨이퍼(W)를 흡인하기 시작한다. 상기 웨이퍼(W)가 고정된 후, 상기 운반 암들(2)은 상기 카세트(B)로부터 상기 웨이퍼(W)를 인출하고, 후속하는 처리를 위해 공정 장비(도시되지 않음)로 상기 웨이퍼(W)를 이송하도록 동작된다.
이러한 실시예에서, 상기 초기 위치로부터 상기 작업 위치까지 이동하는 상기 운반 암들(2)의 처리 동안, 상기 웨이퍼(W)와 회전 가능하게 접촉하는 상기 롤러들(23)의 구성이 상기 운반 암들(2) 및 상기 웨이퍼(W) 사이의 마찰을 감소시키며, 상기 웨이퍼(W)가 하방으로 만곡될 경우, 상기 웨이퍼(W)는 점차적으로 들어 올려질 것이며, 상기 운반 암들(2)에 의해 계속적으로 지지될 것이다. 그러나 다른 실시예들에서, 상기 롤러들(23)은 생략될 수 있다.
이러한 실시예에서, 각각의 상기 공기 흡인 부재(22), 각각의 롤러(23) 및 각각의 지지 돌기(24)에 대해, 상기 웨이퍼(W)와 접촉되는 그 섹션은 상기 웨이퍼(W)가 손상을 입는 것이 방지되도록 연질의 물질로 이루어질 수 있다. 상기 카세트(B)로부터 상기 웨이퍼(W)를 제거하도록 동작되는 상기 웨이퍼 이송 장치(100)의 과정 동안, 상기 초기 위치에 있을 때에 상기 카세트(B) 내로 연장되는 상기 운반 암들(2)의 정도는 상기 웨이퍼(W)의 다른 상태들에 따라 조정 가능하도록 구성된다. 예를 들면, 상기 웨이퍼(W)가 상대적으로 큰 변형을 가질 경우, 상기 운반 암들(2)은 상기 운반 암들(2)의 롤러들(23)이 상기 웨이퍼(W)의 중앙부와 접촉되도록 상기 카세트(B) 내로 보다 깊게 연장되게 동작될 수 있으므로, 상기 초기 위치로부터 상기 작업 위치까지의 상기 운반 암들(2)의 이동 동안에 상기 웨이퍼(W)를 들어 올리는 것이 보다 용이해질 것이다. 이후에, 상기 운반 암들(2)은 상기 웨이퍼(W)가 상기 공기 흡인 부재(22) 및 지지 돌기들(24)에 의해 고르게 지지되는 위치까지 상기 카세트(B) 외부로 약간 이동된다. 이후에, 상기 공기 흡인 부재들(22)이 상기 웨이퍼(W)를 흡인하고 고정하도록 동작된다.
또한, 도 5 및 도 6을 참조하면, 이러한 실시예에서, 각각의 상기 운반 암들(2)의 공기 흡인 부재(22)는 상기 운반 암(2)의 암 몸체(21) 상에 이동 가능하게 배치된다. 도 5에 도시한 바와 같이, 각각의 상기 운반 암들(2)의 공기 흡인 부재(22)가 외부의 힘에 의해 영향을 받지 않을(즉, 정상 상태에 있을) 때, 상기 암 몸체(21)의 상부 표면(213)으로부터 돌출되는 상기 공기 흡인 부재(22)의 길이는 상기 운반 암(2)의 롤러(22)의 길이보다 짧다. 또한, 도 6에 도시한 바와 같이, 공기 흐름에 의해 제공되는 외부의 힘의 작용에 따라, 각각의 상기 운반 암들(2)의 공기 흡인 부재(22)는 상기 암 몸체(21)의 상부 표면(213)으로부터 돌출되는 상기 공기 흡인 부재(22)의 길이가 상기 운반 암(2)의 롤러(23)의 길이보다 길게 되도록 상방으로 이동한다. 이에 따라, 각각의 운반 암(2)에 대해, 상기 공기 흡인 부재(22)가 동작하지 않을 때, 상기 공기 흡인 부재(22)는 정상 상태에 있으며, 전술한 그 길이는 상기 롤러(23)의 길이 보다 짧고, 상기 운반 암(2) 및 상기 웨이퍼(W) 사이의 마찰을 보다 감소시키기 위해 상기 공기 흡인 부재(22)가 상기 웨이퍼(W)와 접촉되지 않게 된다. 구체적으로는, 각각의 상기 운반 암들(2)의 암 몸체(21)는 상기 공기 흡인 부재(22)를 수용하기 위한 흡인 부재 수용 홈(accommodating groove)(216) 및 상기 흡인 부재 수용 홈(216)과 연통되는 공기 채널(217)을 더 구비한다. 각각의 운반 암(2)에 대해, 상기 공기 흡인 부재(22)는 상기 흡인 부재 수용 홈(216) 내에 상하 방향으로 이동할 수 있으며, 상기 공기 채널(217)은 펌핑 장치(도시되지 않음)에 연결된다. 상기 공기 흡인 부재들(22)을 동작시키기 위해, 상기 공기 채널들(217)은 상기 공기 흡인 부재들(22)이 상기 웨이퍼(W)에 부착되기 위해 공기 흐름들에 의해 상방으로 이동되도록 공기로 채워진다. 이후에, 상기 공기 채널(217) 내의 공기는 상기 공기 흡인 부재들(22)이 상기 웨이퍼(W)를 흡인하도록 배출된다.
요약하면, 상기 초기 위치에서 상기 웨이퍼(W)에 부딪치지 않고 상기 카세트(B) 내로 연장되는 상기 운반 암들(2)에 의해서와 상기 카세트(B) 내로 연장된 후에 상기 작업 위치로 이동하는 상기 운반 암들(2)에 의해서, 상기 웨이퍼(W)가 상기 웨이퍼 이송 장치(100)에 의해 효과적으로 운반되므로, 상기 웨이퍼(W)가 상기 카세트(B)로부터 계속적으로 제거될 수 있으며, 상기 웨이퍼(W)를 제거하는 데 실패할 가능성 및 상기 웨이퍼(W)에 손상을 입힐 가능성이 감소된다.
상술한 바에 있어서, 설명의 목적으로 실시예의 완전한 이해를 제공하기 위해 많은 특정 세부 사항들이 설시되었다. 그러나, 해당 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에게는 하나 또는 그 이상의 다른 실시예들이 이들 특정 세부 사항들 중의 일부가 없이도 실시될 수 있는 점이 명백할 것이다. 또한, 본문에서 전체적으로 "일 실시예", "실시예", 서수로 표기된 실시예 및 특정한 특징, 구조 또는 특성들로 설시된 수단들에 대한 언급이 본 발명의 범주 내에 포함될 수 있는 것으로 이해되어야 한다. 본문에서 본 발명을 간소화하는 목적으로 다양한 특징들이 때때로 단일의 실시예, 도면 또는 그 설명에서 함께 그룹으로 되는 점 및 하나의 실시예로부터 하나 또는 그 이상의 특징들이나 특정 세부 사항들이 본 발명의 실시에서 적절한 경우에 다른 실시예로부터의 하나 또는 그 이상의 특징들이나 특정 세부 사항들과 함께 실시되는 점이 이해되어야 할 것이다.
본 발명을 예시적인 실시예로 간주되는 경우와 함께 설명하였지만, 본 발명이 개시된 실시예에 한정되는 것은 아니며, 모든 이러한 변경들과 균등한 장치들을 포괄하기 위해 가장 넓은 의미의 사상과 범주 내에 속하는 다양한 장치들을 포괄하도록 의도된 점이 이해될 것이다.
1：액추에이터 모듈 2：운반 암
21：암 몸체 22：공기 흡인 부재
23：롤러 24：지지 돌기
100：웨이퍼 이송 장치 211：제1 단부
212：제2 단부 213：상부 표면
214：베이스 섹션 215：연장 섹션
216：흡인 부재 수용 홈 217：공기 채널
B：카세트 W：웨이퍼

Claims (5)

  1. 카세트로부터 웨이퍼를 제거하기 위해 적용되는 웨이퍼 이송 장치에 있어서,
    액추에이터 모듈을 포함하며;
    상기 액추에이터 모듈 상에 배치되고, 서로로부터 이격되는 두 개의 운반 암들을 포함하며, 상기 액추에이터 모듈은 상기 운반 암들이 각기 서로 멀어지고 서로 근접하는 초기 위치 및 작업 위치 사이에서 상기 운반 암들을 이동시키기 위해 동작할 수 있고, 상기 운반 암들은 상기 운반 암들이 상기 초기 위치에 있을 때에 상기 카세트 내로 연장되도록 동작할 수 있으며, 상부에 상기 웨이퍼를 운반하기 위해 상기 초기 위치로부터 상기 작업 위치까지 상기 액추에이터 모듈에 의해 이동되고, 각각의 상기 운반 암들은,
    연장 방향으로 상기 액추에이터 모듈로부터 연장되는 암 몸체를 포함하고, 상기 암 몸체는,
    상기 액추에이터 모듈에 연결되는 제1 단부,
    상기 암 몸체의 자유단에 위치하는 제2 단부, 그리고
    상방으로 향하고, 상기 제1 단부로부터 상기 제2 단부까지 연장되는 상부 표면을 가지며,
    상기 암 몸체 상에 배치되고, 상기 제1 단부보다 상기 제2 단부에 더 근접하며, 상기 운반 암들이 상기 카세트 내로 연장되고 상기 작업 위치에 있을 때에 상기 웨이퍼를 흡인하도록 적용되는 공기 흡인 부재를 포함하며,
    상기 암 몸체 상에 배치되고, 상기 상부 표면으로부터 돌출되며, 상기 운반 암들이 상기 카세트 내로 연장되고 상기 작업 위치에 있을 때에 상기 웨이퍼를 지지하도록 적용되는 지지 돌기를 포함하고,
    각각의 상기 운반 암들은, 상기 암 몸체 상에 배치되고, 상기 암 몸체의 상부 표면으로부터 돌출되며, 상기 공기 흡인 부재에 근접하게 위치하고, 상기 연장 방향으로 연장되는 축에 대해 회전 가능한 롤러를 더 포함하며,
    각각의 상기 운반 암들의 상기 롤러는 상기 운반 암들이 상기 카세트 내로 연장될 때에 상기 초기 위치로부터 상기 작업 위치까지의 상기 운반 암들의 이동 동안에 상기 웨이퍼를 지지하고, 상기 웨이퍼에 대해 회전하도록 적용되고,
    각각의 상기 운반 암들의 상기 공기 흡인 부재는 상기 운반 암의 상기 암 몸체 상에 이동 가능하게 배치되며,
    각각의 상기 운반 암들의 상기 공기 흡인 부재가 외부의 힘에 의해 영향을 받지 않을 때, 상기 암 몸체의 상부 표면으로부터 돌출되는 상기 공기 흡인 부재의 상하 방향의 길이는 상기 암 몸체의 상부 표면으로부터 돌출되는 상기 롤러의 상하 방향의 길이보다 짧고,
    공기 흐름에 의해 제공되는 외부의 힘의 작용에 따라, 각각의 상기 운반 암들의 상기 공기 흡인 부재는 상기 암 몸체의 상부 표면으로부터 돌출되는 상기 공기 흡인 부재의 상하 방향의 길이가 상기 암 몸체의 상부 표면으로부터 돌출되는 상기 롤러의 상하 방향의 길이보다 길게 되도록 상방으로 이동 가능한 것을 특징으로 하는 웨이퍼 이송 장치.
  2. 제 1 항에 있어서, 각각의 상기 운반 암들의 롤러는 상기 연장 방향으로 길어지는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 이송 장치.
  3. 제 1 항에 있어서, 각각의 상기 운반 암들의 상기 암 몸체는,
    상기 제1 단부를 가지는 베이스 섹션; 및
    상기 베이스 섹션으로부터 연장되고, 상기 제2 단부를 가지는 연장 섹션을 더 구비하며,
    각각의 상기 운반 암에 대해, 상기 상부 표면은 상기 베이스 섹션으로부터 상기 연장 섹션까지 연장되고,
    각각의 상기 운반 암에 대해, 상기 연장 방향을 가로지르는 횡단 방향으로의 상기 베이스 섹션의 폭은 상기 연장 섹션의 폭보다 크며,
    각각의 상기 운반 암에 대해, 상기 공기 흡인 부재 및 상기 롤러는 상기 연장 섹션에 위치하고, 상기 지지 돌기는 상기 베이스 섹션에 위치하며 상기 연장 섹션에 근접하게 위치하고,
    각각의 상기 운반 암에 대해, 상기 지지 돌기는 상기 공기 흡인 부재 및 상기 롤러보다 다른 하나의 운반 암에 더 근접하는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 이송 장치.
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