KR20070015771A - 웨이퍼 슬라이딩을 방지하기 위한 웨이퍼 이송장치 - Google Patents

Abstract

본 발명은 웨이퍼의 슬라이딩을 방지하기 위한 웨이퍼 이송장치에 관한 것이다. 본 발명은 웨이퍼를 지지하고 홀딩하는 포크부(15); 및 포크부(15)의 표면에 장착되며, 웨이퍼가 포크부(15)에 안치 시 웨이퍼의 이면과 접촉하여 웨이퍼를 지지하는 웨이퍼 지지수단(27)이 구비된 웨이퍼 이송장치에 있어서, 웨이퍼와 접촉되는 웨이퍼 지지수단(27)의 표면이 요철(29)로 형성되는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 슬라이딩을 방지하기 위한 웨이퍼 이송장치를 제공한다.

웨이퍼 이송장치, 포크부, 웨이퍼 지지수단, 요철

Description

웨이퍼 슬라이딩을 방지하기 위한 웨이퍼 이송장치{WAFER TRANSFER FOR PREVENTING WAFER SLIDING}

도 1은 종래의 웨이퍼 이송장치의 개략적 구성을 나타낸 평면도.

도 2는 본 발명에 의한 웨이퍼 슬라이딩을 방지하기 위한 웨이퍼 이송장치의 개략적 구성을 나타낸 평면도.

<도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명>

10: 웨이퍼 이송장치 15: 포크부

27: 웨이퍼 지지수단 29: 요철

본 발명은 웨이퍼 이송장치에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는 웨이퍼 이송 시 웨이퍼의 슬라이딩을 방지하기 지지수단이 구비된 웨이퍼 이송장치에 관한 것이다.

일반적으로 반도체장치는 사진, 식각 및 박막형성공정 등 많은 공정을 반복적으로 수행하여 제조되고, 각 공정 수행시 반도체 웨이퍼는 다수매씩 카세트에 적재되어 각 공정에서 공정으로 이동되거나, 한 카세트에서 다른 카세트로 옮겨지게 된다.

이와 같이 웨이퍼를 이송하는 과정에서 발생하는 웨이퍼의 오염 및 손상은 생산수율에 막대한 지장을 초래하므로, 웨이퍼의 이송시 각별한 주의를 요하게 된다. 웨이퍼의 이송은 보통 진공척이나 로봇을 이용하여 행해진다.

도 1은 로봇을 이용하여 웨이퍼를 이송하는 웨이퍼 이송장치를 나타낸 것으로서, 도 1은 종래의 웨이퍼 이송장치의 개략적 구성을 나타낸 평면도이다.

웨이퍼 이송장치(10)는 크게, 작동부(11), 포크부(15) 및 웨이퍼 지지수단(17)으로 이루어진다.

작동부(11)는 자유롭게 절곡되면서 웨이퍼를 이송하게 된다. 즉, 웨이퍼 이송장치(10)내에 웨이퍼가 놓여진 상태에서는 작동부(11)가 펴지게 되며, 웨이퍼를 카세트로 이동 시에는 작동부(11)가 접혀지게 된다.

이러한 작동부(11)와 연동하여 포크부(15)도 이동하게 된다. 포크부(15)는 작동부(11)와 인접한 기둥부(12) 및 웨이퍼를 안치할 수 있는 웨이퍼 안치부(14)로 이루어진다.

웨이퍼의 이면과 접촉하는 웨이퍼 안치부(14)에는 웨이퍼를 지지하여 웨이퍼의 슬라이딩을 방지하기 위한 웨이퍼 지지수단(17)이 장착되어 있다. 웨이퍼 지지수단(17)은 통상적으로 고무나 태플론 재질로 이루어지며, 웨이퍼의 이면이 웨이퍼 지지수단(17)과 접촉시 마찰이 발생하므로 웨이퍼 이송 시 웨이퍼의 슬라이딩을 어느 정도 방지할 수 있게 된다.

이러한 웨이퍼 지지수단(17)은 도 1에 도시된 바와 같이 보통 3개 정도 구비 된다.

그러나, 이러한 종래의 웨이퍼 이송장치에는 다음과 같은 문제점이 있다.

즉, 종래의 웨이퍼 이송장치에 장착된 웨이퍼 지지수단은 웨이퍼의 이면과 접촉하는 표면이 매끄럽게 되어 있어 웨이퍼의 슬라이딩을 완전히 방지할 수는 없다. 특히, 이소프로필 알콜 등과 같은 클리닝액을 사용하여 웨이퍼 이송장치를 클리닝한 후 웨이퍼 이송 시 웨이퍼 지지수단과 웨이퍼 사이의 마찰계수가 감소하게 되어 웨이퍼가 보다 쉽게 슬라이딩되는 문제점이 발생한다.

한편, 웨이퍼의 슬라이딩을 방지하기 위해 클리닝액을 사용하지 않을 시에는 웨이퍼가 파티클 등에 의해 오염되거나 손상되어 생산효율이 저하되는 문제점이 발생하게 된다.

따라서 본 발명은 상기와 같은 종래의 문제점을 해결하기 위하여 안출한 것으로서, 웨이퍼의 이면과 접촉하는 웨이퍼 지지수단의 표면에 요철을 형성시켜 웨이퍼와 웨이퍼 지지수단 간의 마찰계수를 증가시킴으로써, 클리닝 후에도 웨이퍼가 슬라이딩되는 것을 방지할 수 있는 웨이퍼 이송장치를 제공하는 것을 목적으로 한다.

이상과 같은 목적을 달성하기 위해, 본발명은 웨이퍼를 지지하고 홀딩하는 포크부; 및 포크부의 표면에 장착되며, 웨이퍼가 포크부에 안치 시 웨이퍼의 이면과 접촉하여 웨이퍼를 지지하는 웨이퍼 지지수단이 구비된 웨이퍼 이송장치에 있어 서, 웨이퍼와 접촉되는 웨이퍼 지지수단의 표면이 요철로 형성되는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 슬라이딩을 방지하기 위한 웨이퍼 이송장치를 제공한다.

이하, 본 발명에 따른 실시예를 첨부된 도면을 참조하여 보다 상세히 설명한다.

먼저, 도 2를 참조하여 본 발명에 의한 웨이퍼 슬라이딩을 방지하기 위한 웨이퍼 이송장치의 바람직한 실시예에 대해서 설명한다.

도 2는 본 발명에 의한 웨이퍼 슬라이딩을 방지하기 위한 웨이퍼 이송장치의 개략적 구성을 나타낸 평면도이다..

도 2에서, 도 1과 동일한 부분은 동일한 부호를 붙인다.

웨이퍼 이송장치(10)는 크게, 작동부(11), 포크부(15) 및 웨이퍼 지지수단(27)으로 이루어진다.

작동부(11)는 자유롭게 절곡되면서 웨이퍼를 이송하게 된다. 즉, 웨이퍼 이송장치(10) 내에 웨이퍼가 놓여진 상태에서는 작동부(11)가 펴지게 되며, 웨이퍼를 카세트로 이동 시에는 작동부(11)가 접혀지게 된다.

이러한 작동부(11)와 연동하여 포크부(15)도 이동하게 된다. 포크부(15)는 작동부(11)와 인접한 기둥부(12) 및 웨이퍼를 안치할 수 있는 웨이퍼 안치부(14)로 이루어진다.

웨이퍼의 이면과 접촉하는 웨이퍼 안치부(14)에는 웨이퍼를 지지하여 웨이퍼의 슬라이딩을 방지하는 웨이퍼 지지수단(27)이 장착되어 있다. 웨이퍼 지지수단(27)의 재질은 고무나 태플론이다.

웨이퍼 지지수단(27)은 웨이퍼의 이면과 접촉 시 접촉면적을 최소화하기 위해 중앙부가 중공된 환형으로 형성된다.

본 발명에서는 웨이퍼 지지수단의 표면이 매끄럽게 되어 있는 종래기술과 달리, 웨이퍼의 이면과 접촉하는 웨이퍼 지지수단(27)의 표면에 요철(29)을 형성시킴으로써 웨이퍼의 슬라이딩을 최소화하고 있다.

즉, 웨이퍼 지지수단(27) 표면에 요철(29)을 형성시킴으로써 웨이퍼 지지수단(27)과 웨이퍼 이면과의 마찰계수가 증가하게 되어 웨이퍼 이송 시 웨이퍼의 슬라이딩을 최소화할 수 있게 되는 것이다.

특히, 종래에는 웨이퍼 이송장치(10)를 클리닝한 후 웨이퍼를 이송할 경우 웨이퍼가 슬라이딩 될 확률이 높아 클리닝액의 사용이 제한됨으로써 파티클 등에 의한 웨이퍼의 오염 문제가 발생하였으나, 본 발명에서는 웨이퍼 지지수단(27)의 표면에 요철(29)을 형성시킴으로써 이소프로필 알콜과 같은 클리닝액을 사용하더라도 웨이퍼 이송 시 웨이퍼의 슬라이딩을 어느 정도 방지할 수 있게 된다.

따라서, 웨이퍼 지지수단(27)의 표면에 요철(29)을 형성시킴으로써, 클리닝액의 사용이 가능해져 파티클에 의한 웨이퍼의 오염을 방지할 수 있을 뿐만 아니라 웨이퍼의 슬라이딩도 더욱 확실하게 방지할 수 있게 되는 것이다.

이때, 웨이퍼의 이면과 접촉하는 웨이퍼 지지수단(27)의 표면 전부에 요철(29)을 형성시키는 것이 바람직하다.

이상에서는 도면과 명세서에 최적 실시예를 개시하였다. 여기서는 설명을 위해 특정한 용어들이 사용되었으나, 이는 단지 본 발명을 설명하기 위한 목적에서 사용된 것이며, 의미를 한정하거나 특허청구범위에 기재된 본 발명의 범위를 제한하기 위하여 사용된 것은 아니다. 그러므로, 본 기술 분야의 통상의 지식을 가진 자라면 이로부터 다양한 변형 및 균등한 타 실시예가 가능하다는 점을 이해할 것이다. 따라서, 본 발명의 진정한 기술적 보호범위는 첨부된 특허청구범위의 기술적 사상에 의해 정해져야 한다.

본 발명에 의하면, 웨이퍼의 이면과 접촉하는 웨이퍼 지지수단의 표면에 요철을 형성시켜 웨이퍼와 웨이퍼 지지수단 간의 마찰계수를 증가시킴으로써, 클리닝 후에도 웨이퍼가 슬라이딩되는 것을 방지할 수 있게 된다.

Claims (1)

1. 웨이퍼를 지지하고 홀딩하는 포크부; 및

   상기 포크부의 표면에 장착되며, 상기 웨이퍼가 상기 포크부에 안치 시 상기 웨이퍼의 이면과 접촉하여 상기 웨이퍼를 지지하는 웨이퍼 지지수단이 구비된 웨이퍼 이송장치에 있어서,

   상기 웨이퍼와 접촉되는 상기 웨이퍼 지지수단의 표면이 요철로 형성되는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 슬라이딩을 방지하기 위한 웨이퍼 이송장치.

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