JP2016031979A - 真空チャック - Google Patents
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Abstract
Description
図1に示されている本発明の一実施形態としての真空チャック1は、いわゆるポーラスチャックであり、略平板状の多孔質体11と、緻密質体12とを備えている。多孔質体11はアルミナ、窒化珪素、炭化珪素およびジルコニアから選択される1種のセラミックスとガラスとからなる。緻密質体12はアルミナ、窒化珪素、炭化珪素およびジルコニアから選択される1種のセラミックス、好ましくは多孔質体11を構成するセラミックスと同種のセラミックスからなる。
前記構成の真空チャック1によれば、図2(a)に示されているように、対象物Wの外側領域に対して全周または略全周にわたり環状壁部材を当接させることで、対象物W、環状壁部材2および真空チャック1により閉空間が画定される。対象物Wは外側に向かうにつれて徐々に上昇するように反っている。この閉空間が真空チャック1の真空吸引経路を介して真空吸引されることにより対象物に対して真空チャック1に向かう力(下方への力)が作用し、図2(b)に示されているように柔軟性がある環状壁部材2がその上端部が外側に倒れるように変形する。そして、図2(c)に示されているように、対象物Wがその内側領域において真空チャック1に当接する一方、その外側領域において変形した環状壁部材2に当接しながら全体的に基準面に沿った姿勢で真空チャック1に吸着保持される。
このように、対象物Wの反りの矯正に際して硬質の部材を当該対象物に対して当接させることもなく、かつ、前記閉空間の真空吸引という単一工程によって対象物Wの反りの矯正および当該対象物Wの吸着保持が実現される。すなわち、パーティクル等の発生を抑制しながら、対象物Wの反りの矯正および当該対象物Wの吸着保持に要する時間の短縮が図られ、スループットの維持および向上が図られる。
外径φ280[mm]および厚さt10[mm]を有する略円盤状の多孔質体11と、外径φ290[mm]および厚さt20[mm]を有する緻密質体12とを備えている真空チャック1(ポーラスチャック)が作製された。厚さ1.0[mm]のゴム板からなる環状壁部材2が、真空チャック1の外周面に全周にわたって巻回された状態でシリコーン接着剤により気密に接着されている。環状壁部材2は真空チャック1の上端面(基準面)よりも5[mm]だけ上方に突出している。このようにして実施例の真空チャック1が準備された。
外径φ280[mm]および厚さt10[mm]を有する略円盤状の多孔質体11と、外径φ290[mm]および厚さt20[mm]を有する緻密質体12とを備えている真空チャック1(ポーラスチャック)が作製された。比較例の真空チャック1は環状壁部材2を備えていない。表2には、中心よりも外縁が、外側に向かうにつれて徐々に上昇するように反っている各対象物Wの当該反り量および当該評価結果が示されている。
真空チャックとしては前記実施形態のようなポーラスチャックのほか、いわゆるピンチャックが採用されてもよい(特開2009−206455号公報など参照)。この場合、真空チャックは、略平板状のセラミックス緻密質体からなり、その上端面に対象物Wに当接する複数のピンまたは突起が形成されている。緻密質体には当該複数のピンが形成されている上端面に連通する真空吸引経路が形成されている。
Claims (2)
- 真空吸引経路を介して薄板状の対象物に対して真空吸引力を作用させることにより、当該対象物を基準面に沿った姿勢で吸着保持するように構成されている真空チャックであって、
前記真空チャックの外周面に対して全周にわたり密着し、かつ、前記対象物に対する真空吸引力の作用方向とは逆方向について前記基準面よりも環状に均等に延出している柔軟性がある環状壁部材を備えていることを特徴とする真空チャック。 - 請求項1記載の真空チャックにおいて、前記環状壁部材が、前記対象物に対する真空吸引力の作用方向とは逆方向について前記基準面から離間するにつれて外側に拡がるように構成されていることを特徴とする真空チャック。
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