TWI654713B - 靜電夾具與半導體液晶製造設備 - Google Patents

靜電夾具與半導體液晶製造設備

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TWI654713B
TWI654713B TW104113057A TW104113057A TWI654713B TW I654713 B TWI654713 B TW I654713B TW 104113057 A TW104113057 A TW 104113057A TW 104113057 A TW104113057 A TW 104113057A TW I654713 B TWI654713 B TW I654713B
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cylindrical insulating
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片山善文
川合治郎
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日商新光電氣工業股份有限公司
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Abstract

一種靜電夾具包括：一底板，其包括一穿透孔；一置放台，其佈置於該底板上且在對應於該穿透孔的位置處包括電極；一第一圓柱形絕緣組件，其佈置於該底板之該穿透孔內側之上側；一第二圓柱形絕緣組件，其佈置於該第一圓柱形絕緣組件上；一第三圓柱形絕緣組件，其佈置在該第一圓柱形絕緣組件下方，且具有一內徑小於該第一圓柱形絕緣組件之內徑；一連接器，其佈置於該穿透孔中；一圓柱形構件，其包括在該連接器中且包括彈性主體於內部分中；以及一電力饋送端子，其包括於該連接器中且連接至該彈性主體。該電力饋送端子接觸該置放台之該電極。

Description

靜電夾具與半導體液晶製造設備 發明領域
本發明係關於用作用於吸引晶圓等之機構的靜電夾具，且係關於包括該靜電夾具的半導體液晶製造設備。
發明背景
在先前技術中，用於半導體晶圓處理等的諸如乾式蝕刻設備的半導體製造設備具備用於置放及靜電地吸引晶圓以便在晶圓處理期間控制晶圓之溫度的靜電夾具。
在此類靜電夾具之中，存在高溫類型之陶瓷夾具，該陶瓷夾具在該陶瓷夾具由加熱器加熱的狀態中加以使用。
相關技術揭示於國際專利申請案之日本國家公開案第2002-517093號及日本公開專利公開案第2013-229464號中。
如將在以下引文部分中所解釋，當靜電夾具經加熱時，置放台以凸形形狀翹曲。因此，在電力饋送端子與置放台之連接電極之間形成空間，因此有時不可能施加電 壓。
發明概要
根據本文所論述之一態樣，提供一種靜電夾具，該靜電夾具包括：底板，其包括穿透孔；置放台，其佈置於該底板上，該置放台在對應於該穿透孔的位置處包括電極；第一圓柱形絕緣組件，其在該底板之該穿透孔內側佈置於上側上；第二圓柱形絕緣組件，其佈置於該第一圓柱形絕緣組件上；第三圓柱形絕緣組件，其佈置在該第一圓柱形絕緣組件下方，該第三圓柱形絕緣組件具有小於該第一圓柱形絕緣組件之內徑的內徑；連接器，其佈置於該穿透孔中；圓柱形構件，其包括於該連接器中，該圓柱形構件在內部分中包括彈性主體；以及電力饋送端子，其包括於該連接器中，該電力饋送端子連接至該彈性主體，其中該電力饋送端子在該連接器之該圓柱形構件由該第三圓柱形絕緣組件固定的狀態中接觸該置放台之該電極。
另外，根據本文所論述之另一態樣，提供一種半導體液晶製造設備，該半導體液晶製造設備包括腔室及靜電夾具，該靜電夾具附接於該腔室中，其中該靜電夾具包括：底板，其包括穿透孔；置放台，其佈置於該底板上，該置放台在對應於該穿透孔的位置處包括電極；第一圓柱形絕緣組件，其在該底板之該穿透孔之內側中佈置於上側上；第二圓柱形絕緣組件，其佈置於該第一圓柱形絕緣組件上；第三圓柱形絕緣組件，其佈置在該第一圓柱形絕緣 組件下方，該第三圓柱形絕緣組件具有小於該第一圓柱形絕緣組件之內徑的內徑；連接器，其佈置於該穿透孔中；圓柱形構件，其包括於該連接器中，該圓柱形構件在內部分中包括彈性主體；以及電力饋送端子，其包括於該連接器中，該電力饋送端子連接至該彈性主體，且該電力饋送端子在該連接器之該圓柱形構件由該第三圓柱形絕緣組件固定的狀態中接觸該置放台之該電極。
本發明之目標及優點將藉由尤其在申請專利範圍中指出的元件及組合實現且獲得。
將理解，先前一般描述及以下詳細描述兩者為示範性及解釋性的，且並非本發明之限制，如所主張。
A‧‧‧內徑
B‧‧‧外徑
C‧‧‧內徑
D‧‧‧外徑
E‧‧‧內徑
E‧‧‧連接電極
S‧‧‧螺紋
T‧‧‧電力饋送端子
VC‧‧‧通孔導體
1、1a‧‧‧靜電夾具
2‧‧‧乾式蝕刻設備
5‧‧‧半導體晶圓
9‧‧‧排氣管
10、100‧‧‧底板
12、120‧‧‧穿透孔
14、200‧‧‧第一黏合層
14a、200a、20a、300a‧‧‧開口部分
16、220‧‧‧第二黏合層
20、300‧‧‧加熱器
30、400‧‧‧置放台
32、420‧‧‧凹形部分
34‧‧‧靜電電極
40、500‧‧‧第一圓柱形絕緣組件
40a‧‧‧整合式第一圓柱形絕緣組件
42‧‧‧上圓柱形部分
44、44a‧‧‧第一突出部分
46、64‧‧‧下圓柱形部分
50、600‧‧‧第二圓柱形絕緣組件
60‧‧‧第三圓柱形絕緣組件
62、62a‧‧‧第二突出部分
70、700‧‧‧連接器
72‧‧‧絕緣圓柱形主體
74‧‧‧支持器
76‧‧‧圓柱形構件
76a‧‧‧彈性主體
80‧‧‧腔室
82‧‧‧石英環
84‧‧‧高頻率電源
90‧‧‧下電極
92‧‧‧上電極
94‧‧‧氣體引入管
96‧‧‧排氣管
98‧‧‧APC閥(自動壓力控制閥)
520‧‧‧突出部分
圖1為繪示根據引文之靜電夾具之電力饋送部分之狀態的部分橫截面圖。
圖2為用於解釋圖1中之靜電夾具(部分1)中之問題的部分橫截面圖。
圖3為用於解釋圖1中之靜電夾具(部分2)中之問題的部分橫截面圖。
圖4為繪示一實施例之靜電夾具的橫截面圖。
圖5為繪示在靜電夾具經加熱的狀態中使用實施例之靜電夾具的狀態的橫截面圖，。
圖6為用於解釋實施例之靜電夾具之每一組件之尺寸的一實例的部分橫截面圖。
圖7為繪示實施例之修改之靜電夾具的橫截面 圖。
圖8為繪示半導體液晶製造設備之一實例的橫截面圖，該半導體液晶製造設備包括實施例之靜電夾具。
較佳實施例之詳細說明
在下文，將關於隨附圖式解釋本發明之實施例。
在實施例之解釋之前，以下將解釋將要闡述來作為基礎的引文。根據引文之靜電夾具為本發明之靜電夾具之基礎，且並非已知技術。
在靜電夾具中，存在高溫類型，該高溫類型係在靜電夾具由加熱器加熱的狀態中使用。圖1部分地繪示高溫類型之靜電夾具之電力饋送部分之狀態。
如圖1中所繪示，靜電夾具包括底板100，且穿透孔120形成於底板100中。加熱器300藉由第一黏合層200結合於底板100上。
在第一黏合層200中，開口部分200a提供於對應於底板100之穿透孔120的位置處。此外，在加熱器300中，開口部分300a提供於第一黏合層200之開口部分200a上。
此外，置放台400藉由第二黏合層220結合於加熱器300上。
在置放台400中，凹形部分420形成於對應於加熱器300之開口部分300a的位置處。置放台400在凹形部分420之底部表面上包括連接電極E，且連接電極E連接至靜電電極(未繪示)，該靜電電極形成於置放台400之內部分中。
此外，第一圓柱形絕緣組件500自加熱器300之開口部分300a之內壁佈置至底板100之穿透孔120之內壁。第一圓柱形絕緣組件500包括突出部分520，該突出部分具有環形形狀且向內突出。
此外，第二圓柱形絕緣組件600佈置於第一圓柱形絕緣組件500之突出部分520上。第二圓柱形絕緣組件600之內徑經設定為大體上等於第一圓柱形絕緣組件500之突出部分520之內徑。
此外，包括電力饋送端子T的連接器700自底板100之穿透孔120插入至置放台400之凹形部分420，因此電力饋送端子T接觸置放台400之連接電極E。電力饋送端子T耦接至連接器700內側的彈簧(未繪示)且藉由彈簧之彈性力擠壓連接電極E。
以此方式，連接器700之電力饋送端子T接觸置放台400之連接電極E，藉此將電壓自電力饋送端子T施加至連接至連接電極E的靜電電極(未繪示)。
在圖1中，連接器700之電力饋送端子T佈置於第二圓柱形絕緣組件600之中心，而不接觸第二圓柱形絕緣組件600之內壁。
然而，如圖2中所繪示，在一些狀況下，連接器700之電力饋送端子T有時在電力饋送端子T接觸第二圓柱形絕緣組件600之內壁的狀態中接觸置放台400之連接電極E。
連接器700之下末端側經固定以旋擰至底板100 之穿透孔120，但電力饋送端子T以自由狀態插入第二圓柱形絕緣組件600之內部分中。出於此原因，電力饋送端子T有時由於每一構件之製造公差而接觸第二圓柱形絕緣組件600之內壁。
圖3繪示處於圖2之狀態中的靜電夾具中之加熱器300打開以便以約120℃之溫度加熱置放台400的狀態。此時，由陶瓷製作的置放台400藉由加熱翹曲成凸形形狀，因此，置放台400之連接電極E亦向上移動。
另外，此時，在正常環境下，因為連接器700之電力饋送端子T耦接至彈簧，所以電力饋送端子T藉由彈性力遵循連接電極E之移動，且該電力饋送端子將無變化地處於電力饋送端子T接觸連接電極E的狀態中。
然而，若連接器700之電力饋送端子T接觸第二圓柱形絕緣組件600之內壁，則該電力饋送端子容易處於電力饋送端子T鉤掛於第二圓柱形絕緣組件600之內壁上的狀態中。此係因為第二圓柱形絕緣組件600係藉由成形樹脂形成，且該第二圓柱形絕緣組件之內壁並非平坦表面而為不平的面。
出於此原因，連接器700之電力饋送端子T不能遵循連接電極E之移動，且該電力饋送端子處於電力饋送端子T停留在第二圓柱形絕緣組件600之內壁上的狀態中。因此，在電力饋送端子T之尖端表面與連接電極E之間形成空間。
若在此狀態中將電壓施加至連接器700之電力饋 送端子T，則在電力饋送端子T與連接電極E之間產生放電，且電壓無法正常地施加至連接電極E。因此，結構無法充當靜電夾具。
以下將要解釋的實施例之靜電夾具可解決以上所述問題。
(實施例)
圖4為繪示一實施例之靜電夾具的橫截面圖。如圖4中所繪示，實施例之靜電夾具1包括由諸如鋁的金屬製作的底板10。底板10包括穿透孔12，該穿透孔穿透至厚度方向。
加熱器20經佈置以藉由第一黏合層14結合於底板10上。在第一黏合層14中，開口部分14a提供於對應於底板10之穿透孔12的位置處。此外，在加熱器20中，開口部分20a提供於第一黏合層14之開口部分14a上，開口部分20a之直徑比第一黏合層14之開口部分14a小。
此外，置放台30經佈置以藉由第二黏合層16結合於加熱器20上。置放台30係由主要組分為例如氧化鋁的陶瓷形成。置放台30在對應於加熱器20之開口部分20a的位置處包括凹形部分32。第二黏合層16自置放台30之下表面形成至凹形部分32之側表面。
將基於矽氧樹脂的黏合劑用作第一黏合層14及第二黏合層16之一較佳實例。
此外，置放台30在凹形部分32之底部表面上包括連接電極E，且連接電極E經由通孔導體VC連接至形成於置 放台30之內部分中的靜電電極34。以此方式，置放台30在對應於底板10之穿透孔12的位置處包括連接電極E。
作為製作置放台30之方法，藉由以下操作形成置放台30：在生胚薄片之表面及穿透孔上形成將為連接電極E、通孔導體VC及靜電電極34的鎢糊、積層多個生胚薄片及燒結該等多個生胚薄片。
請注意，加熱器20及置放台30在圖4之實例中係佈置為不同構件，但加熱器20可構建於置放台30中。
第一圓柱形絕緣組件40自底板10之穿透孔12之內壁之上末端側佈置至加熱器20之開口部分20a之內壁。第一圓柱形絕緣組件40包括自上側以此順序的上圓柱形部分42、具有環形形狀且向內突出的第一突出部分44及下圓柱形部分46。上圓柱形部分42係佈置於該上圓柱形部分之外表面接觸加熱器20之開口部分20a之內壁的狀態中。
此外，第一突出部分44及下圓柱形部分46係佈置於該第一突出部分及該下圓柱形部分之外表面接觸第一黏合層14之開口部分14a之內壁及底板10之穿透孔12之內壁的狀態中。
第一突出部分44之內徑經設定為小於上圓柱形部分42之內徑。此外，下圓柱形部分46之內徑經設定為大於上圓柱形部分42之內徑。
第一圓柱形絕緣組件40係由例如PEEK(聚醚醚酮)樹脂形成。
第二圓柱形絕緣組件50佈置於第一圓柱形絕緣 組件40之第一突出部分44之上表面上。第二圓柱形絕緣組件50在整個高度方向上具有相同內徑。此外，第二圓柱形絕緣組件50之內徑經設定為大體上等於第一圓柱形絕緣組件40之第一突出部分44之內徑。
第二圓柱形絕緣組件50係由例如聚醚醯亞胺樹脂(Ultem樹脂)形成。
此外，第三圓柱形絕緣組件60佈置在第一圓柱形絕緣組件40下方。第三圓柱形絕緣組件60包括在上末端側上的第二突出部分62，且包括在該第二突出部分下方的下圓柱形部分64，第二突出部分62具有環形形狀且向內突出。
隨後，第三圓柱形絕緣組件60之第二突出部分62之上表面經佈置以接觸第一圓柱形絕緣組件40之第一突出部分44之下表面。另外，第三圓柱形絕緣組件60之第二突出部分62之外表面經佈置以接觸第一圓柱形絕緣組件40之下圓柱形部分46之內壁。
此外，第三圓柱形絕緣組件60之下圓柱形部分64之外表面經佈置以接觸底板10之穿透孔12之內壁。
第三圓柱形絕緣組件60之第二突出部分62之內徑經設定為小於第一圓柱形絕緣組件40之第一突出部分44之內徑。另外，第三圓柱形絕緣組件60之下圓柱形部分64之內徑經設定為大體上等於第一圓柱形絕緣組件40之上圓柱形部分42之內徑。第三圓柱形絕緣組件60係由與第一圓柱形絕緣組件40相同的樹脂材料形成。
隨後，連接器70經佈置以自底板10之穿透孔12 插入至置放台30之凹形部分32。連接器70包括絕緣圓柱形主體72及插入該絕緣圓柱形主體中的支持器74。
支持器74包括圓柱形構件76，該圓柱形構件在內部分中具有彈性主體76a，諸如彈簧。隨後，電力饋送端子T連接至支持器74之圓柱形構件76中之彈性主體76a。電力饋送端子T藉由彈性主體76a之作為具有對上下方向的彈性力。電力饋送端子T之外徑經設定為小於圓柱形構件76之外徑。
螺紋S在底板10之穿透孔12之下末端部分之側表面中成曲線。此外，螺紋S亦在連接器70之下末端部分之外表面中成曲線。隨後，連接器70之下末端部分經旋擰至底板10之穿透孔12之下末端部分。
連接器70之圓柱形構件76之尖端部分固定至第三圓柱形絕緣組件60之第二突出部分62之內壁。在此狀態中，連接器70之電力饋送端子T插入至第一圓柱形絕緣組件40之第一突出部分44之內部分及第二圓柱形絕緣組件50之內部分，因此電力饋送端子T之尖端表面接觸置放台30之連接電極E。
以此方式，將電壓自連接器70之電力饋送端子T供應至置放台30之連接電極E，且經由通孔導體VC將電壓施加至靜電電極34。
如以上所描述，構成實施例之靜電夾具1。與引文中所解釋的靜電夾具相比，實施例之靜電夾具1另外具備在第一圓柱形絕緣組件40下方的第三圓柱形絕緣組件60。
藉此，連接器70之圓柱形構件76之尖端部分由第三圓柱形絕緣組件60之第二突出部分62固定。此時，因為耦接至圓柱形構件76之尖端的電力饋送端子T之外徑小於第二圓柱形絕緣組件50之內徑，所以充分的空間存在於電力饋送端子T與第二圓柱形絕緣組件50之內壁之間。
以此方式，當將連接器70之電力饋送端子T插入第一圓柱形絕緣組件40及第二圓柱形絕緣組件50之內部分中時，連接器70之圓柱形構件76之尖端部分經固定以配合至第三圓柱形絕緣組件60之第二突出部分62。
出於此原因，耦接至連接器70之圓柱形構件76之尖端的電力饋送端子T經朝向上側之垂直方向插入，而未移位至傾斜方向。因此，不擔心連接器70之電力饋送端子T接觸第二圓柱形絕緣組件50之內壁。
圖5繪示圖4中之此實施例之靜電夾具中之加熱器20打開以便以約120℃之溫度加熱置放台30的狀態。此時，因為由陶瓷製作的置放台30藉由加熱翹曲成凸形形狀，所以置放台30之連接電極E亦向上移動。
在此實施例中，如以上所提及，連接器70之電力饋送端子T處於自由狀態中，而不接觸第二圓柱形絕緣組件50之內壁。出於此原因，即使連接電極E藉由置放台30之翹曲向上移動，亦因為連接器70之電力饋送端子T耦接至彈性主體76a，所以該電力饋送端子藉由彈性主體76a之彈性力而無變化地處於電力饋送端子T遵循連接電極E之移動且接觸連接電極E的狀態中。
藉此，當在正加熱的狀態中使用靜電夾具1時，防止在連接器70之電力饋送端子T與置放台30之連接電極E之間形成空間。因此，有可能經由置放台30之連接電極E將電壓自電力饋送端子T穩定地施加至內部分中之靜電電極34。
當將正(+)電壓施加至置放台30之靜電電極34時，靜電電極34充滿正(+)電荷，且在諸如矽晶圓的吸引主體上感應負(-)電荷。藉此，吸引主體藉由庫侖力吸引至置放台30。
以下關於圖6列舉連接器70及第一至第三圓柱形絕緣組件40、50、60中每一部分之尺寸之一較佳實例。
第三圓柱形絕緣組件60之第二突出部分62之內徑A：1.85mm±0.02mm
連接器70之圓柱形構件76之外徑B：1.8mm±0.02mm
連接器70之電力饋送端子T之外徑：0.759mm
第一圓柱形絕緣組件40之上圓柱形部分42之內徑C：1.965mm±0.05mm
第二圓柱形絕緣組件50之外徑D：1.9mm
第二圓柱形絕緣組件50之內徑E：0.92mm
藉由如以上所描述地設定連接器70及第一至第三圓柱形絕緣組件40、50、60中每一部分之尺寸，有可能製作即使考慮每一構件之製造公差，連接器70之電力饋送端子T亦不接觸第二圓柱形絕緣組件50之內壁的結構。
圖7繪示實施例之修改之靜電夾具1a。類似圖7 中之修改之靜電夾具1a，在圖4中之靜電夾具1中，第一圓柱形絕緣組件40及第三圓柱形絕緣組件60係藉由樹脂成形整體地形成，因此可構成整合式第一圓柱形絕緣組件40a。
整合式第一圓柱形絕緣組件40a包括第一突出部分44a及在厚度方向之中心部分中佈置在該第一突出部分下方的第二突出部分62a。隨後，類似於圖4，第二突出部分62a之內徑經設定為小於第一突出部分44a之內徑。
圖7中之修改之靜電夾具1a帶來類似於圖4中之靜電夾具1的有利效應。
請注意，在以上模式中，作為較佳實例解釋包括加熱器20的靜電夾具1、1a，但可使用不包括加熱器的靜電夾具。在此模式中，類似地，第一圓柱形絕緣組件40在底板10之穿透孔12之內側中佈置於上側上。
此外，各種圓柱形形狀可用作第一圓柱形絕緣組件40及第三圓柱形絕緣組件60之形狀。滿足第三圓柱形絕緣組件60之最小內徑經設定為小於第一圓柱形絕緣組件40之最小內徑的要求。
即使靜電夾具不包括加熱器之狀況，亦因為靜電夾具之溫度在各種電漿製程中上升，所以靜電夾具帶來類似有利效應。
接著，將解釋包括以上所描述之實施例之靜電夾具1、1a的半導體液晶製造設備。此實施例之靜電夾具1可應用於將用於半導體裝置及液晶顯示器之製造製程的各種類型之半導體液晶製造設備。
以下解釋將藉由列舉包括實施例之靜電夾具1的乾式蝕刻設備作為一實例來給出。圖8為繪示實施例之乾式蝕刻設備的橫截面圖。如圖8中所繪示，例示平行板類型RIE設備作為乾式蝕刻設備2。
乾式蝕刻設備2包括腔室80，且下電極90在腔室80中佈置於下側上。以上所描述之實施例之靜電夾具1附接至下電極90之表面側，半導體晶圓5置放於靜電夾具1上。用於保護的石英環82佈置在靜電夾具1之周邊中。
用於施加RF電力的高頻率電源84連接至下電極90及靜電夾具1。用於RF電力之輸出之匹配的RF匹配器(未繪示)連接至高頻率電源84。
為下電極90之相對電極的上電極92在腔室80中佈置於上側上，且上電極92接地。氣體引入管94耦接至上電極92，且預定蝕刻氣體經引入至腔室80中。
排氣管96連接至腔室80之下部分，且真空泵附接至排氣管96之遠末端。藉此，藉由蝕刻產生的反應產物等經由排氣管96排出至外側中的排出氣體處理設備。
APC閥(自動壓力控制閥)98提供於腔室80附近的排氣管96中，且APC閥98之打開程度經自動調整，使得腔室80之內側變為設定壓力。
在此實施例之乾式蝕刻設備2中，靜電夾具1藉由加熱器20(圖4)加熱至約120℃，且半導體晶圓5經輸送且置放於該靜電夾具上。
隨後，藉由將預定電壓施加至靜電夾具1之靜電 電極34(圖4)，將半導體晶圓5吸引在靜電夾具1上。藉此，半導體晶圓處於半導體晶圓5以約120℃之溫度加熱的狀態中。
此後，經由氣體引入管94將諸如含氯氣體或含氟氣體的鹵素氣體引入腔室80中，且腔室80之內側藉由APC閥98之設定至預定壓力。隨後，將RF電力自高頻率電源84施加至下電極90及靜電夾具1，藉此，在腔室80內側產生電漿。
藉由將RF電力施加至靜電夾具1，在靜電夾具1側形成負自偏壓，因此，電漿中之正離子朝向靜電夾具1側加速。基於此狀況，形成於半導體晶圓5上的蝕刻靶層在120℃或更大溫度下的高溫大氣中經各向異性地蝕刻，且經製作成圖案。
存在銅(Cu)層等作為施加高溫蝕刻的蝕刻靶層。因為氯化銅揮發性低，所以藉由加熱至高溫，氯化銅更容易揮發。因此，蝕刻可容易地進行。
如以上所提及，在此實施例之靜電夾具1中，即使由陶瓷製作的置放台30經加熱至約120℃之溫度且以凸形形狀翹曲，亦可確保電力饋送端子T遵循置放台30之連接電極E且接觸連接電極E的狀態。
藉此，即使在正加熱的狀態中使用靜電夾具1之狀況下，亦可將電壓穩定地施加至置放台30之靜電電極34。因此，可可靠地吸引半導體晶圓5。
在圖8中，將此實施例之靜電夾具1應用於乾式蝕 刻設備。然而，靜電夾具1可應用於將用於半導體裝置及液晶顯示器之製造製程的各種其他類型之半導體液晶製造設備，諸如電漿CVD設備及濺射設備。
本文所述所有實例及有條件語言意欲用於教育目的以幫助讀者理解由發明人貢獻的本發明及概念以便促進技術，且將被視為不限於此類特定闡述的實例及條件，說明書中此類實例之組織亦並非涉及本發明之優越性及內在性之展示。雖然已詳細描述本發明之實施例，但應理解可在不脫離本發明之精神及範疇的情況下對該等實施例做出各種變化、置換及改變。

Claims (6)

  1. 一種靜電夾具，其包含：一底板，其包括一穿透孔；一置放台，其佈置於該底板上，該置放台在對應於該穿透孔的一位置處包括一電極；一第一圓柱形絕緣組件，其佈置於該底板之該穿透孔內側之一上側上；一第二圓柱形絕緣組件，其佈置於該第一圓柱形絕緣組件上；一第三圓柱形絕緣組件，其佈置在該第一圓柱形絕緣組件下方，該第三圓柱形絕緣組件具有一內徑小於該第一圓柱形絕緣組件之一內徑；一連接器，其佈置於該穿透孔中；其中，該連接器包括：一絕緣圓柱形主體；一圓柱形構件，其佈置於該絕緣圓柱形主體中，該圓柱形構件從該絕緣圓柱主體之一上末端突出；一彈性主體，其佈置於該圓柱形構件之一內部中；以及一電力饋送端子，其連接至該彈性主體，該電力饋送端子從該圓柱形構件之一上末端突出；其中，該第一圓柱形絕緣組件具有從一內牆至一內側突出之一第一突出部分；該第三圓柱形絕緣組件具有在一上末端側從一內牆至一內側突出之一第二突出部分；該第三圓柱形絕緣組件之該第二突出部分之一直徑係設定為小於該第一圓柱形絕緣組件之該第一突出部分之一直徑及該第二圓柱形絕緣組件之一直徑；該電力饋送端子以一狀態接觸該置放台之該電極，該狀態為從該連接器之該絕緣圓柱形主體之該上末端突出之一部分的該圓柱形構件係由該第三圓柱形絕緣組件之該第二突出部分所固定。
  2. 如請求項1之靜電夾具，其中該靜電夾具包括一加熱器。
  3. 如請求項1之靜電夾具，其中該置放台之該電極係形成於該置放台中之一凹形部分之一底部表面上。
  4. 如請求項1之靜電夾具，其中該第一圓柱形絕緣組件及該第三圓柱形絕緣組件係一體地形成。
  5. 如請求項1之靜電夾具，其中該電力饋送端子之一外徑係經設定為小於該圓柱形構件之一外徑，且一空間存在於該電力饋送端子與該第二圓柱形絕緣組件之間。
  6. 一種半導體液晶製造設備，其包含：一腔室；以及一靜電夾具，其附接於該腔室中，其中該靜電夾具包括一底板，其包括一穿透孔；一置放台，其佈置於該底板上，該置放台在對應於該穿透孔的一位置處包括一電極；一第一圓柱形絕緣組件，其佈置於該底板之該穿透孔之內側中之一上側上；一第二圓柱形絕緣組件，其佈置於該第一圓柱形絕緣組件上；一第三圓柱形絕緣組件，其佈置在該第一圓柱形絕緣組件下方，該第三圓柱形絕緣組件具有一內徑小於該第一圓柱形絕緣組件之一內徑；一連接器，其佈置於該穿透孔中；其中，該連接器包括：一絕緣圓柱形主體；一圓柱形構件，其佈置於該絕緣圓柱形主體中，該圓柱形構件從該絕緣圓柱主體之一上末端突出；一彈性主體，其佈置於該圓柱形構件之一內部中；以及一電力饋送端子，其連接至該彈性主體，該電力饋送端子從該圓柱形構件之一上末端突出；其中，該第一圓柱形絕緣組件具有從一內牆至一內側突出的一第一突出部分；該第三圓柱體絕緣組件具有於一上末端側上從一內牆至一內側突出的一第二突出部分；該第三圓柱形絕緣組件之該第二突出部分之一直徑係設定為小於該第一圓柱形絕緣組件之該第一突出部分之一直徑及該第二圓柱形絕緣組件之一直徑；該電力饋送端子以一狀態接觸該置放台之該電極，該狀態為從該連接器之該絕緣圓柱形主體之該上末端突出之一部分的該圓柱形構件係由該第三圓柱形絕緣組件之該第二突出部分所固定。
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