JP2008016485A - ウェーハ搬送方法及びウェーハ搬送ユニット - Google Patents
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Abstract
チップ間の接触を防いでウェーハの搬送を容易にする、低コストで扱いやすいウェーハ搬送方法及びウェーハ搬送ユニットを提供すること。
【解決手段】
テープSを介してウェーハWがフレームFにマウントされ、テープSのウェーハWが貼着された面と反対側の面に、ウェーハWの外径よりも大きい板状の保持プレート1を、取付け用テープ2を介して接合することにより、搬送中のテープSの振動が小さくなり、チップT間の接触が低減され、高い品質を保ったまま、低コストで容易にウェーハWを搬送することが可能となる。
【選択図】図2
Description
Claims (5)
- 樹脂製のテープを介してウェーハがフレームにマウントされ、前記テープの前記ウェーハが貼着された面と反対側の面に、前記ウェーハの外径よりも大きい外径を有する板状の保持プレートを、取付け用テープを介して接合して該ウェーハの搬送を行うことを特徴とするウェーハ搬送方法。
- 前記取り付け用テープは、前記テープと同様の素材により形成されたことを特徴とする請求項1に記載のウェーハ搬送方法。
- 前記取り付け用テープには前記テープと該取りつけ用テープとの間の空気を吸引するための複数の穴が開けられていることを特徴とする請求項1または請求項2に記載のウェーハ搬送方法。
- 前記保持プレートは平面度50μm以上であることを特徴とする請求項1、2または3のいずれか1項に記載のウェーハ搬送方法。
- ウェーハが貼着され、前記ウェーハをリング状のフレームへマウントするテープの前記ウェーハが貼着された面の反対側の面に接合される、前記ウェーハの外径よりも大きい外径を有する保持プレートと、
前記保持プレートを前記テープの前記ウェーハが貼着された面の反対側へ接合させる取付け用テープと、により構成されることを特徴とするウェーハ搬送ユニット。
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