JP2005057158A - エキスパンド方法及びエキスパンド装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】ダイシング加工後に、粘着シートSをエキスパンドして個々のチップT間の間隔を拡大するエキスパンドは、ダイシング加工後ウェーハWをチャックステージ6に載置した状態のままでチャックステージ6ごとエキスパンドエリアに搬送し、エキスパンドエリアで粘着シートSをエキスパンドし、シート保持手段でチャックステージ6上の粘着シートSのエキスパンド状態を保持し、クランプ部材の外側の部分の粘着シートに弛みSAを形成し、粘着シートSの弛みSA部分の基部SBを摘まんで固定するようにした。
【選択図】 図9
Description
Claims (4)
- 粘着シートに貼着されて該粘着シートを介してリング状のフレームにマウントされ、個々のチップにダイシング加工された板状物に対し、ダイシング加工後に、前記粘着シートをエキスパンドして前記個々のチップ間の間隔を拡大するエキスパンド方法において、
前記板状物をダイシング加工後、前記板状物をチャックステージから取り外さずにチャックステージごと同一装置内の別エリアに搬送し、
該同一装置内の別エリアにおいて前記粘着シートをエキスパンドし、
エキスパンドされた前記チャックステージ上の粘着シートのエキスパンド状態を保持し、
前記チャックステージの外側の部分の粘着シートに弛みを形成し、
前記粘着シートの弛み部分の基部を摘まんで固定することにより、前記板状物をチャックステージから取り外しても前記粘着シートのエキスパンド状態が保持されることを特徴とするエキスパンド方法。 - 前記粘着シートの摘まれた弛み部分の基部を溶着又は接着で固定することを特徴とする、請求項1に記載のエキスパンド方法。
- 粘着シートに貼着されて該粘着シートを介してリング状のフレームにマウントされ、個々のチップにダイシング加工された板状物に対し、ダイシング加工後に、前記粘着シートをエキスパンドして前記個々のチップ間の間隔を拡大するエキスパンド装置であって、ダイシング装置内に設けられたエキスパンド装置において、 前記板状物をダイシング加工後、前記板状物をチャックステージから取り外さずに前記板状物をチャックステージごとダイシングエリアからダイシング装置内の別エリアに搬送する搬送手段と、
該ダイシング装置内の別エリアにおいて前記粘着シートをエキスパンドするエキスパンド手段と、
前記チャックステージ上の粘着シートのエキスパンド状態を保持するシート保持手段と、 前記粘着シートのエキスパンド状態が保持されていない部分に発生する弛み部分の基部を摘まんで固定するシート弛み部固定手段と、を有し、
前記シート保持手段によるシート保持を解除しても、前記粘着シートのエキスパンド状態を保持させ、拡大された前記チップ間隔を維持したまま前記板状物を前記フレームごと搬送可能にしたことを特徴とするエキスパンド装置。 - 前記シート弛み部固定手段には超音波溶着工具が用いられていることを特徴とする、請求項3に記載のエキスパンド装置。
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