JP2013219245A - 半導体装置の製造方法 - Google Patents
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Abstract
【課題】工程の簡略化をはかり、しかも、チップに割れが生じにくい半導体装置の製造方法を提供する。
【解決手段】ウェーハ31をバックグラインドテープ32に貼り付ける。ウェーハ31に対して薄化する。バックグラインドテープ32に貼り付けられた状態で薄化されたウェーハ33を個片化する。個片化されてなるチップ36を、吸着ステージ37上に一括転写する。吸着ステージ37上のチップ36をコレット40にてピックアップして、このコレットにて保持されているチップ36を、ボンディングポジションに搬送し、このボンディングポジションでチッ36をボンディングする。
【選択図】図1
【解決手段】ウェーハ31をバックグラインドテープ32に貼り付ける。ウェーハ31に対して薄化する。バックグラインドテープ32に貼り付けられた状態で薄化されたウェーハ33を個片化する。個片化されてなるチップ36を、吸着ステージ37上に一括転写する。吸着ステージ37上のチップ36をコレット40にてピックアップして、このコレットにて保持されているチップ36を、ボンディングポジションに搬送し、このボンディングポジションでチッ36をボンディングする。
【選択図】図1
Description
本発明は、半導体装置の製造方法に関する。
半導体装置の製造においては、多数個の素子を一括して造り込まれたウェーハをダイシングして個々の半導体チップに分離し、これを一個ずつリードフレーム等の所定位置にボンディングするというチップボンディングの手法が採用されている。
一般的には、図3に示すように、水平移動動作A1、D1、G1、下降動作B1、E1および上昇動作C1、F1、さらに必要に応じて回転動作を行うコレット1を具備するダイボンダを用いている。
図3に示すダイボンダを使用したダイボンディング方法を説明する。まず、コレット1は、水平移動を行って(A1)、ピックアップポジションで下降し(B1)、半導体チップ2のピックアップを行う。この場合、ピックアップするポジションには、粘着シート3の直下にピックアップステージ5が配置され、そのピックアップステージ5内に、半導体チップ2を粘着シート3から剥離させるための突き上げピン6を上下動自在に収納配置している。そして、突き上げピン6を上昇させ、半導体チップ2の裏面を粘着シート3から剥離させてコレット1によるピックアップを容易にする。
その後、コレット1は上昇し(C1)、水平移動を行って(D1)、ボンディングポジションで下降し(E1)、半導体チップ2をリードフレーム7のアイランド部にボンディングを行い上昇し(F1)、水平移動を行う(G1)。この繰り返しによって、半導体チップ2を、ピックアップポジションでピックアップし、ボンディングポジションでリードフレーム7にボンディングしている。
近年、電子機器の小型化、高機能化の進展に伴って、半導体装置に対して小型化、薄型化及び電気特性の向上が求められている。薄型化のために、ウェーハに対して裏面研削(バックグラインド)を行うことになる。このバックグラインド工程においては、回路面を外的異物による傷、チッピング・クラック(割れ)、レシデューやパーティクルコンタミネーションなどの汚染から保護するために、バックグラインドテープが用いられる。バックグラインドテープは、基材の片面に粘着剤層が形成されてなるものである。基材としては例えば、ポリエチレンテレフタレート(PET)等の樹脂からなるものが挙げられる。上記基材が紫外線を透過する物質からなる場合には、基材側から紫外線を照射することにより、半導体ウェーハと基材とを剥離することができるので好ましい。
そのため、従来には、このようなバックグラインドテープを用いた半導体装置の製造方法がある(特許文献1)。バックグラインドテープを用いた半導体装置の製造方法は、一般的には、図2に示す方法が採用される。
まず、図2(a)に示すように、ウェーハ11にバックグラインドテープ12を貼り付ける。この状態で、ウェーハ11の裏面11aを研磨して、薄化する(裏面研磨工程)。その後、反転させて、図2(b)に示すように、ダイシングシート14にこの薄化ウェーハ13を転写する(転写工程)。次に、図2(c)に示すように、このダイシングシート14上の薄化ウェーハ13に対して、円形刃(ダイシング・ソー)15等を用いて、個片化してチップ2を形成する(ダイシング工程)。ダイシング工程後には、図2(d)に示すように、ダイシングシート14から、チップ2をコレット1にてピックアップする(ダイボンド工程)。このダイボンド工程が、前記した図3の工程となる。なお、ダイシングシート14は、基材の片面に粘着剤層が形成されてなるものである。この基材として、例えば、塩化ビニルフィルムやポリオレフィンフィルム等が用いられる。
前記図2に示す方法(工程)を採用すれば、裏面研磨工程時に用いたバックグラインドテープ12から薄化ウェーハ11をダイシングシート14に張り替える必要があり、作業工数が多く、作業時間が大となっていた。
また、ダイボンド工程において、コレット1にてチップ2をピックアップする際には、チップ2に割れ等が生じるおそれがあった。すなわち、ピックアップ時において、図3に示すような突き上げ針(突き上げピン)6を用いれば、粘着シート3、つまり図2におけるダイシングシート14を介してチップ2が突き上げられて持ち上げられるからである。このため、チップ2にストレスが掛かり、チップ割れが生じる。
また、図2(b)(c)(d)に示すように、ダイシングシート14は環状のフレーム16に保持される。この場合、環状のフレーム16の外形寸法は、薄化ウェーハ13の外形よりも大きくものである。このため、この環状のクレーム16に保持される部材(ワークW)は比較的外形寸法が大となるとともに、重量的にも大となっていた。したがって、工程間の搬送を行いにくいものとなっていた。
そこで、本発明は斯かる実情に鑑み、工程の簡略化をはかり、しかも、チップに割れが生じにくい半導体装置の製造方法を提供しようとするものである。
本発明の第1の半導体装置の製造方法は、ウェーハを個片化するダイシング工程と、チップをコレットにてピックアップして、このコレットにて保持されているチップを、ボンディングポジションに搬送し、このボンディングポジションでチップをボンディングするダイボンド工程とを備えた半導体装置の製造方法において、チップが吸着可能な吸着ステージの上面に、前記ダイシング工程にてウェーハを個片化されてなるチップを一括転写し、この吸着ステージ上のチップを順次ボンディングしていくものである。
本発明の第1の半導体装置の製造方法によれば、吸着ステージ上のチップをボンディングしていくものであるので、ピックアップ時にチップがダイシングシート(粘着シート)に貼り付けられていないので、チップにストレスが掛かりにくいものとなる。また、個片化されてなるチップを、吸着ステージ上に一括転写するものであり、作業時間の短縮化を図るとともに、この転写時にチップにストレスが掛かりにくいものとなる。
ダイシング工程は、バックグラインドテープに貼り付けられた状態でウェーハを個片化するのが好ましい。このようにすることによって、裏面研磨工程を行った後、ダイシング工程を行う場合、バックグラインドシートからダイシングシートへの転写工程を省略することができる。このため、ダイシングシートを用いる必要がなく、このダイシングシートを保持するための環状のフレームも必要がなくなる。
コレットにてピックアップすべきチップに対する吸着ステージの吸着力を、コレットのチップに対する吸着力よりも小さくするのが好ましい。このように設定することによって、コレットの吸着力が吸着ステージの吸着力よりも大きくなって、安定してピックアップすることができる。
チップをコレットにてピックアップする際に、このチップに対する吸着ステージの吸着を解除するようにしてもよい。このように設定することによって、より安定してピックアップすることができる。
本発明の第2の半導体装置の製造方法は、ウェーハをバックグラインドテープに貼り付けて、ウェーハに対して薄化した後、バックグラインドテープに貼り付けられた状態で薄化されたウェーハを個片化し、その後、個片化されてなるチップを、吸着ステージ上に一括転写し、次に、吸着ステージ上のチップをコレットにてピックアップして、このコレットにて保持されているチップを、ボンディングポジションに搬送し、このボンディングポジションでチップをボンディングするものである。
本発明の第2の半導体装置の製造方法によれば、裏面研磨工程を行った後、ダイシング工程を行う場合、バックグラインドシートからダイシングシートへの転写工程を省略することができる。このため、ダイシングシートを用いる必要がなく、このダイシングシートを保持するための環状のフレームも必要がなくなる。しかも、チップがダイシングシート(粘着シート)に貼り付けられていないので、ピックアップ時にチップにストレスが掛かりにくいものとなる。また、個片化されてなるチップを、吸着ステージ上に一括転写するものであり、作業時間の短縮化を図るとともに、この転写時にチップにストレスが掛かりにくいものとなる。
本発明では、ピックアップ時にチップにストレスが掛かりにくいものとなって、チップ割れを有効に防止できる。また、バックグラインドシートからダイシングシートへの転写工程を省略することができ、張替え作業を省略することができ、作業時間の短縮を図ることができる。しかも、ダイシングシート及び環状のフレームを用いる必要がなくなって、工程間を搬送させるワークの大型化及び大重量化を防止でき、工程間の搬送性の向上、および低コスト化を図ることができる。
吸着ステージの吸着力を、コレットのチップに対する吸着力よりも小さくしたり、解除したりすることによって、コレットにてチップを安定してピップアップでき、チップ割れ等を有効に防止できるとともに、ボンディング作業性の向上を図ることができる。
以下本発明の実施の形態を図1に基づいて説明する。
図1は、本発明にかかる半導体装置の製造方法を示す工程図を示し、この半導体装置の製造方法は、図1(a)に示す裏面研磨工程と、図1(b)に示すダイシング工程と、図1(c)に示す転写工程と、図1(d)に示すダイボンド工程とを備える。
図1(a)に示す裏面研磨工程は、ウェーハ31にバックグラインドテープ32を張り合せる工程である。ここで、ウェーハ31とは、半導体材料を薄く円盤状に加工してできた薄い板のことである。半導体基板の材料として用いられている。また、ウェーハ31は、シリコンなどの半導体材料を結晶化させて生成した、直径数十cm、長さ1m程度の円柱状の塊(インゴット)を、1mm程度に薄くスライスして作られる。それから表面の研磨や端子形成などを行い、後述するダイシング工程で、例えば。数mm角の小片に切断して、ペレット(チップ)36(図1(b)参照)が形成される。
この場合のバックグラインドテープ32は、基材と、この基材の片面に粘着剤層が形成されてなるものであり、バックグラインドテープ32の外形とウェーハ31の外形と略同一の大きさに設定する。バックグラインドテープ32の基材としては例えば、ポリエチレンテレフタレート(PET)等の樹脂やガラス板等からなる。また、粘着剤層として、紫外線(UV)を照射することで簡単に剥がすことが可能な「UV剥離タイプ」を用いることができる。また、粘着剤層を両面テート(両面接着テープ)等にて構成してもよい。このため、バックグラインドテープ32として、既存の種々のタイプのものを使用することができる。
そして、図示省略の研磨砥石等にてこのウェーハ31の裏面を研磨する。すなわち、ウェーハ31の肉厚を薄くする薄化を図る。これによって、例えば、数十〜数百ミクロンの薄化ウェーハ33を形成する。
図1(b)に示すダイシング工程は、バックグラインドテープ32を貼り付いたままで、円形刃(ダイシング・ソー)35等を用いて、薄化ウェーハ33を個片化して、多数のチップ36を形成する。なお、このダイシング工程においては、円形刃(ダイシング・ソー)35を用いることなく、レーザ光によって個片化するものであってもよい。
図1(c)に示す転写工程は、バックグラインドテープ32から吸着ステージ37上に、チップ36を一括写する工程である。ここで、吸着ステージ37は、例えば、XYZステージで構成することができる。この場合、ステージ37は中空室(図示省略)を備え、多数の吸引孔を設けた上壁にてステージ上方開口部を覆うか、又は、多孔質材からなる上壁にてステージ上方開口部を覆うようにしたものである。また、吸着ステージ37には図示省略の真空機構が接続されて、中空室が負圧状態とされる。なお、真空機構としては、真空ポンプや真空エジェクタ等が使用される。
このため、上壁が多数の吸引孔を設けたものであれば、中空室を負圧状態とすれば、吸引孔を介してチップ36が真空吸引され、ステージ37の上面37aに各チップ36が吸着する。また、上壁が多孔質材からなるものであっても、中空室を負圧状態とすれば、上壁の孔をチップ36が真空吸引され、ステージ37の上面37aに各チップ36が吸着する。
ところで、この図1(c)の転写工程では、多数のチップ36を一括して転写する必要がある。このため、各チップ36を、ステージ37の上面37aに押し当てて、チップ36を吸着する際に、この吸着力が、バックグラインドテープ32の粘着力よりも大きくなる必要がある。そこで、バックグラインドテープ32の粘着剤に、紫外線(UV)を照射することで簡単に剥がすことが可能な「UV剥離タイプ」を用いている場合、紫外線を照射する。これによって、チップ36のバックグラインドテープ32からの吸着ステージ37への一括転写が可能となる。なお、バックグラインドテープ32が粘着剤の粘着力が初めからステージ37の吸着力よりも小さければ、紫外線を照射するような工程を省略することができる。
図1(d)に示すダイボンド工程は、吸着ステージ37上のチップ36を1個ずつコレット40にてピックアップして、このコレット40にて保持されているチップ36を、ボンディングポジションに搬送し、このボンディングポジションでチップ36をボンディングするものである。
このため、コレット40は、図示省略の搬送手段を介して、ピックアップポジションとボンディングポジションとの間の移動が可能となっている。搬送手段は、コレット40を保持するボンディングアームをX、Y、θ及びZ方向に駆動させることができる。
また、チップ36をピックアップする際には、少なくとも、コレット40の吸着力が吸着ステージ37に吸着されているチップ36よりも大きくする必要がある。このため、多数の吸引孔を有するものであれば、各吸引孔に開閉手段を設け、吸引孔毎に開閉可能としたり、各吸引孔からの吸引力を制御する制御手段を設けたりすることによって、チップ36の1個1個のピックアップを安定して行える。しかしながら、このような構造では、装置が大掛かりとなるとともに、制御が複雑化するおそれがある。
そこで、例えば、特開2004−193493号等に記載されているピックアップ方法を採用することによって、ピックアップしようとするチップに対する吸着ステージ37の吸着力を遮断することができ、各チップ36を安定してピックアップすることができる。
このように、本発明に係る半導体装置の製造方法は、まず図1(a)に示す裏面研磨工程を行って、バックグラインドテープ32に貼り付けられたままの薄化ウェーハ33を形成する。次に、図1(b)に示すダイシング工程を行って、バックグラインドテープ32に貼り付けられたままの薄化ウェーハ33に対して、個片化してチップ36を形成する。その後、図1(c)に示す転写工程を行って、吸着ステージ37に薄化ウェーハ33を個片化してなるチップ36を一括転写する。その後は、図1(D)に示すダイボンド工程を行って、チップ36を順次ボンディングポジションに搬送し、このボンディングポジションでチップ36をボンディングするものである。
本発明に係る半導体装置の製造方法によれば、チップ36がダイシングシート(粘着シート)は貼り付けられていないので、ピックアップ時にチップ36にストレスが掛かりにくいものとなる。このため、チップ割れを有効に防止できる。また、バックグラインドシートからダイシングシートへの転写工程を省略することができ、張替え作業を省略することができ、作業時間の短縮を図ることができる。しかも、ダイシングシートを用いる必要がなく、このダイシングシートを保持するための環状のフレームも必要がなくなる。すなわち、バックグラインドテープ32の外形をウェーハ31の外形にあわせることができ、ワークW(バックグラインドテープ32とウェーハ31(33)とが張り合わされてなるもの、またはバックグラインドテープ32が貼り付けられたままウェーハ33が個片化されてなるもの)の大型化を防止できる。このため、工程間を搬送させるワークWの大型化及び大重量化を防止でき、工程間の搬送性の向上、および低コスト化を図ることができる。また、個片化されてなるチップ36を、吸着ステージ37上に一括転写するものであり、作業時間の短縮化を図るとともに、この転写時にチップ36にストレスが掛かりにくいものとなる。
以上、本発明の実施形態につき説明したが、前記実施形態に限定されることなく種々の変形が可能であって、例えば、前記実施形態では、図1(a)(b)(c)(d)の全ての工程を含むものであったが、本発明としては、ダイシングまでを他の工程、例えば、図2に示す従来の工程を行って、ウェーハ33の個片化を行い、この個片化されてなるチップ36を、吸着ステージ37に一括転写し、その後、図1(d)のダイボンド工程を行うものであってもよい。このような方法であっても、ピックアップ時に、チップ36がダイシングシート(粘着シート)は貼り付けられていないので、チップ36にストレスが掛かりにくいものとなる。また、前記実施形態では、ダイシング工程前に、裏面研磨工程を行っているが、この裏面研磨工程を行わず、薄化しないウェーハ31をダイシングするものであってもよい。
31 ウェーハ
32 バックグラインドテープ
33 薄化ウェーハ
36 チップ
37 吸着ステージ
40 コレット
32 バックグラインドテープ
33 薄化ウェーハ
36 チップ
37 吸着ステージ
40 コレット
Claims (5)
- ウェーハを個片化するダイシング工程と、チップをコレットにてピックアップして、このコレットにて保持されているチップを、ボンディングポジションに搬送し、このボンディングポジションでチップをボンディングするダイボン工程とを備えた半導体装置の製造方法において、
チップが吸着可能な吸着ステージの上面に、前記ダイシング工程にてウェーハを個片化されてなるチップを一括転写し、この吸着ステージ上のチップを順次ボンディングしていくことを特徴とする半導体装置の製造方法。 - 前記ダイシング工程は、バックグラインドテープに貼り付けられた状態でウェーハ33を個片化することを特徴とする請求項1に記載の半導体装置の製造方法。
- コレットにてピックアップすべきチップに対する吸着ステージの吸着力を、コレットのチップに対する吸着力よりも小さくすることを特徴とする請求項1又は請求項2に記載の半導体装置の製造方法。
- チップをコレットにてピックアップする際に、このチップに対する吸着ステージの吸着を解除することを特徴とする請求項1〜請求項3のいずれか1項に記載の半導体装置の製造方法。
- ウェーハをバックグラインドテープに貼り付けて、このウェーハに対して薄化した後、バックグラインドテープに貼り付けられた状態で薄化されたウェーハを個片化し、その後、個片化されてなるチップを、吸着ステージ上に一括転写し、次に、吸着ステージ上のチップをコレットにてピックアップして、このコレットにて保持されているチップを、ボンディングポジションに搬送し、このボンディングポジションでチップをボンディングすることを特徴とする半導体装置の製造方法。
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KR20160027924A (ko) * | 2014-09-02 | 2016-03-10 | 린텍 가부시키가이샤 | 정렬 장치 및 정렬 방법 |
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2012
- 2012-04-10 JP JP2012089495A patent/JP2013219245A/ja active Pending
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