CN219832621U - 气动吸盘 - Google Patents
气动吸盘 Download PDFInfo
- Publication number
- CN219832621U CN219832621U CN202321228876.2U CN202321228876U CN219832621U CN 219832621 U CN219832621 U CN 219832621U CN 202321228876 U CN202321228876 U CN 202321228876U CN 219832621 U CN219832621 U CN 219832621U
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- arc
- communication hole
- pneumatic
- substrate
- sucker
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims abstract description 58
- 238000001179 sorption measurement Methods 0.000 abstract description 14
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 abstract description 4
- 230000005484 gravity Effects 0.000 abstract description 4
- 241000252254 Catostomidae Species 0.000 abstract description 2
- 241000587161 Gomphocarpus Species 0.000 description 5
- 230000003139 buffering effect Effects 0.000 description 5
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 3
- 230000008878 coupling Effects 0.000 description 2
- 238000010168 coupling process Methods 0.000 description 2
- 238000005859 coupling reaction Methods 0.000 description 2
- 238000000034 method Methods 0.000 description 2
- 241000251468 Actinopterygii Species 0.000 description 1
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000000428 dust Substances 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 239000006260 foam Substances 0.000 description 1
- 239000003292 glue Substances 0.000 description 1
- 239000000463 material Substances 0.000 description 1
- 238000005457 optimization Methods 0.000 description 1
- 230000000149 penetrating effect Effects 0.000 description 1
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 1
- 239000007787 solid Substances 0.000 description 1
Landscapes
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
Abstract
本申请属于吸盘技术领域,具体涉及一种气动吸盘。该气动吸盘用于吸附基片,包括吸盘主体和吸盘垫片,吸盘主体具有可朝向基片的吸附面,吸盘垫片设于吸附面的边缘区域,吸盘垫片包括至少两个弧形缓冲垫,至少两个弧形缓冲垫沿吸盘主体的周向间隔设置,且至少两个弧形缓冲垫位于同一圆周上,每个弧形缓冲垫均沿吸盘主体的周向延伸。本申请的弧形缓冲垫未构成环形,其只能分别覆盖吸盘主体的部分周向区域,因此相较于环形的吸盘垫片而言,未构成环形的弧形缓冲垫的重量较小,因此弧形缓冲垫在自身重力的作用下不易从吸盘主体上脱落,从而防止吸盘掉落在基片传输线上划伤、砸裂基片。
Description
技术领域
本申请属于吸盘技术领域,具体涉及一种气动吸盘。
背景技术
目前太阳能光伏行业的大多数工艺段均需要使用气动吸盘,气动吸盘可利用伯努利原理吸附基片,其具有结构简单、质量轻、使用方便等可靠优点。
气动吸盘包括吸盘主体和吸盘垫片,吸盘主体具有吸附面,吸盘垫片设于吸附面,吸附面的除覆盖有吸盘垫片以外的区域设有多个吸附孔,吸附孔可连接外部的吸气设备,以将基片吸附至吸盘垫片上。目前的气动吸盘的吸盘垫片通常通过粘接的方式连接至吸盘主体,且吸盘垫片呈环形,环形的吸盘垫片的重量较大,因此吸盘垫片在自身重力的作用下易从吸盘主体上脱落,脱落的吸盘掉落在基片传输线上易划伤、砸裂基片。
实用新型内容
本申请实施例的目的是提供一种气动吸盘,能够解决目前的吸盘垫片易从吸盘主体上脱落,进而划伤、砸裂基片的问题。
为了解决上述技术问题,本申请是这样实现的:
本申请实施例提供了一种气动吸盘,用于吸附基片,包括吸盘主体和吸盘垫片,吸盘主体具有可朝向基片的吸附面,吸盘垫片设于吸附面的边缘区域,
吸盘垫片包括至少两个弧形缓冲垫,至少两个弧形缓冲垫沿吸盘主体的周向间隔设置,且至少两个弧形缓冲垫位于同一圆周上,每个弧形缓冲垫均沿吸盘主体的周向延伸。
本申请实施例中,吸盘垫片包括至少两个弧形缓冲垫,至少两个弧形缓冲垫沿吸盘主体的周向间隔设置,且每个弧形缓冲垫均沿吸盘主体的周向延伸,也就是说,弧形缓冲垫未构成环形,其只能分别覆盖吸盘主体的部分周向区域,因此相较于环形的吸盘垫片而言,未构成环形的弧形缓冲垫的重量较小,因此弧形缓冲垫在自身重力的作用下不易从吸盘主体上脱落,从而防止吸盘掉落在基片传输线上划伤、砸裂基片。
附图说明
图1为本申请实施例公开的气动吸盘的俯视图;
图2为本申请实施例公开的弧形缓冲垫的剖视图;
图3为本申请图2中A处的放大示意图。
附图标记说明:
100-吸盘主体、110-吸附面、111-间隔区域、120-吸附孔、200-弧形缓冲垫、211-第一连通孔、212-第二连通孔、220-缓冲面、300-螺钉、400-缓冲盖、500-柔性连接部。
具体实施方式
下面将结合本申请实施例中的附图,对本申请实施例中的技术方案进行清楚、完整的描述,显然,所描述的实施例是本申请一部分实施例,而不是全部的实施例。基于本申请中的实施例,本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例,都属于本申请保护的范围。
本申请的说明书和权利要求书中的术语“第一”、“第二”等是用于区别类似的对象,而不用于描述特定的顺序或先后次序。应该理解这样使用的数据在适当情况下可以互换,以便本申请的实施例能够以除了在这里图示或描述的那些以外的顺序实施,且“第一”、“第二”等所区分的对象通常为一类,并不限定对象的个数,例如第一对象可以是一个,也可以是多个。此外,说明书以及权利要求中“和/或”表示所连接对象的至少其中之一,字符“/”,一般表示前后关联对象是一种“或”的关系。
下面结合附图,通过具体的实施例及其应用场景对本申请实施例提供的气动吸盘进行详细地说明。
如图1至图3所示,本申请实施例公开了一种气动吸盘,用于吸附基片,包括吸盘主体100和吸盘垫片,吸盘主体100具有可朝向基片的吸附面110,吸盘垫片设于吸附面110的边缘区域。具体地,基片可由外部的基片传输线向前输送,也就是说,基片的位置会实时发生变化,在基片运动至吸附面110的下方的情况下,吸附面110朝向基片,吸附面110上具有多个吸附孔120,通过吸附孔120可将基片吸附起来;在基片未运动至吸附面110的下方的情况下,吸附面110未朝向基片;这里的基片可以为硅片,吸盘垫片可为海绵垫、橡胶垫等具备缓冲功能的垫片。此外,相较于吸盘垫片设于吸附面110的中心区域而言,吸盘垫片设于吸附面110的边缘区域可增加下述的各弧形缓冲垫200的延伸长度,进而提高吸盘垫片的缓冲效果。
吸盘垫片包括至少两个弧形缓冲垫200,至少两个弧形缓冲垫200沿吸盘主体100的周向间隔设置,且至少两个弧形缓冲垫200位于同一圆周上,每个弧形缓冲垫200均沿吸盘主体100的周向延伸。本申请实施例中,吸盘垫片包括至少两个弧形缓冲垫200,至少两个弧形缓冲垫200沿吸盘主体100的周向间隔设置,且每个弧形缓冲垫200均沿吸盘主体100的周向延伸,也就是说,弧形缓冲垫200未构成环形,其只能分别覆盖吸盘主体100的部分周向区域,因此相较于环形的吸盘垫片而言,未构成环形的弧形缓冲垫200的重量较小,因此弧形缓冲垫200在自身重力的作用下不易从吸盘主体100上脱落,从而防止吸盘掉落在基片传输线上划伤、砸裂基片。此外,各弧形缓冲垫200位于同一圆周上可使吸盘垫片对基片的同一圆周区域进行缓冲,从而可使吸盘垫片在对基片进行缓冲时,对基片施加的反作用力更均匀。
在一种可选的实施例中,吸附面110上具有多个吸附孔120,吸附面110具有至少一个位于相邻两个弧形缓冲垫200之间的间隔区域111,至少一个间隔区域111具有至少一个吸附孔120。若吸盘垫片为环形垫片;或者相邻两个弧形缓冲垫200相接触,即:相邻两个弧形缓冲垫200之间不具有间隔区域111;上述的两种方案均会使得吸盘垫片覆盖吸附面110的一整个圆周区域,该圆周区域被覆盖后无法设置吸附孔120,因此吸附面110上可设置吸附孔120的数量较少。反观本实施例,相邻两个弧形缓冲垫200之间具有间隔区域111,也就是说,吸盘垫片未覆盖吸附面110的一整个圆周区域,因此可利用相邻的两个弧形缓冲垫200之间的间隔区域111设置吸附孔120,从而可增加吸附孔120的数量,进而提升吸盘主体100对基片的吸附力,以防止基片掉落;或者可使吸盘主体100能够吸附重量更大的基片。需要说明的是,图1仅示出了设置在吸附面110的间隔区域111内的吸附孔120,而未示吸附面110的除间隔区域111以外的区域内的吸附孔120。
可选地,弧形缓冲垫200可通过粘接的方式固定至吸盘主体100,但粘接胶易老化,这容易使得弧形缓冲垫200从吸盘主体100上脱落。在一种可选的实施例中,至少一个弧形缓冲垫200上设有至少两个间隔设置的通孔,气动吸盘还包括至少两个螺钉300,各螺钉300的第一端一一对应地穿过各通孔并与吸盘主体100相连接,以将弧形缓冲垫200固定至吸盘主体100。本实施例中,弧形缓冲垫200通过螺钉300与吸盘主体100相连接,这可增大弧形缓冲垫200与吸盘主体100之间的连接强度,从而将弧形缓冲垫200牢固地固定至吸盘主体100上,进而防止弧形缓冲垫200从吸盘主体100上脱落,同时方便更换弧形缓冲垫200。
为了防止基片与螺钉300的钉头碰撞而造成基片损坏,在一种可选的实施例中,所述通孔包括相连通的第一连通孔211和第二连通孔212,所述第一连通孔211相较所述第二连通孔212更靠近所述吸盘主体100,所述第一连通孔211的横截面积小于所述第二连通孔212的横截面积,所述螺钉300的钉头位于所述第二连通孔212内,且所述钉头的远离所述吸盘主体100的边缘位于所述第二连通孔212的底壁与所述弧形缓冲垫200的缓冲面220之间。可选地,这里的第一连通孔211可以是方孔、圆孔等,这里的第二连通孔212也可以是方孔、圆孔等,本申请不对第一连通孔211和第二连通孔212的形状作限定;第二连通孔212的底壁为:在第一连通孔211与第二连通孔212之间的相接处形成的台阶面。需要说明的是,第一连通孔211的横截面积是:第一连通孔211的垂直于其轴线的截面的面积,第二连通孔212的横截面积是:第二连通孔212的垂直于其轴线的截面的面积。
本实施例中,通孔包括第一连通孔211和第二连通孔212,第一连通孔211的横截面积小于第二连通孔212的横截面积,螺钉300依次穿过第二连通孔212和第一连通孔211与吸盘主体100相连接,钉头位于第二连通孔212内,且钉头的远离所述吸盘主体100的边缘位于所述第二连通孔212的底壁与弧形缓冲垫200的缓冲面220之间,也就是说,以图2所示的方位为例,钉头的顶面低于弧形缓冲垫200的缓冲面220,如此可避免基片与钉头发生触碰,进而避免钉头损坏基片;具体地,弧形缓冲垫200的缓冲面220可以为弧形缓冲垫200的顶面。当然,除上述的实施例外,还可使螺钉300位于缓冲面220以外,以防止螺钉300损伤基片。
在一种可选的实施例中,气动吸盘还包括缓冲盖400,缓冲盖400可封盖第二连通孔212的远离第一连通孔211一侧的开口。本实施例中,缓冲盖400可封盖第二连通孔212的开口,如此可防止水汽和灰尘进入第二连通孔212内,进而防止螺钉300被腐蚀、锈蚀。需要说明的是,在缓冲盖400盖设于第二连通孔212的情况下,缓冲盖400的背离第一连通孔211的一面可以与弧形缓冲垫200的缓冲面220共面,此时缓冲盖400也可对基片进行缓冲。当然,以图2所示的方位为例,在缓冲盖400盖设于第二连通孔212的情况下,缓冲盖400的背离第一连通孔211的一面也可以低于弧形缓冲垫200的缓冲面220。
在一种可选的实施例中,缓冲盖400与弧形缓冲垫200通过柔性连接部500柔性连接,该柔性连接部500可以变形,从而允许缓冲盖400相对于弧形缓冲垫200运动,例如转动。可选地,该柔性连接部500可以采用橡胶材料制成,其可通过嵌设的方式分别与缓冲盖400和弧形缓冲垫200相连。本实施例中,缓冲盖400通过柔性连接部500与弧形缓冲垫200相连,如此可防止缓冲盖400从弧形缓冲垫200上脱落。
在一种可选的实施例中,螺钉300的钉头的背离吸盘主体100的一面设有缓冲层。本实施例中,基片在被吸附到弧形缓冲垫200的过程中可能会与钉头发生碰撞,因此在钉头上设置缓冲层可在基片与钉头发生碰撞时,对基片进行缓冲,进而减小基片受损伤的风险。可选地,缓冲层可以是海绵层、橡胶层等。
在一种可选的实施例中,至少两个弧形缓冲垫200沿吸盘主体100的周向均匀分布,也就是说,相邻两个弧形缓冲垫200之间的间距相等。本实施例中,各弧形缓冲垫200在对基片进行缓冲时均会对基片施加反作用力,而弧形缓冲垫200沿吸盘主体100的周向均匀分布可使吸盘垫片对基片施加的反作用力沿吸盘主体100的周向均匀分布,进而提升吸盘垫片对基片的缓冲效果。
在上述的实施例中,基片被吸附起来后会贴合在吸附面110上,此时基片与弧形缓冲垫200之间的接触面积较大,两者之间的贴合力也较大,这可能会造成在吸附面110释放基片后,基片还贴合在弧形缓冲垫200上,即基片不易从弧形缓冲垫200上脱离。在一种可选的实施例中,弧形缓冲垫200的缓冲面220上具有多个间隔设置的缓冲凸起。本实施例中,缓冲面220上具有多个间隔设置的缓冲凸起,基片被吸附起来后会贴合在缓冲凸起上,由于相邻两个缓冲凸起之间具有间距,因此多个缓冲凸起的总缓冲面积小于弧形缓冲垫200的缓冲面积,也就是说,本实施例中,基片与多个缓冲凸起之间的接触面积相对较小,两者之间的贴合力也相对较小,从而解决基片不易从弧形缓冲垫200上脱离的问题。可选地,缓冲凸起可为环形凸起、条形凸起、凸点等,本申请不对缓冲凸起的形状作限定。
在一种可选的实施例中,至少一个弧形缓冲垫200为中空结构。本实施例中,弧形缓冲垫200为中空结构,如此可使弧形缓冲垫200更易被压缩变形,从而提升弧形缓冲垫200对基片的缓冲效果。当然,弧形缓冲垫200也可为实心结构。
本申请上文实施例中重点描述的是各个实施例之间的不同,各个实施例之间不同的优化特征只要不矛盾,均可以组合形成更优的实施例,考虑到行文简洁,在此则不再赘述。上面结合附图对本申请的实施例进行了描述,但是本申请并不局限于上述的具体实施方式,上述的具体实施方式仅仅是示意性的,而不是限制性的,本领域的普通技术人员在本申请的启示下,在不脱离本申请宗旨和权利要求所保护的范围情况下,还可做出很多形式,均属于本申请的保护之内。
Claims (10)
1.一种气动吸盘,用于吸附基片,其特征在于,包括吸盘主体(100)和吸盘垫片,所述吸盘主体(100)具有可朝向所述基片的吸附面(110),所述吸盘垫片设于所述吸附面(110)的边缘区域,
所述吸盘垫片包括至少两个弧形缓冲垫(200),至少两个所述弧形缓冲垫(200)沿所述吸盘主体(100)的周向间隔设置,且至少两个所述弧形缓冲垫(200)位于同一圆周上,每个所述弧形缓冲垫(200)均沿所述吸盘主体(100)的周向延伸。
2.根据权利要求1所述的气动吸盘,其特征在于,所述吸附面(110)上具有多个吸附孔(120),所述吸附面(110)具有至少一个位于相邻两个所述弧形缓冲垫(200)之间的间隔区域(111),至少一个所述间隔区域(111)具有至少一个所述吸附孔(120)。
3.根据权利要求1所述的气动吸盘,其特征在于,至少一个所述弧形缓冲垫(200)上设有至少两个间隔设置的通孔,所述气动吸盘还包括至少两个螺钉(300),各所述螺钉(300)的第一端一一对应地穿过各所述通孔并与所述吸盘主体相连接,以将所述弧形缓冲垫(200)固定至所述吸盘主体(100)。
4.根据权利要求3所述的气动吸盘,其特征在于,所述通孔包括相连通的第一连通孔(211)和第二连通孔(212),所述第一连通孔(211)相较所述第二连通孔(212)更靠近所述吸盘主体(100),所述第一连通孔(211)的横截面积小于所述第二连通孔(212)的横截面积,所述螺钉(300)的钉头位于所述第二连通孔(212)内,且所述钉头的远离所述吸盘主体(100)的边缘位于所述第二连通孔(212)的底壁与所述弧形缓冲垫(200)的缓冲面(220)之间。
5.根据权利要求4所述的气动吸盘,其特征在于,所述气动吸盘还包括缓冲盖(400),所述缓冲盖(400)可封盖所述第二连通孔(212)的远离所述第一连通孔(211)一侧的开口。
6.根据权利要求5所述的气动吸盘,其特征在于,所述缓冲盖(400)与所述弧形缓冲垫(200)通过柔性连接部(500)柔性连接。
7.根据权利要求3所述的气动吸盘,其特征在于,所述螺钉(300)的钉头的背离所述吸盘主体(100)的一面设有缓冲层。
8.根据权利要求1所述的气动吸盘,其特征在于,所述至少两个弧形缓冲垫(200)沿所述吸盘主体(100)的周向均匀分布。
9.根据权利要求1所述的气动吸盘,其特征在于,所述弧形缓冲垫(200)的缓冲面(220)上具有多个间隔设置的缓冲凸起。
10.根据权利要求1所述的气动吸盘,其特征在于,至少一个所述弧形缓冲垫(200)为中空结构。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN202321228876.2U CN219832621U (zh) | 2023-05-19 | 2023-05-19 | 气动吸盘 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN202321228876.2U CN219832621U (zh) | 2023-05-19 | 2023-05-19 | 气动吸盘 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
CN219832621U true CN219832621U (zh) | 2023-10-13 |
Family
ID=88276470
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
CN202321228876.2U Active CN219832621U (zh) | 2023-05-19 | 2023-05-19 | 气动吸盘 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
CN (1) | CN219832621U (zh) |
-
2023
- 2023-05-19 CN CN202321228876.2U patent/CN219832621U/zh active Active
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP5163541B2 (ja) | 真空吸着パッド | |
US9159603B1 (en) | Integrated circuit package strip support assembly | |
US6135522A (en) | Sucker for transferring packaged semiconductor device | |
US10745184B2 (en) | Cushioning device, display screen storage device, and display screen storage box | |
US20070272727A1 (en) | Die pick and place tool | |
CN219832621U (zh) | 气动吸盘 | |
TWI652217B (zh) | 矽片吸附裝置、矽片傳送裝置、矽片傳輸系統及傳送方法 | |
CN205525379U (zh) | 标签打印吸附装置 | |
JP2006329417A (ja) | 真空吸着具 | |
KR101273570B1 (ko) | Led 웨이퍼 피커 | |
KR20110001307U (ko) | 진공흡착모듈용 흡착패드장치 | |
KR20080109604A (ko) | 반도체 패키지용 흡착 패드 | |
CN215967684U (zh) | 一种生产线的夹爪 | |
CN209641254U (zh) | 一种oled柔性显示屏模组 | |
CN111348430A (zh) | 一种转运平台及传送装置 | |
CN210485183U (zh) | 一种用于光滑平面的侦听设备安装座 | |
CN209755258U (zh) | 一种改进结构的吸盘总成 | |
KR102086433B1 (ko) | 무자국 진공흡착패드 | |
KR20190048797A (ko) | 스퍼터링용 척테이블 | |
CN213905339U (zh) | 一种晶圆贴片环 | |
KR20120002041U (ko) | 기판 흡착 장치 | |
CN213547547U (zh) | 一种用于网络便于安装固定的路由器 | |
JPS6218384Y2 (zh) | ||
CN220282796U (zh) | 一种防相互干扰的伯努利吸盘 | |
CN217426706U (zh) | 一种物料吸附载台及物料清洗设备 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
GR01 | Patent grant | ||
GR01 | Patent grant |