CN213905339U - 一种晶圆贴片环 - Google Patents
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Abstract
本实用新型涉及一种晶圆贴片环，包括上表面和下表面，上表面和下表面之间具有弧形面，弧形面位于晶圆贴片环的边缘，所述下表面设有安装孔，晶圆贴片环中部设有通孔，所述安装孔环绕通孔设置形成环形，安装孔内设有吸盘，吸盘具有开口，开口与安装孔连通。本实用新型的一种晶圆贴片环能够避免放入框架盒时侧面磨损，延长晶圆贴片环的使用寿命；此外，能够降低晶圆贴片环放置时滑落风险。
Description
技术领域
本实用新型涉及半导体技术领域，特别涉及一种晶圆贴片环。
背景技术
晶圆是制造半导体芯片的基本材料，其经过漫长的长晶过程得到硅晶棒再经过切段，滚磨，切片，倒角，抛光，激光刻，包装后，即成为集成电路工厂的基本原料—硅晶圆片。各个工序之间晶圆需要运输存储。晶圆贴片环用于把晶圆固定在框架盒里，使得晶圆在生产过程中周转运输不会把昂贵的晶圆片给弄碰伤、刮花等现象的发生。如图1所示，晶圆贴片环10放置在框架盒20中，现有的晶圆贴片环通常为不锈钢或铁制成，由于侧面为平面，放入框架盒20的插槽201中时边角容易产生摩擦受损；此外，由于表面较光滑，放置的时候容易滑落。
实用新型内容
本实用新型为了解决现有技术的问题，提供了一种能够不易摩擦受损，避免滑落的晶圆贴片环。
具体技术方案如下：一种晶圆贴片环，包括上表面和下表面，上表面和下表面之间具有弧形面，弧形面位于晶圆贴片环的边缘，所述下表面设有安装孔，晶圆贴片环中部设有通孔，所述安装孔环绕通孔设置形成环形，安装孔内设有吸盘，吸盘具有开口，开口与安装孔连通。
作为优选方案，所述安装孔包括第一孔部和第二孔部，第二孔部与第一孔部连接，第二孔部的直径大于第一孔部，吸盘安装在第二孔部。
作为优选方案，所述吸盘包括安装部和吸附盘，吸附盘呈锥形，安装部与吸附盘连接。
作为优选方案，所述吸盘之间通过连接部连接。
作为优选方案，所述连接部两端分别与吸盘的安装部固定连接。
本实用新型的技术效果：本实用新型的一种晶圆贴片环能够避免放入框架盒时侧面磨损，延长晶圆贴片环的使用寿命；此外，能够降低晶圆贴片环放置时滑落风险。
附图说明
图1是现有技术的框架盒的示意图。
图2是本实用新型实施例的一种晶圆贴片环的示意图。
图3是本实用新型实施例的晶圆贴片环的剖视图。
图4是本实用新型实施例的晶圆贴片环的使用时的示意图。
图5是本实用新型实施例的连接部的示意图。
具体实施方式
下面，结合实例对本实用新型的实质性特点和优势作进一步的说明，但本实用新型并不局限于所列的实施例。
如图2至图5所示，本实施例的一种晶圆贴片环包括上表面1和下表面2，上表面1和下表面2之间具有弧形面3，弧形面3位于晶圆贴片环的边缘。所述下表面2设有安装孔4，晶圆贴片环中部设有通孔5，所述安装孔4环绕通孔5设置形成环形。安装孔4内设有吸盘6，吸盘6具有开口61，开口61与安装孔4连通。上述技术方案中，通过在晶圆贴片环侧面设置弧形面3，从而在使其放入晶圆框架盒时能够减小与插槽两侧的摩擦，从而降低磨损。此外，通过在安装孔4中设置吸盘6，能够使晶圆贴片环装入晶圆框架盒时，能够通过吸盘6吸附在插槽中，避免晶圆贴片环滑落受损。通过上述技术方案，能够减小晶圆贴片环放入框架盒内时的摩擦，同时，能够避免放入时晶圆贴片环滑出受损。
本实施例中，所述安装孔4包括第一孔部41和第二孔部42，第二孔部42与第一孔部41连接，第二孔部42的直径大于第一孔部41，吸盘5安装在第二孔部，通过上述技术方案，能够便于吸盘安装。所述吸盘6包括安装部63和吸附盘62，吸附盘62呈锥形，安装部63与吸附盘62连接。通过上述技术方案，安装部63设置在第二孔部42，吸附盘62伸出下表面，从而便于吸附盘吸附。本实施例中，所述吸盘6之间通过连接部7连接，从而实现多个吸盘6串联，便于同时取放。本实施例中，所述连接部7两端分别与吸盘6的安装部63固定连接。通过上述技术方案，当需要使用吸盘时，能够使多个吸盘串联成为整体，便于安装和取放。
本实施例的一种晶圆贴片环能够避免放入框架盒时侧面磨损，延长晶圆贴片环的使用寿命；此外，能够降低晶圆贴片环放置时滑落风险。
需要指出的是，上述较佳实施例仅为说明本实用新型的技术构思及特点，其目的在于让熟悉此项技术的人士能够了解本实用新型的内容并据以实施，并不能以此限制本实用新型的保护范围。凡根据本实用新型精神实质所作的等效变化或修饰，都应涵盖在本实用新型的保护范围之内。
Claims (5)
1.一种晶圆贴片环，其特征在于，包括上表面和下表面，上表面和下表面之间具有弧形面，弧形面位于晶圆贴片环的边缘，所述下表面设有安装孔，晶圆贴片环中部设有通孔，所述安装孔环绕通孔设置形成环形，安装孔内设有吸盘，吸盘具有开口，开口与安装孔连通。
2.根据权利要求1所述的晶圆贴片环，其特征在于，所述安装孔包括第一孔部和第二孔部，第二孔部与第一孔部连接，第二孔部的直径大于第一孔部，吸盘安装在第二孔部。
3.根据权利要求2所述的晶圆贴片环，其特征在于，所述吸盘包括安装部和吸附盘，吸附盘呈锥形，安装部与吸附盘连接。
4.根据权利要求3所述的晶圆贴片环，其特征在于，所述吸盘之间通过连接部连接。
5.根据权利要求4所述的晶圆贴片环，其特征在于，所述连接部两端分别与吸盘的安装部固定连接。
Priority Applications (1)
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| CN202120151489.8U CN213905339U (zh) | 2021-01-20 | 2021-01-20 | 一种晶圆贴片环 |
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| CN202120151489.8U CN213905339U (zh) | 2021-01-20 | 2021-01-20 | 一种晶圆贴片环 |
Publications (1)
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Family Applications (1)
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| CN202120151489.8U Expired - Fee Related CN213905339U (zh) | 2021-01-20 | 2021-01-20 | 一种晶圆贴片环 |
Country Status (1)
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| CN (1) | CN213905339U (zh) |
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2021
- 2021-01-20 CN CN202120151489.8U patent/CN213905339U/zh not_active Expired - Fee Related
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