KR20190007298A - 기판 이송장치의 패드 조립체 - Google Patents

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KR20190007298A
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Abstract

본 발명의 일 실시예는 기판 이송장치의 로봇 핸드 상에 결합되는 패드 조립체로서, 공간부가 형성된 베이스, 상기 공간부에 배치되어 상기 베이스의 길이 방향으로 이동하며 상기 베이스의 길이 방향의 일측 내벽면과 이격 배치되는 가압부재-상기 베이스의 길이 방향은 상기 가압부재의 이동 방향-, 및 상기 가압부재를 상기 베이스의 일측 내벽면 측으로 탄성 지지하는 탄성부재를 포함하는 베이스유닛; 및 상기 베이스유닛 상에 결합되며, 상기 베이스의 일측 내벽면과 상기 가압부재 사이에 개재되는 체결부가 하측에 구비된 패드유닛;을 포함한다.

Description

기판 이송장치의 패드 조립체{PAD ASSEMBLY OF DEVICE FOR TRANSPORTING SUBSTRATE}
본 발명은 대형 기판을 핸들링하기 위한 기판 이송장치에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 기판의 이송 시 기판을 지지해 주는 기판 이송장치의 패드 조립체에 관한 것이다.
평판형 디스플레이는 LCD(Liquid Crystal Display), PDP(Plasma Display Panel) 및 OLED(Organic Light Emitting Diodes) 등으로 그 종류가 다양하다.
이러한 평판형 디스플레이는 컴퓨터, 텔레비젼 모니터, 핸드폰 디스플레이, 개인용 디지털 어시스턴츠(PDAs) 등의 수많은 다른 장치에 사용될 수 있다.
평판형 기술을 시장이 채택함으로써, 대형 디스플레이, 증대된 생산성 및 낮은 제조 비용에 대한 요구는, 장비 제조 업자로 하여금 평판형 디스플레이 제작자를 위하여 보다 큰 크기의 유리기판을 수용하는 새로운 시스템을 개발하도록 하였다. 현재의 유리기판 프로세싱 장비는 일반적으로 약 1평방 미터까지의 기판을 수용하도록 구성되어 있다.
유리기판 프로세싱은 기판 상에 소자, 도체 및 절연체를 만들기 위해 기판에 대해 다수의 연속적인 공정을 실시함으로써 수행된다. 이들 각각의 공정은 도 1에 도시된 바와 같이, 일반적으로 제조 공정의 하나 또는 그 이상의 단계를 수행하도록 구성된 하나의 공정챔버(20)에서 수행된다. 전체적인 일련의 공정 단계를 효율적으로 완수하기 위해서, 기판의 이송을 돕는 기판 이송로봇을 수용하는 중앙 이송챔버(30)를 기준으로 그 외측에 기판의 공정 투입을 대기하는 대기챔버(40) 및 실질적으로 공정을 진행하는 다수의 공정챔버(20)가 배치되고, 대기챔버(40)와 공정챔버(20)들은 중앙 이송챔버(30)에 연결된다.
중앙 이송챔버(30)에 배치되는 기판 이송로봇(10)은 적어도 하나의 로봇 암(11)을 구비하고, 로봇 암(11)의 단부에는 리스트(12)가 결합되며, 리스트(12)에는 기판(G)의 이송 시 기판(G)을 지지하는 복수의 로봇 핸드(13)가 캔틸레버(Cantilever) 형태로 서로 평행하게 연결된다.
한편, 유리기판의 크기가 증가됨에 따라서, 이들 기판을 핸들링 및 프로세싱 하기 위한 제조 장비 또한 커져야만 한다. 전술한 이송 로봇과 같은 기판 핸들링 장비의 증가된 크기는 정확한 기판 이송을 유지하기 위해 극복해야만 할 많은 기술적인 문제점을 발생시키고 있다.
예를 들면, 각각의 로봇 핸드(13) 상에는 도 2 및 도 3에 도시된 바와 같이, 일정 간격으로 수백 개의 패드(50)가 결합되는데, 종래에는 로봇 핸드(13) 및 패드(50)에 스크류홀(13a)(51)이 서로 대응되도록 형성되고 스크류(52)가 각각의 스크류홀(13a)(51)로 삽입 결합됨으로써 패드(50)를 로봇 핸드(13) 상에 고정하는 구성을 갖는다.
이때, 패드(50)는 연속적인 공정 진행 시 마모나 변형 등의 이유로 교체할 필요가 있다. 그런데 종래의 기술은 스크류(52)를 이용하여 로봇 핸드(13) 상에 패드(50)를 고정하기 때문에 패드(50)의 교체 등을 위해 스크류(52)의 체결 및 분리를 반복적으로 진행해야 하며, 이에 따라 로봇 핸드(13)의 탭가공된 스크류홀(13a)에 변형이나 파손이 발생할 우려가 있다. 또한, 종래의 기술은 스크류의 분리 및 체결에 따른 패드의 교체 시간이 비교적 많이 요구된다.
한국공개특허 10-2012-0100026
본 발명은 로봇 핸드 상에 패드를 원터치 방식으로 체결함으로써 패드 교체에 따른 작업시간을 최소화할 수 있는 기판 이송장치의 패드 조립체를 제공한다.
또한, 본 발명은 패드의 교체 시 로봇 핸드에 손상이 발생하는 것을 최소화할 수 있는 기판 이송장치의 패드 조립체를 제공한다.
본 발명의 목적은 전술한 바에 제한되지 않으며, 언급되지 않은 본 발명의 다른 목적 및 장점들은 하기의 설명에 의해서 이해될 수 있다.
본 발명의 실시예에 의한 기판 이송장치의 패드 조립체는 기판 이송장치의 로봇 핸드 상에 결합되는 패드 조립체로서, 공간부가 형성된 베이스, 상기 공간부에 배치되어 상기 베이스의 길이 방향으로 이동하며 상기 베이스의 길이 방향의 일측 내벽면과 이격 배치되는 가압부재-상기 베이스의 길이 방향은 상기 가압부재의 이동 방향-, 및 상기 가압부재를 상기 베이스의 일측 내벽면 측으로 탄성 지지하는 탄성부재를 포함하는 베이스유닛; 및 상기 베이스유닛 상에 결합되며, 상기 베이스의 일측 내벽면과 상기 가압부재 사이에 개재되는 체결부가 하측에 구비된 패드유닛;을 포함할 수 있다.
본 발명의 실시예에서, 상기 베이스에는 스토퍼가 형성되며, 상기 스토퍼는 상기 가압부재의 이동을 제한하여 상기 가압부재를 상기 베이스로부터 이격시킬 수 있다.
본 발명의 실시예에서, 상기 베이스의 일측 내벽면은 상기 패드유닛과 대향되는 방향으로 하향 경사지는 제 1경사면을 구비하고, 상기 패드유닛의 체결부는 상기 제 1경사면에 대응되는 제 2경사면을 구비할 수 있다.
본 발명의 실시예에서, 상기 베이스의 길이 방향과 직교하는 방향을 베이스의 폭 방향으로 정의할 때, 상기 베이스의 폭 방향 양측 내벽면 중 적어도 하나에는 가이드홈이 형성되고, 상기 가압부재의 양측 면 중 적어도 하나에는 상기 가이드홈에 삽입 안내되는 플랜지가 형성될 수 있다.
본 발명의 실시예에서, 상기 베이스는 한 쌍의 스크류홀을 구비하고, 상기 한 쌍의 스크류홀은 상기 공간부를 사이에 두고 배치될 수 있다.
본 발명의 실시예에서, 상기 스크류홀의 주변에는 스크류의 머리부를 수용하는 수용홈이 형성될 수 있다.
본 발명의 실시예에서, 상기 탄성부재는 상기 베이스의 길이 방향의 타측 내벽면과 상기 가압부재 사이에 배치되는 코일스프링일 수 있다.
본 발명의 실시예에서, 상기 코일스프링 내부에 배치되어 상기 코일스프링을 지지하는 스프링 가이드바를 더 포함할 수 있다.
본 발명의 실시예에서, 상기 스프링 가이드바의 일단은 상기 가압부재의 내부로 삽입 결합될 수 있다.
본 발명의 실시예에서, 상기 패드유닛은, 상기 베이스유닛에 체결되는 제 1패드; 상기 제 1패드 상에 고정되는 제 2패드;를 포함할 수 있다.
본 발명의 실시예에서, 상기 베이스는 패드 안착턱을 구비하고, 상기 제 2패드는 상기 패드 안착턱에 안착되는 안착돌기를 구비할 수 있다.
본 발명의 실시예에서, 상기 제 1패드는 금속재질로 형성되고, 상기 제2 패드는 실리콘 재질로 형성될 수 있다.
본 발명의 실시예에서, 상기 패드 조립체는 상기 로봇 핸드에 결합되기 전, 상기 베이스의 일측 내벽면과 상기 가압부재 사이에 개재되는 얼라인 지그를 더 포함할 수 있다.
본 발명의 실시예에 따르면, 로봇 핸드 상에 패드 조립체의 베이스유닛을 고정한 상태에서 베이스유닛 상에 패드유닛 만을 교체하는 방식을 구현함으로써 패드 조립체의 교체 시 로봇 핸드의 변형이나 파손 등을 최소화할 수 있다.
또한, 본 발명의 실시예에 따르면, 로봇 핸드에 고정된 베이스유닛 상에 패드유닛이 원터치 방식으로 장착되도록 함으로써 패드유닛의 교체에 따른 작업시간을 최소화할 수 있고, 이에 따라 작업효율을 향상시킬 수 있다.
본 발명의 효과는 상기한 효과로 한정되는 것은 아니며, 본 발명의 상세한 설명 또는 특허청구범위에 기재된 발명의 구성으로부터 추론 가능한 모든 효과를 포함하는 것으로 이해되어야 한다.
도 1은 일반적인 기판 이송장치를 이용한 기판 이송 공정을 도시한 개략도이다.
도 2는 종래 기술에 의한 기판 이송장치의 일부를 도시한 사시도이다.
도 3은 도 2의 “A”부를 상세히 도시한 분해 사시도이다.
도 4는 본 발명의 일 실시예에 의한 패드 조립체의 분해 사시도이다.
도 5는 본 발명의 일 실시예에 의한 패드 조립체의 일부를 절개한 사시도이다.
도 6 내지 도 8은 본 발명의 일 실시예에 의한 패드 조립체의 조립 과정을 순차적으로 도시한 사시도이다.
도 9는 도 8의 “B-B”선을 절취한 단면도이다.
이하에서는 첨부한 도면을 참조하여 본 발명을 설명하기로 한다. 그러나 본 발명은 여러 가지 상이한 형태로 구현될 수 있으며, 따라서 여기에서 설명하는 실시예로 한정되는 것은 아니다. 그리고 도면에서 본 발명을 명확하게 설명하기 위해서 설명과 관계없는 부분은 생략하였으며, 명세서 전체를 통하여 유사한 부분에 대해서는 유사한 도면 부호를 붙였다.
명세서 전체에서, 어떤 부분이 다른 부분과 "연결"되어 있다고 할 때, 이는 "직접적으로 연결"되어 있는 경우뿐 아니라, 그 중간에 다른 부재를 사이에 두고 "간접적으로 연결"되어 있는 경우도 포함한다. 또한 어떤 부분이 어떤 구성요소를 "포함"한다고 할 때, 이는 특별히 반대되는 기재가 없는 한 다른 구성요소를 제외하는 것이 아니라 다른 구성요소를 더 구비할 수 있다는 것을 의미한다.
도 4는 본 발명의 일 실시예에 의한 패드 조립체를 도시한 분해 사시도이고, 도 5는 본 발명의 일 실시예에 의한 패드 조립체의 일부를 절개한 사시도이다.
도 4 및 도 5를 참고하면, 일 실시예에 의한 패드 조립체는 기판 이송장치의 로봇 핸드(Robot hand) 상면에 결합된다.
기판 이송장치는 로봇 암(11: 도 1 참고), 로봇 핸드(13)를 포함하며, 로봇 핸드(13)는 기판의 이송 시 기판을 지지하도록 구성된다. 일 실시예에 적용되는 기판은 유리기판 예컨대, PDP, LCD, OLED등의 대면적 기판을 포함할 수 있다.
일 실시예에 의한 패드 조립체는 로봇 핸드(13) 상에 베이스유닛(100)이 결합되고, 베이스유닛(100) 상에 패드유닛(200)이 결합되도록 구성된다.
베이스유닛(100)은 베이스(110), 가압부재(120), 탄성부재(130)를 포함한다.
베이스(110)는 소정의 두께를 갖는 평판 형태로 형성되며, 평면에서 봤을 때 베이스(110)의 내부에는 공간부(111)가 형성된다. 공간부(111)는 예컨대, 평면에서 봤을 때 대략 사각형으로 형성될 수 있다. 즉, 공간부(111)가 형성된 베이스(110)는 4면의 내벽면을 가질 수 있다. 공간부(111)에는 가압부재(120) 및 탄성부재(130)가 배치된다.
가압부재(120)는 공간부(111)에 배치되어 길이 방향으로 이동한다. 여기서, 공간부(111)에서 가압부재(120)가 이동하는 방향을 길이 방향으로 정의하고, 길이 방향과 직교하는 방향을 폭 방향으로 정의할 수 있다. 따라서, 길이 방향의 양측에 위치한 베이스(110)의 내벽면 중 일측 내벽면을 제 1내벽면(110a)으로, 제 1내벽면(110a)과 마주보는 타측 내벽면을 제 2내벽면(110b)으로 정의한다. 또한, 길이 방향과 직교하는 폭 방향의 양측에 위치한 베이스(110)의 내벽면 중 어느 하나를 제 3내벽면(110c)으로, 제 3내벽면(110c)과 마주보는 내벽면을 제 4내벽면(110d)으로 정의할 수 있다.
가압부재(120)는 평면에서 봤을 때 사각형으로 형성되며, 베이스(110)의 제 1내벽면(110a)과 소정의 간격을 두고 이격 설치된다. 예컨대, 가압부재(120)는 베이스(110)에 형성된 스토퍼(112)에 의해 그 이동이 제한되고, 이에 따라 가압부재(120)는 베이스(110)의 제 1내벽면(110a)과 이격된 상태가 유지될 수 있다. 스토퍼(112)는 예컨대, 베이스(110)의 폭 방향 양측 내벽면 즉, 제 3내벽면(110c)과 제 4내벽면(110d)에 서로 마주보게 형성될 수 있다. 스토퍼(112)는 가압부재(120)의 이동을 제한하여 가압부재(120)를 베이스(110)로부터 이격시킨다. 가압부재(120)는 베이스(110)의 두께와 동일한 두께를 갖는 것이 바람직하다. 즉, 가압부재(120)와 베이스(110)가 동일한 두께를 가지면, 베이스유닛(100) 상측에 패드유닛(200)이 결합될 때 패드유닛(200)에 대한 지지력을 가압부재(120)와 베이스(110)에 분산시킬 수 있기 때문이다.
한편, 도 9를 참고하면, 베이스(110)의 폭 방향 양측 내벽면에는 가이드홈(113)이 형성되고, 가압부재(120)의 폭 방향 양측 면에는 가이드홈(113)에 삽입 안내되는 플랜지(121)가 외측 방향으로 돌출 형성될 수 있다. 따라서, 베이스유닛(100)이 로봇 핸드 상에 고정된 경우, 가압부재(120)의 저면은 로봇 핸드의 상면에 지지된 상태에서 가압부재(120)의 플랜지(121)는 베이스(110)의 가이드홈(113)을 따라 직진 이동이 안내될 수 있다. 이때, 가이드홈(113)의 끝단은 가압부재(120)의 진입을 방지하기 위한 스토퍼(112)가 된다. 즉, 가압부재(120)의 플랜지(121)가 가이드홈(113)의 끝단 즉, 스토퍼(112)에 간섭됨으로써 가압부재(120)는 베이스(110)의 제 1내벽면(110a)과 이격 배치된다.
베이스(110)는 그 테두리에 한 쌍의 스크류홀(115)을 구비하고, 한 쌍의 스크류홀(115)은 공간부(111)를 사이에 두고 배치될 수 있다. 이때, 한 쌍의 스크류홀(115)은 공간부(111)를 사이에 두고 베이스(110)의 길이 방향의 양측에 각각 형성될 수 있다. 즉, 한 쌍의 스크류홀(115)은 가압부재(120)의 이동 방향 양측에 위치하도록 베이스(110)에 형성되고, 각 스크류홀(115)로 삽입된 스크류(140)가 로봇 핸드에 나사 결합되며, 이에 따라 가압부재(120)의 이동 시에도 베이스(110)는 로봇 핸드에 고정된 상태를 안정적으로 유지할 수 있다.
스크류홀(115)의 주변에는 스크류(140)의 머리부가 안착되는 수용홈(115a)이 형성될 수 있다. 스크류(140)의 머리부는 수용홈(115a)에 수용됨으로써 베이스(110)의 상측으로 돌출되지 않을 수 있다. 스크류(140)의 머리부가 베이스(110)의 상측으로 돌출될 경우 패드유닛(200)은 베이스(110) 및 가압부재(120)에 안정적으로 밀착될 수 없게 된다.
탄성부재(130)는 가압부재(120)를 탄성 지지하며, 베이스(110)의 일측 내벽면 측으로 가압부재(120)를 가압한다. 탄성부재(130)는 예컨대, 베이스(110)의 타측 내벽면과 가압부재(120) 사이에 배치될 수 있다.
탄성부재(130)로는 적어도 하나 이상의 코일스프링이 적용될 수 있다. 각각의 코일스프링은 그 양단이 각각 베이스(110)의 제 2내벽면(110b)과 가압부재(120)에 접촉되어 가압부재(120)를 베이스(110)의 제 1내벽면(110a) 측으로 가압한다. 코일스프링의 내부에는 스프링 가이드바(131)가 배치되어 코일스프링을 지지할 수 있다. 이때 가압부재(120)는 길이 방향으로 홈이 형성될 수 있고, 스프링 가이드바(131)의 일단은 가압부재(120)의 홈으로 삽입 결합되어 상호 간의 체결력을 높일 수 있다.
패드유닛(200)은 베이스유닛(100) 상에 분리 가능하게 결합된다. 예컨대, 베이스유닛(100)은 한 쌍의 스크류(140)를 이용하여 로봇 핸드에 고정된 상태로 유지될 수 있고, 패드유닛(200) 만을 베이스유닛(100)으로부터 분리하거나 또는 베이스유닛(100)에 결합할 수 있다.
패드유닛(200)의 하측에는 베이스(110)의 제 1내벽면(110a)과 가압부재(120) 사이에 개재되는 체결부(211)가 구비된다. 체결부(211)가 베이스(110)의 제 1내벽면(110a)과 가압부재(120) 사이에 삽입되면, 탄성부재(130)에 의해 탄성 지지되는 가압부재(120)가 체결부(211)를 베이스(110)의 제 1내벽면(110a) 측으로 가압함으로써 패드유닛(200)은 베이스유닛(100)에 안착 결합될 수 있다.
이때, 패드유닛(200)은 베이스유닛(100)에 견고하게 결합된 상태로 유지될 필요가 있다. 예를 들면, 도 8에 도시된 바와 같이, 베이스(110)의 제 1내벽면(110a)은 제 1경사면을 형성하고, 패드유닛(200)의 체결부(211)는 베이스(110)의 제 1경사면에 대응되는 제 2경사면(211a)을 구비한다. 즉, 베이스(110)의 제 1내벽면(110a)은 패드 조립체의 외측 방향 예컨대, 패드유닛(200)과 대향되는 방향으로 하향 경사지게 형성되고, 체결부(211)의 제 2경사면(211a) 역시 제 1내벽면 측으로 갈수록 하향 경사지게 형성된다. 이에 따라 패드유닛(200)의 체결부(211)가 베이스(110)의 제 1내벽면과 가압부재(120) 사이에 삽입되면, 탄성부재(130)의 탄성 지지력에 의해 가압부재(120)는 체결부(211)를 베이스(110)의 제 1내벽면 측으로 가압하고, 체결부(211)의 제 2경사면(211a)은 베이스(110)의 제 1내벽면에 형성된 제 1경사면에 의해 간섭 받음으로써 패드유닛(200)이 베이스유닛(100)으로부터 이탈되는 것이 방지된다.
패드유닛(200)은 제 1패드(210)와 제 2패드(220)를 포함할 수 있다. 제 1패드(210)는 베이스유닛(100) 상에 체결된다. 제 1패드(210)의 저면에는 베이스(110)의 제 1내벽면과 가압부재(120) 사이에 삽입되는 체결부(211)가 구비될 수 있다. 제 1패드(210)는 베이스(110)와의 체결력 및 내구성을 감안하여 금속재질 예컨대, 알루미늄 재질로 형성될 수 있다. 제 2패드(220)는 제 1패드(210) 상에 고정된다. 제 2패드(220)는 예컨대, 접착제 등을 이용하여 제 1패드(210)에 고정될 수 있다. 일반적으로 PDF, LED, OLED등의 유리기판 제조공정은 고온의 분위기에서 진행되므로, 제 2패드(220)는 고온의 분위기에서도 안정적일 수 있는 실리콘 재질로 형성되는 것이 바람직하다.
즉, 기판 이송장치는 로봇 아암에 외팔보 형태로 마련되는 로봇 핸드(13)가 통상 고온 저압의 환경을 조성하는 해당 공정 챔버로 인입되어 기판을 해당 공정 챔버 밖으로 이송하도록 구성된다. 그런데 기판이 고온의 환경에서 프로세스되기 때문에 로봇 핸드(13)에 장착되는 패드유닛(200)의 제 2패드(220)는 공정챔버 및 고온의 기판으로부터 열을 전달받게 되므로 내열성이 우수한 실리콘 재질로 형성되는 것이 바람직하다.
한편, 패드유닛(200)의 일단 저면에 형성된 체결부(211)가 베이스유닛(100)에 결합될 때, 패드유닛(200)의 타단부 역시 베이스유닛(100)에 안착될 필요가 있다. 이에 따라 베이스(110)는 패드 안착턱(114)을 구비하고, 제 2패드(220)는 패드 안착턱(114)에 안착되는 안착돌기(212)를 구비할 수 있다. 패드 안착턱(114)은 베이스(110)의 제 2내벽면과 근접한 2개의 모서리 부분에 베이스(110)의 상면과 단차지게 형성되고, 안착돌기(212)는 제 2패드(220)의 저면에 하측 방향으로 돌출 형성된다.
도 6 내지 도 8은 본 발명의 일 실시예에 의한 패드 조립체의 조립 과정을 순차적으로 도시한 사시도이다.
도 6을 참고하면, 베이스유닛(100)은 로봇 핸드의 상측으로 이송된다. 이때 베이스(110)의 공간부(111) 하측에는 가압부재(120) 및 탄성부재(130)를 지지할 수 있는 수단이 존재하지 않는다. 따라서 베이스유닛(100)의 이송 시 베이스(110)로부터 가압부재(120) 및 탄성부재(130)가 이탈될 수가 있다.
이를 방지하기 위해 일 실시예의 패드 조립체는 로봇 핸드에 결합되기 전, 베이스(110)의 일측 내벽면과 가압부재(120) 사이에 개재되는 얼라인 지그(300)를 더 포함할 수 있다. 즉, 얼라인 지그(300)는 대략 육면체로 형성되어 베이스(110)의 제 1내벽면과 가압부재(120) 사이에 개재되고, 베이스유닛(100)은 얼라인 지그(300)가 구비된 상태로 로봇 핸드의 상측으로 이송된다. 이때 가압부재(120)는 탄성부재(130)의 탄성 지지력에 의해 얼라인 지그(300)를 베이스(110)의 제 1내벽면 측으로 가압함으로써 베이스(110)의 공간부(111)에 탄성부재(130)와 가압부재(120)의 결합상태가 안정적으로 유지될 수 있다.
베이스(110)는 한 쌍의 스크류(140)를 매개로 로봇 핸드에 고정 결합된다. 이와 같이 베이스(110)가 로봇 핸드에 고정되면, 베이스(110)의 공간부(111) 저면에는 로봇 핸드가 마련되어 탄성부재(130)와 가압부재(120)를 지지할 수 있게 된다. 또한, 베이스(110)의 폭 방향 양측 내벽면에는 가이드홈(113)이 형성되고 가압부재(120)의 폭 방향 양측면에는 가이드홈(113)에 삽입되는 플랜지(121)가 돌출 형성되어 있으므로, 가압부재(120)의 플랜지(121)는 베이스(110)의 가이드홈(113)에 의해 간섭됨으로써 가압부재(120)가 베이스(110)의 공간부(111) 상측으로 이탈되지는 않는다. 이에 따라 베이스(110)의 제 1내벽면과 가압부재(120) 사이에 개재되어 있던 얼라인 지그(300)는 제거될 수 있다.
도 7을 참고하면, 패드유닛(200)은 로봇 핸드에 고정된 베이스유닛(100) 상에 결합된다. 즉, 패드유닛(200)의 제 1패드(210)의 저면에 구비된 체결부(211)는 베이스(110)의 제 1내벽면과 가압부재(120) 사이에 삽입된다. 체결부(211)가 베이스(110)의 제 1내벽면과 가압부재(120) 사이에 삽입되면, 탄성부재(130)에 의해 탄성 지지되는 가압부재(120)가 체결부(211)를 베이스(110)의 제 1내벽면 측으로 가압함으로써 패드유닛(200)은 베이스유닛(100)에 안착 결합된다. 즉, 가압부재(120)는 스토퍼(112)에 의해 베이스(110)의 제 1내측면과 이격 배치되어 있으므로, 패드유닛(200)은 그 하측에 구비된 체결부(211)를 이격된 베이스(110)의 제 1내벽면과 가압부재(120) 사이에 밀어넣는 단순한 동작에 의해 도 8과 같이 패드유닛(200)을 베이스유닛(100)에 안정적으로 결합시킬 수 있게 된다.
전술한 본 발명의 설명은 예시를 위한 것이며, 본 발명이 속하는 기술분야의 통상의 지식을 가진 자는 본 발명의 기술적 사상이나 필수적인 특징을 변경하지 않고서 다른 구체적인 형태로 쉽게 변형이 가능하다는 것을 이해할 수 있을 것이다.
즉, 이상에서 기술한 실시예들은 모든 면에서 예시적인 것이며 한정적이 아닌 것으로 이해해야만 한다. 예를 들어, 단일형으로 설명되어 있는 각 구성 요소는 분산되어 실시될 수도 있으며, 마찬가지로 분산된 것으로 설명되어 있는 구성 요소들도 결합된 형태로 실시될 수 있다.
따라서, 본 발명의 범위는 후술하는 특허청구범위에 의하여 나타내어지며, 특허청구범위의 의미 및 범위 그리고 그 균등 개념으로부터 도출되는 모든 변경 또는 변형된 형태가 본 발명의 범위에 포함되는 것으로 해석되어야 한다.
100; 베이스유닛 110; 베이스
111; 공간부 112; 스토퍼
113; 가이드홈 114; 패드 안착턱
115; 스크류홀 115a; 수용홈
120; 가압부재 121; 플랜지
130; 탄성부재 131; 스프링 가이드바
140; 스크류
200; 패드유닛 210; 제 1패드
211; 체결부 211a; 제 2경사면
212; 안착돌기 220; 제 2패드

Claims (13)

  1. 기판 이송장치의 로봇 핸드 상에 결합되는 패드 조립체로서,
    공간부가 형성된 베이스, 상기 공간부에 배치되어 상기 베이스의 길이 방향으로 이동하며 상기 베이스의 길이 방향의 일측 내벽면과 이격 배치되는 가압부재-상기 베이스의 길이 방향은 상기 가압부재의 이동 방향-, 및 상기 가압부재를 상기 베이스의 일측 내벽면 측으로 탄성 지지하는 탄성부재를 포함하는 베이스유닛; 및
    상기 베이스유닛 상에 결합되며, 상기 베이스의 일측 내벽면과 상기 가압부재 사이에 개재되는 체결부가 하측에 구비된 패드유닛;
    을 포함하는 기판 이송장치의 패드 조립체.
  2. 제 1항에 있어서,
    상기 베이스에는 스토퍼가 형성되며, 상기 스토퍼는 상기 가압부재의 이동을 제한하여 상기 가압부재를 상기 베이스의 일측 내벽면으로부터 이격시킬 수 있는 기판 이송장치의 패드 조립체.
  3. 제 1항에 있어서,
    상기 베이스의 일측 내벽면은 상기 패드유닛과 대향되는 방향으로 하향 경사지는 제 1경사면을 구비하고, 상기 패드유닛의 체결부는 상기 제 1경사면에 대응되는 제 2경사면을 구비하는 기판 이송장치의 패드 조립체.
  4. 제 1항에 있어서,
    상기 베이스의 길이 방향과 직교하는 방향을 베이스의 폭 방향으로 정의할 때, 상기 베이스의 폭 방향 양측 내벽면 중 적어도 하나에는 가이드홈이 형성되고, 상기 가압부재의 양측면 중 적어도 하나에는 상기 가이드홈에 삽입 안내되는 플랜지가 형성되는 기판 이송장치의 패드 조립체.
  5. 제 1항에 있어서,
    상기 베이스는 한 쌍의 스크류홀을 구비하고, 상기 한 쌍의 스크류홀은 상기 공간부를 사이에 두고 배치되는 기판 이송장치의 패드 조립체.
  6. 제 5항에 있어서,
    상기 스크류홀의 주변에는 스크류의 머리부를 수용하는 수용홈이 형성되는 기판 이송장치의 패드 조립체.
  7. 제 1항에 있어서,
    상기 탄성부재는 상기 베이스의 길이 방향의 타측 내벽면과 상기 가압부재 사이에 배치되는 코일스프링인 기판 이송장치의 패드 조립체.
  8. 제 7항에 있어서,
    상기 코일스프링 내부에 배치되어 상기 코일스프링을 지지하는 스프링 가이드바를 더 포함하는 기판 이송장치의 패드 조립체.
  9. 제 8항에 있어서,
    상기 스프링 가이드바의 일단은 상기 가압부재의 내부로 삽입 결합되는 기판 이송장치의 패드 조립체.
  10. 제 1항에 있어서,
    상기 패드유닛은,
    상기 베이스유닛에 체결되는 제 1패드; 및
    상기 제 1패드 상에 고정되는 제 2패드;
    를 포함하는 기판 이송장치의 패드 조립체.
  11. 제 10항에 있어서,
    상기 베이스는 패드 안착턱을 구비하고, 상기 제 1패드는 상기 패드 안착턱에 안착되는 안착돌기를 구비하는 기판 이송장치의 패드 조립체.
  12. 제 10항에 있어서,
    상기 제 1패드는 금속재질로 형성되고, 상기 제 2패드는 실리콘 재질로 형성되는 기판 이송장치의 패드 조립체.
  13. 제 1항에 있어서,
    상기 패드 조립체는 상기 로봇 핸드에 결합되기 전, 상기 베이스의 일측 내벽면과 상기 가압부재 사이에 개재되는 얼라인 지그를 더 포함하는 기판 이송장치의 패드 조립체.
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