CN211403119U - 一种可移动的光刻板固定夹具 - Google Patents
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Abstract
本实用新型公开了一种可移动的光刻板固定夹具，涉及半导体制备设备技术领域，包括可移动的支撑台和若干组真空吸附装置，涉及半导体制备设备技术领域，所述支撑台上开设有圆形通孔，所述真空吸附装置沿所述通孔的周向均匀的设在支撑台的上端面；光刻板通过真空吸附装置居中的吸附在支撑台的下端面。每组所述真空吸附装置包括若干个与所述通孔同轴设置的通透真空孔，每组真空吸附装置中的真空孔上端面设有一个与支撑台吸附的真空吸盘；所述真空吸盘的底部中心设有与该组真空孔连通的真空管；所有真空管的末端与一个真空开关连接。该固定夹具不仅便于调整光刻板位置、而且使用方便快捷，能根据需要随时移动到指定位置。
Description
技术领域
本实用新型涉及半导体制备设备技术领域，特别地，涉及到一种可移动的光刻板固定夹具。
背景技术
在半导体制造中，芯片的制作一般都要采用基片的光刻技术；用于这些步骤的图形“底片”称为光刻板(也称作掩膜板)，其作用是：在基片上选定的区域中对一个不透明的图形模板遮盖，继而下面的腐蚀或扩散将只影响选定的区域以外的区域。
实验和生产中基片的位置固定不动时，光刻板的图形需要根据具体要求进行调整；但是目前用于固定光刻板的真空吸盘及真空槽是设在光刻机上的，光刻机位置固定，从而限制了光刻板的移动。因此迫切需要一种可移动的光刻板固定夹具。
实用新型内容
本实用新型针对现有技术中存在的上述技术问题，提供了一种可移动的光刻板固定夹具。该夹具不仅便于调整光刻板位置、而且使用方便快捷，能根据需要随时移动到指定位置。
本实用新型为解决公知技术中存在的技术问题所采取的技术方案是：
一种可移动的光刻板固定夹具，包括底面积大于光刻板面积的可移动的支撑台和若干组真空吸附装置，所述支撑台上开设有圆形通孔，所述真空吸附装置沿所述通孔的周向均匀的设在支撑台的上端面；光刻板通过真空吸附装置居中的吸附在支撑台的下端面。
进一步，每组所述真空吸附装置包括若干个与所述通孔同轴设置的通透真空孔，每组真空吸附装置中的真空孔上端面设有一个与支撑台吸附的真空吸盘；所述真空吸盘的底部中心设有与该组真空孔连通的真空管；所有真空管的末端与一个真空开关连接。
进一步，所述真空吸附装置为四组。
进一步，每组真空吸附装置中的真空孔数量相等且形状和尺寸大小相同。
进一步，所述支撑台下方相对的两侧设有万向轮；所述万向轮上设有锁定机构。
更进一步，所述支撑台的一侧还设有拖动用的手柄，所述手柄包括水平部和竖直部，所述水平部和竖直部的相接处采用便于手持的圆弧过渡连接。
本实用新型具有的优点和积极效果是：
本实用新型中光刻板通过若干组真空吸附装置吸附在一个可移动的支撑台下端面，所述支撑台上开设有圆形通孔，光刻板覆盖所述通孔及真空吸附装置的下端面，且光刻板的工作部位通过所述通孔接收上方来自光刻机的紫外光；由于支撑台可移动，因此可以根据需要随时进行位置调整。
该夹具不仅结构简单、合理实用，而且若干组真空吸附装置的吸附更加牢固，也不会对光刻板造成损伤，利于提高成品芯片的合格率。
附图说明：
图1是本实用新型优选实施例中光刻板固定夹具的正视图；
图2是本实用新型优选实施例中光刻板固定夹具的仰视图。
其中：1、光刻板；2、支撑台；21、通孔；22、真空孔；3、真空吸盘；4、真空管；5、真空开关；6、万向轮；7、锁定机构；8、手柄；8a、水平部；8b、竖直部。
具体实施方式
本实用新型公开了一种可移动的光刻板固定夹具，光刻板1通过若干组真空吸附装置吸附在一个可移动的支撑台2下端面，所述支撑台2上开设有圆形通孔21，光刻板1覆盖所述通孔21及真空吸附装置的下端面，且光刻板1的工作部位通过所述通孔21接收上方来自光刻机的紫外光；由于支撑台2可移动，因此可以根据需要随时进行位置调整。
为能进一步了解本实用新型的实用新型内容、特点及功效，兹例举以下实施例，并配合附图详细说明如下：
如图1至图2所示，该光刻板1固定夹具包括一个底面积大于光刻板1面积的可移动的支撑台2；所述支撑台2中心设有圆形通孔21，所述真空吸附装置均匀的设在所述通孔21的周围；真空吸附装置包括若干与通孔21同轴设置的通透真空孔22；每组真空吸附装置中的真空孔22上端面设有一个与支撑台2固定的真空吸盘3；所述真空吸盘3的底部中心设有与该组真空孔22连通的真空管4；所有真空管4的末端与一个真空开关5连接；真空开关5是控制管路或某封闭空间的真空度的开关，又称真空继电器，该元件为现有技术，此处不再赘述。
光刻板1固定在支撑台2的下端面；如图2可以看到，光刻板1设在支撑台2下端中心，且光刻板1覆盖所述通孔21及所有真空孔22；光刻板1的工作部位向上设置并通过所述通孔21接收上方用于光刻的紫外光；
优选的，所述真空吸附装置为四组；为了使光刻板1不同部位的吸附力大小相等，每组真空吸附装置中的真空孔22数量相等且形状和大小相同；真空孔22的直径和数量可以根据光刻板1需要的吸附力计算得出。
所述支撑台2下方相对的两侧设有万向轮6；所述万向轮6上设有锁定机构7；操作人员可以将支撑台2拖拽到指定区域，然后通过锁定机构7将万向轮6锁定，防止光刻板固定夹具移动。
所述支撑台2的一侧还设有拖动用的手柄8，所述手柄8包括水平部8a和竖直部8b，所述水平部8a和竖直部8b的相接处采用便于手持的圆弧过渡连接。
优选的，所述支撑台2为长方体形的块体。
工作原理：
将光刻板1居中的置于所述支撑台2的下端面不松手，打开真空开关5，对真空吸附装置内部抽真空，待光刻板1紧紧的吸在支撑台2上时将手移开，然后打开光刻机，紫外光通过所述通孔21照射到光刻板1的工作部位，然后开始进行光刻操作；工作时可以根据基片的位置随时将光刻板1通过固定夹具移动到指定位置。
本实用新型中可移动的光刻板固定夹具不仅结构简单、合理实用，而且若干组真空吸附装置的吸附更加牢固，也不会对光刻板1造成损伤，利于提高成品芯片的合格率；在操作过程中，可以根据需要随时将固定夹具调整到指定区域。
以上对本实用新型的实施例进行了详细说明，但所述内容仅为本实用新型的较佳实施例，不能被认为限定本实用新型的实施范围。凡依本实用新型申请范围所作的均等变化与改进，均应仍归属于本实用新型的专利涵盖范围之内。
Claims (6)
1.一种可移动的光刻板固定夹具，其特征在于：包括底面积大于光刻板面积的可移动支撑台和若干组真空吸附装置，所述支撑台上开设有圆形通孔，所述真空吸附装置沿所述通孔的周向均匀的设在支撑台的上端面；光刻板通过真空吸附装置居中的吸附在支撑台的下端面。
2.如权利要求1所述的可移动的光刻板固定夹具，其特征在于：每组所述真空吸附装置包括若干个与所述通孔同轴设置的通透真空孔，每组真空吸附装置中的真空孔上端面设有一个与支撑台吸附的真空吸盘；所述真空吸盘的底部中心设有与该组真空孔连通的真空管；所有真空管的末端与一个真空开关连接。
3.如权利要求1或2所述的可移动的光刻板固定夹具，其特征在于：所述真空吸附装置为四组。
4.如权利要求1或2所述的可移动的光刻板固定夹具，其特征在于：每组真空吸附装置中的真空孔数量相等且形状和尺寸大小相同。
5.如权利要求1所述的可移动的光刻板固定夹具，其特征在于：所述支撑台下方相对的两侧设有万向轮；万向轮上设有锁定机构。
6.如权利要求1所述的可移动的光刻板固定夹具，其特征在于：所述支撑台的一侧还设有拖动用的手柄，所述手柄包括水平部和竖直部，所述水平部和竖直部的相接处采用便于手持的圆弧过渡连接。
Priority Applications (1)
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|---|---|---|---|
| CN201920519600.7U CN211403119U (zh) | 2019-04-17 | 2019-04-17 | 一种可移动的光刻板固定夹具 |
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Publications (1)
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| CN211403119U true CN211403119U (zh) | 2020-09-01 |
Family
ID=72215770
Family Applications (1)
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Country Status (1)
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| CN (1) | CN211403119U (zh) |
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2019
- 2019-04-17 CN CN201920519600.7U patent/CN211403119U/zh active Active
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