CN208937910U - 一种涂胶显影设备的装载台机械臂 - Google Patents
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Abstract
一种涂胶显影设备的装载台机械臂，包括机械臂主体、基座、支撑结构以及夹持臂，机械臂主体通过导轨安装于基座上，机械臂主体前端设置有多级弧形台阶，末端设置有固定块，固定块朝向弧形台阶的一侧为圆弧结构，圆弧结构和最内侧弧形台阶为同一个圆上对称的两段圆弧，以该两段圆弧的对称中心为中心，在机械臂主体上设置若干个通行孔，在基座上设置若干个同通行孔对应的支撑结构，与固定块同端的基座两侧设置夹持臂，且夹持臂处于固定块两侧。通过设计新的装载台机械臂结构，使得一个装载台机械臂可以适应多种尺寸的晶片，极大程度上拓宽了传送臂的普遍适用性，提高了涂胶显影的工作效率，同时降低了设备的生产成本和购买成本。
Description
技术领域
本实用新型涉及半导体集成电路制作领域，尤其涉及一种涂胶显影设备的装载台机械臂。
背景技术
目前，在半导体器件的制造中，需要使用到涂胶显影设备，涂胶显影设备是集成电路生产过程中，在晶片表面涂敷感光胶并加温固化，待图形曝光后再进行显影成型的设备。装载台机械臂将装载台上的晶圆片抽取、吸着并传送到设备中进行涂胶显影工艺，最终将完成工艺处理的晶片传回装载台。但现有的装载台机械臂对晶片尺寸的适用具有一定的局限性，常见的装载台机械臂仅能适配单一尺寸的晶片，随着LED产业及其它新型器件的兴起，需要同时适用其他尺寸的蓝宝石片或其它衬底基片的生产，一方面其他尺寸的设备产量少，购买上存在一定难度，另一方面，为了适用不同的尺寸而购买不同尺寸的设备，极大地增加了生产成本。
因此，针对以上缺陷，需要对现有技术进行有效创新。
实用新型内容
本实用新型的目的在于提供一种涂胶显影设备的装载台机械臂，通过设计新的装载台机械臂结构，使得一个装载台机械臂可以适应多种尺寸的晶片，极大程度上拓宽了传送臂的普遍适用性，提高了涂胶显影的工作效率，同时降低了设备的生产成本和购买成本。
为实现上述目的，本实用新型采用如下技术方案：
一种涂胶显影设备的装载台机械臂，包括机械臂主体、基座、支撑结构以及夹持臂，所述的机械臂主体通过导轨安装于基座上，机械臂主体前端设置有多级弧形台阶，末端设置有固定块，固定块朝向弧形台阶的一侧为圆弧结构，圆弧结构和最内侧弧形台阶为同一个圆上对称的两段圆弧，以该两段圆弧的对称中心为中心，在机械臂主体上设置若干个通行孔，且该通行孔处于所述的两段圆弧之间，在基座上设置若干个同通行孔对应的支撑结构，与固定块同端的基座两侧设置夹持臂，且夹持臂处于固定块两侧，除最内侧弧形台阶以外的弧形台阶和夹持臂以所述的对称中心为圆心形成由多段圆弧组成的固定装置；
相应的，弧形台阶的高度大于或等于对应晶片的厚度；
相应的，圆弧结构包括固定块弧形面和设置于固定块弧形面上并垂直于机械臂主体的固定脚，固定脚和最内侧弧形台阶分别用于固定晶片上对称的两段圆弧边；
相应的，固定脚至对称中心的距离等于最内侧弧形台阶至对称中心的距离等于对应晶片的半径；
相应的，夹持臂为环抱形设置，包括夹持臂弧形面和设置于夹持臂弧形面上的夹持脚，通过夹持脚同除最内侧弧形台阶以外的弧形台阶形成固定装置，分别固定同一个晶片的三段圆弧边；
相应的，夹持脚到对称中心的距离等于对应弧形台阶至对称中心的距离等于对应晶片的半径；
相应的，设置三级或三级以上弧形台阶的，对应的设置可调节的夹持臂；
相应的，夹持臂上设置多级夹持脚，多级夹持脚的夹持高度同除最内侧弧形台阶以外的弧形台阶对应设置，夹持臂通过旋转轴设置于活动底座上，活动底座固定于基座上，活动底座内设置有同机械臂主体平行的滑轨，夹持臂通过旋转轴绕其轴心的自转来调节夹持臂弧形面方向，并借助滑轨前后移动调节夹持脚同对称中心的距离；
相应的，旋转轴上设置固定器，在旋转轴旋转至设定位置后通过固定器固定旋转轴的位置，从而固定夹持臂弧形面方向；
相应的，支撑结构为上下伸缩型结构，支撑结构伸出穿过通行孔可顶起固定于机械臂主体上的晶片，便于晶片从机械臂主体上取下。
本实用新型的有益效果为：
通过在机械臂本体上设置多级弧形台阶，使得一个机械臂主体可以适应多种尺寸的晶片，避免了多次更换机械臂的繁琐操作，极大程度上拓宽了装载台机械臂的普遍适用性，提高了涂胶显影的工作效率，同时降低了机械臂的生产成本和购买成本。
附图说明
图1是一实施例中所述的装载台机械臂的俯视结构示意图；
图2是最内侧弧形台阶和固定脚固定六吋晶片时的俯视结构示意图；
图3是最内侧弧形台阶和固定脚固定六吋晶片时的侧视结构示意图；
图4是六吋晶片被支撑结构支起时的结构示意图；
图5是弧形台阶和夹持脚固定八吋晶片时的俯视结构示意图；
图6是夹持臂夹持不同尺寸晶片时的状态示意图；
图中：
1、机械臂主体；2、基座；3、弧形台阶；4、固定块；5、通行孔；6、支撑结构；7、夹持臂；8、旋转轴；9、活动底座；
41、固定块弧形面；42、固定脚；
71、夹持臂弧形面；72、夹持脚。
具体实施方式
如图1所示，在本实用新型的一个实施例中，涂胶显影的装载台机械臂包括机械臂主体1、基座2、支撑结构6以及夹持臂7，机械臂主体1通过导轨安装于基座2上，机械臂主体1前端设置有多级弧形台阶3，末端设置有固定块4，固定块4朝向弧形台阶3的一侧为圆弧结构，圆弧结构和最内侧弧形台阶3为同一个圆上对称的两段圆弧，以该两段圆弧的对称中心为中心，在机械臂主体1上设置若干个通行孔5，且该通行孔5处于两段圆弧之间，在基座2上设置若干个同通行孔5对应的支撑结构6，与固定块4同端的基座2上设置夹持臂7，且夹持臂7处于固定块4两侧，除最内侧弧形台阶3以外的弧形台阶3和夹持臂7以所述的对称中心为圆心形成由多段圆弧组成的固定装置。
如图2、3、4所示，最内侧弧形台阶3同固定块弧形面41是两段相对设置的圆弧，固定脚42设置于固定块弧形面41上，固定脚42用于固定晶片的固定面同机械臂主体1垂直，最内侧弧形台阶3和固定脚42分别用于固定晶片上对称的两段圆弧边，以最内侧弧形台阶3和固定脚42固定六吋晶片为例，最内侧弧形台阶3或任一固定脚42的固定面至对称中心的距离等于六吋晶片的半径，六吋晶片正好放置于最内侧弧形台阶3和固定脚42所围成的固定区，在需要从机械臂主体1上取下六吋晶片时，支撑结构6穿过通行孔5支撑于六吋晶片中心，将六吋晶片支出固定区，方便了六吋晶片的拿取；
如图5所示，夹持臂7分设于固定块4两侧，为环抱形设置，包括夹持臂弧形面71和设置于夹持臂弧形面71上的夹持脚72，通过夹持脚72同除最内侧弧形台阶3以外的弧形台阶3形成固定装置，分别固定同一个晶片的三段圆弧边，以弧形台阶3和夹持脚72固定八吋晶片为例，该弧形台阶3是最内侧台阶以外的外侧台阶，和对称中心的距离比最内侧弧形台阶3和对称中心的距离更远，夹持脚72和一段弧形台阶3以三段夹持方式固定八吋晶片的三段圆弧边，即便没有底面支撑，该种三段式夹持也可以保证晶片固定的稳定，在需要从机械臂主体1上取下八吋晶片时，支撑结构6穿过通行孔5支撑于八吋晶片中心，将八吋晶片支出固定区，方便了八吋晶片的拿取；
如图6所示，对于一个机械臂主体1上需要固定更多尺寸的晶片的情况，即存在三个或三个以上的弧形台阶3，则需要相应的夹持臂7来匹配弧形台阶3，这时，需要保证夹持臂7的可调整性，在夹持臂7上设置旋转轴8以及活动底座9来实现夹持臂的调整，通过旋转轴8绕其轴心的自转来调节夹持臂弧形面71方向，固定器固定指定的夹持臂弧形面71方向，并借助滑轨前后移动调节夹持脚72同对称中心的距离，选择相应高度的夹持脚72进行高度上的匹配，从而来保证夹持脚72同对称中心的距离等于晶片的半径，实现更多尺寸晶片的固定工作。
此外，应当理解，虽然本说明书按照实施方式加以描述，但并非每个实施方式仅包含一个独立的技术方案，说明书的这种叙述方式仅仅是为清楚起见，本领域技术人员应当将说明书作为一个整体，各实施例中的技术方案也可以经适当组合，形成本领域技术人员可以理解的其他实施方式。
Claims (10)
1.一种涂胶显影设备的装载台机械臂，包括机械臂主体、基座、支撑结构以及夹持臂，其特征在于：所述的机械臂主体通过导轨安装于基座上，机械臂主体前端设置有多级弧形台阶，末端设置有固定块，固定块朝向弧形台阶的一侧为圆弧结构，圆弧结构和最内侧弧形台阶为同一个圆上对称的两段圆弧，以该两段圆弧的对称中心为中心，在机械臂主体上设置若干个通行孔，且该通行孔处于所述的两段圆弧之间，在基座上设置若干个同通行孔对应的支撑结构，与固定块同端的基座两侧设置夹持臂，且夹持臂处于固定块两侧，除最内侧弧形台阶以外的弧形台阶和夹持臂以所述的对称中心为圆心形成由多段圆弧组成的固定装置。
2.根据权利要求1所述的一种涂胶显影设备的装载台机械臂，其特征在于：所述的弧形台阶的高度大于或等于对应晶片的厚度。
3.根据权利要求1所述的一种涂胶显影设备的装载台机械臂，其特征在于：所述的圆弧结构包括固定块弧形面和设置于固定块弧形面上并垂直于机械臂主体的固定脚，固定脚和最内侧弧形台阶分别用于固定晶片上对称的两段圆弧边。
4.根据权利要求3所述的一种涂胶显影设备的装载台机械臂，其特征在于：固定脚至对称中心的距离等于最内侧弧形台阶至对称中心的距离等于对应晶片的半径。
5.根据权利要求1所述的一种涂胶显影设备的装载台机械臂，其特征在于：所述的夹持臂为环抱形设置，包括夹持臂弧形面和设置于夹持臂弧形面上的夹持脚，通过夹持脚同除最内侧弧形台阶以外的弧形台阶形成固定装置，分别固定同一个晶片的三段圆弧边。
6.根据权利要求5所述的一种涂胶显影设备的装载台机械臂，其特征在于：夹持脚到对称中心的距离等于对应弧形台阶至对称中心的距离等于对应晶片的半径。
7.根据权利要求1所述的一种涂胶显影设备的装载台机械臂，其特征在于：设置三级或三级以上弧形台阶的，对应设置可调节的夹持臂。
8.根据权利要求7所述的一种涂胶显影设备的装载台机械臂，其特征在于：所述的夹持臂上设置多级夹持脚，多级夹持脚的夹持高度同除最内侧弧形台阶以外的弧形台阶对应设置，夹持臂通过旋转轴设置于活动底座上，活动底座固定于基座上，活动底座内设置有同机械臂主体平行的滑轨。
9.根据权利要求8所述的一种涂胶显影设备的装载台机械臂，其特征在于：所述的旋转轴上设置固定器。
10.根据权利要求1所述的一种涂胶显影设备的装载台机械臂，其特征在于：所述的支撑结构为上下伸缩型结构。
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