CN221314141U - 一种便于校正调节的半导体产品定位装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种便于校正调节的半导体产品定位装置，包括支撑底座，支撑底座的上方开有调节槽，调节槽内固定安装有传动电机，传动电机的传动轴上固定连接有螺纹传动杆，螺纹传动杆的上方设有升降筒，升降筒的顶部固定安装有推动板，传动电机上方传动轴的外侧固定安装有吸附筒，吸附筒的顶部固定连接有支撑盘，支撑盘的中心开有吸附孔，吸气管的末端固定连接有吸附气缸，支撑盘的上方设有夹持定位装置。本实用新型具有以下效果：通过传动电机带动螺纹传动杆转动，螺纹传动杆带动升降筒和推动板向上移动，使推动板将吸附在支撑盘上的半导体产品向上推动，实现夹持定位装置对其进行校准调节，使半导体产品的校准调节更加方便。

Description

一种便于校正调节的半导体产品定位装置

技术领域

本实用新型涉及定位装置技术领域，具体来说，涉及一种便于校正调节的半导体产品定位装置。

背景技术

随着科技的快速发展，半导体设备在各行各业中的应用越来越广泛，尤其在制造和加工领域中，半导体设备的需求量越来越大。半导体产品定位装置是半导体设备中的重要组成部分，该装置是一种用于确定半导体元器件在生产线上的位置和方向的设备。在半导体制造过程中，准确的定位和方向性对于后续的制造和加工过程至关重要，因此半导体产品定位装置也具有较高的精度要求。现有技术中，半导体产品定位装置在生产过程中进行定位时，偶尔会出现定位误差，需要对半导体产品进行校正调节，但传统的定位装置在调节时，由于半导体产品下方的吸附孔将其固定吸附在托盘上，只能对其进行活动较小的调节。当半导体产品的定位偏差较大时需要关闭气缸停止吸附后，才能进行多次大幅度的位置校正，这种调节方法在调节时需要不断的开启和关闭气缸，费时费力，影响加工效率。因此，需要一种便于校正调节的半导体产品定位装置，来解决上述中提到的问题。

实用新型内容

针对相关技术中的问题，本实用新型提出一种便于校正调节的半导体产品定位装置，以克服现有相关技术所存在的上述技术问题。

为此，本实用新型采用的具体技术方案如下：

一种便于校正调节的半导体产品定位装置，包括支撑底座，支撑底座的上方开有调节槽，调节槽内固定安装有传动电机，传动电机的传动轴上固定连接有螺纹传动杆，螺纹传动杆的上方设有升降筒，升降筒的内壁上设有传动螺纹，升降筒与螺纹传动杆螺纹连接，升降筒的顶部固定安装有推动板，传动电机上方传动轴的外侧固定安装有吸附筒，升降筒的外壁两侧固定连接有限位块，吸附筒的内壁两侧开有限位槽，限位块滑动安装在限位槽内，吸附筒的顶部固定连接有支撑盘，支撑盘的中心开有吸附孔，吸附筒的一侧表面贯通连接有吸气管，吸气管的末端固定连接有吸附气缸，支撑盘的上方设有夹持定位装置。

进一步地，为了实现对吸附在支撑盘上的半导体产品进行固定夹持，夹持定位装置包括电动伸缩杆，支撑盘的表面开有滑动槽，电动伸缩杆固定安装在滑动槽的一端，电动伸缩杆的末端固定连接有夹持板，夹持板滑动安装在滑动槽内，夹持定位装置的数量为四个，分别呈直角分布安装在支撑盘的表面。通过电动伸缩杆推动夹持板移动，使夹持板对半导体产品四周进行夹持固定。

进一步地，为了实现吸附气缸通过吸附孔对半导体产品进行吸附处理，吸附孔与吸附筒顶部贯通连接。

进一步地，为了实现推动板向上推动半导体产品时防止对其造成损害，推动板的表面固定安装有橡胶垫，通过橡胶垫使推动板与半导体产品实现软接触。

进一步地，为了实现对装置内各电器进行开关的控制，支撑底座的表面固定安装有多控开关。

进一步地，为了实现支撑底座的移动，支撑底座的底面转动安装有移动滑轮，通过移动滑轮使该装置移动到不同的位置进行工作。

本实用新型的有益效果为：当半导体产品的定位偏差较大时，通过传动电机带动螺纹传动杆转动，螺纹传动杆带动升降筒与推动板向上移动，使推动板将吸附在吸附口的半导体产品向上推动，移动后吸附筒内的压力减小，再通过电动伸缩杆带动夹持板移动，使夹持板对半导体产品进行调节，调节后推动板向下移动使其重新吸附在支撑盘上，完成对半导体产品定位精度的校准，避免了调节时反复关闭气缸，使半导体产品的校正调节更加方便，提升生产加工效率。

附图说明

通过阅读参照以下附图对非限制性实施例所做的详细描述，本实用新型的其它特征、目的和优点将会变得更加明显：

图1是根据本实用新型实施例的一种便于校正调节的半导体产品定位装置的表面结构示意图；

图2是根据本实用新型实施例的一种便于校正调节的半导体产品定位装置的剖面视图；

图3是图2中A处放大示意图；

图4是根据本实用新型实施例的一种便于校正调节的半导体产品定位装置的侧面视图。

图中：

1、支撑底座；2、调节槽；3、传动电机；4、螺纹传动杆；5、升降筒；6、推动板；7、吸附筒；8、限位块；9、限位槽；10、支撑盘；11、吸附孔；12、吸气管；13、吸附气缸；14、夹持定位装置；1401、电动伸缩杆；1402、滑动槽；1403、夹持板；15、橡胶垫；16、多控开关；17、移动滑轮。

具体实施方式

为使本实用新型实现的技术手段、创作特征、达成目的与功效易于明白了解，下面结合具体实施方式，进一步阐述本实用新型。

请参阅图1-图4，本实用新型提供一种技术方案：一种便于校正调节的半导体产品定位装置，包括金属矩形的支撑底座1，支撑底座1的上方开有调节槽2，调节槽2内固定安装有高精度可慢速转动的传动电机3，传动电机3通过导线电性连接电源，传动电机3的传动轴上固定连接有金属材质的螺纹传动杆4，螺纹传动杆4的外侧套有升降筒5，升降筒5的内壁上设有传动螺纹，升降筒5通过传动螺纹与螺纹传动杆4螺纹连接，升降筒5的顶部固定安装有推动板6，传动电机3上方传动轴的外侧密封固定安装有金属圆柱形的吸附筒7，升降筒5的外壁两侧固定连接有限位块8，吸附筒7的内壁两侧与限位块8相对应的位置开有限位槽9，限位块8滑动安装在限位槽9内，通过传动电机3转动带动螺纹传动杆4转动，螺纹传动杆4通过与升降筒5的螺纹连接，带动螺纹孔进行上下移动，实现升降筒5带动顶部的推动板6进行上下移动；吸附筒7的顶部固定连接有支撑盘10，支撑盘10的中心开有吸附孔11，推动板6的最大直径小于吸风控的直径，吸附孔11贯通连接吸附筒7的顶部；吸附筒7的一侧表面贯通连接有吸气管12，吸气管12的末端固定连接有吸附气缸13，吸附气缸13通过吸气管12对吸附筒7内进行吸气，实现吸附口对支撑盘10上的半导体产品进行吸附；支撑盘10的上方设有夹持定位装置14，用于对吸附后的半导体产品进行固定夹持。

请参阅图1-图4，夹持定位装置14包括电动伸缩杆1401，电动伸缩杆1401通过导线电性连接电源；支撑盘10的表面开有滑动槽1402，电动伸缩杆1401固定安装在滑动槽1402的一端，电动伸缩杆1401的末端固定连接有夹持板1403，夹持板1403滑动安装在滑动槽1402内，夹持定位装置14的数量为四个，分别呈直角分布安装在支撑盘10的表面，通过电动伸缩杆1401带动夹持板1403的移动，实现对半导体产品进行固定夹持；推动板6的表面固定安装有橡胶垫15，用于推动板6推动半导体产品时防止对其造成损害；支撑底座1的表面固定安装有多控开关16，多控开关16通过导线电性连接传动电机3和电动伸缩杆1401，用于对传动电机3和电动伸缩杆1401开关的控制；支撑底座1的底面转动安装有移动滑轮17，通过移动滑轮17实现支撑底座1的移动到不同位置对半导体产品进行定位后加工。

工作原理：通过吸附气缸13对吸附筒7内吸气增大吸附筒7内的气压，使吸附口对支撑盘10上的半导体产品进行吸附处理，再通过电动伸缩杆1401带动夹持板1403对其进行定位夹紧；当支撑盘10上的半导体产品的定位偏差较大时，通过多控开关16时夹持在半导体产品周围的电动伸缩杆1401收缩，再启动传动电机3转动，传动电机3带动螺纹传动杆4转动，螺纹传动杆4通过与升降筒5的螺纹连接和限位块8与限位槽9的相互配合，带动升降筒5向上移动，升降筒5带动顶端的推动板6向上移动，使推动板6推动被吸附的半导体产品向上移动，使半导体产品摆脱吸附筒7的吸力，再通过多控开挂控制不同位置的电动伸缩杆1401伸缩，使电动伸缩杆1401带动夹持板1403对半导体产品进行推动，使其进行位置的校准调节，校准后通过多控开关16控制传动电机3反向转动，推动板6带动半导体产品向下移动，使之移动到吸附口处再次吸附，再通过电动伸缩杆1401带动夹持板1403移动，对半导体产品进行固定夹紧，完成半导体产品位置的校准调节。

此外，应当理解，虽然本说明书按照实施方式加以描述，但并非每个实施方式仅包含一个独立的技术方案，说明书的这种叙述方式仅仅是为清楚起见，本领域技术人员应当将说明书作为一个整体，各实施例中的技术方案也可以经适当组合，形成本领域技术人员可以理解的其他实施方式。

Claims (7)

1.一种便于校正调节的半导体产品定位装置，其特征在于，包括支撑底座(1)，所述支撑底座(1)的上方开有调节槽(2)，所述调节槽(2)内固定安装有传动电机(3)，所述传动电机(3)的传动轴上固定连接有螺纹传动杆(4)，所述螺纹传动杆(4)的上方设有升降筒(5)，所述升降筒(5)的内壁上设有传动螺纹，所述升降筒(5)与螺纹传动杆(4)螺纹连接，所述升降筒(5)的顶部固定安装有推动板(6)，所述传动电机(3)上方传动轴的外侧固定安装有吸附筒(7)，所述升降筒(5)的外壁两侧固定连接有限位块(8)，所述吸附筒(7)的内壁两侧开有限位槽(9)，所述限位块(8)滑动安装在限位槽(9)内，所述吸附筒(7)的顶部固定连接有支撑盘(10)，所述支撑盘(10)的中心开有吸附孔(11)，所述吸附筒(7)的一侧表面贯通连接有吸气管(12)，所述吸气管(12)的末端固定连接有吸附气缸(13)，所述支撑盘(10)的上方设有夹持定位装置(14)。

2.根据权利要求1所述的一种便于校正调节的半导体产品定位装置，其特征在于：所述夹持定位装置(14)包括电动伸缩杆(1401)，所述支撑盘(10)的表面开有滑动槽(1402)，所述电动伸缩杆(1401)固定安装在滑动槽(1402)的一端，所述电动伸缩杆(1401)的末端固定连接有夹持板(1403)，所述夹持板(1403)滑动安装在滑动槽(1402)内。

3.根据权利要求2所述的一种便于校正调节的半导体产品定位装置，其特征在于：所述夹持定位装置(14)的数量为四个，分别呈直角分布安装在支撑盘(10)的表面。

4.根据权利要求1所述的一种便于校正调节的半导体产品定位装置，其特征在于：所述吸附孔(11)与吸附筒(7)顶部贯通连接。

5.根据权利要求1所述的一种便于校正调节的半导体产品定位装置，其特征在于：所述推动板(6)的表面固定安装有橡胶垫(15)。

6.根据权利要求1所述的一种便于校正调节的半导体产品定位装置，其特征在于：所述支撑底座(1)的表面固定安装有多控开关(16)。

7.根据权利要求1所述的一种便于校正调节的半导体产品定位装置，其特征在于：所述支撑底座(1)的底面转动安装有移动滑轮(17)。