CN213170297U - 一种用于芯片测试的吸盘结构 - Google Patents

一种用于芯片测试的吸盘结构 Download PDF

Info

Publication number
CN213170297U
CN213170297U CN202021283383.5U CN202021283383U CN213170297U CN 213170297 U CN213170297 U CN 213170297U CN 202021283383 U CN202021283383 U CN 202021283383U CN 213170297 U CN213170297 U CN 213170297U
Authority
CN
China
Prior art keywords
fixedly connected
chip
rod
air
base
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Fee Related
Application number
CN202021283383.5U
Other languages
English (en)
Inventor
黄伟
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Tianjin Fangyuan System Integration Co ltd
Original Assignee
Tianjin Fangyuan System Integration Co ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Tianjin Fangyuan System Integration Co ltd filed Critical Tianjin Fangyuan System Integration Co ltd
Priority to CN202021283383.5U priority Critical patent/CN213170297U/zh
Application granted granted Critical
Publication of CN213170297U publication Critical patent/CN213170297U/zh
Expired - Fee Related legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Landscapes

  • Testing Of Individual Semiconductor Devices (AREA)

Abstract

本实用新型公开了一种用于芯片测试的吸盘结构,属于芯片领域,包括底座,所述底座的顶部固定连接有放置台,且底座顶部的侧面固定连接有支撑杆,所述支撑杆的顶端固定连接有横板,横板的正面固定连接有安装块,安装块的内部活动套接有螺杆,螺杆的端部固定连接有正反电机,且螺杆的外部螺纹套接有移动块;该用于芯片测试的吸盘结构,通过设置输气套、三个支管和三个二号气阀,可以在芯片测试的过程中,便于根据芯片的面积大小对相应需要工作的二号吸盘进行控制,避免了那些未与芯片接触的二号吸盘也会进行工作的问题,这样不仅节省了抽气泵运行所需的电能,而且也给芯片的吸附固定带来了便利。

Description

一种用于芯片测试的吸盘结构
技术领域
本实用新型属于芯片技术领域,具体涉及一种用于芯片测试的吸盘结构。
背景技术
芯片是半导体元件产品的统称,且芯片在电子学中是一种将电路(主要包括半导体设备,也包括被动组件等)小型化的方式,并时常制造在半导体晶圆表面上,在芯片测试的过程中,由于芯片的厚度较薄,不便于进行挤压固定,通常需要利用吸盘结构对其进行吸附固定;然而,现有的大多数吸盘结构在使用的过程中,经常是利用一个气阀对多组吸盘进行共同控制,当芯片的面积值小于吸盘组所构成的区域面积值时,那些未与芯片接触的吸盘也会进行工作,这样不仅会浪费一部分吸盘工作所需的电能,而且也给芯片的吸附固定带来了不便,为此,我们提出了一种用于芯片测试的吸盘结构。
实用新型内容
本实用新型的目的在于提供一种用于芯片测试的吸盘结构,以解决上述背景技术中提出的问题。
为实现上述目的,本实用新型提供如下技术方案:一种用于芯片测试的吸盘结构,包括底座,所述底座的顶部固定连接有放置台,且底座顶部的侧面固定连接有支撑杆,所述支撑杆的顶端固定连接有横板,所述横板的正面固定连接有安装块,所述安装块的内部活动套接有螺杆,所述螺杆的端部固定连接有正反电机,且螺杆的外部螺纹套接有移动块,所述移动块的内部活动套接有定位杆,所述移动块的底部固定连接有电动推杆,所述电动推杆的底端固定连接有连接板,所述连接板的内部固定套接有一号吸盘,所述一号吸盘的顶端固定连接有一号抽气管,所述一号抽气管的外部固定安装有一号气阀,所述底座的顶部固定连接有承重板,所述承重板的顶部固定连接有安装杆,所述安装杆的顶端固定连接有固定板,所述承重板顶部的一侧固定连接有输气套,所述输气套的一侧固定连接有支管,所述支管的外部固定安装有二号气阀,且支管的顶部固定连接有二号吸盘,所述二号吸盘固定套接在固定板的内部,所述输气套的另一侧固定连接有二号抽气管,所述二号抽气管的外部固定安装有抽气泵。
作为一种优选的实施方式,所述定位杆的端部与安装块的侧面固定连接,且定位杆与螺杆之间相互平行。
作为一种优选的实施方式,所述电动推杆的底端与连接板顶端的中部相互垂直,且电动推杆的一侧通过电线与外接电路电性连接。
作为一种优选的实施方式,所述一号吸盘的数量为两个,且两个一号吸盘的大小相等,两个所述一号吸盘均位于放置台的正上方。
作为一种优选的实施方式,所述支管的数量为三个,且三个支管的大小相等,三个所述支管之间相互平行。
与现有技术相比,本实用新型的有益效果是:
该用于芯片测试的吸盘结构,通过设置输气套、三个支管和三个二号气阀,可以在芯片测试的过程中,便于根据芯片的面积大小对相应需要工作的二号吸盘进行控制,避免了那些未与芯片接触的二号吸盘也会进行工作的问题,这样不仅节省了抽气泵运行所需的电能,而且也给芯片的吸附固定带来了便利;
该用于芯片测试的吸盘结构,通过设置横板、安装块、螺杆、正反电机、移动块、定位杆和电动推杆,可以在芯片测试的过程中,便于将放置台上的待测试芯片移动到固定区域内,且通过设置连接板、一号吸盘、一号抽气管和一号气阀,可以在芯片移动的过程中,便于对芯片进行吸附固定,避免了芯片在移动时发生掉落的问题,从而提高了芯片移动时的稳定性。
附图说明
图1为本实用新型结构的正面示意图;
图2为本实用新型中固定板的俯视图;
图3为本实用新型中移动块的侧面示意图。
图中:1、底座;2、放置台;3、支撑杆;4、横板;5、安装块;6、螺杆;7、正反电机;8、移动块;9、定位杆;10、电动推杆;11、连接板;12、一号吸盘;13、一号抽气管;14、一号气阀;15、承重板;16、安装杆;17、固定板;18、输气套;19、支管;20、二号气阀;21、二号吸盘;22、二号抽气管;23、抽气泵。
具体实施方式
下面结合实施例对本实用新型做进一步的描述。
以下实施例用于说明本实用新型,但不能用来限制本实用新型的保护范围。实施例中的条件可以根据具体条件做进一步的调整,在本实用新型的构思前提下对本实用新型的方法简单改进都属于本实用新型要求保护的范围。
请参阅图1和图3,本实用新型提供一种用于芯片测试的吸盘结构,包括底座1,为了便于在水平方向上对芯片的位置进行移动,可在底座1的顶部固定连接放置台2,且在底座1顶部的侧面固定连接支撑杆3,在支撑杆3的顶端固定连接横板4,在横板4的正面固定连接安装块5,在安装块5的内部活动套接螺杆6,在螺杆6的端部固定连接正反电机7,且在螺杆6的外部螺纹套接移动块8,在移动块8的内部活动套接定位杆9,而定位杆9的端部与安装块5的侧面固定连接,且定位杆9与螺杆6之间相互平行,在移动块8的底部固定连接电动推杆10,当打开正反电机7,使得螺杆6发生转动,并带动移动块8发生旋转移动,此时定位杆9能够阻挡移动块8旋转的运动趋势,使得移动块8只能在水平方向上发生移动,并带动电动推杆10发生水平移动,且芯片会在电动推杆10的带动下发生水平移动,从而便于在水平方向上对芯片的位置进行移动。
请参阅图1,为了便于在竖直方向上对芯片的位置进行移动,在电动推杆10的底端固定连接连接板11,而电动推杆10的底端与连接板11顶端的中部相互垂直,且电动推杆10的一侧通过电线与外接电路电性连接,当启动电动推杆10,使得电动推杆10发生延伸运动,并带动连接板11发生下移,而芯片会在连接板11的带动下发生移动,从而便于在竖直方向上对芯片的位置进行移动。
请参阅图1,为了便于对放置台2顶部的芯片进行吸附,可在连接板11的内部固定套接一号吸盘12,而一号吸盘12的数量为两个,且两个一号吸盘12的大小相等,两个一号吸盘12均位于放置台2的正上方,在一号吸盘12的顶端固定连接一号抽气管13,在一号抽气管13的外部固定安装一号气阀14,当连接板11在电动推杆10的带动下发生下移时,连接板11会带动一号吸盘12发生下移,使得一号吸盘12的底部与放置台2顶部的芯片相接触,再打开一号气阀14,对一号抽气管13的内部进行抽气,使得一号抽气管13的内部产生负压,此时一号吸盘12会因负压而产生吸力,从而便于对放置台2顶部的芯片进行吸附。
请参阅图1和图2,为了便于对待测试的芯片进行吸附固定,可在底座1的顶部固定连接承重板15,在承重板15的顶部固定连接安装杆16,在安装杆16的顶端固定连接固定板17,在承重板15顶部的一侧固定连接输气套18,在输气套18的一侧固定连接支管19,而支管19的数量为三个,且三个支管19的大小相等,三个支管19之间相互平行,在支管19的外部固定安装二号气阀20,且在支管19的顶部固定连接二号吸盘21,二号吸盘21固定套接在固定板17的内部,在输气套18的另一侧固定连接二号抽气管22,在二号抽气管22的外部固定安装抽气泵23,当放置台2顶部吸附的芯片在移动块8的带动下移动到固定板17的正上方时,关闭正反电机7,再次启动电动推杆10,使得电动推杆10继续发生延伸运动,并带动连接板11继续发生下移,而芯片会在连接板11的带动下继续发生下移,使得芯片的底部与二号吸盘21的顶部相接触,此时关闭一号气阀14,使得一号吸盘12失去吸力,同时启动抽气泵23,打开二号气阀20,利用二号抽气管22对输气套18和支管19的内部进行抽气,使得二号吸盘21因负压而产生吸力,从而便于对待测试芯片的底部进行吸附固定。
上述方案中,需要说明的是:二号气阀20的数量为三个,二号吸盘21的数量为十二个,且十二个二号吸盘21四个为一组,一号抽气管13的一端与抽气设备相连。
本实用新型的工作原理及使用流程:首先将待测试的芯片摆放在放置台2的顶部,启动电动推杆10,使得电动推杆10发生延伸运动,并带动连接板11发生下移,而连接板11会带动一号吸盘12发生下移,使得一号吸盘12的底部与放置台2顶部的芯片相接触,此时关闭电动推杆10,再打开一号气阀14,对一号抽气管13的内部进行抽气,使得一号抽气管13的内部产生负压,此时一号吸盘12会因负压而产生吸力,从而便于对放置台2顶部的芯片进行吸附,避免了芯片在移动时发生掉落的问题,从而提高了芯片移动时的稳定性,接着打开正反电机7,使得螺杆6发生转动,并带动移动块8发生旋转移动,此时定位杆9能够阻挡移动块8旋转的运动趋势,使得移动块8只能在水平方向上发生右移,并带动电动推杆10发生水平右移,且电动推杆10会带动连接板11发生右移,而连接板11会带动一号吸盘12发生水平右移,使得芯片在一号吸盘12的带动下发生水平右移,并移动至固定板17的正上方,此时关闭正反电机7,最后再次启动电动推杆10,使得电动推杆10继续发生延伸运动,并带动连接板11继续发生下移,而芯片会在连接板11的带动下继续发生下移,使得芯片的底部与二号吸盘21的顶部相接触,此时关闭电动推杆10和一号气阀14,使得一号吸盘12失去吸力,同时启动抽气泵23,根据芯片的面积大小打开相应的二号气阀20,利用二号抽气管22对输气套18和支管19的内部进行抽气,使得相应的二号吸盘21因负压而产生吸力,从而便于对待测试芯片的底部进行吸附固定,通过根据芯片的面积大小对相应需要工作的二号吸盘21进行控制,避免了那些未与芯片接触的二号吸盘21也会进行工作的问题,这样不仅节省了抽气泵23运行所需的电能,而且也给芯片的吸附固定带来了便利。
尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例,对于本领域的普通技术人员而言,可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型,本实用新型的范围由所附权利要求及其等同物限定。

Claims (5)

1.一种用于芯片测试的吸盘结构,包括底座(1),其特征在于:所述底座(1)的顶部固定连接有放置台(2),且底座(1)顶部的侧面固定连接有支撑杆(3),所述支撑杆(3)的顶端固定连接有横板(4),所述横板(4)的正面固定连接有安装块(5),所述安装块(5)的内部活动套接有螺杆(6),所述螺杆(6)的端部固定连接有正反电机(7),且螺杆(6)的外部螺纹套接有移动块(8),所述移动块(8)的内部活动套接有定位杆(9),所述移动块(8)的底部固定连接有电动推杆(10),所述电动推杆(10)的底端固定连接有连接板(11),所述连接板(11)的内部固定套接有一号吸盘(12),所述一号吸盘(12)的顶端固定连接有一号抽气管(13),所述一号抽气管(13)的外部固定安装有一号气阀(14),所述底座(1)的顶部固定连接有承重板(15),所述承重板(15)的顶部固定连接有安装杆(16),所述安装杆(16)的顶端固定连接有固定板(17),所述承重板(15)顶部的一侧固定连接有输气套(18),所述输气套(18)的一侧固定连接有支管(19),所述支管(19)的外部固定安装有二号气阀(20),且支管(19)的顶部固定连接有二号吸盘(21),所述二号吸盘(21)固定套接在固定板(17)的内部,所述输气套(18)的另一侧固定连接有二号抽气管(22),所述二号抽气管(22)的外部固定安装有抽气泵(23)。
2.根据权利要求1所述的用于芯片测试的吸盘结构,其特征在于:所述定位杆(9)的端部与安装块(5)的侧面固定连接,且定位杆(9)与螺杆(6)之间相互平行。
3.根据权利要求1所述的用于芯片测试的吸盘结构,其特征在于:所述电动推杆(10)的底端与连接板(11)顶端的中部相互垂直,且电动推杆(10)的一侧通过电线与外接电路电性连接。
4.根据权利要求1所述的用于芯片测试的吸盘结构,其特征在于:所述一号吸盘(12)的数量为两个,且两个一号吸盘(12)的大小相等,两个所述一号吸盘(12)均位于放置台(2)的正上方。
5.根据权利要求1所述的用于芯片测试的吸盘结构,其特征在于:所述支管(19)的数量为三个,且三个支管(19)的大小相等,三个所述支管(19)之间相互平行。
CN202021283383.5U 2020-07-04 2020-07-04 一种用于芯片测试的吸盘结构 Expired - Fee Related CN213170297U (zh)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN202021283383.5U CN213170297U (zh) 2020-07-04 2020-07-04 一种用于芯片测试的吸盘结构

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN202021283383.5U CN213170297U (zh) 2020-07-04 2020-07-04 一种用于芯片测试的吸盘结构

Publications (1)

Publication Number Publication Date
CN213170297U true CN213170297U (zh) 2021-05-11

Family

ID=75790820

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN202021283383.5U Expired - Fee Related CN213170297U (zh) 2020-07-04 2020-07-04 一种用于芯片测试的吸盘结构

Country Status (1)

Country Link
CN (1) CN213170297U (zh)

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN115771749A (zh) * 2022-12-08 2023-03-10 德州豪沃机械制造有限公司 一种用于大尺寸板材的自动上下料设备
CN117007948A (zh) * 2023-10-07 2023-11-07 江苏昊扬微电子有限公司 一种芯片试验装置

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN115771749A (zh) * 2022-12-08 2023-03-10 德州豪沃机械制造有限公司 一种用于大尺寸板材的自动上下料设备
CN117007948A (zh) * 2023-10-07 2023-11-07 江苏昊扬微电子有限公司 一种芯片试验装置
CN117007948B (zh) * 2023-10-07 2023-12-15 江苏昊扬微电子有限公司 一种芯片试验装置

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN213170297U (zh) 一种用于芯片测试的吸盘结构
CN103722376A (zh) 遥控器组装设备
CN217361537U (zh) 一种晶圆用定位装置
CN106505177A (zh) 电池注液机构及其软包装锂电池自动化生产线
CN106532126A (zh) 软包装锂电池自动化生产线
CN115157227A (zh) 一种洁净环境用晶圆传输机器人
CN203649904U (zh) 遥控器组装设备
CN210743929U (zh) 承载装置
CN204078688U (zh) 一种石英坩埚的搬运装置
CN117747526B (zh) 一种晶圆分选导片机
CN210763120U (zh) 一种电路板吸附移载装置
CN112198772B (zh) 一种晶圆片自动定位显影装置及方法
CN112904053A (zh) 探针夹具及探针插持设备
CN218965192U (zh) 一种用于晶圆测试的夹具
CN203649902U (zh) 柔性块状产品的二次定位装置
CN220172092U (zh) 一种具有吸附结构的芯片粘接装置
CN110370310B (zh) 一种机械手
CN220948730U (zh) 一种电子产品贴膜机
CN220710289U (zh) 半导体晶片翻转机构
CN117773753B (zh) 一种生产半导体晶片用的背面抛光装置
CN220106449U (zh) 一种固晶机的晶圆切换装置
CN220258540U (zh) 一种光学零件胶合装置
CN220740218U (zh) 一种单向阀加工用固定机构
CN221092787U (zh) 一种玻璃吸附机构
CN218957696U (zh) 晶圆寻边结构及具有其的检测设备

Legal Events

Date Code Title Description
GR01 Patent grant
GR01 Patent grant
CF01 Termination of patent right due to non-payment of annual fee

Granted publication date: 20210511