CN218965192U

CN218965192U - 一种用于晶圆测试的夹具

Info

Publication number: CN218965192U
Application number: CN202223271996.9U
Authority: CN
Inventors: 荣国青; 韦玮; 欧阳文坚
Original assignee: San Gongjing Precision Technology Suzhou Co ltd
Current assignee: San Gongjing Precision Technology Suzhou Co ltd
Priority date: 2022-12-07
Filing date: 2022-12-07
Publication date: 2023-05-05
Anticipated expiration: 2032-12-07

Abstract

本实用新型公开了一种用于晶圆测试的夹具，包括底座、操作台，所述底座顶部与操作台固定连接，所述操作台顶部侧固定连接有驱动立柱，所述驱动立柱前侧活动连接有调节座，所述调节座前侧固定连接有放置板，所述放置板顶侧中部固定连接有限位环，所述限位环内部活动嵌设有晶圆本体，所述放置板前部左侧设有调节钮，所述限位环内侧对称设有L型夹板，所述L型夹板内壁上分别挖设有弧形凹槽，可以手动控制夹持的力度，适用于不同尺寸的晶圆本体进行夹持定位，避免利用自动化设备进行夹持导致加持力度过大发生晶圆本体受压损坏的情况，限位环内部的晶圆本体可以自动脱落并被手掌接到，不需要利用手指将晶圆扣出，不会对晶圆边缘造成损坏。

Description

一种用于晶圆测试的夹具

技术领域

本实用新型涉及晶圆测试夹具技术领域，具体来说，涉及一种用于晶圆测试的夹具。

背景技术

晶圆是指硅半导体集成电路制作所用的硅晶片，由于其形状为圆形，故称为晶圆；在硅晶片上可加工制作成各种电路元件结构，而成为有特定电性功能的集成电路产品，晶圆的原始材料是硅，而地壳表面有用之不竭的二氧化硅，晶圆测试夹具用于晶圆测试时夹取晶圆并固定进行测试的工具。

现有技术中，申请号为201922125417.1公开了一种晶圆测试夹具，包括芯片测试座，所述芯片测试座的顶端固定安装有定位气缸，所述定位气缸共实质上有四个，四个所述定位气缸呈矩形阵列状分布于芯片测试座的顶端，所述定位气缸的内侧滑动连接有活塞杆，所述活塞杆的末端固定连接有导向杆安装板，所述导向杆安装板的一侧固定连接有测试头导向滑杆，所述芯片测试座的顶端放置有芯片吸嘴版，所述芯片吸嘴版的四周设置有与测试头导向滑杆相对应的定位凹槽，上述装置在芯片吸嘴版的四个拐角处设置定位气缸，这种夹持方式结构复杂，不能够对晶圆进行多角度进行调节，只能够适用于晶圆摆放的正上方的检测探针，工作人员在拿持检测工具时，不方便对晶圆进行检测操作，并且利用负压将晶圆吸附固定时，需要利用手指将晶圆从芯片吸嘴版上扣出，不方便取料，容易对晶圆边缘造成损坏。

针对相关技术中的问题，目前尚未提出有效的解决方案。

实用新型内容

针对相关技术中的问题，本实用新型提出一种用于晶圆测试的夹具，以克服现有相关技术所存在的上述技术问题。

为此，本实用新型采用的具体技术方案如下：

一种用于晶圆测试的夹具，包括底座、操作台，所述底座顶部与操作台固定连接，所述操作台顶部侧固定连接有驱动立柱，所述驱动立柱前侧活动连接有调节座，所述调节座前侧固定连接有放置板，所述放置板顶侧中部固定连接有限位环，所述限位环内部活动嵌设有晶圆本体，所述放置板前部左侧设有调节钮，所述限位环内侧对称设有L型夹板，所述L型夹板内壁上分别挖设有弧形凹槽。

作为优选，所述放置板顶侧中部挖设有第一矩形凹槽，所述第一矩形凹槽内壁后侧通过轴承连接有第一螺纹杆，所述第一螺纹杆前端固定连接有第二螺纹杆，所述第二螺纹杆前端贯穿放置板前侧，且与调节钮内侧连接，所述第一螺纹杆两侧对称设有滑动杆。

作为优选，所述L型夹板底侧中部固定连接有第一螺母，所述L型夹板底部两侧对称设有导向环，所述L型夹板通过第一螺母、导向环分别与第一螺纹杆与滑动杆、第二螺纹杆与滑动杆外侧套接，且通过第一螺母分别与第一螺纹杆、第二螺纹杆匹配螺纹连接。

作为优选，所述操作台底部后侧与底座顶侧之间固定连接有电机，所述驱动立柱前侧挖设有第二矩形凹槽，所述第二矩形凹槽内壁顶侧通过轴承连接有第三螺纹杆，所述第三螺纹杆两侧对称设有导向杆，所述电机的输出轴伸入第二矩形凹槽，且与第三螺纹杆底端固定连接。

作为优选，所述第三螺纹杆与导向杆外侧套设有移动块，所述移动块前侧与调节座后侧连接，所述移动块中部贯通设有第二螺母，且通过第二螺母与第三螺纹杆匹配螺纹连接。

作为优选，所述调节座包括U型板、T型板，所述T型板后侧伸入U型板内部，且所述U型板内壁两侧通过阻尼转轴与T型板连接，所述U型板后侧中部固定连接有转动杆，所述转动杆后端通过轴承与移动块前侧连接，所述转动杆外壁上套设固定有棘轮，所述移动块前侧拐角处通过扭簧连接有棘爪，所述棘爪外端插入棘轮的齿槽内部。

本实用新型的有益效果为：

1、L型夹板内壁上的弧形凹槽可以对晶圆本体外侧夹持固定，整体结构的调节方式更加的便捷，可以手动控制夹持的力度，适用于不同尺寸的晶圆本体进行夹持定位，避免利用自动化设备进行夹持导致加持力度过大发生晶圆本体受压损坏的情况；

2、能够将晶圆本体靠近测试探针或远离测试探针，能够将夹具整体适用于不同高度的测试设备；

3、能够使晶圆本体7装配夹持后进行不同位置、角度进行调节，在工作人员使用手动式检测仪对晶圆本体7，可以更加方便的将晶圆本体7外表面进行操作，工作人员只需要将手部放于限位环下方，然后旋转调节钮，使L型夹板同时向外移动，限位环内部的晶圆本体可以自动脱落并被手掌接到，不需要利用手指将晶圆扣出，不会对晶圆边缘造成损坏。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1是根据本实用新型实施例的一种用于晶圆测试的夹具的总结构示意图；

图2是根据本实用新型实施例的一种用于晶圆测试的夹具的限位环内部结构示意图；

图3是根据本实用新型实施例的一种用于晶圆测试的夹具的操作台后侧结构示意图；

图4是根据本实用新型实施例的一种用于晶圆测试的夹具的调节座内部结构示意图。

图中：

1、底座；2、操作台；3、驱动立柱；4、调节座；5、放置板；6、限位环；7、晶圆本体；8、调节钮；9、L型夹板；10、弧形凹槽；11、第一矩形凹槽；12、第一螺纹杆；13、第二螺纹杆；14、滑动杆；15、电机；16、第二矩形凹槽；17、第三螺纹杆；18、导向杆；19、移动块；20、U型板；21、T型板；22、转动杆；23、棘轮；24、棘爪。

具体实施方式

为进一步说明各实施例，本实用新型提供有附图，这些附图为本实用新型揭露内容的一部分，其主要用以说明实施例，并可配合说明书的相关描述来解释实施例的运作原理，配合参考这些内容，本领域普通技术人员应能理解其他可能的实施方式以及本实用新型的优点，图中的组件并未按比例绘制，而类似的组件符号通常用来表示类似的组件。

根据本实用新型的实施例，提供了一种用于晶圆测试的夹具。

实施例一

如图1-4所示，根据本实用新型实施例的一种用于晶圆测试的夹具，包括底座1、操作台2，底座1顶部与操作台2固定连接，操作台2顶部侧固定连接有驱动立柱3，驱动立柱3前侧活动连接有调节座4，调节座4前侧固定连接有放置板5，放置板5顶侧中部固定连接有限位环6，限位环6内部活动嵌设有晶圆本体7，放置板5前部左侧设有调节钮8，限位环6内侧对称设有L型夹板9，L型夹板9内壁上分别挖设有弧形凹槽10，放置板5顶侧中部挖设有第一矩形凹槽11，第一矩形凹槽11内壁后侧通过轴承连接有第一螺纹杆12，第一螺纹杆12前端固定连接有第二螺纹杆13，第二螺纹杆13前端贯穿放置板5前侧，且与调节钮8内侧连接，第一螺纹杆12两侧对称设有滑动杆14，L型夹板9底侧中部固定连接有第一螺母，L型夹板9底部两侧对称设有导向环，L型夹板9通过第一螺母、导向环分别与第一螺纹杆12与滑动杆14、第二螺纹杆13与滑动杆14外侧套接，且通过第一螺母分别与第一螺纹杆12、第二螺纹杆13匹配螺纹连接，第一螺纹杆12与第二螺纹杆13外壁上分别为正螺纹凹槽、逆螺纹凹槽，在将晶圆本体7放入限位环6内部后，转动调节钮8，调节钮8带动第二螺纹杆13进行旋转，第二螺纹杆13后端带动第一螺纹杆12进行旋转，可以使第一螺纹杆12与第二螺纹杆13外壁上的第一螺母分别带动L型夹板9同时向内或向外调节其之间的距离，在L型夹板9向内移动时，L型夹板9内壁上的弧形凹槽10可以对晶圆本体7外侧夹持固定，整体结构的调节方式更加的便捷，可以手动控制夹持的力度，适用于不同尺寸的晶圆本体7进行夹持定位，避免利用自动化设备进行夹持导致加持力度过大发生晶圆本体7受压损坏的情况。

实施例二

如图1-4所示，根据本实用新型实施例的一种用于晶圆测试的夹具，包括底座1、操作台2，底座1顶部与操作台2固定连接，操作台2顶部侧固定连接有驱动立柱3，驱动立柱3前侧活动连接有调节座4，调节座4前侧固定连接有放置板5，放置板5顶侧中部固定连接有限位环6，限位环6内部活动嵌设有晶圆本体7，放置板5前部左侧设有调节钮8，限位环6内侧对称设有L型夹板9，L型夹板9内壁上分别挖设有弧形凹槽10，操作台2底部后侧与底座1顶侧之间固定连接有电机15，驱动立柱3前侧挖设有第二矩形凹槽16，第二矩形凹槽16内壁顶侧通过轴承连接有第三螺纹杆17，第三螺纹杆17两侧对称设有导向杆18，电机15的输出轴伸入第二矩形凹槽16，且与第三螺纹杆17底端固定连接，第三螺纹杆17与导向杆18外侧套设有移动块19，移动块19前侧与调节座4后侧连接，移动块19中部贯通设有第二螺母，且通过第二螺母与第三螺纹杆17匹配螺纹连接，启动电机15，电机15的输出轴带动第三螺纹杆17进行旋转，第三螺纹杆17通过外壁上的螺母带动移动块19带动放置板5上的晶圆本体7进行高度调节，能够将晶圆本体7靠近测试探针或远离测试探针，能够将夹具整体适用于不同高度的测试设备。

实施例三

如图1-4所示，根据本实用新型实施例的一种用于晶圆测试的夹具，包括底座1、操作台2，底座1顶部与操作台2固定连接，操作台2顶部侧固定连接有驱动立柱3，驱动立柱3前侧活动连接有调节座4，调节座4前侧固定连接有放置板5，放置板5顶侧中部固定连接有限位环6，限位环6内部活动嵌设有晶圆本体7，放置板5前部左侧设有调节钮8，限位环6内侧对称设有L型夹板9，L型夹板9内壁上分别挖设有弧形凹槽10，调节座4包括U型板20、T型板21，T型板21后侧伸入U型板20内部，且U型板20内壁两侧通过阻尼转轴与T型板21连接，U型板20后侧中部固定连接有转动杆22，转动杆22后端通过轴承与移动块19前侧连接，转动杆22外壁上套设固定有棘轮23，移动块19前侧拐角处通过扭簧连接有棘爪24，棘爪24外端插入棘轮23的齿槽内部，通过设置棘轮23与棘爪24，能够使U型板20在移动块19前侧进行翻转，能够将放置板5上夹持晶圆本体7的角度进行调节，并且通过阻尼转轴使T型板21在U型板20内部进行向下调节至垂直状态，从而能够使晶圆本体7装配夹持后进行不同位置、角度进行调节，在工作人员使用手动式检测仪对晶圆本体7，可以更加方便的将晶圆本体7外表面进行操作，并且在需要取料时，将放置板5旋转180°，使限位环6与操作台2顶部对应，工作人员只需要将手部放于限位环6下方，然后旋转调节钮8，使L型夹板9同时向外移动，限位环6内部的晶圆本体7可以自动脱落并被手掌接到，不需要利用手指将晶圆扣出，不会对晶圆边缘造成损坏。

综上，借助于本实用新型的上述技术方案，此装置在使用时，第一螺纹杆12与第二螺纹杆13外壁上分别为正螺纹凹槽、逆螺纹凹槽，在将晶圆本体7放入限位环6内部后，转动调节钮8，调节钮8带动第二螺纹杆13进行旋转，第二螺纹杆13后端带动第一螺纹杆12进行旋转，可以使第一螺纹杆12与第二螺纹杆13外壁上的第一螺母分别带动L型夹板9同时向内或向外调节其之间的距离，在L型夹板9向内移动时，L型夹板9内壁上的弧形凹槽10可以对晶圆本体7外侧夹持固定，启动电机15，电机15的输出轴带动第三螺纹杆17进行旋转，第三螺纹杆17通过外壁上的螺母带动移动块19带动放置板5上的晶圆本体7进行高度调节，能够将晶圆本体7靠近测试探针或远离测试探针，通过棘轮23与棘爪24，能够使U型板20在移动块19前侧进行翻转，能够将放置板5上夹持晶圆本体7的角度进行调节，并且通过阻尼转轴使T型板21在U型板20内部进行向下调节至垂直状态，工作人员只需要将手部放于限位环6下方，然后旋转调节钮8，使L型夹板9同时向外移动，限位环6内部的晶圆本体7可以自动脱落并被手掌接到。

以上所述仅为本实用新型的较佳实施例而已，并不用以限制本实用新型，凡在本实用新型的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。

Claims

1.一种用于晶圆测试的夹具，包括底座（1）、操作台（2），其特征在于，所述底座（1）顶部与操作台（2）固定连接，所述操作台（2）顶部侧固定连接有驱动立柱（3），所述驱动立柱（3）前侧活动连接有调节座（4），所述调节座（4）前侧固定连接有放置板（5），所述放置板（5）顶侧中部固定连接有限位环（6），所述限位环（6）内部活动嵌设有晶圆本体（7），所述放置板（5）前部左侧设有调节钮（8），所述限位环（6）内侧对称设有L型夹板（9），所述L型夹板（9）内壁上分别挖设有弧形凹槽（10）。

2.根据权利要求1所述的一种用于晶圆测试的夹具，其特征在于，所述放置板（5）顶侧中部挖设有第一矩形凹槽（11），所述第一矩形凹槽（11）内壁后侧通过轴承连接有第一螺纹杆（12），所述第一螺纹杆（12）前端固定连接有第二螺纹杆（13），所述第二螺纹杆（13）前端贯穿放置板（5）前侧，且与调节钮（8）内侧连接，所述第一螺纹杆（12）两侧对称设有滑动杆（14）。

3.根据权利要求2所述的一种用于晶圆测试的夹具，其特征在于，所述L型夹板（9）底侧中部固定连接有第一螺母，所述L型夹板（9）底部两侧对称设有导向环，所述L型夹板（9）通过第一螺母、导向环分别与第一螺纹杆（12）与滑动杆（14）、第二螺纹杆（13）与滑动杆（14）外侧套接，且通过第一螺母分别与第一螺纹杆（12）、第二螺纹杆（13）匹配螺纹连接。

4.根据权利要求3所述的一种用于晶圆测试的夹具，其特征在于，所述操作台（2）底部后侧与底座（1）顶侧之间固定连接有电机（15），所述驱动立柱（3）前侧挖设有第二矩形凹槽（16），所述第二矩形凹槽（16）内壁顶侧通过轴承连接有第三螺纹杆（17），所述第三螺纹杆（17）两侧对称设有导向杆（18），所述电机（15）的输出轴伸入第二矩形凹槽（16），且与第三螺纹杆（17）底端固定连接。

5.根据权利要求4所述的一种用于晶圆测试的夹具，其特征在于，所述第三螺纹杆（17）与导向杆（18）外侧套设有移动块（19），所述移动块（19）前侧与调节座（4）后侧连接，所述移动块（19）中部贯通设有第二螺母，且通过第二螺母与第三螺纹杆（17）匹配螺纹连接。

6.根据权利要求5所述的一种用于晶圆测试的夹具，其特征在于，所述调节座（4）包括U型板（20）、T型板（21），所述T型板（21）后侧伸入U型板（20）内部，且所述U型板（20）内壁两侧通过阻尼转轴与T型板（21）连接，所述U型板（20）后侧中部固定连接有转动杆（22），所述转动杆（22）后端通过轴承与移动块（19）前侧连接，所述转动杆（22）外壁上套设固定有棘轮（23），所述移动块（19）前侧拐角处通过扭簧连接有棘爪（24），所述棘爪（24）外端插入棘轮（23）的齿槽内部。