CN215266255U - 一种晶圆的夹持装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型涉及夹具技术领域，尤其涉及一种晶圆的夹持装置。夹持装置包括驱动组件、第一转动架、第二转动架和加工台；所述加工台的两侧均转动设置有活动板，所述第一转动架和所述第二转动架的一端均连接在所述驱动组件的输出端，所述第一转动架和所述第二转动架的另一端与对应侧的所述活动板连接；所述加工台上开设有凹槽，所述凹槽内间隔设置有多个吸盘，所述吸盘用于支撑晶圆，两个所述活动板相互配合用于固定晶圆。本实施例的夹持装置能够增强晶圆夹持的稳定性和可靠性，使得晶圆不会从夹持装置掉落。

Description

一种晶圆的夹持装置

技术领域

本实用新型涉及夹具技术领域，尤其涉及一种晶圆的夹持装置。

背景技术

目前，半导体行业中晶片湿法处理工艺经常需要对晶圆进行处理，而目前最常用的晶圆夹持方式是使用真空吸盘来完成。但是仅仅采用吸盘夹持晶圆，晶圆容易出现掉落的情况。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种晶圆的夹持装置，提升晶圆夹持的稳定性和可靠性。

为达此目的，本实用新型采用以下技术方案：

一种晶圆的夹持装置，包括驱动组件、第一转动架、第二转动架和加工台；

所述加工台的两侧均转动设置有活动板，所述第一转动架和所述第二转动架的一端均连接在所述驱动组件的输出端，所述第一转动架和所述第二转动架的另一端与对应侧的所述活动板连接；

所述加工台上开设有凹槽，所述凹槽内间隔设置有多个吸盘，所述吸盘用于支撑晶圆，两个所述活动板相互配合用于固定晶圆。

优选地，所述驱动组件包括驱动源和连接杆，第一转动架和所述第二转动架的一端均铰接在所述连接杆上；

所述驱动源用于驱动所述连接杆沿着垂直于所述加工台的方向运动。

优选地，所述驱动源为伸缩气缸。

优选地，相邻所述吸盘之间间隔相同距离。

优选地，所述活动板铰接在所述工作台上。

优选地，所述凹槽内固定连接有固定座，所述固定座的顶部螺纹连接有所述吸盘。

优选地，所述活动板朝向晶圆的内侧开设有卡槽，所述晶圆卡设在所述卡槽内。

与现有技术相比，本实用新型实施例具有以下有益效果：

本实用新型的夹持装置包括驱动组件、第一转动架、第二转动架和加工台，加工台的两侧均转动设置有活动板，两侧的活动板分别与第一转动架、第二转动架连接，此外，第一转动架和所述第二转动架的一端均连接在所述驱动组件的输出端，驱动组件驱动第一转动架和所述第二转动架转动，从而使得晶圆能够夹持在活动板之间。此外，加工台上开设有凹槽，凹槽内设置的吸盘用于支撑晶圆。本实施例的夹持装置能够增强晶圆夹持的稳定性和可靠性，使得晶圆不会从夹持装置掉落。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动性的前提下，还可以根据这些附图获得其它的附图。

图1为本实用新型实施例提供的夹持装置结构示意图。

图示说明：加工台1、第一转动架2、第二转动架3、活动板4、凹槽5、吸盘6、驱动源7、连接杆8、固定座9、底座10。

具体实施方式

为使得本实用新型的目的、特征、优点能够更加的明显和易懂，下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，下面所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而非全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其它实施例，都属于本实用新型保护的范围。

在本实用新型的描述中，需要理解的是，当一个组件被认为是“连接”另一个组件，它可以是直接连接到另一个组件或者可能同时存在居中设置的组件。当一个组件被认为是“设置在”另一个组件，它可以是直接设置在另一个组件上或者可能同时存在居中设置的组件。

此外，术语“长”“短”“内”“外”等指示方位或位置关系为基于附图所展示的方位或者位置关系，仅是为了便于描述本实用新型，而不是指示或暗示所指的装置或原件必须具有此特定的方位、以特定的方位构造进行操作，以此不能理解为本实用新型的限制。

下面结合附图并通过具体实施方式来进一步说明本实用新型的技术方案。

请参阅图1，一种晶圆的夹持装置，夹持装置包括驱动组件、第一转动架2、第二转动架3和加工台1；

所述加工台1的两侧均转动设置有活动板4，所述第一转动架2和所述第二转动架3的一端均连接在所述驱动组件的输出端，所述第一转动架2和所述第二转动架3的另一端与对应侧的所述活动板4连接；

所述加工台1上开设有凹槽5，所述凹槽5内间隔设置有多个吸盘6，所述吸盘6用于支撑晶圆，两个所述活动板4相互配合用于固定晶圆。

具体的，夹持装置的工作原理：将晶圆放置在吸盘6上，通过吸盘6将晶圆撑住，同时，两个所述活动板4相互配合用于进一步固定晶圆，晶圆可靠地被夹持在两个所述活动板4之间。当想将晶圆取出时，驱动组件开启工作，驱动组件的输出端分别与第一转动架2和所述第二转动架3的一端连接，同时，第一转动架2和所述第二转动架3的另一端与所述活动板4连接，驱动组件驱动第一转动架2和所述第二转动架3朝向晶圆外侧的方向运动，两个活动板4自然打开设定的角度，方便晶圆被取出。待下一周期的晶圆放置在吸盘6上后，驱动组件驱动第一转动架2和所述第二转动架3朝向晶圆内侧的方向运动，再一次夹紧晶圆。

在一个可选的实施方式中，所述驱动组件包括驱动源7和连接杆8，第一转动架2和所述第二转动架3的一端均铰接在所述连接杆8上；

所述驱动源7用于驱动所述连接杆8沿着垂直于所述加工台1的方向运动。驱动源7设置在底座10上。

在一个可选的实施方式中，所述驱动源7为伸缩气缸。当伸缩气缸处于伸出状态时，伸缩气缸推动连接杆8向上运动，连接杆8带动第一转动架2和所述第二转动架3朝向晶圆外侧的方向运动。伸缩气缸缩回，则带动连接杆8向下运动。

为了增强晶圆整体的稳定性，在一个可选的实施方式中，相邻所述吸盘6之间间隔相同距离。

在一个可选的实施方式中，所述活动板4通过铰接的方式设置在所述工作台上。本实施例中，两侧的活动板4对称设置在所述工作台上。

在一个可选的实施方式中，所述凹槽5内固定连接有固定座9，所述固定座9的顶部螺纹连接有所述吸盘6。所述固定座9的数量及位置与所述吸盘6的数量及位置匹配。

为进一步增强晶圆夹持的稳定性和可靠性，在一个可选的实施方式中，所述活动板4朝向晶圆的内侧开设有卡槽，所述晶圆卡设在所述卡槽内。

综上，本实施例的夹持装置包括驱动组件、第一转动架2、第二转动架3和加工台1，加工台1的两侧均转动设置有活动板4，两侧的活动板4分别与第一转动架2、第二转动架3连接，此外，第一转动架2和所述第二转动架3的一端均连接在所述驱动组件的输出端，驱动组件驱动第一转动架2和所述第二转动架3转动，从而使得晶圆能够夹持在活动板4之间。此外，加工台1上开设有凹槽5，凹槽5内设置的吸盘6用于支撑晶圆。本实施例的夹持装置能够增强晶圆夹持的稳定性和可靠性，使得晶圆不会从夹持装置掉落。

以上所述，以上实施例仅用以说明本实用新型的技术方案，而非对其限制；尽管参照前述实施例对本实用新型进行了详细的说明，本领域的普通技术人员应当理解：其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分技术特征进行等同替换；而这些修改或者替换，并不使相应技术方案的本质脱离本实用新型各实施例技术方案的精神和范围。

Claims (7)

1.一种晶圆的夹持装置，其特征在于，包括驱动组件、第一转动架(2)、第二转动架(3)和加工台(1)；

所述加工台(1)的两侧均转动设置有活动板(4)，所述第一转动架(2)和所述第二转动架(3)的一端均连接在所述驱动组件的输出端，所述第一转动架(2)和所述第二转动架(3)的另一端与对应侧的所述活动板(4)连接；

所述加工台(1)上开设有凹槽(5)，所述凹槽(5)内间隔设置有多个吸盘(6)，所述吸盘(6)用于支撑晶圆，两个所述活动板(4)相互配合用于固定晶圆。

2.根据权利要求1所述的晶圆的夹持装置，其特征在于，所述驱动组件包括驱动源(7)和连接杆(8)，第一转动架(2)和所述第二转动架(3)的一端均铰接在所述连接杆(8)上；

所述驱动源(7)用于驱动所述连接杆(8)沿着垂直于所述加工台(1)的方向运动。

3.根据权利要求2所述的晶圆的夹持装置，其特征在于，所述驱动源(7)为伸缩气缸。

4.根据权利要求1所述的晶圆的夹持装置，其特征在于，相邻所述吸盘(6)之间间隔相同距离。

5.根据权利要求1所述的晶圆的夹持装置，其特征在于，所述活动板(4)铰接在所述工作台上。

6.根据权利要求1所述的晶圆的夹持装置，其特征在于，所述凹槽(5)内固定连接有固定座(9)，所述固定座(9)的顶部螺纹连接有所述吸盘(6)。

7.根据权利要求1所述的晶圆的夹持装置，其特征在于，所述活动板(4)朝向晶圆的内侧开设有卡槽，所述晶圆卡设在所述卡槽内。

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