CN115157227A - 一种洁净环境用晶圆传输机器人 - Google Patents
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Abstract
本发明公开了一种洁净环境用晶圆传输机器人，包括支撑底座，所述支撑底座的上表面转动连接有转动座，所述转动座的输出端安装有机械臂模块，所述机械臂模块的输出端安装有固定架和固定环，所述固定架的底部固定安装有吸附罩，所述吸附罩的底部滑动连接有底部滑板，所述固定环的底部固定安装有固定板，所述固定板的内底部固定安装有电动推杆。本发明所述的一种洁净环境用晶圆传输机器人，电动推杆将底部连接板推出至底部滑板的下方，使折叠网兜展开平铺在底部滑板的正下方，底部滑板上吸附的晶圆在传输过程中掉落时，下方的折叠网兜对掉落的晶圆进行接住，以避免负压气泵吸附力度不够导致吸附的晶圆在传输过程中掉落地面损失。
Description
技术领域
本发明涉及传输机器人领域，特别涉及一种洁净环境用晶圆传输机器人。
背景技术
在超大规模集成电路(IC)制造过程中，晶圆需要在数百道工艺之间频繁传输，晶圆生产线工序集中，加工速度快，工作环境洁净度要求高，需要高性能的晶圆传输机器人，现有的晶圆传输机器人通常使用负压吸附的方式进行晶圆的传输，即利用其工作端安装的气泵工作产生的负压对晶圆进行吸附，这样由于晶圆在传输模板上的位置不同，需要对晶圆片进行吸附时，需要将吸附模块与晶圆片进行对准浪费了大量时间，若不进行对准可能会导致晶圆在传输过程中从吸附模块上掉落，同时在传输过程中气泵发生故障或者装置的晃动也可能导致晶圆在传输过程中从吸附模块上掉落，当晶圆在传输过程中从吸附模块上掉落时，无法及时对晶圆进行保护极易引起晶圆掉落地面损伤，鉴于此，我们提出一种洁净环境用晶圆传输机器人。
发明内容
本发明的主要目的在于提供一种洁净环境用晶圆传输机器人，能够有效解决背景技术中的问题：由于晶圆在传输模板上的位置不同，需要对晶圆片进行吸附时，需要将吸附模块与晶圆片进行对准浪费了大量时间，若不进行对准可能会导致晶圆在传输过程中从吸附模块上掉落，同时在传输过程中气泵发生故障或者装置的晃动也可能导致晶圆在传输过程中从吸附模块上掉落，当晶圆在传输过程中从吸附模块上掉落时，无法及时对晶圆进行保护极易引起晶圆掉落地面损伤。
为实现上述目的，本发明采取的技术方案为：
一种洁净环境用晶圆传输机器人，包括支撑底座，所述支撑底座的上表面转动连接有转动座，所述转动座的输出端安装有机械臂模块，所述机械臂模块的输出端安装有固定架和固定环，所述固定架的底部固定安装有吸附罩，所述吸附罩的底部滑动连接有底部滑板，所述固定环的底部固定安装有固定板，所述固定板的内底部固定安装有电动推杆，所述电动推杆的输出端固定安装有底部连接板，所述固定板与底部连接板之间固定安装有折叠网兜，所述底部滑板的内底部固定安装有指示灯架，所述指示灯架设置为十字型，所述固定架的上表面固定安装有负压气泵，展开后的所述折叠网兜位于底部滑板的正下方。
本发明进一步的改进在于，所述底部滑板的背对吸附罩的一侧固定安装有保护垫，所述底部滑板的两侧固定安装有滑动套，所述底部滑板的上端在吸附罩内部滑动，所述底部滑板的侧面通过活塞环与吸附罩的内沿连接，所述底部滑板的两侧固定安装有滑动套，所述吸附罩的内沿固定安装有固定杆，所述滑动套与固定杆滑动连接，所述滑动套的上表面固定安装有复位弹簧，所述复位弹簧的上端与侧槽内沿固定连接。
本发明进一步的改进在于，所述吸附罩的内沿两侧分别固定安装有激光发射器和激光接收器，所述激光发射器与激光接收器通过光路连接，所述底部滑板移动至最高点时对激光发射器与激光接收器之间的光路进行阻挡。
本发明进一步的改进在于，所述折叠网兜位于两个电动推杆之间，所述底部连接板的内部开设有内腔，所述内腔的内部滑动连接有内滑动板，所述内滑动板的左端固定安装有拉动环，所述内滑动板的侧面固定安装有压缩弹簧，所述压缩弹簧的远离内滑动板的一端与内腔的内沿固定连接，所述折叠网兜的远离固定板的一端与拉动环固定连接。
本发明进一步的改进在于，所述内腔的内沿固定安装有报警开关，所述转动座的上表面固定安装有报警器，按压所述报警开关控制报警器工作。
本发明进一步的改进在于，所述机械臂模块包括固定台，所述固定台的一端固定安装在转动座的侧面，所述固定台的远离转动座的一端上表面固定安装有一号电机，所述一号电机的输出端固定安装有一号转动柱，所述一号转动柱的侧面转动连接有二号转动柱，所述二号转动柱的正面固定安装有二号电机，所述二号电机的侧面固定安装有固定柱，所述固定柱的输出端与固定环、固定架固定连接。
本发明进一步的改进在于，所述支撑底座的上表面固定安装有控制器，所述控制器控制转动座、一号电机、二号电机、负压气泵和电动推杆的运行。
本发明进一步的改进在于，一种洁净环境用晶圆传输机器人，其使用方法如下：
A：将装置固定安装在晶圆传输带的侧面，通过控制器控制转动座、一号电机和二号电机运行，一号电机带动一号转动柱、固定柱、固定架和底部滑板构成的整体在XOY平面转动，二号电机带动固定柱、固定架和底部滑板构成的整体在XOZ平面转动，从而带动固定架和底部滑板三维移动，以方便对不同位置上的晶圆进行吸取和放置；
B：通过控制器操作机械臂模块工作，在底部滑板的内表面的均匀安装指示灯架，在进行晶圆的吸取和放置时，打开指示灯架对底部滑板的位置进行准确指示，以便于使用者将底部滑板与晶圆位置进行对准，减少发生吸附位置错误导致晶圆掉落的情况，将底部滑板移动至晶圆的正上方，通过控制器打开负压气泵，负压气泵对底部滑板内部进行抽气，使底部滑板内部产生负压对晶圆进行吸附，而将晶圆吸附至保护垫表面的过程中，吸附的吸力使底部滑板在吸附罩内部滑动，从而使底部滑板对激光发射器与激光接收器之间的光路进行阻挡，这时控制器控制电动推杆工作，在固定架的侧面固定安装固定环，固定环的底部固定安装固定板，固定板底部滑动连接底部连接板，电动推杆将底部连接板推出至底部滑板的下方，使折叠网兜展开平铺在底部滑板的正下方，底部滑板上吸附的晶圆在传输过程中掉落时，下方的折叠网兜对掉落的晶圆进行接住，以避免负压气泵吸附力度不够导致吸附的晶圆在传输过程中掉落地面损失；
C：固定板与底部连接板表面的拉动环通过折叠网兜连接，当晶圆掉落在折叠网兜上时，晶圆的重力施加在折叠网兜上，对拉动环和内滑动板进行拉扯，使内滑动板在内腔的内部滑动，以使内滑动板与报警开关接触挤压，挤压报警开关使转动座上表面的转动座工作，对晶圆掉落的情况进行报警提醒。
与现有技术相比，本发明具有如下有益效果：
1、通过在吸附罩的底部滑动连接底部滑板，通过控制器操作机械臂模块工作，将底部滑板移动至晶圆的正上方，通过控制器打开负压气泵，负压气泵对底部滑板内部进行抽气，使底部滑板内部产生负压对晶圆进行吸附，而将晶圆吸附至保护垫表面的过程中，吸附的吸力使底部滑板在吸附罩内部滑动，从而使底部滑板对激光发射器与激光接收器之间的光路进行阻挡，这时控制器接收到信号即控制电动推杆工作，在固定架的侧面固定安装固定环，固定环的底部固定安装固定板，固定板底部滑动连接底部连接板，电动推杆将底部连接板推出至底部滑板的下方，使折叠网兜展开平铺在底部滑板的正下方，底部滑板上吸附的晶圆在传输过程中掉落时，下方的折叠网兜对掉落的晶圆进行接住，以避免负压气泵吸附力度不够导致吸附的晶圆在传输过程中掉落地面损失。
2、固定板与底部连接板表面的拉动环通过折叠网兜连接，当晶圆掉落在折叠网兜上时，晶圆的重力施加在折叠网兜上，对拉动环和内滑动板进行拉扯，使内滑动板在内腔的内部滑动，以使内滑动板与报警开关接触挤压，挤压报警开关使转动座上表面的转动座工作，对晶圆掉落的情况进行报警提醒。
3、通过设置的转动座和机械臂模块配合使用，通过控制器控制转动座、一号电机和二号电机运行，一号电机带动一号转动柱、固定柱、固定架和底部滑板构成的整体在XOY平面转动，二号电机带动固定柱、固定架和底部滑板构成的整体在XOZ平面转动，从而带动固定架和底部滑板三维移动，以方便对不同位置上的晶圆进行吸取和放置。
4、在底部滑板的内表面的均匀安装指示灯架，在进行晶圆的吸取和放置时，打开指示灯架对底部滑板的位置进行准确指示，以便于使用者将底部滑板与晶圆位置进行对准，减少发生吸附位置错误导致晶圆掉落的情况。
5、本装置采用电子设备控制，未采用传动齿轮等传动组件，避免了传动组件上的油渍引起晶圆被污染。
附图说明
图1为本发明一种洁净环境用晶圆传输机器人的整体结构示意图。
图2为本发明一种洁净环境用晶圆传输机器人的机械臂模块的结构示意图。
图3为本发明一种洁净环境用晶圆传输机器人的吸附罩的结构示意图。
图4为本发明一种洁净环境用晶圆传输机器人的吸附罩的剖视示意图。
图5为本发明一种洁净环境用晶圆传输机器人的固定板、电动推杆、底部连接板、固定环和折叠网兜的连接结构示意图。
图6为本发明一种洁净环境用晶圆传输机器人的固定板、电动推杆、底部连接板、固定环和折叠网兜的连接示意图。
图7为本发明一种洁净环境用晶圆传输机器人的底部连接板的剖视示意图。
图中：1、支撑底座；2、控制器；3、转动座；4、报警器；5、机械臂模块；6、固定架；7、负压气泵；8、吸附罩；9、底部滑板；10、固定板；11、电动推杆；12、底部连接板；13、固定环；14、折叠网兜；15、保护垫；16、指示灯架；17、激光发射器；18、激光接收器；19、固定杆；20、滑动套；21、复位弹簧；22、内腔；23、内滑动板；24、压缩弹簧；25、拉动环；26、报警开关；501、一号电机；502、一号转动柱；503、二号转动柱；504、二号电机；505、固定柱；506、固定台。
具体实施方式
为使本发明实现的技术手段、创作特征、达成目的与功效易于明白了解，在本发明的描述中，需要说明的是，术语“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本发明和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本发明的限制。此外，术语“一号”、“二号”、“三号”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性。下面结合具体实施方式，进一步阐述本发明。
实施例1
如图1、2、3、5和6所示，一种洁净环境用晶圆传输机器人，包括支撑底座1，支撑底座1的上表面转动连接有转动座3，转动座3的输出端安装有机械臂模块5，机械臂模块5的输出端安装有固定架6和固定环13，固定架6的底部固定安装有吸附罩8，吸附罩8的底部滑动连接有底部滑板9，固定环13的底部固定安装有固定板10，固定板10的内底部固定安装有电动推杆11，电动推杆11的输出端固定安装有底部连接板12，固定板10与底部连接板12之间固定安装有折叠网兜14，底部滑板9的内底部固定安装有指示灯架16，指示灯架16设置为十字型，固定架6的上表面固定安装有负压气泵7，展开后的折叠网兜14位于底部滑板9的正下方，这样设置在底部滑板9的内表面的均匀安装指示灯架16，在进行晶圆的吸取和放置时，打开指示灯架16对底部滑板9的位置进行准确指示，以便于使用者将底部滑板9与晶圆位置进行对准，减少发生吸附位置错误导致晶圆掉落的情况；
具体的，如图4所示，底部滑板9的背对吸附罩8的一侧固定安装有保护垫15，底部滑板9的两侧固定安装有滑动套20，底部滑板9的上端在吸附罩8内部滑动，底部滑板9的侧面通过活塞环与吸附罩8的内沿连接，底部滑板9的两侧固定安装有滑动套20，吸附罩8的内沿固定安装有固定杆19，滑动套20与固定杆19滑动连接，滑动套20的上表面固定安装有复位弹簧21，复位弹簧21的上端与侧槽内沿固定连接；
具体的，如图4所示，吸附罩8的内沿两侧分别固定安装有激光发射器17和激光接收器18，激光发射器17与激光接收器18通过光路连接，底部滑板9移动至最高点时对激光发射器17与激光接收器18之间的光路进行阻挡；
具体的，如图2所示，机械臂模块5包括固定台506，固定台506的一端固定安装在转动座3的侧面，固定台506的远离转动座3的一端上表面固定安装有一号电机501，一号电机501的输出端固定安装有一号转动柱502，一号转动柱502的侧面转动连接有二号转动柱503，二号转动柱503的正面固定安装有二号电机504，二号电机504的侧面固定安装有固定柱505，固定柱505的输出端与固定环13、固定架6固定连接，这样设置通过控制器2控制转动座3、一号电机501和二号电机504运行，一号电机501带动一号转动柱502、固定柱505、固定架6和底部滑板9构成的整体在XOY平面转动，二号电机504带动固定柱505、固定架6和底部滑板9构成的整体在XOZ平面转动，从而带动固定架6和底部滑板9三维移动，以方便对不同位置上的晶圆进行吸取和放置；
具体的，如图1所示，支撑底座1的上表面固定安装有控制器2，控制器2控制转动座3、一号电机501、二号电机504、负压气泵7和电动推杆11的运行。
通过本实施例可实现：通过在吸附罩8的底部滑动连接底部滑板9，通过控制器2操作机械臂模块5工作，将底部滑板9移动至晶圆的正上方，通过控制器2打开负压气泵7，负压气泵7对底部滑板9内部进行抽气，使底部滑板9内部产生负压对晶圆进行吸附，而将晶圆吸附至保护垫15表面的过程中，吸附的吸力使底部滑板9在吸附罩8内部滑动，从而使底部滑板9对激光发射器17与激光接收器18之间的光路进行阻挡，这时控制器2控制电动推杆11工作，在固定架6的侧面固定安装固定环13，固定环13的底部固定安装固定板10，固定板10底部滑动连接底部连接板12，电动推杆11将底部连接板12推出至底部滑板9的下方，使折叠网兜14展开平铺在底部滑板9的正下方，底部滑板9上吸附的晶圆在传输过程中掉落时，下方的折叠网兜14对掉落的晶圆进行接住，以避免负压气泵7吸附力度不够导致吸附的晶圆在传输过程中掉落地面损失。
实施例2
本实施例在实施例1的基础上添加底部连接板12的实施方式：如图7所示，折叠网兜14位于两个电动推杆11之间，底部连接板12的内部开设有内腔22，内腔22的内部滑动连接有内滑动板23，内滑动板23的左端固定安装有拉动环25，内滑动板23的侧面固定安装有压缩弹簧24，这样设置压缩弹簧24的目的是对晶圆的掉落的压力进行弹性缓冲，减小晶圆掉落至折叠网兜14表面的损伤，压缩弹簧24的远离内滑动板23的一端与内腔22的内沿固定连接，折叠网兜14的远离固定板10的一端与拉动环25固定连接；内腔22的内沿固定安装有报警开关26，转动座3的上表面固定安装有报警器4，按压报警开关26控制报警器4工作。
通过本实施例可实现：固定板10与底部连接板12表面的拉动环25通过折叠网兜14连接，当晶圆掉落在折叠网兜14上时，晶圆的重力施加在折叠网兜14上，对拉动环25和内滑动板23进行拉扯，使内滑动板23在内腔22的内部滑动，以使内滑动板23与报警开关26接触挤压，挤压报警开关26使转动座3上表面的转动座3工作，对晶圆掉落的情况进行报警提醒，同时设置压缩弹簧24的目的是对晶圆的掉落的压力进行弹性缓冲。
需要说明的是，本发明为一种洁净环境用晶圆传输机器人，在使用时，首先，将装置固定安装在晶圆传输带的侧面，通过控制器2控制转动座3、一号电机501和二号电机504运行，一号电机501带动一号转动柱502、固定柱505、固定架6和底部滑板9构成的整体在XOY平面转动，二号电机504带动固定柱505、固定架6和底部滑板9构成的整体在XOZ平面转动，从而带动固定架6和底部滑板9三维移动，以方便对不同位置上的晶圆进行吸取和放置，其次，通过控制器2操作机械臂模块5工作，在底部滑板9的内表面的均匀安装指示灯架16，在进行晶圆的吸取和放置时，打开指示灯架16对底部滑板9的位置进行准确指示，以便于使用者将底部滑板9与晶圆位置进行对准，减少发生吸附位置错误导致晶圆掉落的情况，将底部滑板9移动至晶圆的正上方，通过控制器2打开负压气泵7，负压气泵7对底部滑板9内部进行抽气，使底部滑板9内部产生负压对晶圆进行吸附，而将晶圆吸附至保护垫15表面的过程中，吸附的吸力使底部滑板9在吸附罩8内部滑动，从而使底部滑板9对激光发射器17与激光接收器18之间的光路进行阻挡，这时控制器2控制电动推杆11工作，在固定架6的侧面固定安装固定环13，固定环13的底部固定安装固定板10，固定板10底部滑动连接底部连接板12，电动推杆11将底部连接板12推出至底部滑板9的下方，使折叠网兜14展开平铺在底部滑板9的正下方，底部滑板9上吸附的晶圆在传输过程中掉落时，下方的折叠网兜14对掉落的晶圆进行接住，以避免负压气泵7吸附力度不够导致吸附的晶圆在传输过程中掉落地面损失，固定板10与底部连接板12表面的拉动环25通过折叠网兜14连接，当晶圆掉落在折叠网兜14上时，晶圆的重力施加在折叠网兜14上，对拉动环25和内滑动板23进行拉扯，使内滑动板23在内腔22的内部滑动，以使内滑动板23与报警开关26接触挤压，挤压报警开关26使转动座3上表面的转动座3工作，对晶圆掉落的情况进行报警提醒，本装置采用电子设备控制，未采用传动齿轮等传动组件，避免了传动组件上的油渍和传动产生的碎屑引起晶圆被污染。
以上显示和描述了本发明的基本原理和主要特征和本发明的优点。本行业的技术人员应该了解，本发明不受上述实施例的限制，上述实施例和说明书中描述的只是说明本发明的原理，在不脱离本发明精神和范围的前提下，本发明还会有各种变化和改进，这些变化和改进都落入要求保护的本发明范围内。本发明要求保护范围由所附的权利要求书及其等效物界定。
Claims (8)
1.一种洁净环境用晶圆传输机器人，包括支撑底座(1)，其特征在于：所述支撑底座(1)的上表面转动连接有转动座(3)，所述转动座(3)的输出端安装有机械臂模块(5)，所述机械臂模块(5)的输出端安装有固定架(6)和固定环(13)，所述固定架(6)的底部固定安装有吸附罩(8)，所述吸附罩(8)的底部滑动连接有底部滑板(9)，所述固定环(13)的底部固定安装有固定板(10)，所述固定板(10)的内底部固定安装有电动推杆(11)，所述电动推杆(11)的输出端固定安装有底部连接板(12)，所述固定板(10)与底部连接板(12)之间固定安装有折叠网兜(14)，所述底部滑板(9)的内底部固定安装有指示灯架(16)，所述指示灯架(16)设置为十字型，所述固定架(6)的上表面固定安装有负压气泵(7)，展开后的所述折叠网兜(14)位于底部滑板(9)的正下方。
2.根据权利要求1所述的一种洁净环境用晶圆传输机器人，其特征在于：所述底部滑板(9)的背对吸附罩(8)的一侧固定安装有保护垫(15)，所述底部滑板(9)的两侧固定安装有滑动套(20)，所述底部滑板(9)的上端在吸附罩(8)内部滑动，所述底部滑板(9)的侧面通过活塞环与吸附罩(8)的内沿连接，所述底部滑板(9)的两侧固定安装有滑动套(20)，所述吸附罩(8)的内沿固定安装有固定杆(19)，所述滑动套(20)与固定杆(19)滑动连接，所述滑动套(20)的上表面固定安装有复位弹簧(21)，所述复位弹簧(21)的上端与侧槽内沿固定连接。
3.根据权利要求1所述的一种洁净环境用晶圆传输机器人，其特征在于：所述吸附罩(8)的内沿两侧分别固定安装有激光发射器(17)和激光接收器(18)，所述激光发射器(17)与激光接收器(18)通过光路连接，所述底部滑板(9)移动至最高点时对激光发射器(17)与激光接收器(18)之间的光路进行阻挡。
4.根据权利要求1所述的一种洁净环境用晶圆传输机器人，其特征在于：所述折叠网兜(14)位于两个电动推杆(11)之间，所述底部连接板(12)的内部开设有内腔(22)，所述内腔(22)的内部滑动连接有内滑动板(23)，所述内滑动板(23)的左端固定安装有拉动环(25)，所述内滑动板(23)的侧面固定安装有压缩弹簧(24)，所述压缩弹簧(24)的远离内滑动板(23)的一端与内腔(22)的内沿固定连接，所述折叠网兜(14)的远离固定板(10)的一端与拉动环(25)固定连接。
5.根据权利要求4所述的一种洁净环境用晶圆传输机器人，其特征在于：所述内腔(22)的内沿固定安装有报警开关(26)，所述转动座(3)的上表面固定安装有报警器(4)，按压所述报警开关(26)控制报警器(4)工作。
6.根据权利要求1所述的一种洁净环境用晶圆传输机器人，其特征在于：所述机械臂模块(5)包括固定台(506)，所述固定台(506)的一端固定安装在转动座(3)的侧面，所述固定台(506)的远离转动座(3)的一端上表面固定安装有一号电机(501)，所述一号电机(501)的输出端固定安装有一号转动柱(502)，所述一号转动柱(502)的侧面转动连接有二号转动柱(503)，所述二号转动柱(503)的正面固定安装有二号电机(504)，所述二号电机(504)的侧面固定安装有固定柱(505)，所述固定柱(505)的输出端与固定环(13)、固定架(6)固定连接。
7.根据权利要求1所述的一种洁净环境用晶圆传输机器人，其特征在于：所述支撑底座(1)的上表面固定安装有控制器(2)，所述控制器(2)控制转动座(3)、一号电机(501)、二号电机(504)、负压气泵(7)和电动推杆(11)的运行。
8.根据权利要求1-7所述的一种洁净环境用晶圆传输机器人，其特征在于：其使用方法如下：
A：将装置固定安装在晶圆传输带的侧面，通过控制器(2)控制转动座(3)、一号电机(501)和二号电机(504)运行，一号电机(501)带动一号转动柱(502)、固定柱(505)、固定架(6)和底部滑板(9)构成的整体在XOY平面转动，二号电机(504)带动固定柱(505)、固定架(6)和底部滑板(9)构成的整体在XOZ平面转动，从而带动固定架(6)和底部滑板(9)三维移动，以方便对不同位置上的晶圆进行吸取和放置；
B：通过控制器(2)操作机械臂模块(5)工作，在底部滑板(9)的内表面的均匀安装指示灯架(16)，在进行晶圆的吸取和放置时，打开指示灯架(16)对底部滑板(9)的位置进行准确指示，以便于使用者将底部滑板(9)与晶圆位置进行对准，减少发生吸附位置错误导致晶圆掉落的情况，将底部滑板(9)移动至晶圆的正上方，通过控制器(2)打开负压气泵(7)，负压气泵(7)对底部滑板(9)内部进行抽气，使底部滑板(9)内部产生负压对晶圆进行吸附，而将晶圆吸附至保护垫(15)表面的过程中，吸附的吸力使底部滑板(9)在吸附罩(8)内部滑动，从而使底部滑板(9)对激光发射器(17)与激光接收器(18)之间的光路进行阻挡，这时控制器(2)控制电动推杆(11)工作，在固定架(6)的侧面固定安装固定环(13)，固定环(13)的底部固定安装固定板(10)，固定板(10)底部滑动连接底部连接板(12)，电动推杆(11)将底部连接板(12)推出至底部滑板(9)的下方，使折叠网兜(14)展开平铺在底部滑板(9)的正下方，底部滑板(9)上吸附的晶圆在传输过程中掉落时，下方的折叠网兜(14)对掉落的晶圆进行接住，以避免负压气泵(7)吸附力度不够导致吸附的晶圆在传输过程中掉落地面损失；
C：固定板(10)与底部连接板(12)表面的拉动环(25)通过折叠网兜(14)连接，当晶圆掉落在折叠网兜(14)上时，晶圆的重力施加在折叠网兜(14)上，对拉动环(25)和内滑动板(23)进行拉扯，使内滑动板(23)在内腔(22)的内部滑动，以使内滑动板(23)与报警开关(26)接触挤压，挤压报警开关(26)使转动座(3)上表面的转动座(3)工作，对晶圆掉落的情况进行报警提醒。
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|---|---|---|---|---|
| CN116277037A (zh) * | 2023-05-19 | 2023-06-23 | 泓浒(苏州)半导体科技有限公司 | 一种晶圆搬运机械臂控制系统及方法 |
| CN116812552A (zh) * | 2023-08-31 | 2023-09-29 | 法特迪精密科技（苏州）有限公司 | 一种芯片检测用抓取机构及方法 |
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2022
- 2022-08-10 CN CN202210954414.2A patent/CN115157227A/zh active Pending
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