CN210282347U - 一种晶圆参数测量仪机器人手臂结构 - Google Patents

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梅华斌
刘文庆
邵晖
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Abstract

本实用新型公开了一种晶圆参数测量仪机器人手臂结构,括安装座和安装板,所述安装座一侧安装有安装板,所述安装板一侧活动安装有一号转盘,所述一号转盘一侧固定安装有一号活动轴,所述一号活动轴内腔一端活动安装有一号连接臂,所述一号连接臂内腔一端安装有液压缸。本实用新型通过真空吸盘的的设置采用真空吸附晶圆片,这样使其避免传统机械手夹取会对晶圆片造成损伤,降低损失和成本,比较适合晶圆片较薄脆的物件进行夹取,二号转盘和多组吸取头的设置使其可以在一号电机的带动作用下进行转动使其调换不同的吸取头的位置,以便放置在测量装置上,这样一次性吸取多个物件进行轮换取放材料,提高工作效率。

Description

一种晶圆参数测量仪机器人手臂结构
技术领域
本实用新型涉及一种机器人手臂结构,特别涉及一种晶圆参数测量仪机器人手臂结构。
背景技术
机械臂是高精度,高速机器手。对应小批量生产方式,提高生产效率。除点胶作业之外,可对应uv照射,零件放置,螺丝锁定,电路板切割等各种工作。
但是在现有的晶圆生产过程当中需要对晶圆片通过机器人进行测量,测量需要对晶圆片进行夹取但是传统的通过夹爪夹取的方式进行夹取,由于晶圆比较薄比较脆,所以夹取型的机械手容易导致晶圆片损坏,这样提高损坏率提高了成本,而且传统的只能一次性夹取一个,这样长期进行来回夹取运送降低了工作效率。为此,我们提出一种晶圆参数测量仪机器人手臂结构。
实用新型内容
本实用新型的主要目的在于提供一种晶圆参数测量仪机器人手臂结构,通过真空吸盘的的设置采用真空吸附晶圆片,这样使其避免传统机械手夹取会对晶圆片造成损伤,降低损失和成本,比较适合晶圆片较薄脆的物件进行夹取,二号转盘和多组吸取头的设置使其可以在一号电机的带动作用下进行转动使其调换不同的吸取头的位置,以便放置在测量装置上,这样一次性吸取多个物件进行轮换取放材料,提高工作效率,可以有效解决背景技术中的问题。
为实现上述目的,本实用新型采取的技术方案为:
一种晶圆参数测量仪机器人手臂结构,包括安装座和安装板,所述安装座一侧安装有安装板,所述安装板一侧活动安装有一号转盘,所述一号转盘一侧固定安装有一号活动轴,所述一号活动轴内腔一端活动安装有一号连接臂,所述一号连接臂内腔一端安装有液压缸,所述液压缸一端安装有伸缩杆,所述伸缩杆一端固定连接有二号活动轴,所述二号活动轴一端安装有二号连接臂,所述二号连接臂底端安装有二号转盘,所述二号转盘底部表面安装有吸取头,且吸取头设有多组,所述吸取头底部表面安装有真空吸盘,所述二号活动轴一侧安装有真空泵。
进一步地,所述真空泵一端连接有气管,且气管另一端与真空吸盘连接,所述气管一侧安装有排气阀。
进一步地,所述一号活动轴和二号活动轴一端内腔均活动安装有转轴,所述转轴一端安装有二号电机。
进一步地,所述一号转盘和二号转盘一侧均安装有一号电机。
与现有技术相比,本实用新型具有如下有益效果:
当二号电机转动的时候可以带动转轴使一号连接臂和二号连接臂转动,这样方便了整个机械壁分段进行上下调节旋转,而且一号转盘的设置,使其整个机械臂在安装座上进行左右旋转,以便机械臂调节位置;液压缸的设置使机械臂可以伸缩调节长度。
二号连接臂的底部安装有二号转盘,二号转盘的底部表面安装有多组的吸取头,吸取头的底部表面安装有真空吸盘通过气管与真空泵连接,这样当真空吸盘贴附到晶圆片的时候,真空泵抽取掉真空吸盘内腔的空气,使真空吸盘将晶圆片吸附住,需要放开的时候排气阀打开将使其真空吸盘放开工件,真空吸盘的的设置采用真空吸附晶圆片,这样使其避免传统机械手夹取会对晶圆片造成损伤,降低损失和成本,比较适合晶圆片较薄脆的物件进行夹取。
二号转盘和多组吸取头的设置使其可以在一号电机的带动作用下进行转动使其调换不同的吸取头的位置,以便放置在测量装置上,这样一次性吸取多个物件进行轮换取放材料,提高工作效率。
附图说明
图1为本实用新型一种晶圆参数测量仪机器人手臂结构的整体结构示意图。
图2为本实用新型一种晶圆参数测量仪机器人手臂结构的一号活动轴结构示意图。
图3为本实用新型一种晶圆参数测量仪机器人手臂结构的二号转盘结构示意图。
图中:1-安装座;2-安装板;3-一号转盘;4-一号活动轴;5-二号活动轴;6-液压缸;7-伸缩杆;8-真空泵;9-气管;10-一号连接臂;11-二号连接臂;12-吸取头;13-真空吸盘;14-一号电机;15-二号电机;16-二号转盘;17-排气阀;18-转轴。
具体实施方式
为使本实用新型实现的技术手段、创作特征、达成目的与功效易于明白了解,下面结合具体实施方式,进一步阐述本实用新型。
如图1-3所示,一种晶圆参数测量仪机器人手臂结构,包括安装座(1)和安装板(2),所述安装座(1)一侧安装有安装板(2),所述安装板(2)一侧活动安装有一号转盘(3),所述一号转盘(3)一侧固定安装有一号活动轴(4),所述一号活动轴(4)内腔一端活动安装有一号连接臂(10),所述一号连接臂(10)内腔一端安装有液压缸(6),所述液压缸(6)一端安装有伸缩杆(7),所述伸缩杆(7)一端固定连接有二号活动轴(5),所述二号活动轴(5)一端安装有二号连接臂(11),所述二号连接臂(11)底端安装有二号转盘(16),所述二号转盘(16)底部表面安装有吸取头(12),且吸取头(12)设有多组,所述吸取头(12)底部表面安装有真空吸盘(13),所述二号活动轴(5)一侧安装有真空泵(8)。
本实施例中如图1、2和3所示,真空吸盘13的的设置采用真空吸附晶圆片,这样使其避免传统机械手夹取会对晶圆片造成损伤,降低损失和成本,比较适合晶圆片较薄脆的物件进行夹取,二号转盘16和多组吸取头12的设置使其可以在一号电机14的带动作用下进行转动使其调换不同的吸取头12的位置,以便放置在测量装置上,这样一次性吸取多个物件进行轮换取放材料,提高工作效率。
其中,所述真空泵(8)一端连接有气管(9),且气管(9)另一端与真空吸盘(13)连接,所述气管(9)一侧安装有排气阀(17)。
本实施例中如图1所示,排气阀17使真空吸盘13内腔进入空气脱离真空放开工件。
其中,所述一号活动轴(4)和二号活动轴(5)一端内腔均活动安装有转轴(18),所述转轴(18)一端安装有二号电机(15)。
本实施例中如图1和2所示,转轴18方便一号连接臂10和二号连接臂11活动连接。
其中,所述一号转盘(3)和二号转盘(16)一侧均安装有一号电机(14)。
本实施例中如图1所示,一号电机14方便带动一号转盘3和二号转盘16转动。
需要说明的是,本实用新型为一种晶圆参数测量仪机器人手臂结构,该文中出现的电器元件均与外界的主控器及220V市电电连接,并且主控器可为计算机等起到控制的常规已知设备,安装座1、安装板2、一号转盘3、一号活动轴4、二号活动轴5、液压缸6、伸缩杆7、真空泵8、气管9、一号连接臂10、二号连接臂11、吸取头12、真空吸盘13、一号电机14、二号电机15、二号转盘16、排气阀17、转轴18,部件均为通用标准件或本领域技术人员知晓的部件,其结构和原理都为本技术人员均可通过技术手册得知或通过常规实验方法获知,工作时,安装板2的一侧活动安装有一号转盘3,一号转盘3的一侧安装有一号活动轴4,一号活动轴4的一端通过转轴18活动连接有一号连接臂10,一号连接臂10的内腔一端安装有型号为HT-30-01的液压缸6,液压缸6一端的伸缩杆7底部连接有二号活动轴5,二号活动轴5通过转轴18与二号连接臂11连接,转轴18的一端安装有二号电机15,所以当二号电机15转动的时候可以带动转轴18使一号连接臂10和二号连接臂11转动,这样方便了整个机械壁分段进行上下调节旋转,而且一号转盘3的设置,使其整个机械臂在安装座1上进行左右旋转,以便机械臂调节位置;液压缸6的设置使机械臂可以伸缩调节长度;二号连接臂11的底部安装有二号转盘16,二号转盘16的底部表面安装有多组的吸取头12,吸取头12的底部表面安装有真空吸盘13通过气管9与真空泵8连接,这样当真空吸盘13贴附到晶圆片的时候,真空泵8抽取掉真空吸盘13内腔的空气,使真空吸盘13将晶圆片吸附住,需要放开的时候排气阀17打开将使其真空吸盘13放开工件,真空吸盘13的的设置采用真空吸附晶圆片,这样使其避免传统机械手夹取会对晶圆片造成损伤,提高损失和成本,比较适合晶圆片较薄脆的物件进行夹取;二号转盘16和多组吸取头12的设置使其可以在一号电机14的带动作用下进行转动使其调换不同的吸取头12的位置,以便放置在测量装置上,这样一次性吸取多个物件进行轮换取放材料,提高工作效率。
以上显示和描述了本实用新型的基本原理和主要特征和本实用新型的优点。本行业的技术人员应该了解,本实用新型不受上述实施例的限制,上述实施例和说明书中描述的只是说明本实用新型的原理,在不脱离本实用新型精神和范围的前提下,本实用新型还会有各种变化和改进,这些变化和改进都落入要求保护的本实用新型范围内。本实用新型要求保护范围由所附的权利要求书及其等效物界定。

Claims (4)

1.一种晶圆参数测量仪机器人手臂结构,包括安装座(1)和安装板(2),所述安装座(1)一侧安装有安装板(2),其特征在于:所述安装板(2)一侧活动安装有一号转盘(3),所述一号转盘(3)一侧固定安装有一号活动轴(4),所述一号活动轴(4)内腔一端活动安装有一号连接臂(10),所述一号连接臂(10)内腔一端安装有液压缸(6),所述液压缸(6)一端安装有伸缩杆(7),所述伸缩杆(7)一端固定连接有二号活动轴(5),所述二号活动轴(5)一端安装有二号连接臂(11),所述二号连接臂(11)底端安装有二号转盘(16),所述二号转盘(16)底部表面安装有吸取头(12),且吸取头(12)设有多组,所述吸取头(12)底部表面安装有真空吸盘(13),所述二号活动轴(5)一侧安装有真空泵(8)。
2.根据权利要求1所述的一种晶圆参数测量仪机器人手臂结构,其特征在于:所述真空泵(8)一端连接有气管(9),且气管(9)另一端与真空吸盘(13)连接,所述气管(9)一侧安装有排气阀(17)。
3.根据权利要求1所述的一种晶圆参数测量仪机器人手臂结构,其特征在于:所述一号活动轴(4)和二号活动轴(5)一端内腔均活动安装有转轴(18),所述转轴(18)一端安装有二号电机(15)。
4.根据权利要求1所述的一种晶圆参数测量仪机器人手臂结构,其特征在于:所述一号转盘(3)和二号转盘(16)一侧均安装有一号电机(14)。
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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN114261751A (zh) * 2021-12-28 2022-04-01 西安奕斯伟材料科技有限公司 一种晶圆上下料系统及上下料方法
CN115626507A (zh) * 2022-12-01 2023-01-20 常州市武进天龙发展有限公司 一种光学膜片吸附式输送装置

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