CN218677111U - 一种晶圆片加工载台 - Google Patents
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Abstract
本实用新型提供一种晶圆片加工载台，涉及晶圆片加工技术领域。该晶圆片加工载台包括加工载台本体，所述加工载台本体顶部设置有两个第一滑块，所述第一滑块内部螺纹连接有螺纹杆，所述螺纹杆一侧转动连接有第二滑块，所述第二滑块内部转动连接有转动杆。该晶圆片加工载台，滑杆向一侧运动带动卡块向一侧运动，带动弹簧伸长，此时第一固定块和第二固定块失去限位，此时可以转动第一固定块和第二固定块，以此来调节第一固定块和第二固定块的角度，进而更加稳定的对晶圆片本体进行固定，此结构有益于对不同大小尺寸的晶圆片本体进行固定，并且对晶圆片本体固定得更加稳定，方便对晶圆片本体的加工。
Description
技术领域
本实用新型涉及一种加工载台，具体为一种晶圆片加工载台，属于晶圆片加工技术领域。
背景技术
目前的晶圆载片台主要包括一个板体，板体上设置了一个与晶圆形状适配的凹槽，凹槽的底部为平面且设置有吸气口，晶圆会放置在凹槽内通过负压进行吸附固定，然而由于加工的精度问题。
根据专利号CN 216528822 U公开了一种晶圆载片台，包括板体，所述板体的中部设置有用于放置晶圆的放置区域，所述放置区域上设置有若干圈同心的环形槽，所述环形槽之间的槽沿用于支撑晶圆底部，所述板体上位于每个环形槽内均设置有至少一个吸气口，所述本体的侧壁上设置有抽吸口，所述抽吸口通过抽吸通道与每个吸气口联通，所述板体上位于放置区域的四周设置有用于定位所述晶圆的定位装置。该晶圆载片台可以更好地支撑晶圆，晶圆的受力更均匀，降低载片台的加工难度。
根据以上对比文件中，晶圆载片台对晶圆片进行支撑固定的时候，不能对不同尺寸大小的晶圆片进行固定，不同大小的晶圆片的外圈尺寸不一样，因此在对晶圆片固定的时候不够稳定，因此在对晶圆片加工的时候不够稳定。
实用新型内容
(一)解决的技术问题
本实用新型的目的就在于为了解决上述问题而提供一种晶圆片加工载台，以解决现有技术中晶圆载片台对晶圆片进行支撑固定的时候，不能对不同尺寸大小的晶圆片进行固定，不同大小的晶圆片的外圈尺寸不一样，因此在对晶圆片固定的时候不够稳定，因此在对晶圆片加工的时候不够稳定的问题。
(二)技术方案
为实现以上目的，本实用新型通过以下技术方案予以实现：一种晶圆片加工载台，包括加工载台本体，所述加工载台本体顶部设置有两个第一滑块，所述第一滑块内部螺纹连接有螺纹杆，所述螺纹杆一侧转动连接有第二滑块，所述第二滑块内部转动连接有转动杆，所述转动杆外侧转动连接有第一固定块和第二固定块，所述第一固定块设置于第二固定块顶部，所述第二滑块顶部固定连接有齿圈，所述齿圈内部设置有限位组件。
优选地，所述限位组件包括两个卡块，所述卡块卡接于齿圈一侧，所述卡块一侧固定连接有滑杆，所述滑杆一侧固定连接有弹簧，通过设置卡块，以此可以对第一固定块和第二固定块进行固定，以此可以调节第一固定块和第二固定块的角度，以便于对晶圆片本体固定得更加稳定。
优选地，所述加工载台本体顶部设置有电机，所述电机的输出端固定连接有往复丝杆，所述往复丝杆螺纹连接于第一滑块内部。
优选地，所述加工载台本体顶部开设有两个条形槽，所述第一滑块与加工载台本体之间通过条形槽滑动连接，通过开设条形槽，可以对第一滑块进行限位，使第一滑块可以做直线运动。
优选地，所述加工载台本体顶部固定连接有支撑板，所述支撑板转动连接于往复丝杆外侧，通过设置支撑板，以此可以对往复丝杆进行支撑，便于往复丝杆运行得更加稳定。
优选地，所述第二滑块内部滑动连接有限位杆，所述限位杆滑动连接于第一滑块内部，通过设置限位杆，进而可以对第二滑块进行限位，使第二滑块可以做直线运动。
优选地，所述第一固定块和第二固定块顶部均开设有滑槽，所述第一固定块与滑杆之间通过滑槽滑动连接，所述第二固定块与滑杆之间通过滑槽滑动连接，所述弹簧设置于滑槽内部，所述加工载台本体顶部设置有晶圆片本体。
本实用新型提供了一种晶圆片加工载台，其具备的有益效果如下：
1、该晶圆片加工载台，滑杆向一侧运动带动卡块向一侧运动，此时可以带动弹簧伸长，此时第一固定块和第二固定块失去限位，此时可以转动第一固定块和第二固定块，以此来调节第一固定块和第二固定块的角度，进而更加稳定的对晶圆片本体进行固定，此结构有益于对不同大小尺寸的晶圆片本体进行固定，并且对晶圆片本体固定得更加稳定，方便对晶圆片本体的加工。
2、该晶圆片加工载台，往复丝杆转动带动两个第一滑块相对运动，两个第一滑块相对运动带动螺纹杆运动，螺纹杆运动带动第二滑块运动，第二滑块运动带动转动杆运动，转动杆运动带动第一固定块和第二固定块运动，以此两侧的第一固定块和第二固定块可以对晶圆片本体进行固定，此结构有益于快速对晶圆片本体进行固定，结构简单，操作方便，方便对晶圆片本体进行加工。
附图说明
图1为本实用新型的整体结构示意图；
图2为本实用新型往复丝杆结构示意图；
图3为本实用新型齿圈结构示意图；
图4为本实用新型第一固定块结构示意图。
图中：1、加工载台本体；2、第一滑块；3、螺纹杆；4、第二滑块；5、转动杆；6、第一固定块；7、第二固定块；8、齿圈；9、滑杆；10、卡块；11、弹簧；12、限位杆；13、往复丝杆；14、支撑板；15、电机；16、晶圆片本体；17、条形槽。
具体实施方式
本实用新型实施例提供一种晶圆片加工载台。
请参阅图1、图2、图3和图4，包括加工载台本体1，加工载台本体1顶部设置有两个第一滑块2，第一滑块2内部螺纹连接有螺纹杆3，螺纹杆3一侧转动连接有第二滑块4，第二滑块4内部转动连接有转动杆5，转动杆5外侧转动连接有第一固定块6和第二固定块7，第一固定块6设置于第二固定块7顶部，第二滑块4顶部固定连接有齿圈8，齿圈8内部设置有限位组件，加工载台本体1顶部设置有电机15，电机15的输出端固定连接有往复丝杆13，往复丝杆13螺纹连接于第一滑块2内部，加工载台本体1顶部固定连接有支撑板14，支撑板14转动连接于往复丝杆13外侧，通过设置支撑板14，以此可以对往复丝杆13进行支撑，便于往复丝杆13运行得更加稳定。
具体地：首先把晶圆片本体16放置于加工载台本体1顶部，此时可以启动电机15，电机15带动往复丝杆13转动，往复丝杆13转动带动两个第一滑块2相对运动，两个第一滑块2相对运动带动螺纹杆3运动，螺纹杆3运动带动第二滑块4运动，第二滑块4运动带动转动杆5运动，转动杆5运动带动第一固定块6和第二固定块7运动，以此两侧的第一固定块6和第二固定块7可以对晶圆片本体16进行固定，此结构有益于快速对晶圆片本体16进行固定，结构简单，操作方便，方便对晶圆片本体16进行加工。
请再次参阅图1、图2、图3和图4，限位组件包括两个卡块10，卡块10卡接于齿圈8一侧，卡块10一侧固定连接有滑杆9，滑杆9一侧固定连接有弹簧11，通过设置卡块10，以此可以对第一固定块6和第二固定块7进行固定，以此可以调节第一固定块6和第二固定块7的角度，以便于对晶圆片本体16固定得更加稳定，加工载台本体1顶部开设有两个条形槽17，第一滑块2与加工载台本体1之间通过条形槽17滑动连接，通过开设条形槽17，可以对第一滑块2进行限位，使第一滑块2可以做直线运动，第二滑块4内部滑动连接有限位杆12，限位杆12滑动连接于第一滑块2内部，通过设置限位杆12，进而可以对第二滑块4进行限位，使第二滑块4可以做直线运动，第一固定块6和第二固定块7顶部均开设有滑槽，第一固定块6与滑杆9之间通过滑槽滑动连接，第二固定块7与滑杆9之间通过滑槽滑动连接，弹簧11设置于滑槽内部，加工载台本体1顶部设置有晶圆片本体16。
具体地：当遇到尺寸大小不一的晶圆片本体16时，此时可以转动螺纹杆3，螺纹杆3转动带动第二滑块4向一侧运动，第二滑块4向一侧运动带动转动杆5向一侧运动，转动杆5向一侧运动带动第一固定块6和第二固定块7向一侧运动，以此可以调节两个第一固定块6、两个第二固定块7之间的距离，当晶圆片本体16的尺寸变化的时候，此时可以根据晶圆片本体16的尺寸变化，此时可以拉动滑杆9向一侧运动，滑杆9向一侧运动带动卡块10向一侧运动，此时可以带动弹簧11伸长，此时第一固定块6和第二固定块7失去限位，此时可以转动第一固定块6和第二固定块7，以此来调节第一固定块6和第二固定块7的角度，进而更加稳定的对晶圆片本体16进行固定，此结构有益于对不同大小尺寸的晶圆片本体16进行固定，并且对晶圆片本体16固定得更加稳定，方便对晶圆片本体16的加工。
以上显示和描述了本实用新型的基本原理和主要特征和本实用新型的优点。本行业的技术人员应该了解，本实用新型不受上述实施例的限制，上述实施例和说明书中描述的只是说明本实用新型的原理，在不脱离本实用新型精神和范围的前提下，本实用新型还会有各种变化和改进，这些变化和改进都落入要求保护的本实用新型范围内。本实用新型要求保护范围由所附的权利要求书及其等效物界定。
Claims (7)
1.一种晶圆片加工载台，包括加工载台本体(1)，其特征在于：所述加工载台本体(1)顶部设置有两个第一滑块(2)，所述第一滑块(2)内部螺纹连接有螺纹杆(3)，所述螺纹杆(3)一侧转动连接有第二滑块(4)，所述第二滑块(4)内部转动连接有转动杆(5)，所述转动杆(5)外侧转动连接有第一固定块(6)和第二固定块(7)，所述第一固定块(6)设置于第二固定块(7)顶部，所述第二滑块(4)顶部固定连接有齿圈(8)，所述齿圈(8)内部设置有限位组件。
2.根据权利要求1所述的一种晶圆片加工载台，其特征在于：所述限位组件包括两个卡块(10)，所述卡块(10)卡接于齿圈(8)一侧，所述卡块(10)一侧固定连接有滑杆(9)，所述滑杆(9)一侧固定连接有弹簧(11)。
3.根据权利要求1所述的一种晶圆片加工载台，其特征在于：所述加工载台本体(1)顶部设置有电机(15)，所述电机(15)的输出端固定连接有往复丝杆(13)，所述往复丝杆(13)螺纹连接于第一滑块(2)内部。
4.根据权利要求1所述的一种晶圆片加工载台，其特征在于：所述加工载台本体(1)顶部开设有两个条形槽(17)，所述第一滑块(2)与加工载台本体(1)之间通过条形槽(17)滑动连接。
5.根据权利要求3所述的一种晶圆片加工载台，其特征在于：所述加工载台本体(1)顶部固定连接有支撑板(14)，所述支撑板(14)转动连接于往复丝杆(13)外侧。
6.根据权利要求1所述的一种晶圆片加工载台，其特征在于：所述第二滑块(4)内部滑动连接有限位杆(12)，所述限位杆(12)滑动连接于第一滑块(2)内部。
7.根据权利要求2所述的一种晶圆片加工载台，其特征在于：所述第一固定块(6)和第二固定块(7)顶部均开设有滑槽，所述第一固定块(6)与滑杆(9)之间通过滑槽滑动连接，所述第二固定块(7)与滑杆(9)之间通过滑槽滑动连接，所述弹簧(11)设置于滑槽内部，所述加工载台本体(1)顶部设置有晶圆片本体(16)。
Priority Applications (1)
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| CN202223189019.4U Active CN218677111U (zh) | 2022-11-30 | 2022-11-30 | 一种晶圆片加工载台 |
Country Status (1)
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2022
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