CN220479658U - 一种应用于12英寸硅片洗盒机清洗6英寸花篮的专用装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种应用于12英寸硅片洗盒机清洗6英寸花篮的专用装置，属于硅片生产设备技术领域。本实用新型的专用装置，包括主体框架、花篮承托区、花篮顶部固定装置，其中，所述花篮承托区设置在所述主体框架内部中间部分，在所述花篮承托区设有用于定位花篮的花篮定位凹槽以及对应于洗盒机水管的镂空孔，在与所述花篮定位凹槽对应的位置设有用于固定花篮的卡块结构；所述花篮顶部固定装置设置在所述主体框架的顶部，具有用于对花篮实施固定的固定销。本实用新型解决了12英寸洗盒机不能兼容清洗6英寸花篮而对产能造成的制约问题，充分释放12英寸洗盒机的产能，提高了生产效率。

Description

一种应用于12英寸硅片洗盒机清洗6英寸花篮的专用装置

技术领域

本实用新型涉及硅片生产设备技术领域，具体涉及一种应用于12英寸硅片洗盒机清洗6英寸花篮的专用装置。

背景技术

硅片是半导体产业的根基，是集成电路最关键材料之一。硅片制造难度大，技术壁垒高，工艺要求复杂，并且硅片表面极易受外界颗粒沾污，直接与硅片接触的花篮对硅片表面洁净度有着非常重要的影响。因此花篮存放之前需要进行彻底的清洗以满足硅片洁净度的要求。

针对不同尺寸花篮清洗的洗盒机实现了对花篮的彻底清洗，满足了硅片对花篮洁净度的要求，但是不同尺寸的洗盒机只能清洗固定尺寸的花篮，不同尺寸花篮无法通用清洗，对产能的分配存在严重的制约。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种应用于12英寸硅片洗盒机清洗6英寸花篮的专用装置，从而解决现有技术中不同尺寸清洗机无法通用，对产能分配严重制约的问题。

为实现上述目的，本实用新型采用以下技术方案：

一种应用于12英寸硅片洗盒机清洗6英寸花篮的专用装置，包括主体框架、花篮承托区、花篮顶部固定装置，其中，所述花篮承托区设置在所述主体框架内部中间部分，在所述花篮承托区设有用于定位花篮的花篮定位凹槽以及对应于洗盒机水管的镂空孔，在与所述花篮定位凹槽对应的位置设有用于固定花篮的卡块结构；所述花篮顶部固定装置设置在所述主体框架的顶部，具有用于对花篮实施固定的固定销。

优选地，在所述主体框架左右两侧设有机械手定位孔，在所述主体框架的顶部与底部分别设有机械手抓取卡位。

优选地，所述主体框架内部围构成的空间呈长方体形状或正方体形状。

优选地，所述主体框架采用管状PVC(聚氯乙烯)架构。

优选地，在所述花篮承托区设有五处所述镂空孔，所述花篮承托区通过卡块连接固定在主体框架侧面横梁。

优选地，所述卡块结构通过螺栓与花篮承托区连接，并且位置可调。

优选地，所述花篮顶部固定装置通过卡块连接固定在主体框架顶部，在对应花篮位置设有两组套块，在套块上分别设有固定销，该固定销用于固定花篮，防止花篮上下移动。

本实用新型的优点在于：

通过本实用新型可以将6英寸花篮安装在装置内，实现6英寸花篮在12英寸洗盒机上的清洗，充分释放12英寸洗盒机的产能，提高了生产效率，解决了不同尺寸洗盒机之间产能分配制约的问题。

附图说明

图1为本实用新型的实施方式的专用装置的立体结构示意图。

图2为本实用新型的实施方式中所使用的主体框架的立体结构示意图。

图3为本实用新型的实施方式中所使用的花篮承托区的立体结构示意图。

图4为本实用新型的实施方式中所使用的顶部花篮顶部固定装置的立体结构示意图。

附图标记

1、主体框架；2、机械手抓取卡位；3、定位孔；4、花篮承托区；5、花篮顶部固定装置；6、镂空孔；7、花篮定位凹槽；8、卡块结构；9、固定块；10、套块；11、固定销。

具体实施方式

下面结合附图对本实用新型作进一步说明，以使本领域的技术人员可以更好地理解本实用新型并能予以实施，但所举实施方式不作为对本实用新型的限定。

本实用新型的应用于12英寸硅片洗盒机清洗6英寸花篮的专用装置包括主体框架、花篮承托区、花篮顶部固定装置，其中，花篮承托区设置在主体框架内部中间部分，在花篮承托区设有用于定位花篮的花篮定位凹槽以及对应于洗盒机水管的镂空孔，在与花篮定位凹槽对应的位置设有用于固定花篮的卡块结构；花篮顶部固定装置设置在主体框架的顶部，具有用于对花篮实施固定的固定销。

作为本实用新型的一种实施方式，如图1、2所示，主体框架1采用管状PVC架构，其内部空间可以呈长方体形状或正方体形状，例如，主体框架1可以是采用两个横梁将两个U形架的顶端分别相互连接而成的结构。在该主体框架1的顶部(即在两个顶部横梁上)和底部(即在U形架的底部横梁上)分别设置四个机械手抓取卡位2，作为洗盒机机械手传送抓取位置。在主体框架1左右两侧，在两个顶部横梁的下方的位置上分别各设置有上下两根横梁，并且在该上下两根横梁上设有定位块，在两个定位块上分别设置定位孔3，作为清洗槽内机械手定位孔。

如图1、3所示，花篮承托区4为大致长方形的板状部件，设置在主体框架1内部中间的位置，通过左右各两个固定块9用螺栓固定在主体框架1的横梁上。花篮承托区4设置五处镂空孔6，为洗盒机水管位置。在花篮承托区靠近中央的位置设置有四处花篮定位凹槽7，作为花篮放置定位槽，起到定位限位作用。花篮的H面朝下放入花篮定位凹槽，能够使花篮在此位置不会发生前后与左右移动。在花篮定位凹槽7延伸方向上的中间位置外侧分别设置有对应的卡块结构8；卡块结构8距离花篮定位凹槽7的位置可调，花篮放入花篮定位凹槽位置后通过螺栓将卡块结构8固定在花篮承托区4上，花篮即可被固定在花篮承托区4上。花篮承托区同时可以放置四个花篮，即在四处花篮定位凹槽中分别设置一个花篮。

如图1、4所示，花篮顶部固定装置5设置在主体框架1上部。该花篮顶部固定装置5包括两根横梁以及设置在该两根横梁上的两组套块10，套块10分为上下两个部分，通过螺栓加紧固定在横梁上。套块10在位于横梁两侧的端部分别设有通孔，用于安装固定销11，固定销11通过紧固螺丝实现固定或松开，起到固定花篮上部的作用。紧固螺丝松开时，固定销11在通孔内可以上下活动，紧固螺丝拧紧时，固定销11的位置固定。安装花篮时，松开固定销11上的紧固螺丝，将固定销11提起；花篮放好后，固定销11下降至顶住花篮，拧紧上固定销11上的紧固螺丝即可实现固定。

本实用新型的清洗6英寸花篮的专用装置的工作原理是：

主体框架1、花篮承托区4和花篮顶部固定装置5始终是紧固连接在一起的。使用时松开卡块结构8的螺栓，松开上部固定销11的紧固螺丝，将固定销提至最高位，方便将花篮放入花篮定位凹槽7中，将花篮H面(花篮平面)朝下放入对应的花篮定位凹槽7位置，花篮定位凹槽7位置是根据花篮H面的凸起量身设计，可以将H面凸起完美放置在花篮定位凹槽7内。用手拧紧卡块结构8的螺栓，卡块结构8刚好卡住H面的横向结构，实现花篮与花篮承托区4的固定，然后，将顶部固定销11下拉至固定销11底面压住花篮平面，拧紧固定销11的紧固螺丝即完成安装，四个花篮重复以上操作安装。

将组装完成的装置整体放在洗盒机上料台位置，上料机械手卡住主体框架1的底部机械手抓取卡位2将装置送入洗盒机内部，上部机械抓通过抓住主体框架的上部机械手抓取卡位将装置整体抓至清洗槽内进行清洗工艺。

Claims (7)

1.一种应用于12英寸硅片洗盒机清洗6英寸花篮的专用装置，其特征在于，包括主体框架、花篮承托区、花篮顶部固定装置，其中，所述花篮承托区设置在所述主体框架内部中间部分，在所述花篮承托区设有用于定位花篮的花篮定位凹槽以及对应于洗盒机水管的镂空孔，在与所述花篮定位凹槽对应的位置设有用于固定花篮的卡块结构；所述花篮顶部固定装置设置在所述主体框架的顶部，具有用于对花篮实施固定的固定销。

2.根据权利要求1所述的应用于12英寸硅片洗盒机清洗6英寸花篮的专用装置，其特征在于，在所述主体框架左右两侧设有机械手定位孔，在所述主体框架的顶部与底部分别设有机械手抓取卡位。

3.根据权利要求2所述的应用于12英寸硅片洗盒机清洗6英寸花篮的专用装置，其特征在于，所述主体框架内部围构成的空间呈长方体形状或正方体形状。

4.根据权利要求2所述的应用于12英寸硅片洗盒机清洗6英寸花篮的专用装置，其特征在于，所述主体框架采用管状PVC架构。

5.根据权利要求1至3中任一项所述的应用于12英寸硅片洗盒机清洗6英寸花篮的专用装置，其特征在于，在所述花篮承托区设有五处所述镂空孔，所述花篮承托区通过卡块连接固定在主体框架侧面横梁。

6.根据权利要求1至3中任一项所述的应用于12英寸硅片洗盒机清洗6英寸花篮的专用装置，其特征在于，所述卡块结构通过螺栓与花篮承托区连接，并且位置可调。

7.根据权利要求1至3中任一项所述的应用于12英寸硅片洗盒机清洗6英寸花篮的专用装置，其特征在于，所述花篮顶部固定装置通过卡块连接固定在主体框架顶部，在对应花篮位置设有两组套块，在套块上分别设有所述固定销，该固定销用于固定花篮，防止花篮上下移动。