CN208157369U - 一种手动捡片的独立装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型涉及一种手动捡片的独立装置，包括操作台、锁定机构和升降机构，所述升降机构设置于操作台上以支撑操作台及调节操作台的高度，所述操作台上设置有芯片放置台以放置芯片，所述锁定机构设置于操作台上表面上以将芯片膜固定于操作台上。本实用新型是人工捡片顶片的独立装置，通过锁定机构将芯片环固定或旋转移动芯片位置，通过调整升降机构可灵活调整操作台高度。

Description

一种手动捡片的独立装置

技术领域

本实用新型涉及一种手动捡片的独立装置。

背景技术

现目前人工捡片主要是手工用镊子、真空吸笔或其他工具将极小尺寸的单颗芯片从密集排列的芯片阵列中夹出，操作过程中芯片是粘在特殊粘膜上，粘膜可通过特殊手段（如紫外光照射等）解胶，降低粘附力，虽然经过解胶，但芯片仍然贴紧膜，没有间隙，镊子或其他工具将芯片夹起很困难，很容易造成划伤，崩边、缺角，为了减少造成以上缺陷，现操作方式为以下三种：

一、将芯片环放置胸口用手臂和手腕将其夹住固定，再用手指从环下部顶膜，将所需要的芯片顶起，与膜分离产生间隙再用镊子把芯片夹出；但该操作存在以下风险和弊端：1、捡片过程中与无尘服接触易将污染颗粒掉在芯片上；2、操作过程中一只手要将芯片环与胸口固定同时手指又要从下部将芯片顶起，用力不均容易将芯片环打翻，导致整片wafer损伤或报废；3、手指与手臂不长的员工无法操作；4、该操作无法在显微镜下进行，针对异常芯片的挑选捡片无法确认清楚芯片位置；

二、简易工装，制作圆头凸起状硬物，将芯片膜放置上面，将所需芯片顶起，达到与膜分离的作用；该操作的风险和弊端：1、无法固定芯片环，需要用单手将芯片环下压与下部硬物接触才能勉强将芯片分离，力度不大分离效果不佳，将直接影响捡片品质；2、由于芯片大小不一，需要制作多个尺寸的工装；3、由于凸起与捡片台不平齐，导致显微镜高度受限，无法使用显微镜，影响缺陷位置判定；

三、捡片台改造，捡原有捡片工作台开孔后通过锥面配合来固定芯片环，再用手指将所需芯片顶起达到与膜分离的作用，再将芯片夹起；该操作的弊端：1、无法调整捡片台面高度，操作不方便；2、无法任意移动芯片位置，只能通过移动镜头来寻找所需芯片位置；操作效率低；3、改造捡片台成本较高；4、位置固定，无法移动，仅限于捡片台上操作。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种手动捡片的独立装置，可作为独立装置使用，可将芯片环固定，可灵活调整操作台高度。

为了实现上述目的，本实用新型提供了以下技术方案：

本实用新型提供的一种手动捡片的独立装置，包括操作台、锁定机构和升降机构，升降机构设置于操作台上以支撑操作台及调节操作台的高度，操作台上设置有芯片放置台以放置芯片，锁定机构设置于操作台上表面上以将芯片膜固定于操作台上。

进一步地，锁定机构至少有2个且其呈环形阵列状均匀分布于芯片放置台的外周位置。其中，锁定机构包括卡销和锁定螺母，卡销通过锁定螺母安装于操作台上表面上，且松开或拧紧调节锁定螺母可使得卡销处于可活动状态或固定状态。

又进一步地，升降机构至少有3个以形成支撑点支撑操作台。其中，升降机构包括升降杆和升降螺母，升降杆位于操作台下方，升降螺母位于操作台上方，升降杆穿过操作台与升降螺母配合连接，且旋转升降螺母可调整操作台的高度。

再进一步地，操作台上设置有用于安装显微镜的开口以放置显微镜进行配合作业。

与现有技术相比，本实用新型具有以下优点：

本实用新型的一种手动捡片的独立装置是人工捡片顶片的独立装置，通过锁定机构将芯片环固定或旋转移动芯片位置，通过调整升降机构可灵活调整操作台高度。

附图说明

图1为本实用新型的实施例的俯视结构示意图；

图2为本实用新型的实施例的侧视结构示意图。

具体实施方式

如图1-2所示，本实施例提供的一种手动捡片的独立装置，包括操作台1、锁定机构（4、5）和升降机构（6、9），升降机构设置于操作台1上以支撑操作台1及调节操作台1的高度，操作台1上设置有芯片放置台2以放置芯片3，锁定机构设置于操作台1的上表面上以将芯片3的芯片膜固定于操作台1上。

其中，操作台1在俯视下的形状可呈圆形或多边形（参见图1）等。

锁定机构至少有2个，典型为3、4个，多个锁定机构呈环形阵列的位置关系均匀分布于芯片放置台的外周位置，参见图1。锁定机构包括卡销4和锁定螺母5，卡销4通过锁定螺母5及与锁定螺母配合的螺杆安装于操作台1的上表面上，且松开或拧紧调节锁定螺母可使得卡销处于可活动状态或固定状态（即，在松开锁定螺母状态下，可使得卡销在操作台的上表面上围绕螺杆旋转活动；在拧紧调节锁定螺母状态下，可使得卡销固定在操作台的上表面上，且卡销远离锁定螺母端压紧在操作台上表面或芯片膜上）；因此，拧紧锁定螺母可固定芯片，松开锁定螺母可任意旋转移动芯片位置。

升降机构至少有3个，典型为4、6个，多个升降机构分布于操作台1的外周以形成稳定的支撑点支撑操作台1。升降机构包括升降杆9和升降螺母6，升降杆9位于操作台1的下方，升降螺母6位于操作台1的上方，升降杆9穿过操作台1与升降螺母6配合连接，且旋转升降螺母6可调整操作台1的高度以及调整操作台1的水平状态。

操作台1上设置有用于安装显微镜的开口7以放置显微镜8进行配合作业；此时，锁定机构安装点的位置与开口7的位置错开，以免锁定机构位于显微镜8的正下方而难于操作，参见图1。

捡片工作中，操作工只需将芯片环安装在操作台的芯片放置台上并进行固定，通过移动操作台及调整升降螺母，使芯片膜及显微镜最佳的配合度，再用手指将芯片顶起，便可轻松进行捡片。

该装置为独立装置，可直接放置于捡片台上与显微镜配合进行捡片工作；侧面装有升降机构，可根据不同型号的显微镜以及员工使用习惯等调整操作台的高度；由于是独立装置，可通过移动操作台面调整显微镜下芯片位置，便于芯片的缺陷确认。

该装置的优势在于：

1、避免由于捡片人员用手腕、胸口以及手指同时操作时受力不均导致芯片膜打翻，造成芯片报废；

2、避免手动固定芯片膜操作不当导致芯片划伤、崩边、缺角；

3、解决了手短的捡片人员的操作问题；

4、可同时进行显微镜缺陷位置确认及捡片工作；

5、可任意移动芯片位置；

6、可根据实际操作情况调整操作高度；

7、该装置为独立装置，可任意移动。

Claims (6)

1.一种手动捡片的独立装置，其特征在于，包括操作台、锁定机构和升降机构，所述升降机构设置于操作台上以支撑操作台及调节操作台的高度，所述操作台上设置有芯片放置台以放置芯片，所述锁定机构设置于操作台上表面上以将芯片膜固定于操作台上。

2.根据权利要求1所述一种手动捡片的独立装置，其特征在于，所述锁定机构至少有2个且其呈环形阵列状均匀分布于芯片放置台的外周位置。

3.根据权利要求2所述一种手动捡片的独立装置，其特征在于，所述锁定机构包括卡销和锁定螺母，卡销通过锁定螺母安装于操作台上表面上，且松开或拧紧调节锁定螺母可使得卡销处于可活动状态或固定状态。

4.根据权利要求1所述一种手动捡片的独立装置，其特征在于，所述升降机构至少有3个以形成支撑点支撑操作台。

5.根据权利要求4所述一种手动捡片的独立装置，其特征在于，所述升降机构包括升降杆和升降螺母，升降杆位于操作台下方，升降螺母位于操作台上方，升降杆穿过操作台与升降螺母配合连接，且旋转升降螺母可调整操作台的高度。

6.根据权利要求1-5任一项权利要求所述一种手动捡片的独立装置，其特征在于，所述操作台上设置有用于安装显微镜的开口以放置显微镜进行配合作业。