CN113828545A - 全自动针刺晶粒分选设备 - Google Patents

全自动针刺晶粒分选设备 Download PDF

Info

Publication number
CN113828545A
CN113828545A CN202111153292.9A CN202111153292A CN113828545A CN 113828545 A CN113828545 A CN 113828545A CN 202111153292 A CN202111153292 A CN 202111153292A CN 113828545 A CN113828545 A CN 113828545A
Authority
CN
China
Prior art keywords
film fixing
blue film
thimble
fixing mechanism
frame
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
CN202111153292.9A
Other languages
English (en)
Inventor
邱国诚
周峻民
李浩然
赖远军
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Dongguan Dezhun Precision Equipment Co ltd
Original Assignee
Dongguan Dezhun Precision Equipment Co ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Dongguan Dezhun Precision Equipment Co ltd filed Critical Dongguan Dezhun Precision Equipment Co ltd
Priority to CN202111153292.9A priority Critical patent/CN113828545A/zh
Publication of CN113828545A publication Critical patent/CN113828545A/zh
Pending legal-status Critical Current

Links

Images

Classifications

    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B07SEPARATING SOLIDS FROM SOLIDS; SORTING
    • B07CPOSTAL SORTING; SORTING INDIVIDUAL ARTICLES, OR BULK MATERIAL FIT TO BE SORTED PIECE-MEAL, e.g. BY PICKING
    • B07C5/00Sorting according to a characteristic or feature of the articles or material being sorted, e.g. by control effected by devices which detect or measure such characteristic or feature; Sorting by manually actuated devices, e.g. switches
    • B07C5/34Sorting according to other particular properties
    • B07C5/342Sorting according to other particular properties according to optical properties, e.g. colour
    • B07C5/3422Sorting according to other particular properties according to optical properties, e.g. colour using video scanning devices, e.g. TV-cameras
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/67005Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/67242Apparatus for monitoring, sorting or marking
    • H01L21/67271Sorting devices
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/683Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for supporting or gripping
    • H01L21/6838Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for supporting or gripping with gripping and holding devices using a vacuum; Bernoulli devices

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Computer Hardware Design (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Power Engineering (AREA)
  • Multimedia (AREA)
  • Crystals, And After-Treatments Of Crystals (AREA)

Abstract

本发明公开了一种全自动针刺晶粒分选设备,包括有机架、控制器、下蓝膜固定机构、顶针机构、上蓝膜固定机构以及CCD视觉机构;该控制器设置在机架上;通过设置有下蓝膜固定机构、顶针机构、上蓝膜固定机构以及CCD视觉机构,在分选蓝膜时可通过顶针机构直接将下蓝膜的晶粒顶起到新蓝膜上,相较于现有的摆臂式真空吸附方式,极大提高了工作效率,可以满足后续产能的需求,同时分选晶粒时可以通过CCD视觉机构对蓝膜上的晶粒进行监测,及时去除残缺不良的晶粒,保证了新的蓝膜上晶粒的质量,避免影响蓝膜后续工艺的加工。

Description

全自动针刺晶粒分选设备
技术领域
本发明涉及蓝膜晶粒分选领域技术,尤其是指一种全自动针刺晶粒分选设备。
背景技术
在LED行业中,从晶粒做到成品需要经过各种不同分工序,外延生长、镀电极、研磨、切割、点测、分选等等,当在晶粒进行分选时,需要将晶粒按照不同电性等级,将晶粒从wafer中挑拣至同一范围的蓝膜上(简称方片)。
现有的蓝膜晶粒分选设备中一般采用摆臂式真空吸取的方式,作业时下方顶针将需要摆放的晶粒顶起(顶针盖采用真空将wafer蓝膜吸住,顶针从中间顶针孔将晶粒顶起脱离wafer蓝膜),安装好吸嘴的摆臂利用真空将顶起的晶粒进行吸附,然后吹气放置在放置端的蓝膜上(放置端的蓝膜有专用的承载机构,来回抽拉替换),即顶一颗晶粒,摆放装置就会驱动蓝膜自动移动到下一颗摆放位置,直到把整片蓝膜摆到规定的数量,这种晶粒分选方式的工作效率提升空间极小,无法满足后续产能的要求,且加工过程中无法及时发现并去除残缺的不良晶粒,从而影响新的蓝膜晶粒质量,并影响后续工艺的加工,因此,有必要对现有的蓝膜晶粒分选设备结构作出进一步改进。
发明内容
有鉴于此,本发明针对现有技术存在之缺失,其主要目的是提供一种全自动针刺晶粒分选设备,其能有效解决现有之蓝膜晶粒分选设备工作效率低、无法满足产能需求、无法去除不良晶粒以及影响蓝膜质量的问题。
为实现上述目的,本发明采用如下之技术方案:
一种全自动针刺晶粒分选设备,包括有机架、控制器、下蓝膜固定机构、顶针机构、上蓝膜固定机构以及CCD视觉机构;该控制器设置在机架上;该下蓝膜固定机构设置在机架上并连接控制器,下蓝膜固定机构上设置有一下蓝膜固定夹具;该顶针机构设置在机架上并位于下蓝膜固定夹具的正下方,顶针机构连接控制器;该上蓝膜固定机构可上下来回活动地设置在机架上并位于下蓝膜固定机构的上方,上蓝膜固定机构上设置有一上蓝膜固定夹具,上蓝膜固定夹具位于下蓝膜固定夹具的正上方,上蓝膜固定机构连接控制器;该CCD视觉机构设置在上蓝膜固定机构上并位于上蓝膜固定夹具的上方,CCD视觉机构连接控制器。
作为一种优选方案,所述机架上包括有工作台和设置于工作台上的龙门架,前述下蓝膜固定机构和顶针机构设置在工作台上,上蓝膜固定机构设置在龙门架上。
作为一种优选方案,所述下蓝膜固定夹具可来回转动地设置在下蓝膜固定机构上。
作为一种优选方案,所述下蓝膜固定机构上设置有一驱动电机,该驱动电机通过皮带带动下蓝膜固定夹具来回转动,该驱动电机连接控制器。
作为一种优选方案,所述顶针机构包括有顶针架、顶针头以及第一驱动机构;该顶针架设置在机架上,该顶针头可上下来回活动地设置于顶针架上;该第一驱动机构设置在顶针架上并带动顶针头上下来回活动。
作为一种优选方案,所述机架上设置有滑轨和第二驱动机构,第二驱动机构连接控制器,该上蓝膜固定机构设置在滑轨上并沿着滑轨上下来回活动,该第二驱动机构设置在机架上并带动上蓝膜固定机构上下来回活动。
作为一种优选方案,所述上蓝膜固定机构与机架之间通过一缓冲顶针机构连接。
作为一种优选方案,所述CCD视觉机构包括有主相机和副相机,该主相机设置在上蓝膜固定机构上并位于上蓝膜固定夹具的正上方,该副相机设置在上蓝膜固定机构上并位于上蓝膜固定夹具的侧上方。
本发明与现有技术相比具有明显的优点和有益效果,具体而言,由上述技术方案可知:
通过设置有下蓝膜固定机构、顶针机构、上蓝膜固定机构以及CCD视觉机构,在分选蓝膜时可通过顶针机构直接将下蓝膜的晶粒顶起到新蓝膜上,相较于现有的摆臂式真空吸附方式,极大提高了工作效率,可以满足后续产能的需求,同时分选晶粒时可以通过CCD视觉机构对蓝膜上的晶粒进行监测,及时去除残缺不良的晶粒,保证了新的蓝膜上晶粒的质量,避免影响蓝膜后续工艺的加工。
为更清楚地阐述本发明的结构特征和功效,下面结合附图与具体实施例来对本发明进行详细说明。
附图说明
图1是本发明之较佳实施例的立体结构示意图;
图2是本发明之较佳实施例另一角度的立体结构示意图;
图3是本发明之较佳实施例的局部组装示意图。
附图标识说明:
10、机架 11、工作台
12、龙门架 13、滑轨
14、第二驱动机构 20、控制器
30、下蓝膜固定机构 31、下蓝膜固定夹具
32、驱动电机 33、皮带
40、顶针机构 41、顶针架
42、顶针头 43、第一驱动机构
50、上蓝膜固定机构 51、上蓝膜固定夹具
52、缓冲顶针机构 60、CCD视觉机构
61、主相机 62、副相机。
具体实施方式
请参照图1至图3所示,其显示出了本发明之较佳实施例的具体结构,其中包括有机架10、控制器20、下蓝膜固定机构30、顶针机构40、上蓝膜固定机构50以及CCD视觉机构60。
该控制器20设置在机架10上;在本实施例中,所述机架10上包括有工作台11和设置于工作台11上的龙门架12,前述下蓝膜固定机构30和顶针机构40设置在工作台11上,上蓝膜固定机构50设置在龙门架12上;所述机架10上设置有滑轨13和第二驱动机构14,第二驱动机构14连接控制器20。
该下蓝膜固定机构30设置在机架10上并连接控制器20,下蓝膜固定机构30上设置有一下蓝膜固定夹具31;在本实施例中,所述下蓝膜固定夹具31可来回转动地设置在下蓝膜固定机构30上;所述下蓝膜固定机构30上设置有一驱动电机32,该驱动电机32通过皮带33带动下蓝膜固定夹具31来回转动,该驱动电机32连接控制器20。
该顶针机构40设置在机架10上并位于下蓝膜固定夹具31的正下方,顶针机构40连接控制器20;在本实施例中,所述顶针机构40包括有顶针架41、顶针头42以及第一驱动机构43;该顶针架41设置在机架10上,该顶针头42可上下来回活动地设置于顶针架41上;该第一驱动机构43设置在顶针架41上并带动顶针头42上下来回活动。
该上蓝膜固定机构50可上下来回活动地设置在机架10上并位于下蓝膜固定机构30的上方,上蓝膜固定机构50上设置有一上蓝膜固定夹具51,上蓝膜固定夹具51位于下蓝膜固定夹具31的正上方,上蓝膜固定机构50连接控制器20;在本实施例中,所述上蓝膜固定机构50设置在滑轨13上并沿着滑轨13上下来回活动,该第二驱动机构14设置在机架10上并带动上蓝膜固定机构50上下来回活动;所述上蓝膜固定机构50与机架10之间通过一缓冲顶针机构52连接。
该CCD视觉机构60设置在上蓝膜固定机构50上并位于上蓝膜固定夹具51的上方,CCD视觉机构60连接控制器20;在本实施例中,所述CCD视觉机构60包括有主相机61和副相机62,该主相机61设置在上蓝膜固定机构50上并位于上蓝膜固定夹具51的正上方,该副相机62设置在上蓝膜固定机构50上并位于上蓝膜固定夹具61的侧上方。
详述本实施例的工作原理如下:
工作时先将被分选的蓝膜放置到下蓝膜固定机构30之下蓝膜固定夹具31中,并将新蓝膜组件放置到上蓝膜固定机构50之上蓝膜夹具51中,接着由CCD视觉机构60的主相机61扫描被分选蓝膜上的晶粒分布和状态,并通过顶针缓冲机构52和第二驱动机构14的配合,将上蓝膜固定机构50调整到位,之后通过顶针机构40将被分选蓝膜上的晶粒顶起到新蓝膜上,分选完成后再由CCD视觉机构60的副相机62监测分选之后的晶粒状态。
本发明的设计重点在于:通过设置有下蓝膜固定机构、顶针机构、上蓝膜固定机构以及CCD视觉机构,在分选蓝膜时可通过顶针机构直接将下蓝膜的晶粒顶起到新蓝膜上,相较于现有的摆臂式真空吸附方式,极大提高了工作效率,可以满足后续产能的需求,同时分选晶粒时可以通过CCD视觉机构对蓝膜上的晶粒进行监测,及时去除残缺不良的晶粒,保证了新的蓝膜上晶粒的质量,避免影响蓝膜后续工艺的加工。
以上所述,仅是本发明的较佳实施例而已,并非对本发明的技术范围作任何限制,故凡是依据本发明的技术实质对以上实施例所作的任何细微修改、等同变化与修饰,均仍属于本发明技术方案的范围内。

Claims (8)

1.一种全自动针刺晶粒分选设备,其特征在于:包括有机架、控制器、下蓝膜固定机构、顶针机构、上蓝膜固定机构以及CCD视觉机构;该控制器设置在机架上;该下蓝膜固定机构设置在机架上并连接控制器,下蓝膜固定机构上设置有一下蓝膜固定夹具;该顶针机构设置在机架上并位于下蓝膜固定夹具的正下方,顶针机构连接控制器;该上蓝膜固定机构可上下来回活动地设置在机架上并位于下蓝膜固定机构的上方,上蓝膜固定机构上设置有一上蓝膜固定夹具,上蓝膜固定夹具位于下蓝膜固定夹具的正上方,上蓝膜固定机构连接控制器;该CCD视觉机构设置在上蓝膜固定机构上并位于上蓝膜固定夹具的上方,CCD视觉机构连接控制器。
2.根据权利要求1所述的全自动针刺晶粒分选设备,其特征在于:所述机架上包括有工作台和设置于工作台上的龙门架,前述下蓝膜固定机构和顶针机构设置在工作台上,上蓝膜固定机构设置在龙门架上。
3.根据权利要求1所述的全自动针刺晶粒分选设备,其特征在于:所述下蓝膜固定夹具可来回转动地设置在下蓝膜固定机构上。
4.根据权利要求3所述的全自动针刺晶粒分选设备,其特征在于:所述下蓝膜固定机构上设置有一驱动电机,该驱动电机通过皮带带动下蓝膜固定夹具来回转动,该驱动电机连接控制器。
5.根据权利要求1所述的全自动针刺晶粒分选设备,其特征在于:所述顶针机构包括有顶针架、顶针头以及第一驱动机构;该顶针架设置在机架上,该顶针头可上下来回活动地设置于顶针架上;该第一驱动机构设置在顶针架上并带动顶针头上下来回活动。
6.根据权利要求1所述的全自动针刺晶粒分选设备,其特征在于:所述机架上设置有滑轨和第二驱动机构,第二驱动机构连接控制器,该上蓝膜固定机构设置在滑轨上并沿着滑轨上下来回活动,该第二驱动机构设置在机架上并带动上蓝膜固定机构上下来回活动。
7.根据权利要求1所述的全自动针刺晶粒分选设备,其特征在于:所述上蓝膜固定机构与机架之间通过一缓冲顶针机构连接。
8.根据权利要求1所述的全自动针刺晶粒分选设备,其特征在于:所述CCD视觉机构包括有主相机和副相机,该主相机设置在上蓝膜固定机构上并位于上蓝膜固定夹具的正上方,该副相机设置在上蓝膜固定机构上并位于上蓝膜固定夹具的侧上方。
CN202111153292.9A 2021-09-29 2021-09-29 全自动针刺晶粒分选设备 Pending CN113828545A (zh)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN202111153292.9A CN113828545A (zh) 2021-09-29 2021-09-29 全自动针刺晶粒分选设备

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN202111153292.9A CN113828545A (zh) 2021-09-29 2021-09-29 全自动针刺晶粒分选设备

Publications (1)

Publication Number Publication Date
CN113828545A true CN113828545A (zh) 2021-12-24

Family

ID=78967505

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN202111153292.9A Pending CN113828545A (zh) 2021-09-29 2021-09-29 全自动针刺晶粒分选设备

Country Status (1)

Country Link
CN (1) CN113828545A (zh)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN116203043A (zh) * 2023-05-05 2023-06-02 武汉精立电子技术有限公司 一种led芯片集成检测方法及装置

Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
TWM386595U (en) * 2010-04-16 2010-08-11 Twin Gain Electronic Company Structure for detection of semiconductor crystal grain separation
CN203281518U (zh) * 2013-03-15 2013-11-13 旺矽科技股份有限公司 晶粒选取设备
US20150357216A1 (en) * 2014-06-06 2015-12-10 Yealy Optic Electronic Co., Ltd. Computer visual recognition output image-aided led die sorting system and sorting method
CN111785823A (zh) * 2020-08-06 2020-10-16 湘能华磊光电股份有限公司 一种先进的led晶粒分选及倒膜装置

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
TWM386595U (en) * 2010-04-16 2010-08-11 Twin Gain Electronic Company Structure for detection of semiconductor crystal grain separation
CN203281518U (zh) * 2013-03-15 2013-11-13 旺矽科技股份有限公司 晶粒选取设备
US20150357216A1 (en) * 2014-06-06 2015-12-10 Yealy Optic Electronic Co., Ltd. Computer visual recognition output image-aided led die sorting system and sorting method
CN111785823A (zh) * 2020-08-06 2020-10-16 湘能华磊光电股份有限公司 一种先进的led晶粒分选及倒膜装置

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN116203043A (zh) * 2023-05-05 2023-06-02 武汉精立电子技术有限公司 一种led芯片集成检测方法及装置
CN116203043B (zh) * 2023-05-05 2023-07-25 武汉精立电子技术有限公司 一种led芯片集成检测方法及装置

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN113794083A (zh) 一种载具自动插针设备
CN207606399U (zh) 一种自动定位焊接设备
CN202712311U (zh) 圆柱电池盖帽焊机
CN218101223U (zh) 一种晶圆移载装置
CN113427259A (zh) 一种锂电池包自动生产线
CN113828545A (zh) 全自动针刺晶粒分选设备
CN111300043A (zh) 一种基于ccd视觉系统的手机组屏设备
CN113289908A (zh) 一种手机零件加工用零件自动检测装置
CN113049597A (zh) 一种在线式极片毛刺抽检设备
WO2021031362A1 (zh) 一种砂轮网片自动化成型、捡拾与检验一体化系统及其方法
CN216085670U (zh) 一种载具自动插针设备
CN108372132A (zh) 一种不合格品自动检测分离装置
CN212750956U (zh) 一体化设备
CN110589477A (zh) 滤光片反射测试机
CN212433003U (zh) 手机铁框外观缺陷自动化检测装置
CN111203634A (zh) 一种双工位手机中板螺母焊接机
CN211517130U (zh) 自动装夹机械手
CN219336392U (zh) 一种圆形电池盖板的激光焊接设备
CN209432978U (zh) 一种锂锰一次电池注液安全检测机构
CN215146602U (zh) 一种锂电池包自动生产线
CN113798200A (zh) 一种基于视觉检测的载玻片自动检测平台及其检测方法
CN210794957U (zh) 滤光片反射测试机
CN111929308A (zh) 手机铁框外观缺陷检测系统
CN208157369U (zh) 一种手动捡片的独立装置
CN208427969U (zh) 一种泵室轴承挤压机

Legal Events

Date Code Title Description
PB01 Publication
PB01 Publication
SE01 Entry into force of request for substantive examination
SE01 Entry into force of request for substantive examination