CN216311735U - 一种新型晶圆载具 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种新型晶圆载具，涉及晶圆加工领域，包括载具前侧板和载具后侧板，载具前侧板左右两侧下端固定连接有纵向设置的支柱，载具前侧板和载具后侧板之间的容置组成晶圆仓，晶圆仓下端设置有支撑座，载具前侧板和载具后侧板之间左右两侧中部对称的固定连接有若干个晶圆支板，载具前侧板和载具后侧板之间左右两侧上端对称的固定连接有晶圆上支板，载具前侧板和载具后侧板之间左右两侧下端对称的固定连接有晶圆下支板。本实用新型的优点在于：通过对晶圆载具进行结构改进设计，使得在进行晶圆加工时，加工流体可对各层晶圆板进行相同的加工，保证了各层晶圆板的加工一致性，有效的提高了生产效率和设备利用率，提高了设备的适应性。

Description

一种新型晶圆载具

技术领域

本实用新型涉及晶圆加工领域，具体是涉及一种新型晶圆载具。

背景技术

晶圆是指制作硅半导体电路所用的硅晶片，其原始材料是硅。高纯度的多晶硅溶解后掺入硅晶体晶种，然后慢慢拉出，形成圆柱形的单晶硅。硅晶棒在经过研磨，抛光，切片后，形成硅晶圆片，也就是晶圆。国内晶圆生产线以 8英寸和 12 英寸为主。

晶圆加工时，通常是将多片晶圆放在晶圆载具内，晶圆载具再放入加工槽内，使流体流过晶圆载具内的晶圆进行加工，流体包括化学药液、气体、去离子纯净水，现有的晶圆载具两侧面通常为封闭设计，进而导致加工流体无法均匀的与晶圆载具中的晶圆进行接触，导致各层晶圆加工质量不一，部分加工质量达不到要求，影响加工良率。

实用新型内容

为解决上述技术问题，提供一种新型晶圆载具，本技术方案解决了上述的晶圆加工时，通常是将多片晶圆放在晶圆载具内，晶圆载具再放入加工槽内，使流体流过晶圆载具内的晶圆进行加工，流体包括化学药液、气体、去离子纯净水，现有的晶圆载具两侧面通常为封闭设计，进而导致加工流体无法均匀的与晶圆载具中的晶圆进行接触，导致各层晶圆加工质量不一，部分加工质量达不到要求，影响加工良率的问题。

为达到以上目的，本实用新型采用的技术方案为：

一种新型晶圆载具，包括载具前侧板和载具后侧板，所述载具前侧板左右两侧下端固定连接有纵向设置的支柱，所述载具前侧板和载具后侧板之间的容置组成晶圆仓，所述晶圆仓下端设置有支撑座，所述支撑座前后两端分别与载具前侧板和载具后侧板固定连接，所述载具前侧板和载具后侧板之间左右两侧中部对称的固定连接有若干个晶圆支板，所述载具前侧板和载具后侧板之间左右两侧上端对称的固定连接有晶圆上支板，所述载具前侧板和载具后侧板之间左右两侧下端对称的固定连接有晶圆下支板。

优选的，所述支撑座包括对称设置的支撑板，两个所述支撑板分别固定连接有载具前侧板和载具后侧板下端两侧，所述支撑板之间固定连接有连接柱，所述支撑板上开设有槽型通孔。

优选的，所述晶圆上支板向外侧延伸形成提起凸起。

优选的，所述晶圆下支板呈倾斜设置，所述晶圆下支板与竖直面呈º。

优选的，多个所述晶圆支板之间等间距设置。

优选的，所述晶圆支板、晶圆上支板和晶圆下支板内侧均均匀等距的开设有晶圆槽。

与现有技术相比，本实用新型的优点在于：

本实用新型晶圆仓两侧设置有若干个等间距设置的晶圆支板，晶圆支板之间留有间距，在进行晶圆加工时，加工用的化学流体可从晶圆支板之间的间距进入晶圆仓，保证了晶圆仓中多层设置的晶圆板可以同时解除到加工化学流体，同时进行加工，使得各层晶圆板的加工质量一致，提高了晶圆加工的生产良率。

附图说明

图1为本实用新型的立体结构示意图；

图2为本实用新型另一视角下的立体结构示意图。

1、载具前侧板；2、载具后侧板；3、支柱；4、支撑座；401、支撑板；402、连接柱；403、槽型通孔；5、晶圆支板；6、晶圆上支板；601、提起凸起；7、晶圆下支板。

具体实施方式

以下描述用于揭露本实用新型以使本领域技术人员能够实现本实用新型。以下描述中的优选实施例只作为举例，本领域技术人员可以想到其他显而易见的变型。

参照图1-2所示，一种新型晶圆载具，包括载具前侧板1和载具后侧板2，载具前侧板1左右两侧下端固定连接有纵向设置的支柱3，载具前侧板1和载具后侧板2之间的容置组成晶圆仓，晶圆仓下端设置有支撑座4，支撑座4前后两端分别与载具前侧板1和载具后侧板2固定连接，载具前侧板1和载具后侧板2之间左右两侧中部对称的固定连接有若干个晶圆支板5，载具前侧板1和载具后侧板2之间左右两侧上端对称的固定连接有晶圆上支板6，载具前侧板1和载具后侧板2之间左右两侧下端对称的固定连接有晶圆下支板7，晶圆支板5、晶圆上支板6和晶圆下支板7内侧均均匀等距的开设有晶圆槽，晶圆槽用于进行设置晶圆板，均匀等距的开设有晶圆槽保证了晶圆板在晶圆仓中的均匀性。

支撑座4包括对称设置的支撑板401，两个支撑板401分别固定连接有载具前侧板1和载具后侧板2下端两侧，支撑板401之间固定连接有连接柱402，支撑板401上开设有槽型通孔403，支撑座4用于对晶圆仓进行支撑作用，支撑板401上开设的槽型通孔403可降低支撑座4对加工流体的阻力，保证了支撑座的稳定性。

晶圆上支板6向外侧延伸形成提起凸起601，提起凸起601用于在操作时对晶圆仓进行夹持，便于将晶圆仓放入加工槽以及加工完成后从加工槽提起。

晶圆下支板7呈倾斜设置，晶圆下支板7与竖直面呈45º，倾斜设置的晶圆下支板7可对晶圆板底部进行支撑，可防止晶圆板从晶圆仓底部滑出晶圆仓，保证里晶圆载具中的晶圆板在进行加工时的稳定性。

多个晶圆支板5之间等间距设置，在进行晶圆加工时，加工用的化学流体可从晶圆支板5之间的间距进入晶圆仓，保证了晶圆仓中多层设置的晶圆板可以同时接触到加工化学流体，同时进行加工，使得各层晶圆板的加工质量一致。

综上所述，本实用新型的优点在于：通过对晶圆载具进行结构改进设计，使得在进行晶圆加工时，加工流体可对各层晶圆板进行相同的加工，保证了各层晶圆板的加工一致性，有效的提高了生产效率和设备利用率，提高了设备的适应性。

以上显示和描述了本实用新型的基本原理、主要特征和本实用新型的优点。本行业的技术人员应该了解，本实用新型不受上述实施例的限制，上述实施例和说明书中描述的只是本实用新型的原理，在不脱离本实用新型精神和范围的前提下本实用新型还会有各种变化和改进，这些变化和改进都落入要求保护的本实用新型的范围内。本实用新型要求的保护范围由所附的权利要求书及其等同物界定。

Claims (6)

1.一种新型晶圆载具，其特征在于，包括载具前侧板（1）和载具后侧板（2），所述载具前侧板（1）左右两侧下端固定连接有纵向设置的支柱（3），所述载具前侧板（1）和载具后侧板（2）之间的容置组成晶圆仓，所述晶圆仓下端设置有支撑座（4），所述支撑座（4）前后两端分别与载具前侧板（1）和载具后侧板（2）固定连接，所述载具前侧板（1）和载具后侧板（2）之间左右两侧中部对称的固定连接有若干个晶圆支板（5），所述载具前侧板（1）和载具后侧板（2）之间左右两侧上端对称的固定连接有晶圆上支板（6），所述载具前侧板（1）和载具后侧板（2）之间左右两侧下端对称的固定连接有晶圆下支板（7）。

2.根据权利要求1所述的一种新型晶圆载具，其特征在于，所述支撑座（4）包括对称设置的支撑板（401），两个所述支撑板（401）分别固定连接有载具前侧板（1）和载具后侧板（2）下端两侧，所述支撑板（401）之间固定连接有连接柱（402），所述支撑板（401）上开设有槽型通孔（403）。

3.根据权利要求1所述的一种新型晶圆载具，其特征在于，所述晶圆上支板（6）向外侧延伸形成提起凸起（601）。

4.根据权利要求1所述的一种新型晶圆载具，其特征在于，所述晶圆下支板（7）呈倾斜设置，所述晶圆下支板（7）与竖直面呈45º。

5.根据权利要求1所述的一种新型晶圆载具，其特征在于，多个所述晶圆支板（5）之间等间距设置。

6.根据权利要求1所述的一种新型晶圆载具，其特征在于，所述晶圆支板（5）、晶圆上支板（6）和晶圆下支板（7）内侧均均匀等距的开设有晶圆槽。

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