CN212648199U - 半导体二极管间隔片用乘片篮 - Google Patents

Abstract

本实用新型属于半导体二极管加工应用设备领域，涉及间隔片，尤其涉及一种半导体二极管间隔片用乘片篮。包括呈篮筐状的乘片篮本体以及设置在乘片篮本体上的提手，所述提手转动设置在乘片篮本体上，所述乘片篮本体两侧的侧板上设置有用于液体或气体的流通的通孔，所述通孔均匀的分布在乘片篮本体的两侧，所述乘片篮本体的底部设置有用于固定间隔片的底座，本实用新型通过提供一种半导体二极管间隔片用乘片篮，利用底座和上挡杆组、下档杆组的配合设置，有效实现对间隔片的分隔，进而解决了现有间隔片在清洗时无法间隔的技术问题。

Description

半导体二极管间隔片用乘片篮

技术领域

本实用新型属于半导体二极管加工应用设备领域，涉及间隔片，尤其涉及一种半导体二极管间隔片用乘片篮。

背景技术

从半导体器件诞生到现在，在器件制作过程中，对硅表面的清洗重要性已成为清洗工艺研究的重要方向，因为半导体对杂质非常敏感，清洗是半导体工艺里面非常重要的工序，只要存在百万分之几的金属离子沾污硅，就能导致半导体的导电性能产生很大的改变。

半导体二极管器件制作绝大多数采用圆形薄硅片，制作过程中要用到量身定做的治工具，比如乘片蓝，乘片蓝是根据硅片尺寸来设计的装载硅片的治工具，硅片的清洗必然要用到。在二极管制作过程中，因为扩散一般采用紧密排列方式进行，而舟的长度不可调，在硅片数量较少的情况下，需要用间隔片将舟塞满，间隔片厚度较厚，也是硅材质，扩散时与硅片同时经过高温，间隔片的洁净度要求和硅片洁净度要求是一样的，所以间隔片的清洗一样非常重要。

目前间隔片的清洗大多采用放在简易的盒子里面进行，这样的清洗方式使间隔片与间隔片粘在一起而影响清洗效果，和硅片一起经过高温后，间隔片上的杂质扩散入硅片里面，最终导致器件电性变坏或失效，所以设计一种间隔片的乘片蓝具有重要的意义。

实用新型内容

本实用新型针对上述的间隔片清洗所存在的技术问题，提出一种设计合理、结构简单、加工方便且能够确保清洗效果的半导体二极管间隔片用乘片篮。

为了达到上述目的，本实用新型采用的技术方案为，本实用新型提供一种半导体二极管间隔片用乘片篮，包括呈篮筐状的乘片篮本体以及设置在乘片篮本体上的提手，所述提手转动设置在乘片篮本体上，所述乘片篮本体两侧的侧板上设置有用于液体或气体的流通的通孔，所述通孔均匀的分布在乘片篮本体的两侧，所述乘片篮本体的底部设置有用于固定间隔片的底座，所述乘片篮本体上设置有用于夹持间隔片上部的上挡杆组，所述上挡杆组包括两个间隔设置的上挡杆，所述乘片篮本体上还设置有用于夹持间隔片下部的下档杆组，所述下档杆组包括两个间隔设置的下挡杆。

作为优选，所述底座沿乘片篮本体侧板方向间隔设置有片槽，所述片槽的底部呈弧面状设置。

作为优选，所述通孔呈阵列状均匀的分布在乘片篮本体的两侧。

作为优选，所述上挡杆和下挡杆插入通孔内设置。

与现有技术相比，本实用新型的优点和积极效果在于，

1、本实用新型通过提供一种半导体二极管间隔片用乘片篮，利用底座和上挡杆组、下档杆组的配合设置，有效实现对间隔片的分隔，进而解决了现有间隔片在清洗时无法间隔的技术问题，同时，本实用新型结构简单、加工方便、适合大规模推广使用。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型实施例的技术方案，下面将对实施例描述中所需要使用的附图作一简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动性的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1为实施例1提供的半导体二极管间隔片用乘片篮的结构示意图；

图2为实施例1提供的半导体二极管间隔片用乘片篮的剖视图；

图3为实施例1提供的底座的结构示意图；

以上各图中，1、乘片篮本体；2、提手；3、通孔；4、底座；41、片槽；5、上挡杆；6、下档杆；7、间隔片。

具体实施方式

为了能够更清楚地理解本实用新型的上述目的、特征和优点，下面结合附图和实施例对本实用新型做进一步说明。需要说明的是，在不冲突的情况下，本申请的实施例及实施例中的特征可以相互组合。

在下面的描述中阐述了很多具体细节以便于充分理解本实用新型，但是，本实用新型还可以采用不同于在此描述的其他方式来实施，因此，本实用新型并不限于下面公开说明书的具体实施例的限制。

实施例1，如图1～图3所示，本实施例旨在提供一种能够实现间隔片7间隔放置清洗的乘片篮，为此，为了实现上述目的，本实施例提供的半导体二极管间隔片7用乘片篮，包括呈篮筐状的乘片篮本体1以及设置在乘片篮本体1上的提手2，在本实施例中，乘片篮本体1呈长方体篮状设置，这样设置的目的，是为了方便放置，提手2整体呈U字形设置，其两端与乘片篮本体1之间设置转轴，这样，方便移动乘片篮本体1的情况下，也能够避免提手2阻挡间隔片7的放置。

考虑到在清洗的过程中，需要通入气体或液体进行清洗，为了方便液体或其他的流通，在乘片篮本体1两侧的侧板上设置有用于液体或气体的流通的通孔3，通孔3均匀的分布在乘片篮本体1的两侧的侧板上。

为了实现间隔片7的间隔放置，在乘片篮本体1的底部设置有用于固定间隔片7的底座4，底座4的主要作用就是为了实现对间隔片7的支撑，为了保持间隔片7的竖直状态以及间隔片7的间隔放置，在乘片篮本体1上设置有用于夹持间隔片7上部的上挡杆5组，上挡杆5组包括两个间隔设置的上挡杆5，乘片篮本体1上还设置有用于夹持间隔片7下部的下档杆6组，下档杆6组包括两个间隔设置的下挡杆。这样，利用两个上挡杆5和两个下档杆6的设置，实现对间隔片7的夹持，进而方便对间隔片7进行清洗。

为了提供更加稳定的支撑固定效果，在本实施例中，底座4沿乘片篮本体1侧板方向间隔设置有片槽41，片槽41的底部呈弧面状设置。这样，利用片槽41的设置，提高固定的稳定性。

为了提高最佳的间隔片7的固定效果，同时，方便间隔片7的被上挡杆5和下挡杆阻挡的部分也能够得到清洗，在本实施例中，通孔3呈阵列状均匀的分布在乘片篮本体1的两侧。上挡杆5和下挡杆插入通孔3内设置。这样，再清洗完一遍后，可以调整上档杆和下挡杆的位置，实现对遮挡部分的清洗，当然，也可以通过旋转或扩大片槽41方式来清洗片槽41遮挡的部分。

以上所述，仅是本实用新型的较佳实施例而已，并非是对本实用新型作其它形式的限制，任何熟悉本专业的技术人员可能利用上述揭示的技术内容加以变更或改型为等同变化的等效实施例应用于其它领域，但是凡是未脱离本实用新型技术方案内容，依据本实用新型的技术实质对以上实施例所作的任何简单修改、等同变化与改型，仍属于本实用新型技术方案的保护范围。

Claims (4)

1.一种半导体二极管间隔片用乘片篮，包括呈篮筐状的乘片篮本体以及设置在乘片篮本体上的提手，所述提手转动设置在乘片篮本体上，其特征在于，所述乘片篮本体两侧的侧板上设置有用于液体或气体的流通的通孔，所述通孔均匀的分布在乘片篮本体的两侧，所述乘片篮本体的底部设置有用于固定间隔片的底座，所述乘片篮本体上设置有用于夹持间隔片上部的上挡杆组，所述上挡杆组包括两个间隔设置的上挡杆，所述乘片篮本体上还设置有用于夹持间隔片下部的下档杆组，所述下档杆组包括两个间隔设置的下挡杆。

2.根据权利要求1所述的半导体二极管间隔片用乘片篮，其特征在于，所述底座沿乘片篮本体侧板方向间隔设置有片槽，所述片槽的底部呈弧面状设置。

3.根据权利要求2所述的半导体二极管间隔片用乘片篮，其特征在于，所述通孔呈阵列状均匀的分布在乘片篮本体的两侧。

4.根据权利要求3所述的半导体二极管间隔片用乘片篮，其特征在于，所述上挡杆和下挡杆插入通孔内设置。

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