CN219873409U - 一种晶圆基板载具检验设备 - Google Patents
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Abstract
本实用新型公开了一种晶圆基板载具检验设备，包括底板，所述底板的顶部固定有放置台，所述放置台的顶部设置有载具，所述底板的顶端面安装有滑轨，所述滑轨对称设置在放置台的两端，在所述底板的顶部还设置有滑块，所述滑块的底部与所述滑轨连接，所述滑块的顶端面上固定有检测柱，所述放置台的顶端面开设有卡槽，所述载具的底端卡入至所述卡槽的内侧；通过本实用新型的设计，能够快速、简便的实现对晶圆质量的检测，防止不良品流入，也可控制产品使用规格质量，及时淘汰不良品，预防制程停滞，同时整个结构操作方便，易于上手，同时在检测中，放置稳定性也较高，不会出现偏移、滑落的现象，填补了现有对晶圆检测中无专用工具的空白。
Description
技术领域
本实用新型属于晶圆检测技术领域，具体涉及一种晶圆基板载具检验设备。
背景技术
晶圆是指制作硅半导体电路所用的硅晶片，其原始材料是硅。高纯度的多晶硅溶解后掺入硅晶体晶种，然后慢慢拉出，形成圆柱形的单晶硅。硅晶棒在经过研磨，抛光，切片后，形成硅晶圆片，也就是晶圆。
现有对晶圆平整度进行检测中，没有合适的工具检测晶圆是否合格，当不良品上线后，常因制程操作过程中设备报警，造成无效工时浪费，主要异常问题为基板载具形变造成基板错位，导致设备制程判定异常，故本实用新型提供一种一种晶圆基板载具检验设备。
实用新型内容
本实用新型的目的在于提供一种晶圆基板载具检验设备，以解决上述背景技术中提出的没有专门对晶圆质量进行检测的工具，在实际生产中，会严重影响加工效率的问题。
为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种晶圆基板载具检验设备，包括底板，所述底板的顶部固定有放置台，所述放置台的顶部设置有载具，所述底板的顶端面安装有滑轨，所述滑轨对称设置在放置台的两端，在所述底板的顶部还设置有滑块，所述滑块的底部与所述滑轨连接，所述滑块的顶端面上固定有检测柱。
优选的，所述放置台的顶端面开设有卡槽，所述载具的底端卡入至所述卡槽的内侧。
优选的，所述载具的内部安装有多层晶圆，所述检测柱的内侧面开设有检测槽，所述检测槽套设在晶圆的外部。
优选的，所述滑块的表面还开设有拉动槽，该拉动槽的横截面呈椭圆形。
优选的，所述滑块的底端面固定有底块，所述底块滑动套设在滑轨上。
优选的，所述滑块的底端面还设置有刮板，所述刮板的底部粘合有海绵块，该海绵块与所述滑轨的顶端面贴合。
优选的，所述刮板的顶端面内嵌有磁块，所述滑块的底端面开设有底槽，在所述刮板的顶部固定有连接头，所述连接头嵌入至所述底槽内。
与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：
通过本实用新型的设计，能够快速、简便的实现对晶圆质量的检测，防止不良品流入，也可控制产品使用规格质量，及时淘汰不良品，预防制程停滞，同时整个结构操作方便，易于上手，同时在检测中，放置稳定性也较高，不会出现偏移、滑落的现象，填补了现有对晶圆检测中无专用工具的空白。
附图说明
图1为本实用新型在检测中的状态示意图；
图2为本实用新型在未检测状态下的示意图；
图3为本实用新型滑块与刮板的连接剖视图。
图中：100、底板；101、放置台；101a、卡槽；102、滑轨；200、滑块；200a、拉动槽；200b、底槽；201、检测柱；201a、检测槽；202、底块；203、刮板；204、海绵块；205、连接头；206、磁块；300、载具。
具体实施方式
下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。
请参阅图1至图3，本实用新型提供一种技术方案：一种晶圆基板载具检验设备，包括底板100，底板100的顶部中间位置处固定有放置台101，放置台101的顶部设置有载具300，底板100的顶端面安装有滑轨102，滑轨102对称设置在放置台101的两端，在底板100的顶部还设置有滑块200，滑块200的底部与滑轨102连接，滑块200的顶端面上固定有用于对晶圆进行检测的检测柱201，在对晶圆的检测中，直接将滑块200朝向放置台101推动，此时检测柱201与滑块200同步运动，并且通过检测柱201上的检测槽201a卡入载具300内的晶圆上，卡入则说明晶圆合格，反之不合格。
本实施例中，优选的，放置台101的顶端面开设有卡槽101a，载具300的底端卡入至卡槽101a的内侧完成固定限位，避免出现晃动而影响检测精准度的现象。
本实施例中，优选的，载具300的内部安装有多层晶圆，检测柱201的内侧面开设有检测槽201a，检测槽201a套设在晶圆的外部实现检测。
本实施例中，优选的，滑块200的表面还开设有拉动槽200a，方便拉动滑块200，给工作人员提供着力点，该拉动槽200a的横截面呈椭圆形，由于内部没有凸起结构，在拉动时更加方便舒适。
本实施例中，优选的，滑块200的底端面固定有底块202，底块202滑动套设在滑轨102上。
本实施例中，优选的，滑块200的底端面还设置有刮板203，刮板203的底部粘合有海绵块204，该海绵块204与滑轨102的顶端面贴合，当滑块200在滑轨102上滑动时，能够实现对对滑轨102顶部的清理。
本实施例中，优选的，刮板203的顶端面内嵌有磁块206，磁块206与刮板203处于同一平面上，避免凸出而影响安装，滑块200的底端面开设有底槽200b，在刮板203的顶部固定有连接头205，连接头205嵌入至底槽200b内完成与滑块200的连接，同时还能够通过磁块206实现磁连接，从而进一步提升安装稳定性。
尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例(详见上述详尽的描述)，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本实用新型的范围由所附权利要求及其等同物限定。
Claims (7)
1.一种晶圆基板载具检验设备，其特征在于：包括底板(100)，所述底板(100)的顶部固定有放置台(101)，所述放置台(101)的顶部设置有载具(300)，所述底板(100)的顶端面安装有滑轨(102)，所述滑轨(102)对称设置在放置台(101)的两端，在所述底板(100)的顶部还设置有滑块(200)，所述滑块(200)的底部与所述滑轨(102)连接，所述滑块(200)的顶端面上固定有检测柱(201)。
2.根据权利要求1所述的一种晶圆基板载具检验设备，其特征在于：所述放置台(101)的顶端面开设有卡槽(101a)，所述载具(300)的底端卡入至所述卡槽(101a)的内侧。
3.根据权利要求2所述的一种晶圆基板载具检验设备，其特征在于：所述载具(300)的内部安装有多层晶圆，所述检测柱(201)的内侧面开设有检测槽(201a)，所述检测槽(201a)套设在晶圆的外部。
4.根据权利要求1所述的一种晶圆基板载具检验设备，其特征在于：所述滑块(200)的表面还开设有拉动槽(200a)，该拉动槽(200a)的横截面呈椭圆形。
5.根据权利要求4所述的一种晶圆基板载具检验设备，其特征在于：所述滑块(200)的底端面固定有底块(202)，所述底块(202)滑动套设在滑轨(102)上。
6.根据权利要求5所述的一种晶圆基板载具检验设备，其特征在于：所述滑块(200)的底端面还设置有刮板(203)，所述刮板(203)的底部粘合有海绵块(204)，该海绵块(204)与所述滑轨(102)的顶端面贴合。
7.根据权利要求6所述的一种晶圆基板载具检验设备，其特征在于：所述刮板(203)的顶端面内嵌有磁块(206)，所述滑块(200)的底端面开设有底槽(200b)，在所述刮板(203)的顶部固定有连接头(205)，所述连接头(205)嵌入至所述底槽(200b)内。
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