CN117259372B - 一种压电陶瓷片用清洗治具、清洗工装及清洗检验方法 - Google Patents
一种压电陶瓷片用清洗治具、清洗工装及清洗检验方法 Download PDFInfo
- Publication number
- CN117259372B CN117259372B CN202311567513.6A CN202311567513A CN117259372B CN 117259372 B CN117259372 B CN 117259372B CN 202311567513 A CN202311567513 A CN 202311567513A CN 117259372 B CN117259372 B CN 117259372B
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- cleaning
- piezoelectric ceramic
- plates
- plate
- positioning
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 title claims abstract description 203
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 title claims abstract description 200
- 238000007689 inspection Methods 0.000 title claims abstract description 29
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims abstract description 23
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims description 8
- 239000004809 Teflon Substances 0.000 claims description 6
- 229920006362 Teflon® Polymers 0.000 claims description 6
- 239000003365 glass fiber Substances 0.000 claims description 5
- 238000001035 drying Methods 0.000 claims description 2
- 235000012431 wafers Nutrition 0.000 claims 16
- 239000007788 liquid Substances 0.000 abstract description 12
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 abstract description 8
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 9
- 230000008569 process Effects 0.000 description 6
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 4
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 4
- 230000009286 beneficial effect Effects 0.000 description 3
- 239000000463 material Substances 0.000 description 3
- 238000004506 ultrasonic cleaning Methods 0.000 description 3
- 230000008901 benefit Effects 0.000 description 2
- 230000003749 cleanliness Effects 0.000 description 2
- 239000012530 fluid Substances 0.000 description 2
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 2
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 2
- 238000012545 processing Methods 0.000 description 2
- 238000006467 substitution reaction Methods 0.000 description 2
- 230000007306 turnover Effects 0.000 description 2
- 239000003082 abrasive agent Substances 0.000 description 1
- 238000004891 communication Methods 0.000 description 1
- 230000007547 defect Effects 0.000 description 1
- 230000002950 deficient Effects 0.000 description 1
- 238000013461 design Methods 0.000 description 1
- 238000010981 drying operation Methods 0.000 description 1
- 239000011152 fibreglass Substances 0.000 description 1
- 238000000227 grinding Methods 0.000 description 1
- 238000009434 installation Methods 0.000 description 1
- 238000002955 isolation Methods 0.000 description 1
- 238000003475 lamination Methods 0.000 description 1
- 239000000843 powder Substances 0.000 description 1
- 230000009467 reduction Effects 0.000 description 1
- 238000012216 screening Methods 0.000 description 1
- 238000011179 visual inspection Methods 0.000 description 1
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
- G01N21/84—Systems specially adapted for particular applications
- G01N21/88—Investigating the presence of flaws or contamination
- G01N21/94—Investigating contamination, e.g. dust
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B08—CLEANING
- B08B—CLEANING IN GENERAL; PREVENTION OF FOULING IN GENERAL
- B08B11/00—Cleaning flexible or delicate articles by methods or apparatus specially adapted thereto
- B08B11/02—Devices for holding articles during cleaning
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B08—CLEANING
- B08B—CLEANING IN GENERAL; PREVENTION OF FOULING IN GENERAL
- B08B13/00—Accessories or details of general applicability for machines or apparatus for cleaning
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B08—CLEANING
- B08B—CLEANING IN GENERAL; PREVENTION OF FOULING IN GENERAL
- B08B3/00—Cleaning by methods involving the use or presence of liquid or steam
- B08B3/04—Cleaning involving contact with liquid
- B08B3/10—Cleaning involving contact with liquid with additional treatment of the liquid or of the object being cleaned, e.g. by heat, by electricity or by vibration
- B08B3/12—Cleaning involving contact with liquid with additional treatment of the liquid or of the object being cleaned, e.g. by heat, by electricity or by vibration by sonic or ultrasonic vibrations
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Health & Medical Sciences (AREA)
- Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- Biochemistry (AREA)
- General Health & Medical Sciences (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Immunology (AREA)
- Pathology (AREA)
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
Abstract
本发明公开了压电陶瓷生产技术领域的一种压电陶瓷片用清洗治具、清洗工装及清洗检验方法,包括定位板、第一载片板和第二载片板,两个定位板纵向间距设置,第一载片板和第二载片板沿纵向方向延伸并与定位板固定连接;多个第二载片板横向间距设置在两个第一载片板之间,且相邻两个第二载片板以及第二载片板与第一载片板之间形成纵向清洗通道;且相邻两个第二载片板以及第一载片板与第二载片板上的卡槽相对应并形成与纵向清洗通道连通且上宽下窄的定位槽。本发明将定位槽设置成上宽下窄的结构,并采用线支撑的方式,不仅可以保证压电陶瓷片在定位槽中的稳定性,还可增大压电陶瓷片与清洗液的接触面积,实现压电陶瓷片清洗效率和清洗质量的提高。
Description
技术领域
本发明涉及压电陶瓷生产技术领域,具体涉及一种压电陶瓷片用清洗治具、清洗工装及清洗检验方法。
背景技术
压电陶瓷作为特种陶瓷的一种,拥有特殊的正压电效应和逆压电效应,且广泛应用于诸多领域,如:压电蜂鸣器;汽车压电流体阀门;医疗器械中液体泵;压电驱动器;超声压电换能器等。
在实际生产中,清洗后陶瓷片的洁净程度与整道工序的良率有着直接关系,如果陶瓷片未清洗干净,研磨料及磨削下的陶瓷碎屑残留在陶瓷片的表面,会造成陶瓷片表面的平面度及粗糙度恶化,导致陶瓷外观不良,甚至影响后续加工,特别是对有内电极的陶瓷片,陶瓷片中的金属内电极与制备的外电极要导通,否则产品将失效;如果未经过超声清洗,研磨时出现的磨料及磨削下的陶瓷粉将堆积在曝露出的内电极处,导致制备外电极后内外电极接触不良,使产品良率下降。
目前压电陶瓷的常规清洗方式为:将陶瓷片自由摆放在金属网框中清洗,而自由摆放将会造成瓷片间的碰撞及陶瓷片和金属的撞击,严重影响陶瓷片的外观及性能。同时,将陶瓷片自由摆放在金属网框中进行清洗时,为了维持基本的清洗质量,一次清洗作业中陶瓷片的数量不能放置过多,这是因为大量自由放置陶瓷片,会导致陶瓷片堆积成数层,相邻的陶瓷片将大面积紧密接触,从而减小超声清洗作业中清洗液和待清洗陶瓷片间的接触面积,进而导致清洗质量下降;而一次清洗作业中陶瓷片的数量放置过少,又会导致陶瓷片的清洗效率下降。
在实际生产活动中,为了保证压电陶瓷片的生产质量,在清洗工艺后,陶瓷片还要进行外观检验。外观检验是一种常见的筛选陶瓷片外部缺陷的方法,一般要求检查陶瓷片边角是否破损,破损陶瓷片将被检出,成为不良品。当前常见的检测方法为:人工夹持压电陶瓷片在低倍镜下观察外观,在检查过程中,不仅存在人为施加应力损伤陶瓷片的风险,且夹持检查的生产效率低。
因此,如何兼顾陶瓷片的清洗质量和清洗效率,减少外观检验时陶瓷片的破损风险,就成了本领域技术人员亟待解决的技术问题。
发明内容
有鉴于此,本发明的目的在于提供一种压电陶瓷片用清洗治具,以解决现有压电陶瓷片清洗方法存在的清洗质量和清洗效率不能兼顾,减少外观检验时陶瓷片的破损风险的技术问题。
本发明所采用的技术方案为:一种压电陶瓷片用清洗治具,所述清洗治具包括:
定位板,所述定位板沿横向方向延伸,且两个所述定位板纵向间距设置;
第一载片板,所述第一载片板沿纵向方向延伸,且两个所述第一载片板横向间距设置,所述第一载片板的两端与所述定位板固定连接;
第二载片板,所述第二载片板沿纵向方向延伸,且所述第二载片板的两端与所述定位板固定连接;
其中,多个所述第二载片板横向间距设置在两个所述第一载片板之间,且相邻两个所述第二载片板以及所述第二载片板与所述第一载片板之间形成纵向清洗通道;在所述第二载片板的横向两侧和所述第一载片板的至少横向一侧沿纵向方向间隔设有多个卡槽,且相邻两个所述第二载片板以及所述第一载片板与所述第二载片板上的卡槽相对应并形成与所述纵向清洗通道连通且上宽下窄的定位槽。
优选的,所述定位槽的横截面呈V形。
优选的,所述卡槽槽底的槽宽尺寸大于压电陶瓷片厚度尺寸0.05mm到0.1mm,所述卡槽槽顶的槽宽尺寸大于所述压电陶瓷片厚度尺寸0.2mm到0.5mm。
优选的,从槽底到槽顶,所述卡槽的槽宽尺寸逐渐增大。
优选的,所述定位槽的两侧壁面的夹角为40°~60°。
优选的,所述侧壁面包括弧形支撑段和平直避让段,且所述弧形支撑段的顶端与所述第一载片板或所述第二载片板的上表面固定连接,所述弧形支撑段的底端与所述平直避让段的顶端固定连接。
优选的,所述定位槽的槽长尺寸为方形所述压电陶瓷片宽度尺寸的1.1倍到1.3倍;或者所述定位槽的槽长尺寸为圆形所述压电陶瓷片直径尺寸的0.6倍到0.9倍。
优选的,所述第二载片板的两端通过紧固螺栓与所述定位板可拆卸固定连接。
优选的,相邻两个所述第二载片板以及所述第二载片板和所述第一载片板的横向间距能够调节。
优选的,所述第一载片板和所述第二载片板的材质为特氟龙或玻纤板。
本发明的第二目的在于提供一种压电陶瓷片用清洗工装,包括上述的清洗治具,所述清洗治具的数量为多个,且多个所述清洗治具竖向间距设置,并且在相邻两个所述清洗治具之间设有连接柱,所述连接柱的两端与所述清洗治具可拆卸固定连接。
优选的,所述第一载片板上设有连接孔,所述连接柱的端部插接在所述连接孔中并与所述第一载片板抵接。
本发明的第三目的在于提供一种压电陶瓷片清洗检验方法,所述清洗检验方法使用的是上述清洗治具,所述清洗检验方法包括以下步骤:
步骤1:先将压电陶瓷片放入所述清洗治具的所述定位槽中,然后将所述清洗治具放入超声波清洗机内对所述压电陶瓷片进行清洗;
步骤2,清洗结束后,将所述清洗治具连同所述压电陶瓷片放入烘箱,对所述压电陶瓷片进行烘干;
步骤3,将烘干后的所述压电陶瓷片连同所述清洗治具一并取出,在显微镜下或检测设备中对所述清洗治具上的所述压电陶瓷片进行第一次外观检验;
步骤4,外观检验结束后,先在所述清洗治具上方倒置固定一个空置的所述清洗治具,然后将两个所述清洗治具翻转180°;
步骤5,移除位于上方的所述清洗治具,然后在显微镜下或检测设备中对所述清洗治具上的所述压电陶瓷片进行第二次外观检验。
本发明的有益效果:
本发明利用空间分割原理,在两个定位板之间横向间隔设置第一载片板和第二载片板,并通过第一载片板和第二载片板上的卡槽形成多个纵向间隔设置的定位槽,通过定位槽对清洗作业的压电陶瓷片进行定位,可使相邻两个压电陶瓷片分隔开,进而增大压电陶瓷片与清洗液的接触面积;同时,本申请将定位槽设置成上宽下窄的结构,并采用线支撑的方式,不仅可以保证压电陶瓷片在定位槽中的稳定性,还可最大程度的增大压电陶瓷片中下部与清洗液的接触面积,也实现了压电陶瓷片清洗效率和清洗质量的提高。
本发明将压电陶瓷片摆放在清洗治具上进行清洗,该压电陶瓷片置于相邻载片板之间的V型定位槽中,压电陶瓷片被定位槽的两侧壁面的线承托,不仅使压电陶瓷片与清洗治具接触面积最小,还可以确保压电陶瓷片之间相互隔绝,进而保证压电陶瓷片的清洗效率高和良品率高。
本发明中的清洗治具将压电陶瓷片放置在V型定位槽中,在清洗作业后,压电陶瓷片规整及朝向统一的摆放在清洗治具上,可以直接在清洗治具上对压电陶瓷片进行批量外观检验,且本发明中的清洗治具可通过连接柱上下叠放连接,使得压电陶瓷片能够在清洗治具中翻面,进而快速完成压电陶瓷片的全面外观检验。
本发明中的清洗治具结构简单,操作便捷,便于组装。
附图说明
图1为本发明的压电陶瓷片用清洗治具的结构示意图;
图2为本发明的压电陶瓷片用清洗治具的俯视图;
图3为第一载片板的结构示意图;
图4为第二载片板的结构示意图;
图5为卡槽的俯视图;
图6为定位槽的结构示意图;
图7为定位板的结构示意图之一;
图8为定位板的结构示意图之二;
图9为压电陶瓷片和定位槽的位置关系图;
图10为本发明的压电陶瓷片用清洗治具的使用状态参考示意图之一;
图11为本发明的压电陶瓷片用清洗治具的使用状态参考示意图之二;
图12为本发明的压电陶瓷片用清洗治具的使用状态参考示意图之三;
图13为本发明的压电陶瓷片用清洗工装的结构示意图;
图14为连接柱的结构示意图。
图中附图标记说明:
100、清洗治具;
110、定位板;111、安装螺纹孔;112、调节孔;120、第一载片板;121、连接孔;130、第二载片板;140、纵向清洗通道;150、定位槽;151、卡槽;152、侧壁面;153、弧形支撑段;154、平直避让段;160、紧固螺栓;
200、连接柱;
210、上插接段;220、中支撑段;230、下插接段;
300、压电陶瓷片。
具体实施方式
下面结合附图对本发明的具体实施方式作进一步详细说明。这些实施方式仅用于说明本发明,而并非对本发明的限制。
在本发明的描述中,需要说明的是,术语“中心”、“纵向”、“横向”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系,仅是为了便于描述本发明和简化描述,而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作,因此不能理解为对本发明的限制。此外,术语“第一”、“第二”仅用于描述目的,而不能理解为指示或暗示相对重要性。
在本发明的描述中,需要说明的是,除非另有明确的规定和限定,术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解,例如,可以是固定连接,也可以是可拆卸连接,或一体地连接;可以是机械连接,也可以是电连接;可以是直接相连,也可以通过中间媒介间接相连,可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言,可以根据具体情况理解上述术语在本发明中的具体含义。
此外,在本发明的描述中,除非另有说明,“多个”的含义是两个或两个以上。
实施例,如图1-图14所示,一种压电陶瓷片用清洗治具,用于压电陶瓷片300的超声清洗作业,该清洗治具100包括:
定位板110,该定位板110的数量为两个,该定位板110沿横向方向延伸,且两个定位板110在纵向方向上间距设置。
第一载片板120,该第一载片板120的数量为两个,该第一载片板120沿纵向方向延伸,且两个第一载片板120在横向方向上间距设置,第一载片板120的两端与两个定位板110一一对应固定连接。
第二载片板130,该第二载片板130沿纵向方向延伸,且第二载片板130的两端与两个定位板110一一对应固定连接。
其中,该第二载片板130的数量为多个,多个第二载片板130横向间距设置在两个第一载片板120之间,并且在相邻两个第二载片板130以及第二载片板130与第一载片板120之间形成纵向清洗通道140,也就是在相邻两个第二载片板130之间形成纵向清洗通道140,同时在相邻的第二载片板130与第一载片板120之间形成纵向清洗通道140。
在第二载片板130的横向两侧和第一载片板120的至少横向一侧沿纵向方向间隔设有多个卡槽151,且相邻两个第二载片板130以及第一载片板120与第二载片板130上的卡槽151相对应并形成与纵向清洗通道140连通且上宽下窄的定位槽150,也就是在第二载片板130的横向两侧设有卡槽151,且多个卡槽151沿纵向方向间隔设置在第二载片板130上,在第一载片板120的横向一侧或两侧设有卡槽151,且多个卡槽151沿纵向方向间隔设置在第二载片板130上,且纵向清洗通道140横向两侧的两个第二载片板130上的卡槽151正对并形成上宽下窄用于放置压电陶瓷片300的定位槽150,同时,纵向清洗通道140横向一侧第二载片板130上的卡槽151与横向另一侧第一载片板120上的卡槽151正对并形成上宽下窄用于放置压电陶瓷片300的定位槽150。
具体的,本实施例中,第一载片板120仅朝向第二载片板130的一侧设置有卡槽151。
具体的,在另一个实施例中,该第一载片板120横向两侧设置有卡槽151。这样的好处是可以使第一载片板120的结构和第二载片板130的结构完全相同,仅使用定位板110和第二载片板130两个模块就可以完成清洗治具100的安装。
本申请利用空间分割原理,在两个定位板110之间横向间隔固定设置有第一载片板120和第二载片板130,并通过第一载片板120和第二载片板130上的卡槽151形成多个纵向间隔设置的定位槽150,通过定位槽150对清洗作业的压电陶瓷片300进行定位固定,可使相邻两个压电陶瓷片300分隔开,进而增大压电陶瓷片300与清洗液的接触面积;同时,本申请将定位槽150设置成上宽下窄的结构,并采用线支撑的方式,不仅可以保证压电陶瓷片300在定位槽150中的稳定性,还可最大程度的增大压电陶瓷片300中下部与清洗液的接触面积,也实现了压电陶瓷片300清洗效率和清洗质量的提高。
压电陶瓷片300通常为方形或圆形,当定位槽150设置成上宽下窄后,且压电陶瓷片300稳定放置在定位槽150内时,其至少有一半的侧面裸露在上方,也就是圆形压电陶瓷片300至少有半个圆的侧面竖直朝上,方形压电陶瓷片300至少有两个侧面竖直朝上,由于清洗后的外观检验主要检查压电陶瓷片300的侧面和顶角,这样放置更有利于提高后续外观检验的效率。另外,压电陶瓷片300能够稳定的放置在定位槽150中,使得清洗治具100中压电陶瓷片300姿态保持较好的一致性,在外观检验时,可以在显微镜下快速检测,甚至能够使用检测设备进行自动检测,大大提高了外观检验的效率。
需要说明的是,本申请中的横向方向指的是图2中的双箭头方向,纵向方向指的是图2中的单箭头方向。
在一具体实施例中,如图6、图9、图10所示,该定位槽150的横截面呈V形。
如此设置,是因为:压电陶瓷片300放置在定位槽150中后,压电陶瓷片300与定位槽150的接触面积越小,压电陶瓷片300与清洗液的接触面积也就越大,清洗质量也就越好。
具体的,对于圆形压电陶瓷片300而言,将定位槽150的横截面设计成V型,可使圆形压电陶瓷片300的外圆周面与定位槽150的两侧壁面152相切,也就是使圆形压电陶瓷片300与定位槽150线接触,不仅可以保持压电陶瓷片300在定位槽150中的稳定性,还可使压电陶瓷片300与定位槽150保持最小的接触面积,进而保证压电陶瓷片300的清洗质量。
优选的,如图9所示,该定位槽150的底角角度A(定位槽150的两侧壁面152的夹角)小于方形压电陶瓷片300的尖角角度(压电陶瓷片300两条边的夹角)。
如此设置,是因为:当方形压电陶瓷片300的尖角放置于定位槽150中时,压电陶瓷片300的两侧边会与定位槽150的两侧壁面152抵接,只有当定位槽150的底角角度小于方形压电陶瓷片300的尖角角度时,定位槽150的槽长尺寸才能满足放置整个压电陶瓷片300下半部的要求,且定位槽150的侧壁面152与压电陶瓷片300的侧边之间存在间隙,以便于清洗液清洗压电陶瓷片300的两侧边。
更优选的,该定位槽150的底角角度A为40°~60°,也就是定位槽150的两侧壁面152的夹角为40°~60°。
再优选的,如图9所示,该侧壁面152包括弧形支撑段153和平直避让段154,该弧形支撑段153的顶端与第一载片板120或第二载片板130的上表面固定连接,该弧形支撑段153的底端与平直避让段154的顶端固定连接,该平直避让段154的底端与第一载片板120或第二载片板130的下表面固定连接。
如此设置,是因为:将定位槽150的侧壁面152设计成弧形支撑段153加平直避让段154的两段式结构,并将弧形支撑段153安装在平直避让段154的上方,可使弧形支撑段153与压电陶瓷片300的中部相切,不仅实现了压电陶瓷片300与定位槽150的侧壁面152的线接触,还因弧形支撑段153对压电陶瓷片300的中部位置进行支撑,有利于压电陶瓷片300在定位槽150中的稳定,且弧形支撑段153在接触时能够减少压电陶瓷片300侧面的破损风险;该平直避让段154刚好位于压电陶瓷片300的侧壁面152的下方,且平直避让段154与压电陶瓷片300之间形成足够的间隙,以便于清洗液与压电陶瓷片300充分接触。
在一具体实施例中,如图5所示,该卡槽151槽底的槽宽尺寸为a,且a大于压电陶瓷片300厚度尺寸0.05mm到0.1mm,该卡槽151槽顶的槽宽尺寸为b,且b大于压电陶瓷片300厚度尺寸0.2mm到0.5mm。
如此设置,是因为:当卡槽151槽底的槽宽尺寸大于压电陶瓷片300厚度尺寸0.05mm到0.1mm时,可以确保放置在定位槽150中的压电陶瓷片300不容易晃动,也就是有利于压电陶瓷片300在定位槽150中的稳定;当卡槽151槽顶的槽宽尺寸大于压电陶瓷片300厚度尺寸0.2mm到0.5mm,一是便于将压电陶瓷片300放置于定位槽150中;二是在后续外观检验工序中,可以确保压电陶瓷片300放置和翻面更容易。也就是说,卡槽151顶部的宽度大于卡槽151底部的宽度(b>a),较小的卡槽151底部宽度能够使压电陶瓷片300更稳定,较大的卡槽151顶部宽度更利于压电陶瓷片300的放置和翻面。并且,上述卡槽151槽底的数值能够最大限度的提高压电陶瓷片300在定位槽150中的稳定度和一致性,且避免卡槽151和压电陶瓷片300的碰撞;上述卡槽151槽顶的数值能够最大限度的提高压电陶瓷片300放置便利性,且避免压电陶瓷片300在定位槽150中的倾斜。
优选的,从槽底到槽顶,该卡槽151的槽宽尺寸逐渐增大。这样设置能更有效防止压电陶瓷片300在放置和翻面时产生碰撞,从而避免压电陶瓷片300的破损。
在一具体实施例中,如图6所示,当压电陶瓷片300的形状为方形时,该定位槽150的槽长尺寸为L,且L为压电陶瓷片300宽度尺寸的1.1倍到1.3倍。
例如:该方形压电陶瓷片300的尺寸为6*6*2mm时,该卡槽151底部的槽宽尺寸为2.1mm,卡槽151顶部的槽宽尺寸为2.5mm,该定位槽150的槽长尺寸为7.8mm,且定位槽150的底角为60°。
该方形压电陶瓷片300的尺寸为5*5*2.5mm时,该卡槽151底部的槽宽尺寸为2.55mm,卡槽151顶部的槽宽尺寸为2.7mm,该定位槽150的槽长尺寸为5.5mm,且定位槽150的底角为40°。
当压电陶瓷片300的形状为圆形时,该定位槽150的槽长尺寸为L,且L为圆形压电陶瓷片300直径尺寸的0.6倍到0.9倍。
在一具体实施例中,如图1、图2所示,该第一载片板120的两端通过紧固螺栓160与定位板110可拆卸固定连接;该第二载片板130的两端通过紧固螺栓160与定位板110可拆卸固定连接。
具体的,如图1、图7所示,在定位板110上设有安装螺纹孔111,多个安装螺纹孔111沿横向方向线性分布在定位板110上;在第二载片板130和第一载片板120的两端设有沉头孔,紧固螺栓160穿设在沉头孔中,且紧固螺栓160的底端螺纹连接在安装螺纹孔111中,以使第一载片板120或第二载片板130与定位板110可拆卸固定连接。
优选的,相邻两个第二载片板130以及第二载片板130和第一载片板120的横向间距能够调节,也就是相邻两个第二载片板130的横向间距能够调节,且第一载片板120和第二载片板130的横向间距能够调节,也就是纵向清洗通道140的横向尺寸能够调节。
优选的,如图1、图8所示,在定位板110上设有调节孔112,该调节孔112为沿横向方向设置在定位板110上的长槽孔;在第二载片板130和第一载片板120的两端设有沉头孔,紧固螺栓160穿设在沉头孔中,且紧固螺栓160的底端穿过调节孔112并与紧固螺母螺纹连接,以使第一载片板120或第二载片板130与定位板110可拆卸固定连接。
在一具体实施例中,该第一载片板120和第二载片板130的材质为特氟龙或玻纤板。
如此设置,是因为:特氟龙或玻纤板不与清洗液发生化学反应,可以保证清洗治具100的使用寿命及压电陶瓷片300在后续加工时的洁净度;同时,特氟龙或玻纤板的材料硬度要低于陶瓷硬度,可使压电陶瓷片300不受清洗治具100的磨损,且特氟龙或玻纤板可承受110℃~150℃高温而不变形,使得清洗后压电陶瓷片300可以进行110℃~150℃的长时间烘干作业。
实施例,如图1、图2、图3、图13所示,一种压电陶瓷片用清洗工装,包括上述的清洗治具100,该清洗治具100的数量为多个,且多个清洗治具100竖向间距设置,并且在上下相邻的两个清洗治具100之间设有连接柱200,该连接柱200的两端与清洗治具100可拆卸固定连接,也就是连接柱200的顶端与上方的清洗治具100可拆卸固定连接,该连接柱200的底端与下方的清洗治具100可拆卸固定连接。
如此设置,是因为:通过连接柱200将上下间距设置的两个清洗治具100可拆卸固定连接,可增加清洗治具100的层叠数量,进而增大清洗工装上摆放的压电陶瓷片300的数量,从而提高一次清洗作业中压电陶瓷片300的数量,最大程度的提高压电陶瓷片300的清洗效率。
优选的,如图1、图2、图3、图12、图13、图14所示,在第一载片板120上设有连接孔121,该连接柱200的端部插接在连接孔121中并与第一载片板120抵接。
具体的,在第一载片板120上开设有四个连接孔121,该连接柱200包括轴向设置的上插接段210、中支撑段220和下插接段230,该上插接段210和下插接段230的径向尺寸等于连接孔121的径向尺寸,该中支撑段220的径向尺寸大于连接孔121的径向尺寸;该连接柱200的上插接段210插入上方清洗治具100的第一载片板120的连接孔121中,且中支撑段220的上表面与上方的第一载片板120抵接,该连接柱200的下插接段230插入下方清洗治具100的第一载片板120的连接孔121中,且中支撑段220的下表面与下方第一载片板120的抵接。
如此设置,是因为:在清洗作业中,清洗工装的多个清洗治具100是上下间距层叠安装的,且每个清洗治具100的定位槽150开口朝上,该种插接固定连接方式可以方便的进行多层的组装,放置更多的压电陶瓷片300,提高清洗效率和外观检验效率。
在本实施例中,上方的清洗治具100和下方的清洗治具100之间通过连接柱200插接固定连接,可通过将空置的清洗治具100倒置于首次外观检验后的清洗治具100上,由于两个清洗治具100的结构完全相同,连接柱200将两个清洗治具100固定连接后,压电陶瓷片300的上部置于上方清洗治具100的定位槽150中,且两个清洗治具100的定位槽150刚好都与压电陶瓷片300线接触,如此,可以保证两个清洗治具100翻转180°的过程中,所有的压电陶瓷片300处于稳定状态(避免压电陶瓷片300晃动与清洗治具100发生碰撞),进而保证压电陶瓷片300的生产质量,移走位于上方的清洗治具100后,就可以对压电陶瓷片300余下部位进行外观检验。
实施例,如图1、图12、图13所示,一种压电陶瓷片清洗检验方法,该清洗检验方法使用的是上述的清洗治具100,该清洗检验方法包括以下步骤:
步骤1:先将压电陶瓷片300放入清洗治具100的定位槽150中,然后将清洗治具100放入超声波清洗机内对压电陶瓷片300进行清洗。
步骤2,清洗结束后,将清洗治具100连同压电陶瓷片300放入烘箱,对压电陶瓷片300进行烘干。
步骤3,将烘干后的压电陶瓷片300连同清洗治具100一并取出,在显微镜下或检测设备中对清洗治具100上的压电陶瓷片300进行第一次外观检验。
步骤4,外观检验结束后,先在清洗治具100上方倒置固定一个空置的清洗治具100,然后将两个清洗治具100翻转180°。
步骤5,移除位于上方的清洗治具100,然后在显微镜下或检测设备中对清洗治具100上的压电陶瓷片300进行第二次外观检验。
相较于现有技术,本申请至少具有以下有益技术效果:
(1)、相较于现有清洗工装,本申请使用V型定位槽对压电陶瓷片进行承托,且清洗治具与压电陶瓷片通过V型定位槽的侧壁面进行线接触,压电陶瓷片能够大面积和流动的清洗液接触,清洗液流动不会受复杂结构的阻挡,从而在清洗过程中提高压电陶瓷片的清洗效率与清洗质量。
(2)、相较于现有清洗技术,本申请中的清洗治具尺寸较薄,在清洗机的有限尺寸中,可以叠加多层使用,单次清洗数量大大提高。
(3)、相较于现有清洗工装,本申请中的清洗治具结构设计简单、适用性强、便于组装,可以拆解后更换零件来调整限位距离以适应不同规格的瓷片,结构灵活,也可以整体加工成不可拆解组装的标准夹具,便于量产。
(4)、本申请中的清洗治具不仅可以在清洗作业中保护压电陶瓷片,提高压电陶瓷片的清洗效率和清洗质量,还可以用于清洗作业后压电陶瓷片的外观检验,避免人工接触陶瓷片使陶瓷片受损,实现压电陶瓷片的批量外观检验,效率更高。
(5)、本申请中定位槽的V型设置一方面保证了定位槽与压电陶瓷片的支撑均为线接触,不仅最大程度减少了接触面积,确保压电陶瓷片的清洗质量,还保证了压电陶瓷片在定位槽内的稳定性,使其在外观检验过程中保持一致且不易摆动。本申请中卡槽顶的宽度大于卡槽底的宽度,可以避免压电陶瓷片翻面时压电陶瓷片与定位槽对准的难度,防止翻面翻转清洗工装时压电陶瓷片与清洗工装发生碰撞。
以上所述仅是本发明的优选实施方式,应当指出,对于本技术领域的普通技术人员来说,在不脱离本发明技术原理的前提下,还可以做出若干改进和替换,这些改进和替换也应视为本发明的保护范围。
Claims (13)
1.一种压电陶瓷片用清洗治具,其特征在于,所述清洗治具(100)包括:
定位板(110),所述定位板(110)沿横向方向延伸,且两个所述定位板(110)纵向间距设置;
第一载片板(120),所述第一载片板(120)沿纵向方向延伸,且两个所述第一载片板(120)横向间距设置,所述第一载片板(120)的两端与所述定位板(110)固定连接;
第二载片板(130),所述第二载片板(130)沿纵向方向延伸,且所述第二载片板(130)的两端与所述定位板(110)固定连接;
其中,多个所述第二载片板(130)横向间距设置在两个所述第一载片板(120)之间,且相邻两个所述第二载片板(130)以及所述第二载片板(130)与所述第一载片板(120)之间形成纵向清洗通道(140);在所述第二载片板(130)的横向两侧和所述第一载片板(120)的至少横向一侧沿纵向方向间隔设有多个卡槽(151),且相邻两个所述第二载片板(130)以及所述第一载片板(120)与所述第二载片板(130)上的卡槽(151)相对应并形成与所述纵向清洗通道(140)连通且上宽下窄的定位槽(150)。
2.根据权利要求1所述的一种压电陶瓷片用清洗治具,其特征在于,所述定位槽(150)的横截面呈V形。
3.根据权利要求2所述的一种压电陶瓷片用清洗治具,其特征在于,所述卡槽(151)槽底的槽宽尺寸大于压电陶瓷片(300)厚度尺寸0.05mm到0.1mm,所述卡槽(151)槽顶的槽宽尺寸大于所述压电陶瓷片(300)厚度尺寸0.2mm到0.5mm。
4.根据权利要求3所述的一种压电陶瓷片用清洗治具,其特征在于,从槽底到槽顶,所述卡槽(151)的槽宽尺寸逐渐增大。
5.根据权利要求2所述的一种压电陶瓷片用清洗治具,其特征在于,所述定位槽(150)的两侧壁面(152)的夹角为40°~60°。
6.根据权利要求5所述的一种压电陶瓷片用清洗治具,其特征在于,所述侧壁面(152)包括弧形支撑段(153)和平直避让段(154),且所述弧形支撑段(153)的顶端与所述第一载片板(120)或所述第二载片板(130)的上表面固定连接,所述弧形支撑段(153)的底端与所述平直避让段(154)的顶端固定连接。
7.根据权利要求1所述的一种压电陶瓷片用清洗治具,其特征在于,所述定位槽(150)的槽长尺寸为方形所述压电陶瓷片(300)宽度尺寸的1.1倍到1.3倍;或者
所述定位槽(150)的槽长尺寸为圆形所述压电陶瓷片(300)直径尺寸的0.6倍到0.9倍。
8.根据权利要求1所述的一种压电陶瓷片用清洗治具,其特征在于,所述第二载片板(130)的两端通过紧固螺栓(160)与所述定位板(110)可拆卸固定连接。
9.根据权利要求8所述的一种压电陶瓷片用清洗治具,其特征在于,相邻两个所述第二载片板(130)以及所述第二载片板(130)和所述第一载片板(120)的横向间距能够调节。
10.根据权利要求1所述的一种压电陶瓷片用清洗治具,其特征在于,所述第一载片板(120)和所述第二载片板(130)的材质为特氟龙或玻纤板。
11.一种压电陶瓷片用清洗工装,包括权利要求1-10任意一项所述的清洗治具,其特征在于,所述清洗治具(100)的数量为多个,且多个所述清洗治具(100)竖向间距设置,并且在相邻两个所述清洗治具(100)之间设有连接柱(200),所述连接柱(200)的两端与所述清洗治具(100)可拆卸固定连接。
12.根据权利要求11所述的压电陶瓷片用清洗工装,其特征在于,所述第一载片板(120)上设有连接孔(121),所述连接柱(200)的端部插接在所述连接孔(121)中并与所述第一载片板(120)抵接。
13.一种压电陶瓷片清洗检验方法,所述清洗检验方法使用的是权利要求1-10任意一项所述清洗治具,其特征在于,所述清洗检验方法包括以下步骤:
步骤1:先将压电陶瓷片(300)放入所述清洗治具(100)的所述定位槽(150)中,然后将所述清洗治具(100)放入超声波清洗机内对所述压电陶瓷片(300)进行清洗;
步骤2,清洗结束后,将所述清洗治具(100)连同所述压电陶瓷片(300)放入烘箱,对所述压电陶瓷片(300)进行烘干;
步骤3,将烘干后的所述压电陶瓷片(300)连同所述清洗治具(100)一并取出,在显微镜下或检测设备中对所述清洗治具(100)上的所述压电陶瓷片(300)进行第一次外观检验;
步骤4,外观检验结束后,先在所述清洗治具(100)上方倒置固定一个空置的所述清洗治具(100),然后将两个所述清洗治具(100)翻转180°;
步骤5,移除位于上方的所述清洗治具(100),然后在显微镜下或检测设备中对所述清洗治具(100)上的所述压电陶瓷片(300)进行第二次外观检验。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN202311567513.6A CN117259372B (zh) | 2023-11-23 | 2023-11-23 | 一种压电陶瓷片用清洗治具、清洗工装及清洗检验方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN202311567513.6A CN117259372B (zh) | 2023-11-23 | 2023-11-23 | 一种压电陶瓷片用清洗治具、清洗工装及清洗检验方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
CN117259372A CN117259372A (zh) | 2023-12-22 |
CN117259372B true CN117259372B (zh) | 2024-01-30 |
Family
ID=89206725
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
CN202311567513.6A Active CN117259372B (zh) | 2023-11-23 | 2023-11-23 | 一种压电陶瓷片用清洗治具、清洗工装及清洗检验方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
CN (1) | CN117259372B (zh) |
Citations (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN110340098A (zh) * | 2019-07-19 | 2019-10-18 | 炬光(东莞)微光学有限公司 | 一种微透镜清洗夹具及微透镜清洗装置 |
CN209886354U (zh) * | 2019-01-31 | 2020-01-03 | 廊坊京磁精密材料有限公司 | 磁片清洗托盘 |
CN112670220A (zh) * | 2021-01-06 | 2021-04-16 | 天津中环领先材料技术有限公司 | 一种半导体晶圆片花篮 |
CN215430718U (zh) * | 2021-07-30 | 2022-01-07 | 苏州清越光电科技股份有限公司 | 一种片材载具 |
CN217314865U (zh) * | 2022-04-08 | 2022-08-30 | 海陶(湖州)新材料科技有限公司 | 一种陶瓷片清洗工装 |
CN217912067U (zh) * | 2022-09-13 | 2022-11-29 | 捷普电子(新加坡)公司 | 工件清洗治具 |
CN218855117U (zh) * | 2022-11-29 | 2023-04-14 | 上饶市宇瞳光学有限公司 | 清洗治具及清洗篮框 |
-
2023
- 2023-11-23 CN CN202311567513.6A patent/CN117259372B/zh active Active
Patent Citations (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN209886354U (zh) * | 2019-01-31 | 2020-01-03 | 廊坊京磁精密材料有限公司 | 磁片清洗托盘 |
CN110340098A (zh) * | 2019-07-19 | 2019-10-18 | 炬光(东莞)微光学有限公司 | 一种微透镜清洗夹具及微透镜清洗装置 |
CN112670220A (zh) * | 2021-01-06 | 2021-04-16 | 天津中环领先材料技术有限公司 | 一种半导体晶圆片花篮 |
CN215430718U (zh) * | 2021-07-30 | 2022-01-07 | 苏州清越光电科技股份有限公司 | 一种片材载具 |
CN217314865U (zh) * | 2022-04-08 | 2022-08-30 | 海陶(湖州)新材料科技有限公司 | 一种陶瓷片清洗工装 |
CN217912067U (zh) * | 2022-09-13 | 2022-11-29 | 捷普电子(新加坡)公司 | 工件清洗治具 |
CN218855117U (zh) * | 2022-11-29 | 2023-04-14 | 上饶市宇瞳光学有限公司 | 清洗治具及清洗篮框 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
CN117259372A (zh) | 2023-12-22 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
CN117259372B (zh) | 一种压电陶瓷片用清洗治具、清洗工装及清洗检验方法 | |
CN112234006A (zh) | 一种方形石英舟及其加工工艺 | |
CN105080897A (zh) | 用于半导体芯片的清洗夹具 | |
CN211005114U (zh) | 一种网格掩墨喷涂治具 | |
CN112563188A (zh) | 一种晶圆用石英夹具及其使用方法 | |
CN202155332U (zh) | 镜头组件清洗夹具 | |
CN216541059U (zh) | 电极可形变的复合刀具 | |
CN218194438U (zh) | 一种半导体双面抛光装置 | |
JPH11277019A (ja) | 光学部品の洗浄用治具 | |
CN211029589U (zh) | 一种浮动镜面磨夹具 | |
CN210361594U (zh) | 一种手机镜片切割工装治具 | |
CN114952576A (zh) | 一种半导体双面抛光装置及半导体抛光方法 | |
CN101441986B (zh) | 表面处理装置及该装置的下部电极组装体的制造方法 | |
CN212209428U (zh) | 晶片用清洗治具及装置 | |
CN109647784B (zh) | 石英晶片的清洗方法 | |
US20210249280A1 (en) | Wet cleaning of electrostatic chuck | |
CN101630120A (zh) | 可调式硬面光掩模基板加工承载清洗器具及装配方法 | |
CN220554840U (zh) | 清洗架和清洗装置 | |
CN219603466U (zh) | 一种玻璃篮具结构 | |
KR101498954B1 (ko) | 진공챔버 가공용 고정지그 | |
CN218372522U (zh) | 一种长尺工装 | |
CN217966314U (zh) | 一种异形基板磨边装置 | |
CN217418803U (zh) | 用于真空镀膜的基片夹具、上下料设备和连续真空镀膜系统 | |
CN113066755B (zh) | 一种芯片背面金属化夹具及芯片背面金属化方法 | |
CN219575606U (zh) | 清洗夹具 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
PB01 | Publication | ||
PB01 | Publication | ||
SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
GR01 | Patent grant | ||
GR01 | Patent grant |