CN101630120A - 可调式硬面光掩模基板加工承载清洗器具及装配方法 - Google Patents
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Abstract
本发明涉及硬面光掩模基板制造领域以及光学玻璃加工领域，尤其是一种用于硬面光掩模基板制造过程中的承载清洗器具及其装配方法。其由槽口架(a1)、导向定位杆(a2)组合而成；所述的槽口架(a1)由槽口板(b1)、筋板(b3)通过固定件定位连接而成，在槽口板(b1)左右二面开有镜向对称槽(c1)和与对称槽(c1)垂直贯通的底部条形槽(c2)；在槽口板(b1)左右二面端部开有供定位安装导向定位杆(a2)的导向孔(k1)。本发明承载清洗器具具有通用性好，灵活方便，整体不易变形，清洗过程中不会出现水流阻挡现象，能有效提高工件的洁净度和操作功效。
Description
技术领域：
本发明涉及硬面光掩模基板制造领域以及光学玻璃加工领域，尤其是一种用于硬面光掩模基板制造过程中的承载清洗器具。
技术背景：
根据国家硬面光掩模基板标准，硬面光掩模基板标准长宽规格系列7项，标准厚度规格系列6项。这些不同规格产品要经过切割、研磨抛光和清洗制程，在生产过程中承载清洗器具对于简化工序操作，减少脆性材料的破损，提高清洗效能有着关键性的影响。
现有技术中硬面光掩模基板承载清洗器具采用的是篮筐式结构，如图1所示。篮筐式承载清洗架在实际使用中存在一些问题。首先，为了保证器具本身的固形要求，一般选择有一定硬度的工程塑料，操作不当容易造成脆性材料工件损伤。其次，篮筐式承载清洗架的结构，特别是加强筋会阻挡水流，影响清洗效果。另外，篮筐式承载清洗架的插槽宽度固定，不同规格硬面光掩模基片需要使用不同规格承载清洗架，通用性差。
发明内容：
本发明所要解决的技术问题就是克服上述现有技术的不足，提供一种能够简化工序，降低工件损伤，提高清洗功效，使用方便灵活的硬面光掩模基板加工清洗承载清洗器具。该器具也可适用于光学玻璃加工领域。
具体的技术方案是：
一种可调式硬面光掩模基板加工承载清洗器具，由槽口架a1、导向定位杆a2组合而成，；
所述的槽口架a1由槽口板b1、筋板b2和b3通过固定件定位连接而成。在槽口板b1左右二面开有镜向对称槽c1和与对称槽c1垂直贯通的底部条形槽c2；在槽口板b1左右二面端部开有供定位安装导向定位杆a2的导向孔k1。
上述对称槽c1是对称梯形槽。对称梯形槽c1和与之垂直贯通的底部条形槽c2组合，适合插入和支撑不同厚度的工件。
在上述槽口板b1底面开有贯穿槽口板b1长度方向上的长条凹槽c4，所述的筋板b3插入凹槽c4，以固定件连接槽口板b1与筋板b3。
在上述槽口板b1底面和顶面开有贯穿槽口板b1长度方向上的长条凹槽c3和c4，所述的筋板b2和b3分别插入凹槽c3和c4，筋板b2和b3使槽口架a1整体具有钢性，不易变形，槽口板与筋板由固定螺钉b4固定。
在上述同导向孔k1左右二面垂直的槽口板b1端面开有定位销孔k2，定位销孔k2轴线与导向孔k1轴线互相垂直相交，定位销b5与定位销孔k2静配合装配；定位销b5上的导向孔k3与槽口板b1左右二面端部导向孔k1同心装配，定位销b5通过定位孔K4与定位螺钉b6固定。
上述器具中还包括导向杆a3，在上述槽口板b1中部开有供安装导向杆a3的导向孔k5，导向杆a3的一端有螺纹，通过紧固螺母a4与槽口架a1固定。
上述导向定位杆a2的端面为缺损圆形或圆形。
上述槽口架a1是聚四氟乙烯材料，导向定位杆a2和导向杆a3是不锈钢材料，可根据需要制成各种长度。
一种可调式硬面光掩模基板加工承载清洗器具的装配方法，选用适当长度的二根或多根导向定位杆a2，将二个或多个槽口架a1通过槽口架定位孔k1串联，根据工件宽度尺寸，槽口架与槽口架之间间距可沿导向杆长度方向调整并用螺钉b6固定，合围构成一个或多个平行并列有槽容置空腔。
一种可调式硬面光掩模基板加工承载清洗器具的装配方法，选用适当长度的二根或多根导向定位杆a2和a3，将二个或多个槽口架a1通过槽口架定位孔k1和k5串联，根据工件宽度尺寸，槽口架与槽口架之间间距可沿导向杆长度方向调整并用螺钉b6固定，合围构成一个或多个平行并列有槽容置空腔。
本发明的有益效果：
相对于现有技术，所述承载清洗器具优点在于：一是器具通用性好，只要按工件的宽度规格调整好槽口架之间的间距，可以用于不同规格的工件承载清洗。二是灵活方便，不同规格工件可以同时组合清洗。三是整体不易变形，而槽口富有弹性，易于工件插入和固定，不易造成工件损伤。四是清洗过程中不会出现水流阻挡现象，可以增加待清洗工件和水流接触，能有效提高工件的洁净度和操作功效。
附图说明：
图1现有技术硬面光掩模基板制造承载清洗器具示意图；
图2本发明可调式硬面光掩模基板加工承载清洗器具示意图；
图3本发明可调式硬面光掩模基板加工承载清洗器具槽口架a1结构示意图；
图4本发明可调式硬面光掩模基板加工承载清洗器具导向定位杆a2、导向杆a3结构示意图；
图5、6本发明可调式硬面光掩模基板加工承载清洗器具装配示意图。
具体实施方式：
以下将以承载清洗2.5英寸和3.5英寸硬面光掩模基板为例说明本发明清洗器具的结构及装配方法，请一并参阅图5和图6。2.5英寸硬面光掩模基板规格为63.5mm×63.5mm×3.05mm，3.5英寸硬面光掩模基板规格为88.9mm×88.9mm×3.8mm。
步骤一、用定位螺钉b6将1#槽口架a1固定在穿过二个端部导向定位孔k1的二根导向定位杆a2的端部，导向杆a3穿过中间的向定位孔k5。参阅图5-1。
步骤二、2#槽口架a1与1#槽口架a1同向平行并列，二根导向定位杆a2和导向杆a3穿过对过对应的2#槽口架a1的端部导向定位孔k1和中间定位孔k5；用3.5英寸硬面光掩模基板样片A作为基准，调整2#槽口架a1与1#槽口架a1间的间距。参阅图5-2。
步骤三、用定位螺钉b6将2#槽口架a1与二根导向定位杆a2定位固定。参阅图5-3。
步骤四、3#槽口架a1与2#槽口架a1同向平行并列，二根导向定位杆a2和导向杆a3穿过对应的3#槽口架a1的端部导向定位孔k1和中间定位孔k5；用2.5英寸硬面光掩模基板样片B作为基准，调整3#槽口架a1与2#槽口架a1间的间距。参阅图5-4。
步骤五、用定位螺钉b6将3#槽口架a1与二根导向定位杆a2定位固定。自然旋紧紧固螺母a4。参阅图5-5。
步骤六、卸除样片，插入待承载清洗硬面光掩模基板。参阅图5-6和图6-4多规格多列。
同上述装配方法，也可如图6-1，图6-2，图6-3所示，根据需要装配成单规格单列，或单规格多列等。
所述承载清洗器具优点在于：器具通用性好，梯形槽c1可以插入不同厚度的工件，与梯形槽垂直贯通的底部条形槽c2的底面作为工件垂直方向的支撑，所以只要按工件样片的规格调整好槽口架之间的间距，可以用于不同规格的工件承载清洗。二是灵活方便，如图6-4所示，不同规格工件可以同时组合清洗。三是整体不易变形，而槽口富有弹性，易于工件插入和固定，不易造成工件损伤。四是清洗过程中不会出现水流阻挡现象，可以增加待清洗工件和水流接触，能有效提高工件的洁净度和操作功效。
Claims (10)
1.一种可调式硬面光掩模基板加工承载清洗器具，其特征在于，由槽口架(a1)、导向定位杆(a2)组合而成；
所述的槽口架(a1)由槽口板(b1)、筋板(b3)通过固定件定位连接而成，在槽口板(b1)左右二面开有镜向对称槽(c1)和与对称槽(c1)垂直贯通的底部条形槽(c2)；
在槽口板(b1)左右二面端部开有供定位安装导向定位杆(a2)的导向孔(k1)。
2.根据权利要求1所述的可调式硬面光掩模基板加工承载清洗器具，其特征在于，所述对称槽(c1)是对称梯形槽。
3.根据权利要求1所述的可调式硬面光掩模基板加工承载清洗器具，其特征在于，所上述槽口板(b1)底面开有贯穿槽口板(b1)长度方向上的长条凹槽(c4)，所述的筋板(b3)插入凹槽(c4)，以固定件连接槽口板(b1)与筋板(b3)。
4.根据权利要求1所述的可调式硬面光掩模基板加工承载清洗器具，其特征在于，所上述槽口板(b1)底面和顶面开有贯穿槽口板(b1)长度方向上的长条凹槽(c3)和(c4)，所述的筋板(b2)和(b3)分别插入凹槽(c3)和(c4)，槽口板与筋板由固定螺钉(b4)固定。
5.根据权利要求4所述的可调式硬面光掩模基板加工承载清洗器具，其特征在于，所述同导向孔(k1)左右二面垂直的槽口板(b1)端面开有定位销孔(k2)，定位销孔(k2)轴线与导向孔(k1)轴线互相垂直相交，定位销(b5)与定位销孔(k2)静配合装配；定位销(b5)上的导向孔(k3)与槽口板(b1)左右二面端部导向孔(k1)同心装配，定位销(b5)通过定位孔(K4)与定位螺钉(b6)固定。
6.根据权利要求1所述的可调式硬面光掩模基板加工承载清洗器具，其特征在于，所述器具中还包括导向杆(a3)，在上述槽口板(b1)中部开有供安装导向杆(a3)的导向孔(k5)，导向杆(a3)的一端有螺纹，通过紧固螺母(a4)与槽口架(a1)固定。
7.根据权利要求1所述的可调式硬面光掩模基板加工承载清洗器具，其特征在于，所述导向定位杆(a2)的端面为缺损圆形或圆形。
8.根据权利要求1所述的可调式硬面光掩模基板加工承载清洗器具，其特征在于，所述槽口架(a1)是聚四氟乙烯材料，导向定位杆(a2)和导向杆(a3)是不锈钢材料。
9.一种如权利要求1所述可调式硬面光掩模基板加工承载清洗器具的装配方法，选用适当长度的二根或多根导向定位杆(a2)，将二个或多个槽口架(a1)通过槽口架定位孔(k1)串联，根据工件宽度尺寸，槽口架与槽口架之间间距可沿导向杆长度方向调整并用螺钉(b6)固定，合围构成一个或多个平行并列有槽容置空腔。
10.一种如权利要求1所述可调式硬面光掩模基板加工承载清洗器具的装配方法，选用适当长度的二根或多根导向定位杆(a2)和(a3)，将二个或多个槽口架(a1)通过槽口架定位孔(k1)和(k5)串联，根据工件宽度尺寸，槽口架与槽口架之间间距可沿导向杆长度方向调整并用螺钉(b6)固定，合围构成一个或多个平行并列有槽容置空腔。
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| CN200810040610A CN101630120A (zh) | 2008-07-16 | 2008-07-16 | 可调式硬面光掩模基板加工承载清洗器具及装配方法 |
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Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN103102066A (zh) * | 2013-01-28 | 2013-05-15 | 深圳市深新隆实业有限公司 | 一种清洗钢化两用盘及清洗钢化免倒方法 |
| CN106216317A (zh) * | 2016-08-10 | 2016-12-14 | 宁夏高创特能源科技有限公司 | 一种平面靶材清洗防护用模块化组合插片花篮 |
| CN108015054A (zh) * | 2017-07-18 | 2018-05-11 | 中国电子科技集团公司第五十五研究所 | 一种二维可调封装金属外壳清洗容器 |
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2008
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Legal Events
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| C06 | Publication | ||
| PB01 | Publication | ||
| C02 | Deemed withdrawal of patent application after publication (patent law 2001) | ||
| WD01 | Invention patent application deemed withdrawn after publication |
Open date: 20100120 |