CN219286375U - 一种槽式清洗机的支撑底座 - Google Patents
一种槽式清洗机的支撑底座 Download PDFInfo
- Publication number
- CN219286375U CN219286375U CN202320663670.6U CN202320663670U CN219286375U CN 219286375 U CN219286375 U CN 219286375U CN 202320663670 U CN202320663670 U CN 202320663670U CN 219286375 U CN219286375 U CN 219286375U
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- base
- support
- supporting
- supporting rod
- type cleaning
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
Images
Landscapes
- Cleaning In General (AREA)
- Cleaning Or Drying Semiconductors (AREA)
Abstract
本实用新型涉及槽式清洗机技术领域，具体地说是一种槽式清洗机的支撑底座。一种槽式清洗机的支撑底座，包括相对布置的底座一、底座二，底座一与底座二之间连接若干支撑棒，位于支撑棒上端设有若干均匀布置的安装槽，支撑棒的结构为圆棒结构。同现有技术相比，将支撑棒改为圆棒式结构，在保证足够支撑的前提下，减小了与晶圆的接触面积，从而降低晶圆表面的损伤。并且将支撑棒设计为可拆卸式结构，后续更换可直接更换支撑棒，降低更换成本。
Description
技术领域
本实用新型涉及槽式清洗机技术领域，具体地说是一种槽式清洗机的支撑底座。
背景技术
槽式清洗机主要用于清洗一定尺寸的外延晶片，使用时，机械手将晶圆抓到清洗机槽体内，清洗机槽体内设置有支撑座，用于承载晶圆在槽内做不同工艺清洗。
参见图3，目前的支撑座8的形状为矩形，支撑部位为一个平面，晶圆放入支撑座8后，由于支撑部位与晶圆接触面积太宽，会导致支撑座8与晶圆接触部位出现刮伤与磨损带来颗粒的问题，容易造成品质异常。并且，底座实际应用中会有损耗现象，需要每2年更换一次，目前的底座为一体焊接成型，更换成本较高。
发明内容
本实用新型为克服现有技术的不足，提供一种槽式清洗机的支撑底座。
为实现上述目的，设计一种槽式清洗机的支撑底座，包括相对布置的底座一、底座二，底座一与底座二之间连接若干支撑棒，位于支撑棒上端设有若干均匀布置的安装槽，支撑棒的结构为圆棒结构。
进一步地，所述的底座一、底座二可拆卸地连接若干支撑棒。
进一步地，所述的底座一、底座二与支撑棒之间通过螺栓连接。
进一步地，若干支撑棒之间通过固定件固定。
进一步地，所述的支撑棒上端设有卡块，固定件下端设有与卡块结构相配合的卡口。
进一步地，所述的支撑棒与固定件之间通过螺栓紧固。
进一步地，所述的卡口的位置、数量与支撑棒的位置、数量相配合。
进一步地，所述的支撑棒的数量为2个及以上。
进一步地，所述的支撑棒的数量为3个，3个支撑棒呈三角形状布置。
本实用新型同现有技术相比，将支撑棒改为圆棒式结构，在保证足够支撑的前提下，减小了与晶圆的接触面积，从而降低晶圆表面的损伤。并且将支撑棒设计为可拆卸式结构，后续更换可直接更换支撑棒，降低更换成本。
附图说明
图1为本实用新型的结构示意图。
图2为本实用新型的爆炸图。
图3为本实用新型改进前的结构示意图。
参见图1至图3，其中，1是底座一，2是底座二，3是支撑棒，4是安装槽，5是卡块，6是卡口，7是固定件，8是支撑座。
实施方式
下面根据附图对本实用新型做进一步的说明。
实施例
如图1至图2所示，底座一1、底座二2为相对布置，底座一1与底座二2之间连接若干支撑棒3，位于支撑棒3上端设有若干均匀布置的安装槽4，支撑棒3的结构为圆棒结构。
底座一1、底座二2可拆卸地连接若干支撑棒3。具体地说，本实施例中，底座一1、底座二2与支撑棒3之间通过螺栓连接，便于拆装。
若干支撑棒3之间通过固定件7固定。具体使用时，固定件7将若干支撑棒3固定住，放置支撑棒3的位置发生偏移，防止损伤晶圆，并且保证晶圆的清洗效果。
支撑棒3上端设有卡块5，固定件7下端设有与卡块5结构相配合的卡口6。卡口6的位置、数量与支撑棒3的位置、数量相配合。支撑棒3与固定件7之间通过螺栓紧固。
支撑棒3的数量为2个及以上。本实施例中设置支撑棒3的数量为3个，并且3个支撑棒3呈三角形状布置，中间的支撑棒位于底部，左右两侧的支撑棒位于同一水平面上。
本实用新型使用时，将需要清洗的晶圆放置在支撑棒3的安装槽内，再对晶圆进行清洗，支撑棒3对晶圆起到支撑作用。当使用了一段时间后，可以观察支撑棒3的损耗情况，对损耗大的支撑棒3进行更换。
本实用新型中，将支撑棒改为圆棒式结构，在保证足够支撑的前提下，减小了与晶圆的接触面积，从而降低晶圆表面的损伤。并且将支撑棒设计为可拆卸式结构，后续更换可直接更换支撑棒，降低更换成本。
Claims (9)
1.一种槽式清洗机的支撑底座，包括相对布置的底座一、底座二，其特征在于：底座一（1）与底座二（2）之间连接若干支撑棒（3），位于支撑棒（3）上端设有若干均匀布置的安装槽（4），支撑棒（3）的结构为圆棒结构。
2.根据权利要求1所述的一种槽式清洗机的支撑底座，其特征在于：所述的底座一（1）、底座二（2）可拆卸地连接若干支撑棒（3）。
3.根据权利要求1或2所述的一种槽式清洗机的支撑底座，其特征在于：所述的底座一（1）、底座二（2）与支撑棒（3）之间通过螺栓连接。
4.根据权利要求1所述的一种槽式清洗机的支撑底座，其特征在于：若干支撑棒（3）之间通过固定件（7）固定。
5.根据权利要求4所述的一种槽式清洗机的支撑底座，其特征在于：所述的支撑棒（3）上端设有卡块（5），固定件（7）下端设有与卡块（5）结构相配合的卡口（6）。
6.根据权利要求4或5所述的一种槽式清洗机的支撑底座，其特征在于：所述的支撑棒（3）与固定件（7）之间通过螺栓紧固。
7.根据权利要求5所述的一种槽式清洗机的支撑底座，其特征在于：所述的卡口（6）的位置、数量与支撑棒（3）的位置、数量相配合。
8.根据权利要求1所述的一种槽式清洗机的支撑底座，其特征在于：所述的支撑棒（3）的数量为2个及以上。
9.根据权利要求1或8所述的一种槽式清洗机的支撑底座，其特征在于：所述的支撑棒（3）的数量为3个，3个支撑棒（3）呈三角形状布置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN202320663670.6U CN219286375U (zh) | 2023-03-30 | 2023-03-30 | 一种槽式清洗机的支撑底座 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN202320663670.6U CN219286375U (zh) | 2023-03-30 | 2023-03-30 | 一种槽式清洗机的支撑底座 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN219286375U true CN219286375U (zh) | 2023-06-30 |
Family
ID=86923410
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CN202320663670.6U Active CN219286375U (zh) | 2023-03-30 | 2023-03-30 | 一种槽式清洗机的支撑底座 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| CN (1) | CN219286375U (zh) |
-
2023
- 2023-03-30 CN CN202320663670.6U patent/CN219286375U/zh active Active
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| CN209370360U (zh) | 一种工业机器人减震底座 | |
| CN219286375U (zh) | 一种槽式清洗机的支撑底座 | |
| CN210208015U (zh) | 一种手机玻璃盖板擦拭清理装置 | |
| CN113000453B (zh) | 一种低静电自清洁毛刷传输机构 | |
| CN207576642U (zh) | 一种用于去除纤维中金属杂质的装置 | |
| CN216299745U (zh) | 一种晶圆加工用大片切割装置 | |
| CN212093352U (zh) | 一种金属丝表面清洁装置 | |
| CN220155508U (zh) | 一种晶圆电泳用放置架 | |
| CN202591191U (zh) | 清洗机流水线清洗托盘工装 | |
| CN210854676U (zh) | 一种纺织用纱线架 | |
| CN211350598U (zh) | 一种掩模版清洗花篮 | |
| CN101630120A (zh) | 可调式硬面光掩模基板加工承载清洗器具及装配方法 | |
| CN208764567U (zh) | 一种可移动纺织机的移动结构 | |
| CN208162999U (zh) | 一种罗拉两端轴承压配装置 | |
| CN221551857U (zh) | 一种晶圆支架 | |
| CN113305099B (zh) | 一种洁净度高的电镀生产用超声清洗装置 | |
| CN205508774U (zh) | 一种半导体晶片清洗花篮 | |
| CN215508254U (zh) | 一种大清洗机清洗架兼容装置 | |
| CN213424952U (zh) | 一种清洗用硅片花篮 | |
| CN220145704U (zh) | 一种可调固定治具 | |
| CN104324923B (zh) | 一种清洗夹持装置 | |
| CN219822918U (zh) | 一种大尺寸玻璃盖板整体倒架提篮 | |
| CN201222166Y (zh) | 可调式硬面光掩模基板加工承载清洗器具 | |
| CN210413255U (zh) | 一种自动夹具切换装置 | |
| CN214997386U (zh) | 一种新型桥梁养护悬挂梯 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| GR01 | Patent grant | ||
| GR01 | Patent grant |