CN103537404B - 浆料涂敷装置 - Google Patents

浆料涂敷装置 Download PDF

Info

Publication number
CN103537404B
CN103537404B CN201310277355.0A CN201310277355A CN103537404B CN 103537404 B CN103537404 B CN 103537404B CN 201310277355 A CN201310277355 A CN 201310277355A CN 103537404 B CN103537404 B CN 103537404B
Authority
CN
China
Prior art keywords
pipeline
mentioned
rabbling mechanism
coating device
slurry coating
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Fee Related
Application number
CN201310277355.0A
Other languages
English (en)
Other versions
CN103537404A (zh
Inventor
渡边正贤
渡边茂雄
德安良纪
后和昭典
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Hitachi Ltd
Original Assignee
Hitachi Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Hitachi Ltd filed Critical Hitachi Ltd
Publication of CN103537404A publication Critical patent/CN103537404A/zh
Application granted granted Critical
Publication of CN103537404B publication Critical patent/CN103537404B/zh
Expired - Fee Related legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Classifications

    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B05SPRAYING OR ATOMISING IN GENERAL; APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
    • B05CAPPARATUS FOR APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
    • B05C5/00Apparatus in which liquid or other fluent material is projected, poured or allowed to flow on to the surface of the work
    • B05C5/02Apparatus in which liquid or other fluent material is projected, poured or allowed to flow on to the surface of the work the liquid or other fluent material being discharged through an outlet orifice by pressure, e.g. from an outlet device in contact or almost in contact, with the work
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/02Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof
    • H01L21/027Making masks on semiconductor bodies for further photolithographic processing not provided for in group H01L21/18 or H01L21/34
    • H01L21/0271Making masks on semiconductor bodies for further photolithographic processing not provided for in group H01L21/18 or H01L21/34 comprising organic layers

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Coating Apparatus (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Computer Hardware Design (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Power Engineering (AREA)
  • Electroluminescent Light Sources (AREA)

Abstract

本发明提供一种浆料涂敷装置,具有:浆料储存部(30),其对向元件侧基板涂敷的玻璃浆料进行储存;喷嘴(31a),其将玻璃浆料向元件侧基板喷出;管路(312a),其使玻璃浆料从浆料储存部(30)流通至喷嘴(31a);搅拌机构(33),其装入管路(312a)并对在该管路(312a)中流通的玻璃浆料进行搅拌,搅拌机构(33)以能够活动的方式装入管路(312a)。

Description

浆料涂敷装置
技术领域
本发明涉及浆料涂敷装置。
背景技术
例如,在使有机EL(Electro-Luminescence)元件发光来显示影像等的有机EL面板等的发光面板的制造工序中,包含在具备有机EL元件等的发光元件的玻璃基板(元件侧基板)上贴合密封用的玻璃基板(密封基板)的工序。在该工序中,利用点胶机等浆料涂敷装置,将包含用于固定密封基板的玻璃粉的浆料(玻璃浆料)涂敷到元件侧基板上。
作为该技术领域的背景技术,例如,在专利文献1中记载了设有:螺旋体,其在棒状体的表面具备朝向轴向的螺旋状的螺纹;旋转驱动机构,其使螺旋体旋转;螺旋体插设孔,其供螺旋体插设;主体部,其具有设置在螺旋体插设孔的侧面的液体材料供给口以及与液体材料供给口连通的液体材料供给流路;密封构件,其配置于螺旋体插设孔且供螺旋体插入;以及喷嘴,其安装于主体部且与螺旋体插设孔连通,在比螺旋体插设孔的液体材料供给口靠上方处构成防液空间,以不润湿密封构件的方式供给液体材料,并且使螺旋体正转而从喷嘴喷出该液体材料(参照摘要)。
在先技术文献
专利文献
专利文献1:WO2008/126414号公报
发明要解决的课题
在从喷嘴喷出玻璃浆料那样的浆料状的液体材料并涂敷于元件侧基的情况下,板存在采用通过空气压对喷嘴内进行加压并压出的方式。在上述液体材料(玻璃浆料)中,混合包含有玻璃粉等微小的固形颗粒,若该固形颗粒(玻璃粉等)聚集成为块状,则存在使喷嘴等细管部阻塞的情况。
由此,需要玻璃浆料处于其所含有的固形颗粒(玻璃粉等)扩散的状态。
例如,通过在将玻璃浆料引导至喷嘴的管路中对该玻璃浆料进行搅拌,能够维持固形颗粒扩散的状态。
例如,如专利文献1所述,可以通过在将浆料引导至喷嘴(液体供给口)的管路(液体供给流路)中配备旋转的螺旋体来在管路内搅拌浆料。
然而,在专利文献1所述的结构中,需要支承螺旋体的结构、使螺旋体旋转的结构等,因此存在涂敷液体材料的装置的构造变得复杂这样的问题。
发明内容
因此,本发明的课题在于,提供一种能够利用简单的构造对自喷嘴喷出之前的浆料进行搅拌的浆料涂敷装置。
用于解决课题的手段
为了解决上述课题,本发明是具备搅拌机构的浆料涂敷装置,该搅拌机构在管路中对浆料状的液体材料进行搅拌,使该液体材料在该管路中从对向基板涂敷的液体材料进行储存的储存部流通至喷出液体材料的喷嘴。并且,该搅拌机构以能够活动的方式装入管路。
发明效果
采用本发明,可以提供以简单的构造就能够对从喷嘴喷出之前的浆料进行搅拌的浆料涂敷装置。
附图说明
图1是表示本发明的实施例的浆料涂敷装置的立体图。
图2的(a)是注射头的侧视图,图2的(b)是表示喷嘴支架的结构的剖视图。
图3是表示构成搅拌机构的要素的一个例子的图。
图4的(a)是表示将密封构件拆卸下来的状态的臂部的剖视图,图4的(b)是表示将搅拌机构插入的状态的臂部的剖视图,图4的(C)是表示利用密封构件将管路的敞开端封闭的状态的臂部的剖视图。
附图标记说明
1浆料涂敷装置
1a工作台(承载基板的平面)
2台
3注射头
10元件侧基板(基板)
30浆料储存部(储存部)
31a喷嘴
31c密封构件
33搅拌机构(静态混合器)
312臂部
312a管路
312a1内壁
312c敞开端
Gp玻璃浆料(液体材料)
具体实施方式
以下,参照适当的附图详细说明本发明的实施例。此外,在以下的说明中将有机EL面板作为发光面板的一个例子,但本发明也能够应用于有机EL面板以外的发光面板。作为有机EL面板以外的发光面板,有等离子显示器面板、液晶显示面板等。本发明并不限于有机EL面板,还能够广泛地应用于具有通过玻璃浆料所含有的玻璃粉的烧结将两片玻璃基板固定的结构的发光面板。
【实施例】
图1是表示本实施例的浆料涂敷装置的立体图,图2的(a)是注射头的侧视图,图2的(b)是表示喷嘴支架的结构的剖视图。
如图1所示,本实施例的浆料涂敷装置1具有台2,该台2对形成有发光面10a的玻璃基板等基板(元件侧基板10)进行承载,在承载于台2的元件侧基板10上以规定的形状(涂敷图案)涂敷玻璃浆料(液体材料)。
元件侧基板10例如是构成有机EL面板的要素,发光面10a是供未图示的含有有机EL元件的电路配置的面。含有这些有机EL元件的电路利用未图示的控制部来控制有机EL元件的发光。
台2配置在浆料涂敷装置1的工作台1a上,构成为利用移动装置2a、2b在成为工作台1a的平面上能够向交叉的两个方向移动。
即,本实施例的浆料涂敷装置1的工作台1a成为承载元件侧基板10的平面。
在工作台1a上,设定将台2移动的两个方向分别设为X轴、Y轴的坐标轴,台2通过移动装置2a向沿着X轴的方向(X轴向)移动,通过移动装置2b向沿着Y轴的方向(Y轴向)移动。
此外,优选为如下结构:在移动装置2a中具备对台2的向X轴向的移动距离进行检测的传感器(位置检测传感器等),在移动装置2b中具备对台2的向Y轴向的移动距离进行检测的传感器(位置检测传感器等)。
此外,在浆料涂敷装置1中具备从上方向承载于台2的元件侧基板10涂敷玻璃浆料的注射头3。注射头3安装于横架在工作台1a的上方的台架4,向在下方的工作台1a上沿着两个方向(X轴向、Y轴向)移动的台2涂敷玻璃浆料。
此外,在图1中图示有具备一个注射头3的浆料涂敷装置1,但也可以是具备两个以上的注射头3的结构的浆料涂敷装置1。
此外,在本实施例中,利用移动装置2a、2b使台2在工作台1a上移动,供注射头3安装的台架4相对于工作台1a固定。
在该结构下,台2利用移动装置2a、2b进行移动,从而能够使承载于台2的元件侧基板10与注射头3相对地移动。
即,移动装置2a、2b具有使元件侧基板10与注射头3相对地移动的功能。
除了这样的结构,还可以是使注射头3、台架4向X轴向以及Y轴向移动的结构。此外,还可以是台2向X轴向与Y轴向中的一方移动,注射头3(台架4)向X轴向与Y轴向中的另一方移动的结构。
无论哪一种结构都能够使注射头3与台2(元件侧基板10)相对地移动。
浆料涂敷装置1被控制装置5控制。控制装置5控制移动装置2a、2b而使台2适当地移动。此外,控制装置5对注射头3进行控制而使玻璃浆料的涂敷打开/关闭。
另外,控制装置5通过传感器取得台2的X轴向以及Y轴向的移动距离,对移动装置2a、2b进行控制,使得台2移动到任意的位置。
在以上述方式构成的浆料涂敷装置1中,利用注射头3向承载于台2的元件侧基板10涂敷玻璃浆料。
在浆料涂敷装置1中,在之前的工序中,利用搬运部件20来搬运形成有发光面10a的元件侧基板10。
此外,元件侧基板10的形状(发光面10a的形状)并不限于矩形。
例如,还可以是圆形或椭圆形的元件侧基板10(发光面10a),或者还可以是n边形(n是3以上的自然数)的元件侧基板10。
此外,搬运部件20例如如图1所示可以是搬运输送机,也可以是搬运机器人等,对搬运部件20的结构不进行限定。
如图1所示,由搬运部件20搬运到浆料涂敷装置1的元件侧基板10承载于台2而恰当地固定。在台2上固定元件侧基板10的结构不受限定。例如可以是从台2侧吸引元件侧基板10而进行固定的结构。
当在台2上承载(固定)元件侧基板10时,控制装置5对移动装置2a、2b进行控制而使台2移动,元件侧基板10移动到规定的涂敷开始位置。涂敷开始位置是由注射头3进行的玻璃浆料的涂敷开始的规定的位置,优选恰当地设定。然后,控制装置5通过从注射头3涂敷玻璃浆料同时使台2移动,从而描绘规定的涂敷图案的方式,在元件侧基板10上涂敷玻璃浆料。
此外,优选的是,在浆料涂敷装置1中具备用于使承载于台2的元件侧基板10移动到规定的基准位置的定位部件。
定位部件的结构并不限于此。例如可以是通过图像识别用摄像机等来读取预先标记在元件侧基板10上的基准点(G1、G2),控制装置5使台2进行移动,使得读取的基准点G1、G2达到规定的位置的结构。这样,标记的基准点G1、G2达到规定的位置的元件侧基板10的位置成为元件侧基板10的基准位置。
此外,例如,若形成在元件侧基板10上标记两个以上的基准点G1、G2,台2在与工作台1a平行的面内能够旋转的结构,则控制装置5能够以使全部的基准点G1、G2达到规定的位置的方式使台2旋转。由此,形成为矩形的发光面10a的一边能够与设定于工作台1a的坐标轴(X轴、Y轴)平行。
而且,控制装置5能够使台2向X轴向以及Y轴向恰当地移动,在发光面10a的周围涂敷玻璃浆料。
此外,注射头3能够上下移动地安装于台架4,另外,也可以是在注射头3上安装有用于测量元件侧基板10与喷嘴31a(参照图2的(b))之间的距离的传感器(使用激光的光学式位移仪等)的结构。
若采用这样的结构,则控制装置5在涂敷玻璃浆料时,能够测量喷嘴31a与元件侧基板10之间的距离。然后,控制装置5通过使注射头3上下移动,能够将喷嘴31a与元件侧基板10维持在优选的距离。
图2的(a)是注射头的侧视图,图2的(b)是表示喷嘴支架的结构的剖视图。
如图2的(a)所示,本实施例的注射头3构成为包含由空心的圆筒构成而储存玻璃浆料的储存部(浆料储存部30)以及安装于浆料储存部30的一端的喷嘴支架31。此外,在浆料储存部30中,在与供喷嘴支架31安装的一端相对的另一端具备空气加压部32。
在浆料储存部30中储存有向元件侧基板10(参照图1)涂敷的玻璃浆料,在利用空气加压部32对浆料储存部30的内部进行加压时,将玻璃浆料从浆料储存部30向喷嘴支架31压出,从喷嘴支架31所具备的喷嘴31a喷出。
空气加压部32例如可以是将被未图示的空气压缩机(压缩机)压缩了的压缩空气(或者氮气等)送入到浆料储存部30的内部的结构。
注射头3以浆料储存部30的轴向为上下方向而喷嘴支架31处于下方的方式安装于台架4(参照图1)。然后,将利用从空气加压部32送入的压缩空气从浆料储存部30压出并从喷嘴31a喷出的玻璃浆料涂敷到在下方的工作台1a(参照图1)上移动的元件侧基板10(参照图1)。
如图2的(b)所示,喷嘴支架31构成为包含与浆料储存部30的一端连结的主体部311以及从主体部311向与浆料储存部30的轴向垂直的方向延伸配置的臂部312。
然后,将注射头3以臂部312与形成于工作台1a(参照图1)的平面平行的方式安装于台架4(参照图1)。
此外,在主体部311的内部形成有供玻璃浆料流通的管路311a,在臂部312的内部形成有供玻璃浆料流通的管路312a。然后,主体部311的管路311a与臂部312的管路312a经由拐角部313a连通。
臂部312的管路312a是沿臂部312的轴向延伸的管路,构成为贯穿臂部312的前端部312b(与主体部311侧相对一侧的端部)。即,在前端部312b形成管路312a的敞开端312c。然后,在管路312a的前端部312b中,嵌入用于阻塞管路312a的敞开端312c的密封构件31c。
优选的是,密封构件31c例如是与形成于管路312a的前端部312b侧(管路312a的敞开端312c)的阴螺纹进行螺纹接合的螺纹构件,且以能够装卸的方式构成。
此外,在密封构件31c与臂部312的前端部312b之间配置未图示的密封构件,密封构件31c与前端部312b之间被密封的结构是优选的。
此外,在臂部312上安装喷嘴31a。当注射头3安装于图1所示的台架4时,喷嘴31a安装在向下方喷出玻璃浆料的方向上。
例如,在以使浆料储存部30的轴向为上下方向的方式安装注射头3的情况下,将喷嘴31a以轴向与浆料储存部30的轴向平行且下方开口的方式安装。然后,将喷嘴31a与臂部312的管路312a连通。
若注射头3以图2的(a)、图2的(b)所示那样构成,则在从空气加压部32送入压缩空气而对浆料储存部30的内部进行加压时,将玻璃浆料从浆料储存部30向喷嘴支架31压出,在主体部311的管路311a中流通。进而,玻璃浆料经由拐角部313a而在臂部312的管路312a中流通,并从喷嘴31a喷出。
另外,在本实施例的浆料涂敷装置1(参照图1)中,在喷嘴支架31的臂部312的管路312a中装入有搅拌机构33。
优选的是,搅拌机构33例如是具有使沿着管路312a流动的玻璃浆料沿着管路312a的内壁312a1的周向进行旋转的功能的翼状构件。
图3是表示构成搅拌机构的要素的一个例子的图。
作为搅拌机构33,优选为如下形状的静态混合器,该形状为,例如如图3所示,从管路312a中的玻璃浆料Gp的流动的上游观察,将沿着管路312a的内壁312a1的右方向的旋转力给予玻璃浆料Gp的右元件33a与将沿着管路312a的内壁312a1的左方向的旋转力给予玻璃浆料Gp的左元件33b串联配置为多个。
如图3所示,在沿轴向装入有搅拌机构33(静态混合器)的管路312a中流通的玻璃浆料Gp在搅拌机构33的作用下沿着管路312a的内壁312a1的周向旋转被搅拌。因而,玻璃浆料Gp中所含有的玻璃粉等固形颗粒维持扩散的状态而抑制其成为块状。
此外,图3所示的右元件33a与左元件33b的形状是为了说明搅拌机构33的功能而例示的,搅拌机构33(静态混合器)的形状并不受到限定。
图4的(a)~图4的(c)是表示将搅拌机构装入臂部的管路的步骤的图。
如图4的(a)所示,臂部312的管路312a贯通前端部312b,在前端部312b处形成有管路312a的敞开端312c。因而,当取下密封构件31c时,将管路312a的前端部312b侧敞开。
此外,通过使密封构件31c为螺纹构件,能够构成为可以从臂部312容易拆卸。
然后,例如如图4的(b)所示,搅拌机构33能够从管路312a开ロ的敞开端312c容易地进入到管路312a的内侧。即,装入搅拌机构33的操作者能够将搅拌机构33从前端部312b的敞开端312c容易地插入到管路312a中。
之后,如图4的(c)所示,当将密封构件31c安装于臂部312的前端部312b时,将管路312a的敞开端312c阻塞,搅拌机构33被封入到管路312a中从而被装入管路312a。
此外,搅拌机构33在被从管路312a的敞开端312c插入的状态下,以没有被管路312a的内壁312a1或其它的机构、构造物约束的状态被装入。由此,搅拌机构33以可以自由移动(能够移动自如)的方式被装入到管路312a。
换言之,管路312a的结构可以设置为无需用于支承搅拌机构33的机构或构造物的简单结构。
此外,如图2的(b)所示,在管路312a的主体部311侧形成拐角部313a而向浆料储存部30侧弯曲。因而,臂部312的管路312a内的搅拌机构33仅能移动至拐角部313a的位置,不能够从臂部312的管路312a向其它位置移动。
这样,通过极其容易的操作,搅拌机构33被装入臂部312的管路312a。
此外,本实施例的浆料涂敷装置1(参照图1)是使浆料储存部30(参照图2的(a))所具备的空气加压部32(参照图2的(a))对浆料储存部30被加压而将玻璃浆料Gp(参照图3)压出,从臂部312的喷嘴31a(参照图2的(b))喷出的结构。
当空气加压部32对浆料储存部30进行加压时,臂部312的管路312a(参照图2的(b))从拐角部313a侧进行加压,搅拌机构33(参照图2的(b))被按压到密封构件31c(参照图2的(b))侧。这样,通过搅拌机构33被按压到密封构件31c来抑制其旋转,因此能够抑制当玻璃浆料Gp在管路312a中流通时的搅拌机构33的旋转,能够使搅拌机构33有效地搅拌玻璃浆料Gp。
如上所述,本实施例的浆料涂敷装置1(参照图1)在向元件侧基板10(参照图1)涂敷的玻璃浆料Gp(参照图3)所流通的管路312a(参照图2的(b))中装入有静态混合器等的搅拌机构33(参照图2的(b))。并且,对玻璃浆料Gp进行搅拌的同时使其流通到喷嘴31a(参照图2的(b)),使其从喷嘴31a喷出而能够涂敷到元件侧基板10。因而,能够维持玻璃浆料Gp所含的玻璃粉等的固形颗粒扩散的状态,能够抑制玻璃粉等固形颗粒堵塞喷嘴31a等的细管部的情况。
另外,通过使搅拌机构33为静态混合器,不需要驱动搅拌机构33的压缩空气以外的动力源,能够以非常简单的构造来搅拌玻璃浆料Gp。
此外,操作者等将搅拌机构33装入臂部312的管路312a(参照图2的(b))的操作也非常容易,对浆料涂敷装置1进行管理的操作者等能够容易地将搅拌机构33装入。
此外,本实施例的搅拌机构33(参照图2的(b),静态混合器等)被装入与浆料涂敷装置1的工作台1a(参照图1)平行地延伸的臂部312的管路312a(参照图2的(b))。
而且,在以使工作台1a处于大致水平的方式设置浆料涂敷装置1的情况下,臂部312沿大致水平方向延伸,在管路312a内流通的玻璃浆料Gp(参照图3)沿大致水平方向流通。
因而,沿管路312a的内壁312a1(参照图3)的周向进行旋转的玻璃浆料Gp被装入臂部312的管路312a的搅拌机构33在上下方向上搅拌。由此,能够将因密度不同而产生的沉淀等使玻璃粉易于形成块状的玻璃浆料Gp良好地搅拌,从而能够良好地维持玻璃粉扩散的状态。
此外,本发明并不限于上述实施例、变形例。例如,对上述实施例详细说明是为了使本发明易于理解,并非限定于包括所说明的全部结构。
此外,可以将某一实施例的结构的一部分置换为其它实施例的结构,或者也可以在某一实施例的结构中添加其它实施例的结构。
例如,搅拌机构33(参照图2的(b))并不限于静态混合器。例如,也可以是使细长的平板向1个方向扭曲形成的构件。在这种情况下,在臂部312的管路312a(参照图2的(b))中流通的玻璃浆料Gp(参照图3)边向1个方向旋转边流通。与从上游观察向左右两方旋转的情况相比,尽管将玻璃浆料Gp所含有的固形颗粒进行扩散的效果较小,但能够获得使固形颗粒扩散的效果。此外,能够将与静态混合器相比低价的构件作为搅拌机构33。
此外,也可以是将具有使在臂部312的管路312a(参照图2的(b))中流通的玻璃浆料Gp(参照图3)沿着内壁312a1(参照图2的(b))的周向进行旋转的功能的多个翼状构件插入到管路312a中的结构的搅拌机构33(参照图2的(b))。

Claims (5)

1.一种浆料涂敷装置,其特征在于,
该浆料涂敷装置包括:
储存部,其对向基板涂敷的浆料状的液体材料进行储存;
喷嘴,其将上述液体材料向上述基板喷出;
管路,其使上述液体材料从上述储存部流通至上述喷嘴;以及
搅拌机构,其装入上述管路并对在该管路中流通的上述液体材料进行搅拌,
上述管路具有形成为直行状的直行部以及与该直行部连通并形成为弯曲状的拐角部,
上述喷嘴配置在上述直行部的前端部的附近,
上述搅拌机构以在从上述直行部的前端部到上述拐角部的范围内能够移动且能够活动的方式装入上述管路的内部。
2.根据权利要求1所述的浆料涂敷装置,其特征在于,
上述搅拌机构以从上述管路的敞开端插入到该管路的状态配置,
上述敞开端被能够装卸的密封构件封闭。
3.根据权利要求1所述的浆料涂敷装置,其特征在于,
上述管路构成为使上述液体材料与承载上述基板的平面大致平行地流通,
上述搅拌机构具有使上述液体材料沿着上述管路的内壁的周向进行旋转的功能。
4.根据权利要求1所述的浆料涂敷装置,其特征在于,
上述搅拌机构是静态混合器。
5.根据权利要求3所述的浆料涂敷装置,其特征在于,
上述搅拌机构是静态混合器。
CN201310277355.0A 2012-07-10 2013-07-04 浆料涂敷装置 Expired - Fee Related CN103537404B (zh)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2012155001A JP2014014790A (ja) 2012-07-10 2012-07-10 ペースト塗布装置
JP2012-155001 2012-07-10

Publications (2)

Publication Number Publication Date
CN103537404A CN103537404A (zh) 2014-01-29
CN103537404B true CN103537404B (zh) 2016-03-16

Family

ID=49961483

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN201310277355.0A Expired - Fee Related CN103537404B (zh) 2012-07-10 2013-07-04 浆料涂敷装置

Country Status (4)

Country Link
JP (1) JP2014014790A (zh)
KR (1) KR101515125B1 (zh)
CN (1) CN103537404B (zh)
TW (1) TW201420207A (zh)

Families Citing this family (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20170107082A (ko) * 2015-03-10 2017-09-22 오리솔 아시아 엘티디 뱀프 3d 인쇄 시스템
JP6778426B2 (ja) * 2016-09-20 2020-11-04 武蔵エンジニアリング株式会社 液体材料吐出装置
JP6847560B1 (ja) * 2019-12-20 2021-03-24 中外炉工業株式会社 塗布装置及び塗布方法
JP7308178B2 (ja) * 2020-10-12 2023-07-13 株式会社ノリタケカンパニーリミテド スタティックミキサー

Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP2138241A1 (en) * 2007-04-10 2009-12-30 Musashi Engineering, Inc. Method and device for discharging viscous liquid material
CN102421536A (zh) * 2009-04-24 2012-04-18 武藏工业株式会社 喷嘴旋转机构以及具备该机构的涂布装置

Family Cites Families (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS6039068Y2 (ja) * 1982-03-02 1985-11-22 株式会社クボタ スタテイツクミキサ−
JPS5953835U (ja) * 1982-09-29 1984-04-09 長沼 周一郎 二液が瞬時に混合する注入器
JP2004057995A (ja) * 2002-07-31 2004-02-26 Flex Giken:Kk L字型タイル形成用接着剤塗布装置
JP3913675B2 (ja) * 2002-12-27 2007-05-09 東京エレクトロン株式会社 塗布、現像装置及び塗布、現像方法
TWI291901B (en) * 2005-04-26 2008-01-01 Shibaura Mechatronics Corp Apparatus for applying paste and method of applying paste
JP5082813B2 (ja) * 2007-12-10 2012-11-28 パナソニック株式会社 ペースト塗布装置
JP5391197B2 (ja) * 2008-07-10 2014-01-15 大王製紙株式会社 高吸水複合体の製造方法及び高吸水複合体の製造装置
KR101113962B1 (ko) * 2009-10-19 2012-03-05 반석정밀공업주식회사 액상 혼합 토출장치

Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP2138241A1 (en) * 2007-04-10 2009-12-30 Musashi Engineering, Inc. Method and device for discharging viscous liquid material
CN102421536A (zh) * 2009-04-24 2012-04-18 武藏工业株式会社 喷嘴旋转机构以及具备该机构的涂布装置

Also Published As

Publication number Publication date
KR20140007755A (ko) 2014-01-20
KR101515125B1 (ko) 2015-04-24
JP2014014790A (ja) 2014-01-30
CN103537404A (zh) 2014-01-29
TW201420207A (zh) 2014-06-01

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN103537404B (zh) 浆料涂敷装置
US8617314B2 (en) Organic deposition apparatus and method of depositing organic substance using the same
CN100559538C (zh) 制造荧光灯用荧光物质涂覆装置及应用该装置的涂覆方法
CN102464210A (zh) 基板搬运装置
CN101254495B (zh) 基板的输送涂布装置
CN101131496A (zh) 用于附着平面显示器的基板的设备
CN104128292A (zh) 基板处理装置以及基板处理方法
CN101300084A (zh) 液体材料涂布装置
CN107768277A (zh) 热处理装置、基板处理装置、热处理方法及基板处理方法
CN104226535A (zh) 涂敷装置及涂敷方法
CN104471104A (zh) 用于处理基板的扫描式喷射器组件模块
KR100804769B1 (ko) 펌프 모듈
CN100381885C (zh) 用于制造液晶显示器件的装载机和接合装置及其装载方法
CN203018274U (zh) 液态光学胶涂胶装置
KR101208029B1 (ko) 평면 디스플레이 패널용 사이드 실링 장치
CN1573455B (zh) 使用衬垫料信息的液晶分配系统和用它分配液晶的方法
CN206215440U (zh) Led荧光粉喷涂装置
KR101408644B1 (ko) 합착기판의 스테이지 평탄도 보정장치
CN100481370C (zh) 平面显示器用基板输送装置
CN108153006A (zh) 一种涂胶装置和涂胶方法
CN102043288A (zh) 基板定位装置和利用其定位基板的方法
CN100374918C (zh) 液晶分配系统
KR101566657B1 (ko) 기판 처리 장치 및 방법
CN103288356B (zh) 涂布装置
KR100966089B1 (ko) 박막 코팅 장치

Legal Events

Date Code Title Description
C06 Publication
PB01 Publication
SE01 Entry into force of request for substantive examination
SE01 Entry into force of request for substantive examination
C14 Grant of patent or utility model
GR01 Patent grant
CF01 Termination of patent right due to non-payment of annual fee
CF01 Termination of patent right due to non-payment of annual fee

Granted publication date: 20160316

Termination date: 20170704