JPS61181948A - 透明または半透明の板状体の欠点検査方法 - Google Patents

透明または半透明の板状体の欠点検査方法

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JPS61181948A
JPS61181948A JP60022533A JP2253385A JPS61181948A JP S61181948 A JPS61181948 A JP S61181948A JP 60022533 A JP60022533 A JP 60022533A JP 2253385 A JP2253385 A JP 2253385A JP S61181948 A JPS61181948 A JP S61181948A
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JP
Japan
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plate
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Application number
JP60022533A
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English (en)
Inventor
Yasuhiro Osada
長田 泰礼
Masami Okino
沖野 雅美
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Kanebo Ltd
Original Assignee
Kanebo Ltd
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Filing date
Publication date
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Publication of JPS61181948A publication Critical patent/JPS61181948A/ja
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    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01NINVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N21/00Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
    • G01N21/84Systems specially adapted for particular applications
    • G01N21/88Investigating the presence of flaws or contamination
    • G01N21/94Investigating contamination, e.g. dust
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01NINVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N21/00Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
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    • G01N21/88Investigating the presence of flaws or contamination
    • G01N21/89Investigating the presence of flaws or contamination in moving material, e.g. running paper or textiles
    • G01N21/892Investigating the presence of flaws or contamination in moving material, e.g. running paper or textiles characterised by the flaw, defect or object feature examined
    • G01N21/896Optical defects in or on transparent materials, e.g. distortion, surface flaws in conveyed flat sheet or rod

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  • Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
  • Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、透明または半透明のフィルム、シート等の板
状体を検査して透光性の異物やフィッシュアイ等の欠点
部を検出する検査方法に関する。
〔従来の技術とその問題点〕
従来、透明または半透明のフィルム、シート等の板状体
に混入した異物を検出するためには、光の透過度の大小
により良質部分と異物とを判別する方法が用いられてい
る。しかし、前記のような透明または半透明の板状体を
製造する際には、原料が完全に溶解していない部分があ
ったり、一度溶けたものが配管ライン内で再凝固して溶
液中に混入すること等によって、良質部分と同材質であ
るが密度が異なるフィッシュアイと呼ばれる欠点部が発
生したり、表面に盛り上がりやへこみができて欠点部と
なることがある。このような欠点部は、良質部分と同様
に透明または半透明であり光を透過するので、ヒ妃のよ
うな光の透過度の大小による欠点検出方法では、検出が
不可能であったり、検出の確実性に欠けるという問題点
があった。
このため、多面鏡でレーザ光をスキャンさせるフライン
グスポット方式が用いられているが、光学系が複雑とな
るとともに費用がかかるという問題点があった。
したがって本発明の目的は、良質部分と同様に透明また
は半透明の欠点部を正確に検出可能で、かつ複雑な装置
を用いずに安価に実施できる透明または半透明の板状体
の欠点検査方法を提供することにある。
〔問題点を解決するための手段〕
上記の問題点を解決するために本発明の欠点検査方法は
、透光性の異物による欠点部や良質部分と同材質で密度
が異なる欠点部においては光の屈折率が良質部分と異な
り、また表面の盛り上がりやへこみによる欠点部におい
てはレンズ作用により光が良質部分と異なった屈折を行
次元撮像装置(1)により、検査すべき透明または半透
明の板状体(2)を介して前記一次元撮像装置(1)と
反対側に配した直線(3)を、その直線に沿う方向に撮
像するとともに、前記板状体(2)と前記φ 一次元撮像装置とを、前記撮像視野に交差する方向に相
対移動させ、前記直線(3)の像の途切れの有無から欠
点部を検出するものである。
〔作用〕
前記一次元撮像装置(1)により、検産すべき透明また
は半透明の板状体(2)を介して前記直線(3)をその
直線に沿う方向に撮像すると、前記直線(3)に対応す
る連続した直線状の像が得られる。
しかし、前記板状体(3)に良質部分と屈折率が異なる
欠点部(2a)や表面の一部が盛り上がったりへこんだ
りした欠点部(2a)が存在すると、その欠点部(2a
)においては光の屈折の仕方が他の部分と異なるために
、前記板状体(2)を介して前記直線(3)を観察した
場合、直線(3)が欠点部(2a)においてゆがんで見
える(第3図参照)。したがって、前記欠点部(2a)
が一次元撮像装置の撮像視野内にある場合には、この撮
像視野は直線状であるので、前記直線(3)からの光は
一次元撮像装置(1)に到達せず、その欠点部(2a)
に対応する部分が途切れた像が得られる。そして、前記
一次元撮像装置(1)と前記板状体(2)とを、前記撮
像視野に交差する方向に相対移動させることによって、
前記板状体(2)の所要範囲が2次元に走査されること
となって欠点部(2a)の有無およびその大きさが検査
される。
〔実施例〕
以下、本発明の実施例を図面を用いて説明する。
第4図に本発明の方法を実施するための欠点検査装置を
示す。(1)は一次元撮像装置(以下、単に撮像装置と
呼ぶ)であって、対象物を直線状に走査して、撮像し、
さらに電気信号に変換するもので、本実施例ではライン
センサであるCCDフォトセンサを利用したCODカメ
ラが用いられる。また、(4)は螢光灯等の光源である
(3)は前記撮像装置(1)の直線状の撮像視野と同幅
の直線で、棒状の部材が用いられている。この直線(3
)は撮像装置(1)と光源(4)との間に撮像視野と同
方向に、1対の支持板(3a)(3a)を用いて設置さ
れている。(5)は搬送装置であり、モータ(6)や搬
送用ベルト(7)等からなり、検査すべき透明または半
透明の板状体(2)を撮像装置(1)と直線(3)との
間に順次搬送し、直線状の撮像視野と直交する方向に移
動させるものである。
にはいらないように調整されている。(8)は信号処理
装置であり、撮像装置(1)からの電気信号を入力して
欠点部(2a)に対応する信号を検出し、データ処理を
行なうもので、第5図にその主要部の構成をブロック図
で示す。(101は電圧があるしきい値THよりも高い
か低いかを比較し矩形波の検出信号を得るコンパレータ
回路であり、ullはデータ処理を行なう信号処理回路
で、前記検出信号を用いてブザーを鳴らしたり、この検
出信号から欠点部(2a)の大きさやその位置を求め、
それらを表示したり記憶したりするものである。
次にこの欠点検査装置の動作について説明する。
検査すべき透明または半透明の板状体(2)が、搬送装
置(5)によって撮像装置(1)の直線状の撮像視野に
運ばれると、この撮像視野内に直線(3)が位置するよ
うに調整されているので、光源(4)からの光がその直
線(3)によって遮られることとなり、直線(3)に対
応した明度の暗い像が撮像されそれに対応した電気信号
が得られる。その際、この撮像視野内の前記板状体に)
の部分に、透光性の異物による欠点部(2a)、良質部
分と同材質で密度が異なる欠点部(2a)または表面の
一部力く盛り上がったりへこんだりした欠点部(2a)
が存在すると、その部分においては他の部分と光の屈折
の仕方が異なるので、その欠点部(2a)に対応する直
線(3)の部分が撮像視野に存在しなくなり、撮像装置
(1)に光源(4)からの光が入射することになる(第
2図(blおよび第3図参照)。したがって、その欠点
部(2a)に対応する部分が明る(、良質部分に対応す
る部分が暗い像が撮影され、それに対応した電気信号が
得られる(第6図の■〕。この電気信号は信号処理装置
(8)のコンパレータ回路[01によってしきい値TH
より高いか低いかが比較され第6図の■のような矩形波
の検出信号が得られる。前記板状体(2)は、搬送装置
(5)によって撮像装置(1)の撮像視野暮こ直交する
方向に移動されているので、板状体(2)の全体が2次
元に走査される。信号処理回路α旧こよって、前記検出
信号のパルス幅やその位置から欠点部(2a)の大きさ
、その位置、形状等が求められ、記憶回路に記憶される
とともにディスプレイに表示され、さらに欠点部(2a
)が検出されたことを知らせるブザーが鳴らされる。
なお、撮像装置(1)は、第7図に示すように直線(3
)を前記板状体(2)を介して板状体(3)に対し斜め
方向から撮像するように調整してもよい。
第8図は本発明の方法を実施するための欠点検査装置の
他の例を示したものであり、箱体(9)の内部の上部に
一次元撮像装置(1)が、箱体(9)の内部の下部に光
源(4)が取り付けられており、それらの中間に直線(
3)が光源(4)の光を遮るように設置されている。検
査対象となる透明または半透明の板状体(2)は箱体(
9)の側面に設けられた長方形の入口(9a〕から箱体
(9)内に挿入され、モータ、ベルト等からなる上下一
対の搬送装置(5a)(5b)によって上下から挾持さ
れなから撮像装置(1)と直線(3)との間に運ばれて
検査される。そしてさらに、もう一対の搬送装置(5C
)(5d)によって前記入口(9a)とは反対側の側面
に設けられた出口(9b)の方へ運ばれ、箱体(9)の
外へ排出される。搬送装置(5a)(5C)はスプリン
グ等によって上下に移動可能にバネ付勢されており、検
査対象となる板状体(2)の厚さに応じて上下に移動す
るとともに、この板状体(2)を下方へ押圧してその移
動経路が定まるようになされている。この欠点検査装置
はコンパクトであり、取扱いや移動が容易である。
なお、本発明の方法を実施するために用いる一次元撮像
装置(1)としては、CCDカメラのほかに、フォトダ
イオードとMOSスイッチングトランジスタが一体にな
ったMO5形イメージセンサを使用したカメラやその他
の固体撮像デバイスを使用した一次元撮像装置を用いる
ことができる。
〔発明の効果〕
以上詳述したように、本発明の欠点検査方法は光の透過
度の大小ではなく光の屈折の違いを利用しているので、
透光性の異物からなる欠点部や良質部分と同材質の透明
または半透明の欠点部さらに表面の一部が盛り上がった
りへこんだりした欠点部であっても確実に検出できる。
しかも、一次元撮像装置により、検査対象となる透明ま
たは半透明の板状体を介(7て直線を撮像するだけで、
前記板状体の欠点部の検出を簡単な装置で容易かつ安価
に行なうことができる。
【図面の簡単な説明】
第1図は本発明の欠点検査方法を示す斜視図、第2図は
同方法を示す正面図で+a)は欠点部がない場合、fb
lは欠点部がある場合を示し、第3図は本発明の方法の
原理を示す平面図、第4図は本発明の方法を実施するた
めの装置の一例を示す斜視図、 第5図は信号処理装置の構成を示すブロック図、 第6図は第5図の各部の信号波形を示す動作特性図、 第7図は撮像装置の設置方法の他の例を示す正面図、 第8図は本発明の方法を実施するための装置の他の例を
示す断面図である。 符号の説明 (1)・・・一次元撮像装置、 (2)・・・透明または半透明の板状体、(2a)・・
・欠点部、 (3)・・・直線。 第1図 第2図 ■ 一″−3 (b) ユ ’−,3 第5図 10       1 ] 第3図 第6図

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. 1、透明または半透明の板状体を検査して欠点部を検出
    する検査方法において、直線状の撮像視野を有する一次
    元撮像装置により、検査すべき透明または半透明の板状
    体を介して前記一次元撮像装置と反対側に配した直線を
    、その直線に沿う方向に撮像するとともに、前記板状体
    と前記一次元撮像装置とを、前記撮像視野に交差する方
    向に相対移動させ、前記直線の像の途切れの有無から前
    記板状体の欠点部を検出することを特徴とする透明また
    は半透明の板状体の欠点検査方法。
JP60022533A 1985-02-06 1985-02-06 透明または半透明の板状体の欠点検査方法 Pending JPS61181948A (ja)

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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR101094968B1 (ko) 2009-02-16 2011-12-15 유근홍 휘도값을 이용한 글래스 기판 상의 이물 감지 시스템 및 그방법
WO2015080136A1 (ja) * 2013-11-28 2015-06-04 住友化学株式会社 光学部材貼合パネルの搬送検査装置及び搬送検査方法

Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS48102653A (ja) * 1972-04-10 1973-12-24

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