JPS61176838A - 透明または半透明の板状体の欠点検査方法 - Google Patents
透明または半透明の板状体の欠点検査方法Info
- Publication number
- JPS61176838A JPS61176838A JP1815185A JP1815185A JPS61176838A JP S61176838 A JPS61176838 A JP S61176838A JP 1815185 A JP1815185 A JP 1815185A JP 1815185 A JP1815185 A JP 1815185A JP S61176838 A JPS61176838 A JP S61176838A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- transparent
- defective part
- shaped body
- line array
- plate
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
- G01N21/84—Systems specially adapted for particular applications
- G01N21/88—Investigating the presence of flaws or contamination
- G01N21/89—Investigating the presence of flaws or contamination in moving material, e.g. running paper or textiles
- G01N21/8901—Optical details; Scanning details
- G01N21/8903—Optical details; Scanning details using a multiple detector array
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
- G01N21/84—Systems specially adapted for particular applications
- G01N21/88—Investigating the presence of flaws or contamination
- G01N21/89—Investigating the presence of flaws or contamination in moving material, e.g. running paper or textiles
- G01N21/892—Investigating the presence of flaws or contamination in moving material, e.g. running paper or textiles characterised by the flaw, defect or object feature examined
- G01N21/896—Optical defects in or on transparent materials, e.g. distortion, surface flaws in conveyed flat sheet or rod
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
- G01N21/84—Systems specially adapted for particular applications
- G01N21/88—Investigating the presence of flaws or contamination
- G01N21/95—Investigating the presence of flaws or contamination characterised by the material or shape of the object to be examined
- G01N21/958—Inspecting transparent materials or objects, e.g. windscreens
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Textile Engineering (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Health & Medical Sciences (AREA)
- Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- Biochemistry (AREA)
- General Health & Medical Sciences (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Immunology (AREA)
- Pathology (AREA)
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
- Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は、透明または半透明のフィルム、シート等の板
状体を検査して異物の混入、フィッシュアイ等の欠点部
を検出する検査方法に関する。
状体を検査して異物の混入、フィッシュアイ等の欠点部
を検出する検査方法に関する。
透明または半透明のフィルム、シート等を製造する際に
は、原料が完全に溶解していない部良質部分と同材質で
あるが密度が異なるフィッシュアイと呼ばれる欠点部が
発生したり表面に盛り上がりやへこみができて欠点部と
なることがある。このような欠点部は、板状体の良質部
分と同様に透明または半透明であるために、目で観察し
て見分けることが困難である。また従来から、透明また
は半透明の板状体に混入した異物を検出するために光の
透過度の大小を利用する方法が用いられているが、この
ような方法では前記のような透明または半透明の欠点部
については検出不可能であったり検出の確実性にＡＦ
Ｌ＋ Ｚ Ｊ−１，Ｎ シ 朋旦百 々 召 奴
−）ン一“ このため、多面鏡てレーザ光をスキャ
ンさせるフライングスポット方式が用いられているが、
光学系が複雑となるとともに装置が高価になるという問
題点があった。
は、原料が完全に溶解していない部良質部分と同材質で
あるが密度が異なるフィッシュアイと呼ばれる欠点部が
発生したり表面に盛り上がりやへこみができて欠点部と
なることがある。このような欠点部は、板状体の良質部
分と同様に透明または半透明であるために、目で観察し
て見分けることが困難である。また従来から、透明また
は半透明の板状体に混入した異物を検出するために光の
透過度の大小を利用する方法が用いられているが、この
ような方法では前記のような透明または半透明の欠点部
については検出不可能であったり検出の確実性にＡＦ
Ｌ＋ Ｚ Ｊ−１，Ｎ シ 朋旦百 々 召 奴
−）ン一“ このため、多面鏡てレーザ光をスキャ
ンさせるフライングスポット方式が用いられているが、
光学系が複雑となるとともに装置が高価になるという問
題点があった。
したがって本発明の目的は、不透明な異物の混入による
欠点部だけでな（、良質部分と同様に透明または半透明
の欠点部をも正確に検出可能で、かつ複雑な装置を用い
ずに安価に実施できる透明または半透明の板状体の欠点
検査方法を提供することにある。
欠点部だけでな（、良質部分と同様に透明または半透明
の欠点部をも正確に検出可能で、かつ複雑な装置を用い
ずに安価に実施できる透明または半透明の板状体の欠点
検査方法を提供することにある。
上記の問題点を解決するために本発明の欠点検査方法は
、前記のような良質部分と同材質で密度が異なる欠点部
においては光の屈折率が良質部分と異なり、また表面の
盛り上がりやへこみによる欠点部においてはレンズ作用
により光が良質部分と異なった屈折を行なうことを利用
したものであり、第１図およびｓ２図に示すように、検
出すべき欠点部の大きさよりも狭い間隔で等間隔に複数
の線を配してなる線列（１）を、検査すべき透明または
半透明の板状体（２）を介して撮像装置（３）等を用い
て観察し、前記板状体（２）の欠点部を前記線列（１）
の乱れとして検出するものである。
、前記のような良質部分と同材質で密度が異なる欠点部
においては光の屈折率が良質部分と異なり、また表面の
盛り上がりやへこみによる欠点部においてはレンズ作用
により光が良質部分と異なった屈折を行なうことを利用
したものであり、第１図およびｓ２図に示すように、検
出すべき欠点部の大きさよりも狭い間隔で等間隔に複数
の線を配してなる線列（１）を、検査すべき透明または
半透明の板状体（２）を介して撮像装置（３）等を用い
て観察し、前記板状体（２）の欠点部を前記線列（１）
の乱れとして検出するものである。
検出すべき欠点部の大きさよりも狭い間隔で等間隔に配
された前記線列（１）を、検出すべき透明または半透明
の板状体（２）を介して観察すると、第３図に示すよう
に、前記板状体（２）に良質部分と同材質で密度が異な
る欠点部（２λ）や表面の一部が盛り上がったりへこん
だりした欠点部（２ａ）が存在すると、その部分におい
ては光の屈折の仕方が他の部分と異なるので、線列（１
）が乱れて、すなわち線列の間隔、線の太さや濃淡が良
質部分と異なって観察され、それによって良質部分と欠
点部（２ａ）とを判別でき欠点部Ｃ２ａ）が検出される
。また前記板状体（２）に不透明な異物の混入による欠
点部が存在する場合には、その部分においては前記線列
（１）が観察されない。
された前記線列（１）を、検出すべき透明または半透明
の板状体（２）を介して観察すると、第３図に示すよう
に、前記板状体（２）に良質部分と同材質で密度が異な
る欠点部（２λ）や表面の一部が盛り上がったりへこん
だりした欠点部（２ａ）が存在すると、その部分におい
ては光の屈折の仕方が他の部分と異なるので、線列（１
）が乱れて、すなわち線列の間隔、線の太さや濃淡が良
質部分と異なって観察され、それによって良質部分と欠
点部（２ａ）とを判別でき欠点部Ｃ２ａ）が検出される
。また前記板状体（２）に不透明な異物の混入による欠
点部が存在する場合には、その部分においては前記線列
（１）が観察されない。
以下、本発明の実施例を図面を用いて説明する。
第４図は本発明の方法を実施するための欠点検査装置で
あり、検出すべき欠点部の大きさよりも狭い間隔で等間
隔に複数の直線を配してなる線列（１）が、直方体の基
台（４）の上面に描かれ、２次元の撮像装置（３）が支
持棒（５）を介して上下に移動可能に基台（４）に取り
付けられたものである。
あり、検出すべき欠点部の大きさよりも狭い間隔で等間
隔に複数の直線を配してなる線列（１）が、直方体の基
台（４）の上面に描かれ、２次元の撮像装置（３）が支
持棒（５）を介して上下に移動可能に基台（４）に取り
付けられたものである。
撮像装置（３）としては、ＣＯＤイメージセンサを利用
したＣＯＤカメラが用いられる。この撮像装置（３）は
、その撮像視野内に線列（１）が位置するように調整さ
れている。基台（４）には撮像装置（３）の視野の範囲
を調整したり、撮像装置（３）を上下（３）からの信号
から欠点部を判別する信号処理回路、欠点部の位置や大
きさ等を記憶する記憶回路、欠点部の位置や大きさ等を
表示するディスプレイ等が内蔵されている。
したＣＯＤカメラが用いられる。この撮像装置（３）は
、その撮像視野内に線列（１）が位置するように調整さ
れている。基台（４）には撮像装置（３）の視野の範囲
を調整したり、撮像装置（３）を上下（３）からの信号
から欠点部を判別する信号処理回路、欠点部の位置や大
きさ等を記憶する記憶回路、欠点部の位置や大きさ等を
表示するディスプレイ等が内蔵されている。
第５図は信号処理回路の構成を示すブロック図である。
αＧは信号の一定の周波数の部分だけを通すバンドパス
フィルタで、叩は半波または全波整流回路と低域フィル
タを用いて信号の包絡線に比例した電圧をとり出す包絡
線回路である。そしてα２は電圧があるしきい値よりも
高いか低いかを比較するコンパレータ回路であり、■は
出力を反転する反転回路である。
フィルタで、叩は半波または全波整流回路と低域フィル
タを用いて信号の包絡線に比例した電圧をとり出す包絡
線回路である。そしてα２は電圧があるしきい値よりも
高いか低いかを比較するコンパレータ回路であり、■は
出力を反転する反転回路である。
次にこの装置の動作について説明する。撮像装置（３）
は検査すべき透明または半透明の板状体（２）を介して
線列（１）をそれと直交する方向に水平走査する（第６
図参照）。線列（１）は等間隔に配されているので、一
定周期の規則正しいパルス板状体（２）に、良質部分と
同材質で密度が異なる欠点部（２ａ）や表面の一部が盛
り上がったりへこんだりした欠点部（２ａ）が存在する
と、その部分においては、他の部分と光の屈折の仕方が
異なるので、前記線列（１）の間隔、線の太さや濃淡が
変化したものが撮像され、周期やパルス幅等が前記の規
則正しいパルス信号とは異なる信号が現われる（第７図
０の（傾〜■参照）。信号処理回路において前記パルス
信号は、まずバンドパスフィルタ（１１］ｌに通され、
規則信号と同一の周波数を有する信号部分以外がカット
され、′Ｍ７図の■のような波形になる。次にこの信号
は包絡線回路αＤによって包絡線に比偲すと電圧に変換
され（第７図の■）、さらにコンパレータ回路（２）に
よってしきい値ＴＨより高いか低いかが比較され、第７
図の■の波形になる。そして反転回路（１３１によって
反転され検出信号とされる（第７図の■）。
は検査すべき透明または半透明の板状体（２）を介して
線列（１）をそれと直交する方向に水平走査する（第６
図参照）。線列（１）は等間隔に配されているので、一
定周期の規則正しいパルス板状体（２）に、良質部分と
同材質で密度が異なる欠点部（２ａ）や表面の一部が盛
り上がったりへこんだりした欠点部（２ａ）が存在する
と、その部分においては、他の部分と光の屈折の仕方が
異なるので、前記線列（１）の間隔、線の太さや濃淡が
変化したものが撮像され、周期やパルス幅等が前記の規
則正しいパルス信号とは異なる信号が現われる（第７図
０の（傾〜■参照）。信号処理回路において前記パルス
信号は、まずバンドパスフィルタ（１１］ｌに通され、
規則信号と同一の周波数を有する信号部分以外がカット
され、′Ｍ７図の■のような波形になる。次にこの信号
は包絡線回路αＤによって包絡線に比偲すと電圧に変換
され（第７図の■）、さらにコンパレータ回路（２）に
よってしきい値ＴＨより高いか低いかが比較され、第７
図の■の波形になる。そして反転回路（１３１によって
反転され検出信号とされる（第７図の■）。
一回の水平走査が終ると、それに垂直な方向へ所定距離
だけずらして同様に水平走査が行なわれる。これが第６
図の工〜■のように順次繰り返されて所要範囲が２次元
に走査され、欠点部（２ａ）の有無やその大きさが検査
される。
だけずらして同様に水平走査が行なわれる。これが第６
図の工〜■のように順次繰り返されて所要範囲が２次元
に走査され、欠点部（２ａ）の有無やその大きさが検査
される。
また、前記板状体（２）に不透明な欠点部が存在すると
、その部分においては線列（１）が撮像されず、この線
列（１）に対応する信号が現われないので、信号の規則
性が乱れて、前記と同様に検出信号が得られる。
、その部分においては線列（１）が撮像されず、この線
列（１）に対応する信号が現われないので、信号の規則
性が乱れて、前記と同様に検出信号が得られる。
なお、撮像装置（３）としては、ＣＯＤカメラのほかに
、ＭＯ８形イメージセンサ等の固体撮像デバイスや撮像
管を用いたカメラが使用される。
、ＭＯ８形イメージセンサ等の固体撮像デバイスや撮像
管を用いたカメラが使用される。
また、上記の実施例のような２次元の撮像装置（３）を
用いずに′ｓ８図に示すようにラインセンサであるＣＣ
ＤやＭＯ５Ｏ５形−ジセンサを用いた一次元撮像装置（
６）を使用し、検査対象となる透明または半透明の板状
体（２）を介して、線列（１）をそれと直交する方向に
走査し、搬送装置（７）を用いて板状体（２）を線列（
１）に沿う方向に移動させることによって、板状体（２
）の所要範囲を２次元に走査するようにしてもよい。第
８図において、（６ａ）は撮像装置（６）を使用するた
めに必要な照度を供給する光源で、（７ａ）は搬送装置
（力の駆動用モータ、（７ｂ）は搬送用ベルトである。
用いずに′ｓ８図に示すようにラインセンサであるＣＣ
ＤやＭＯ５Ｏ５形−ジセンサを用いた一次元撮像装置（
６）を使用し、検査対象となる透明または半透明の板状
体（２）を介して、線列（１）をそれと直交する方向に
走査し、搬送装置（７）を用いて板状体（２）を線列（
１）に沿う方向に移動させることによって、板状体（２
）の所要範囲を２次元に走査するようにしてもよい。第
８図において、（６ａ）は撮像装置（６）を使用するた
めに必要な照度を供給する光源で、（７ａ）は搬送装置
（力の駆動用モータ、（７ｂ）は搬送用ベルトである。
そして（９）は撮像装置（６）の出力信号から欠点部の
検出信号を得るための処理装置である。
検出信号を得るための処理装置である。
なお、本発明の検出方法によると、線列（１）の間隔に
よって欠点部（２１）の検出分解能が決まる ・ので
、線列（１）の間隔を変えることによって検出できる欠
点部（カ）の大きさを容易に選択することができる。
よって欠点部（２１）の検出分解能が決まる ・ので
、線列（１）の間隔を変えることによって検出できる欠
点部（カ）の大きさを容易に選択することができる。
本発明の欠点検査方法は、撮像装置を用いずに検査対象
となる板状体（２）を介して線列（１）を目視する場合
も含まれる。
となる板状体（２）を介して線列（１）を目視する場合
も含まれる。
以上詳述したように、本発明の欠点検査方法は光の透過
度の大小ではなく光の屈折の違いを利用しているので、
不透明な異物の混入による欠点部だけでなく、良質部分
と同材質で密度が異なる欠点部や表面の一部が盛り上が
ったりへこんだりした欠点部等の透明または半透明の欠
点部をも確実に検出できる。しかも、検査の対象となる
透明または半透明の板状体を介して線列を観察するだけ
で、板状体の欠点部を容易にかつ簡単な装置で安価に実
施できる。
度の大小ではなく光の屈折の違いを利用しているので、
不透明な異物の混入による欠点部だけでなく、良質部分
と同材質で密度が異なる欠点部や表面の一部が盛り上が
ったりへこんだりした欠点部等の透明または半透明の欠
点部をも確実に検出できる。しかも、検査の対象となる
透明または半透明の板状体を介して線列を観察するだけ
で、板状体の欠点部を容易にかつ簡単な装置で安価に実
施できる。
第１図は本発明の欠点検査方法を示す斜視図、第２図は
同方法を示す正面図、 第３図は本発明の方法の原理を示す平面図、第４図は本
発明の方法を実施するための装置の一例を示す斜視図、 第５図は同装置の信号処理回路の構成を示す第６図は撮
像装置による板状体の走査を示す平面図、 第７図は第６図の各部に対応する撮像装置からの信号お
よび第５図に対応する各部の信号を示す動作特性図、 第８図は本発明の方法を実施するための装置の他の例を
示す斜視図である。 符号の説明 （１） ・・・・・・・・・ 線列、（２） ・・
・・・・・・・ 透明または半透明の板状体、（２ａ）
・・・・・・・・・ 欠点部、（３１ｆ６１・・・・・
・・・・ 撮像装置。
同方法を示す正面図、 第３図は本発明の方法の原理を示す平面図、第４図は本
発明の方法を実施するための装置の一例を示す斜視図、 第５図は同装置の信号処理回路の構成を示す第６図は撮
像装置による板状体の走査を示す平面図、 第７図は第６図の各部に対応する撮像装置からの信号お
よび第５図に対応する各部の信号を示す動作特性図、 第８図は本発明の方法を実施するための装置の他の例を
示す斜視図である。 符号の説明 （１） ・・・・・・・・・ 線列、（２） ・・
・・・・・・・ 透明または半透明の板状体、（２ａ）
・・・・・・・・・ 欠点部、（３１ｆ６１・・・・・
・・・・ 撮像装置。
Claims (1)
- １、透明または半透明の板状体を検査して欠点部を検出
する検査方法において、検出すべき欠点部の大きさより
も狭い間隔で等間隔に複数の線を配してなる線列を、検
査すべき透明または半透明の板状体を介して観察し、前
記板状体の欠点部を前記線列の乱れとして検出すること
を特徴とする透明または半透明の板状体の欠点検査方法
。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1815185A JPS61176838A (ja) | 1985-01-31 | 1985-01-31 | 透明または半透明の板状体の欠点検査方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1815185A JPS61176838A (ja) | 1985-01-31 | 1985-01-31 | 透明または半透明の板状体の欠点検査方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS61176838A true JPS61176838A (ja) | 1986-08-08 |
| JPH0511573B2 JPH0511573B2 (ja) | 1993-02-15 |
Family
ID=11963609
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1815185A Granted JPS61176838A (ja) | 1985-01-31 | 1985-01-31 | 透明または半透明の板状体の欠点検査方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS61176838A (ja) |
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH04143641A (ja) * | 1990-10-04 | 1992-05-18 | Mitsui Toatsu Chem Inc | プラスチックフィルムのシースルー特性の測定方法 |
| US5452079A (en) * | 1992-06-26 | 1995-09-19 | Central Glass Company, Limited | Method of and apparatus for detecting defect of transparent sheet as sheet glass |
| US5691811A (en) * | 1995-02-10 | 1997-11-25 | Central Glass Company, Limited | Method of and apparatus for detecting defect of transparent sheet as sheet glass |
| JP2001124513A (ja) * | 1999-10-25 | 2001-05-11 | Totani Corp | プラスチックフィルムのヒートシール位置検出装置 |
| JP2006322872A (ja) * | 2005-05-20 | 2006-11-30 | Toppan Printing Co Ltd | 塗布ムラ検査方法及びそのプログラム |
| WO2010117004A1 (ja) * | 2009-04-09 | 2010-10-14 | 旭硝子株式会社 | 光透過性板状物のリーム検出方法 |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP4108829B2 (ja) * | 1998-07-02 | 2008-06-25 | 東芝ソリューション株式会社 | 厚み欠陥検査装置及びその検査方法 |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS48102653A (ja) * | 1972-04-10 | 1973-12-24 |
-
1985
- 1985-01-31 JP JP1815185A patent/JPS61176838A/ja active Granted
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS48102653A (ja) * | 1972-04-10 | 1973-12-24 |
Cited By (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH04143641A (ja) * | 1990-10-04 | 1992-05-18 | Mitsui Toatsu Chem Inc | プラスチックフィルムのシースルー特性の測定方法 |
| US5452079A (en) * | 1992-06-26 | 1995-09-19 | Central Glass Company, Limited | Method of and apparatus for detecting defect of transparent sheet as sheet glass |
| US5691811A (en) * | 1995-02-10 | 1997-11-25 | Central Glass Company, Limited | Method of and apparatus for detecting defect of transparent sheet as sheet glass |
| JP2001124513A (ja) * | 1999-10-25 | 2001-05-11 | Totani Corp | プラスチックフィルムのヒートシール位置検出装置 |
| JP2006322872A (ja) * | 2005-05-20 | 2006-11-30 | Toppan Printing Co Ltd | 塗布ムラ検査方法及びそのプログラム |
| JP4650096B2 (ja) * | 2005-05-20 | 2011-03-16 | 凸版印刷株式会社 | 塗布ムラ検査方法及びそのプログラム |
| WO2010117004A1 (ja) * | 2009-04-09 | 2010-10-14 | 旭硝子株式会社 | 光透過性板状物のリーム検出方法 |
| CN102334025A (zh) * | 2009-04-09 | 2012-01-25 | 旭硝子株式会社 | 透光性板状物的拉引线道检测方法 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0511573B2 (ja) | 1993-02-15 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP2795595B2 (ja) | 透明板状体の欠点検出方法 | |
| US4223346A (en) | Automatic defect detecting inspection apparatus | |
| JP3178644B2 (ja) | 透明板状体の欠点検出方法 | |
| US5355213A (en) | Inspection system for detecting surface flaws | |
| KR850000855B1 (ko) | 흠(hurt)검사 장치 | |
| US5118195A (en) | Area scan camera system for detecting streaks and scratches | |
| JPH08278257A (ja) | 移動体検査方法 | |
| JPH03267745A (ja) | 表面性状検出方法 | |
| JPS62138740A (ja) | シ−ト面の欠陥検出方法 | |
| JPH04220551A (ja) | 透明物体の欠陥検査方法とその装置 | |
| JP2008014848A (ja) | 表面検査方法及び表面検査装置 | |
| JP3105702B2 (ja) | 光学式欠陥検査装置 | |
| KR20050035243A (ko) | 광학적 측정 방법 및 그 장치 | |
| JPS61176838A (ja) | 透明または半透明の板状体の欠点検査方法 | |
| JPH0511574B2 (ja) | ||
| US8547547B2 (en) | Optical surface defect inspection apparatus and optical surface defect inspection method | |
| JPH10185830A (ja) | 透明シート検査装置 | |
| JPH11248643A (ja) | 透明フィルムの異物検査装置 | |
| JPH061168B2 (ja) | 形状不良検出装置 | |
| JPH01214743A (ja) | 光学検査装置 | |
| JP3288103B2 (ja) | シート状物の欠陥検査装置 | |
| Asundi et al. | Automated visual inspection of moving objects | |
| JPS61181948A (ja) | 透明または半透明の板状体の欠点検査方法 | |
| JPH09218162A (ja) | 表面欠陥検査装置 | |
| JPH06174653A (ja) | 欠陥検査装置 |