JP2013501211A - 基板の欠陥を検出及び分類する方法及びシステム - Google Patents
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Abstract
Description
本発明の第1実施例は、基板の欠陥を検出及び分類する技術を提供する。
当業者は、上述の第1実施例においては、画像処理モジュール250が、画像構築モジュール240によって構築された画像T1及びT2を処理し、基板260が欠陥を具備しているかどうかを判定しているが、本発明は、これに限定されないことを理解するであろう。本発明のその他のいくつかの実施例においては、画像処理モジュール250の代わりに、その他のモジュールを使用することにより、基板260が欠陥を具備しているかどうかを判定可能である。その場合には、画像処理モジュール250は、基板260が欠陥Qを具備していると判定された際にのみ、欠陥Qが画像T1及びT2内に出現する位置の関係に基づいて、欠陥Qが基板260上に位置しているのか又は基板260の内部に位置しているのかを検出するべく構成される。
本発明の第2実施例は、基板の欠陥を検出及び分類する技術を提供する。
当業者は、上述の第2実施例においては、基板360が欠陥を具備しているかどうかを判定するべく、画像構築モジュール340によって構築される画像TT1及びTT2を画像処理モジュールが処理しているが、本発明は、これに限定されないことを理解するであろう。本発明のその他のいくつかの実施例においては、画像処理モジュール350の代わりに、その他のモジュールを使用し、基板360が欠陥を具備しているかどうかを判定可能である。この場合には、画像処理モジュール350は、基板360が欠陥Qを具備していると判定された際にのみ、欠陥Qが画像TT1及びTT2内に出現する位置の関係に基づいて、欠陥Qが基板369上に位置しているのか又は基板360の内部に位置しているのかを判定するべく構成される。
当業者は、上述の第1及び第2実施例及びその変形においては、基板の欠陥を検出及び分類するシステムは、2つのチャネルのみを含んでいるが、本発明は、これに限定されないことを理解するであろう。
当業者であれば、上述の第3実施例においては、第6チャネルTD2が、第2照明ユニットZD2、第2反射器FJ2、及び第2撮像ユニットCD2を含む場合に、第2照明ユニットZD2は、基板JBの1つの表面B1の外側に配置されているが、本発明は、これに限定されないことを理解するであろう。本発明のその他のいくつかの実施例においては、第6チャネルTD2が、第2照明ユニットZD2、第2反射器FJ2、及び第2撮像ユニットCD2を含む場合に、第2照明ユニットZD2を基板JBの表面B2の外側に配置することも可能である。
Claims (50)
- 基板の欠陥を検出及び分類するシステムであって、
光を透明又は半透明の基板に照射するべく適合された第1照明ユニットと、第1照明ユニットが光を基板に照射した際に基板からの光を検知することによって画像を取得するべく適合された第1撮像ユニットと、を含む第1チャネルと、
光を基板に照射するべく適合された第2照明ユニットと、第2照明ユニットが光を基板に照射した際に基板からの光を検知することによって画像を取得するべく適合された第2撮像ユニットと、を含む第2チャネルと、
それぞれ、第1撮像ユニットによって取得された画像及び第2撮像ユニットによって取得された画像を使用することによって基板の2つの画像を構築するべく適合された画像構築モジュールと、
基板が欠陥を具備している際に、基板の欠陥が基板の2つの画像内に出現する位置の関係に基づいて、欠陥が基板上の欠陥であるのか又は基板の内部の欠陥であるのかを検出するべく適合された画像処理モジュールと、
を有するシステム。 - 第1照明ユニット及び第2照明ユニットは、基板の1つの表面の外側に配置されており、
第1撮像ユニット及び第2撮像ユニットは、基板の別の反対側の表面の外側に配置され、第1撮像ユニット及び第2撮像ユニットの光軸の夾角はゼロを上回っている請求項1に記載のシステム。 - 第1撮像ユニットは、第1照明ユニットによって基板に照射されると共に基板を通じて透過した光を検知することにより、或いは、第1照明ユニットによって照射された光の基板による散乱から導出される光を検知することにより、画像を取得するべく適合されており、第2撮像ユニットは、第2照明ユニットによって基板に照射されると共に基板を通じて透過した光を検知することにより、或いは、第2照明ユニットによって照射された光の基板による散乱から導出される光を検知することにより、画像を取得するべく適合されており、
第1照明ユニット及び第2照明ユニットは、1つの且つ同一の照明ユニットである請求項2に記載のシステム。 - 第1チャネルは、第1偏光方向を具備する第1偏光コンポーネントと、第1偏光方向と直交する第2偏光方向を具備する第2偏光コンポーネントと、を更に含み、第1偏光コンポーネントは、第1照明ユニットと基板の間に配置され、且つ、第2偏光コンポーネントは、基板と第1撮像ユニットの間に配置され、
第1撮像ユニットは、第1照明ユニットによって照射されると共に、第1偏光コンポーネント、基板、及び第2偏光コンポーネントを通じて透過した光を検知することにより、或いは、第1照明ユニットによって照射されると共に第1偏光コンポーネントを通じて透過した光の基板による散乱から導出された後に第2偏光コンポーネントを通じて透過した光を検知することにより、画像を取得するべく適合されており、
第2撮像ユニットは、第2照明ユニットによって基板に照射されると共に基板を通じて透過した光を検知することにより、或いは、第2照明ユニットによって照射された光の基板による散乱から導出された光を検知することにより、画像を取得するべく適合されている請求項2に記載のシステム。 - 第1チャネルは、第1偏光方向を具備する第1偏光コンポーネントと、第1偏光方向と直交する第2偏光方向を具備する第2偏光コンポーネントと、を更に含み、第1偏光コンポーネントは、第1照明ユニットと基板の間に配置され、且つ、第2偏光コンポーネントは、基板と第1撮像ユニットの間に配置され、
第2チャネルは、第1偏光方向を具備する第3偏光コンポーネントと、第2偏光方向を具備する第4偏光コンポーネントと、を更に含み、第3偏光コンポーネントは、第2照明ユニットと基板の間に配置され、且つ、第4偏光コンポーネントは、基板と第2撮像ユニットの間に配置され、
第1撮像ユニットは、第1照明ユニットによって照射される共に、第1偏光コンポーネント、基板、及び第2偏光コンポーネントを通じて透過した光を検知することにより、或いは、第1照明ユニットによって照射されると共に第1偏光コンポーネントを通じて透過した光の基板による散乱から導出された後に第2偏光コンポーネントを通じて透過した光を検知することにより、画像を取得するべく適合されており、
第2撮像ユニットは、第2照明ユニットによって照射されると共に、第3偏光コンポーネント、基板、及び第4偏光コンポーネントを通じて透過した光を検知することにより、或いは、第2照明ユニットによって照射されると共に第3偏光コンポーネントを通じて透過した光の基板による散乱から導出された後に第4偏光コンポーネントを通じて透過した光を検知することにより、画像を取得するべく適合されている請求項2に記載のシステム。 - 第1チャネルは、第1反射器を更に含み、
第1反射器は、基板の1つの表面の別の反対側の表面の外側に配置され、且つ、基板からの且つ第1反射器に進入する光を反射するべく適合されており、
第1撮像ユニット及び第2撮像ユニットは、基板の別の反対側の表面の外側に配置されており、第1撮像ユニットは、第1反射器によって反射された光を検知することによって画像を取得するべく適合されており、且つ、第2撮像ユニットは、基板からの光を検知することによって画像を取得するべく適合されており、
第1撮像ユニット及び第2撮像ユニットは、1つの且つ同一の撮像ユニットであり、第1撮像ユニットによって取得される画像及び第2撮像ユニットによって取得される画像は、1つの且つ同一の撮像ユニット内において互いに分離されている請求項1に記載のシステム。 - 第1照明ユニット及び第2照明ユニットは、基板の1つの表面の外側に配置されており、
第1反射器は、第1照明ユニットによって基板に照射され、基板を通じて透過すると共に、第1反射器に進入した光を反射するべく、又は第1照明ユニットによって照射された光の基板による散乱から導出された後に第1反射器に進入した光を反射するべく、適合されており、
第2撮像ユニットは、第2照明ユニットによって照射されると共に基板を通じて透過した光を検知することにより、或いは、第2照明ユニットによって照射された光の基板による散乱から導出された光を検知することにより、画像を取得し、且つ、
第1照明ユニット及び第2照明ユニットは、1つの且つ同一の照明ユニットである請求項6に記載のシステム。 - 第1照明ユニット及び第2照明ユニットは、基板の1つの表面の外側に配置されており、
第1チャネルは、第1偏光方向を具備する第1偏光コンポーネントと、第1偏光方向と直交する第2偏光方向を具備する第2偏光コンポーネントと、を更に含み、第1偏光コンポーネントは、第1照明ユニットと基板の間に配置され、且つ、第2偏光コンポーネントは、第1反射器と第1撮像ユニットの間に配置され、
第1反射器は、第1照明ユニットによって照射され、第1偏光コンポーネント及び基板を通じて透過すると共に、第1反射器に進入した光を反射するべく、又は第1照明ユニットによって照射されると共に第1偏光コンポーネントを通じて透過した光の基板による散乱から導出された後に第1反射器に進入した光を反射するべく、適合されており、
第1撮像ユニットは、第1反射器によって反射されると共に第2偏光コンポーネントを通じて透過した光を検知することによって画像を取得するべく適合されており、且つ、
第2撮像ユニットは、第2照明ユニットによって基板に照射されると共に基板を通じて透過した光を検知することにより、或いは、第2照明ユニットによって照射された光の基板による散乱から導出された光を検知することにより、画像を取得するべく適合されている請求項6に記載のシステム。 - 第1照明ユニット及び第2照明ユニットは、基板の1つの表面の外側に配置されており、
第1チャネルは、第1偏光方向を具備する第1偏光コンポーネントと、第1偏光方向と直交する第2偏光方向を具備する第2偏光コンポーネントと、を更に含み、第1偏光コンポーネントは、第1照明ユニットと基板との間に配置され、且つ、第2偏光コンポーネントは、第1反射器と第1撮像ユニットとの間に配置され、
第2チャネルは、第1偏光方向を具備する第3偏光コンポーネントと、第2偏光方向を具備する第4偏光コンポーネントと、を更に含み、第3偏光コンポーネントは、第2照明ユニットと基板との間に配置され、且つ、第4偏光コンポーネントは、基板と第2撮像ユニットとの間に配置され、
第1反射器は、第1照明ユニットによって照射され、第1偏光コンポーネント及び基板を通じて透過すると共に、第1反射器に進入した光を反射するべく、又は第1照明ユニットによって照射されると共に第1偏光コンポーネントを通じて透過した光の基板による散乱から導出された後に第1反射器に進入した光を反射するべく、適合されており、
第1撮像ユニットは、第1反射器によって反射されると共に第2偏光コンポーネントを通じて透過した光を検知することによって画像を取得するべく適合されており、且つ、
第2撮像ユニットは、第2照明ユニットによって照射されると共に、第3偏光コンポーネント、基板、及び第4偏光コンポーネントを通じて透過した光を検知することにより、又は第2照明ユニットによって照射されると共に第1偏光コンポーネントを通じて透過した光の基板による散乱から導出された後に第4コンポーネントを通じて透過した光を検知することにより、画像を取得するべく適合されている請求項6に記載のシステム。 - 第1照明ユニットは、基板の別の反対側の表面の外側に配置され、且つ、第2照明ユニットは、基板の1つの表面の外側に配置されており、
第1反射器は、第1照明ユニットによって照射された光の基板による散乱から導出された後に第1反射器に進入した光を反射するべく適合されており、
第2撮像ユニットは、第2照明ユニットによって基板に照射されると共に基板を通じて透過した光を検知することにより、或いは、第2照明ユニットによって照射された光の基板による散乱から導出された光を検知することにより、画像を取得するべく適合されている請求項6に記載のシステム。 - 第1照明ユニットは、基板の別の反対側の表面の外側に配置され、且つ、第2照明ユニットは、基板の1つの表面の外側に配置されており、
第2チャネルは、第1偏光方向を具備する第3偏光コンポーネントと、第1偏光方向と直交する第2偏光方向を具備する第4偏光コンポーネントと、更に含み、第3偏光コンポーネントは、第2照明ユニットと基板の間に配置され、且つ、第4偏光コンポーネントは、基板と第2撮像ユニットの間に配置され、
第1反射器は、第1照明ユニットによって照射された光の基板による散乱から導出された後に第1反射器に進入した光を反射するべく適合されており、
第1撮像ユニットは、第1反射器によって反射された光を検知することによって画像を取得するべく適合されており、
第2撮像ユニットは、第2照明ユニットによって照射されると共に、第3偏光コンポーネント、基板、及び第4偏光コンポーネントを通じて透過した光を検知することにより、或いは、第2照明ユニットによって照射されると共に第1偏光コンポーネントを通じて透過した光の基板による散乱から導出された後に第4偏光コンポーネントを通じて透過した光を検知することにより、画像を取得するべく適合されている請求項6に記載のシステム。 - 第1チャネルは、第1反射器を更に有し、第1反射器は、基板の1つの表面の別の反対側の表面の外側に配置され、且つ、基板からの且つ第1反射器に進入する光を反射するべく適合されており、
第2チャネルは、第2反射器を更に含み、第2反射器は、基板の別の反対側の表面の外側に配置され、且つ、基板からの且つ第2反射器に進入した光を反射するべく適合されており、
第1撮像ユニット及び第2撮像ユニットは、基板の別の反対側の表面の外側に配置されており、第1撮像ユニットは、第1反射器によって反射された光を検知することによって第1画像を取得するべく適合されており、且つ、第2撮像ユニットは、第2反射器によって反射された光を検知することによって第2画像を取得するべく適合されており、且つ、
第1撮像ユニット及び第2撮像ユニットは、1つの且つ同一の撮像ユニットであり、第1画像及び第2画像は、1つの且つ同一の撮像ユニット内において互いに分離されている請求項1に記載のシステム。 - 第1照明ユニット及び第2照明ユニットは、基板の1つの表面の外側に配置されており、
第1反射器は、第1照明ユニットによって基板に照射され、基板を通じて透過すると共に、第1反射器に進入した光を反射するべく、又は第1照明ユニットによって照射された光の基板による散乱から導出された後に第1反射器に進入した光を反射するべく、適合されており、且つ、
第2反射器は、第2照明ユニットによって基板に照射され、基板を通じて透過すると共に、第2反射器に進入した光を反射するべく、又は第2照明ユニットによって照射された光の基板による散乱から導出された後に第2反射器に進入した光を反射するべく、適合されている請求項12に記載のシステム。 - 第1照明ユニット及び第2照明ユニットは、基板の別の反対側の表面の外側に配置されており、
第1反射器は、第1照明ユニットによって照射された光の基板による散乱から導出された後に第1反射器に進入した光を反射するべく適合されており、
第2反射器は、第2照明ユニットによって照射された光の基板による散乱から導出された後に第2反射器に進入した光を反射するべく適合されている請求項12に記載のシステム。 - 第1照明ユニット及び第2照明ユニットは、1つの且つ同一の照明ユニットである請求項13又は14に記載のシステム。
- 第1照明ユニット及び第2照明ユニットは、基板の1つの表面の外側に配置されており、
第1チャネルは、第1偏光方向を具備する第1偏光コンポーネントと、第1偏光方向と直交する第2偏光方向を具備する第2偏光コンポーネントと、を更に含み、第1偏光コンポーネントは、第1照明ユニットと基板の間に配置され、且つ、第2偏光コンポーネントは、第1反射器と1つの且つ同一の撮像ユニットの間に配置されており、
第1反射器は、第1照明ユニットによって照射され、第1偏光コンポーネント及び基板を通じて透過すると共に、第1反射器に進入した光を反射するべく、又は第1照明ユニットによって照射されると共に第1偏光コンポーネントを通じて透過した光の基板による散乱から導出された後に第1反射器に進入した光を反射するべく、適合されており、
1つの且つ同一の撮像ユニットは、第1反射器によって反射されると共に第2偏光コンポーネントを通じて透過した光を検知することによって第1画像を取得するべく適合されており、且つ、
1つの且つ同一の撮像ユニットは、第2照明ユニットによって基板に照射されると共に基板を通じて透過した光を検知することにより、或いは、第2照明ユニットによって照射された光の基板による散乱から導出される光を検知することにより、第2画像を取得するべく更に適合されている請求項12に記載のシステム。 - 第1照明ユニット及び第2照明ユニットは、基板の1つの表面の外側に配置されており、
第1チャネルは、第1偏光方向を具備する第1偏光コンポーネントと、第1偏光方向と直交する第2偏光方向を具備する第2偏光コンポーネントと、を更に含み、第1偏光コンポーネントは、第1照明ユニットと基板の間に配置され、且つ、第2偏光コンポーネントは、第1反射器と1つの且つ同一の撮像ユニットの間に配置され、
第2チャネルは、第1偏光方向を具備する第3偏光コンポーネントと、第2偏光方向を具備する第4偏光コンポーネントと、を更に含み、第3偏光コンポーネントは、第2照明ユニットと基板の間に配置され、且つ、第4偏光コンポーネントは、第2反射器と1つの且つ同一の撮像ユニットの間に配置され、
第1反射器は、第1照明ユニットによって照射され、第1偏光コンポーネント及び基板を通じて透過すると共に、第1反射器に進入した光を反射するべく、又は第1照明ユニットによって照射されると共に第1偏光コンポーネントを通じて透過した光の基板による散乱から導出された後に第1反射器に進入した光を反射するべく、適合されており、
1つの且つ同一の撮像ユニットは、第1反射器によって反射されると共に第2偏光コンポーネントを通じて透過した光を検知することによって第1画像を取得するべく適合されており、
第2反射器は、第2照明ユニットによって照射され、第3偏光コンポーネント及び基板を通じて透過すると共に、第2反射器に進入した光を反射するべく、又は第2照明ユニットによって照射されると共に第3偏光コンポーネントを通じて透過した光の基板による散乱から導出された後に第2反射器に進入した光を反射するべく、適合されており、
1つの且つ同一の撮像ユニットは、第2反射器によって反射されると共に第4偏光コンポーネントを通じて透過した光を検知することによって第2画像を取得するべく適合されている請求項12に記載のシステム。 - 画像処理モジュールは、欠陥が2つの画像内に出現する位置が同一であるか、又は位置の間のオフセットが最大オフセットに等しい際に、欠陥が基板上の欠陥であると検出するべく更に適合されており、最大オフセットは、基板の1つの表面上に位置した欠陥が2つの画像内に出現する位置の間のオフセットに等しい請求項1に記載のシステム。
- 画像処理モジュールは、欠陥が2つの画像内に出現する位置が同一でなく、且つ、位置の間のオフセットが最大オフセットを下回っている際に、欠陥が基板の内部の欠陥であると検出するべく更に適合されており、最大オフセットは、基板の1つ表面上に位置した欠陥が2つの画像内に出現する位置の間のオフセットに等しい請求項1に記載のシステム。
- 第1撮像ユニット及び第2撮像ユニットは、予め規定された時間間隔において、同時に又は既定の期間を隔てて、基板からの光を検知することによって画像を取得するべく更に適合されている請求項1に記載のシステム。
- 第1撮像ユニット及び第2撮像ユニットのそれぞれのものは、2次元撮像ユニットであり、
画像構築モジュールは、第1撮像ユニット及び/又は第2撮像ユニットによって取得された画像が圧縮変形を具備している際に、第1撮像ユニット及び/又は第2撮像ユニットによって取得された画像を伸長させ、且つ、第1撮像ユニット及び/又は第2撮像ユニットによって取得された画像を伸長させた後に、それぞれ、第1撮像ユニットによって取得された画像及び第2撮像ユニットによって取得された画像を使用することによって基板の2つの画像を構築するべく、更に適合されている請求項1に記載のシステム。 - 基板の欠陥を検出及び分類するシステムであって、
第1照明ユニット及び第1撮像ユニットを含む第1チャネルであって、第1照明ユニットは、光を透明又は半透明基板に照射するべく適合されており、且つ、第1撮像ユニットは、基板の1つの表面の別の反対側の表面の外側に配置され、且つ、第1照明ユニットが光を基板に照射した際に基板からの光を検知することによって画像を取得するべく適合されている、第1チャネルと、
第2照明ユニット及び第2撮像ユニットを含む第2チャネルであって、第2照明ユニットは、光を基板に照射するべく適合されており、且つ、第2撮像ユニットは、基板の別の反対側の表面の外側に配置され、且つ、第2照明ユニットが光を基板に照射した際に基板からの光を検知することによって画像を取得するべく適合されている、第2チャネルと、
第3照明ユニット及び第3撮像ユニットを含む第3チャネルであって、第3照明ユニットは、光を基板に照射するべく適合されており、且つ、第3撮像ユニットは、基板の別の反対側の表面の外側に配置され、且つ、第3照明ユニットが光を基板に照射した際に基板からの光を検知することによって画像を取得するべく適合されている、第3チャネルと、
それぞれ、第1撮像ユニットによって取得された画像、第2撮像ユニットによって取得された画像、及び第3撮像ユニットによって取得された画像を使用することによって基板の3つの画像を構築するべく適合された画像構築モジュールと、
基板の3つの画像に対して画像処理を実行することによって基板の欠陥を検出し、基板が、それぞれ、第1撮像ユニットによって取得された画像及び第2撮像ユニットによって取得された画像によって構築された基板の2つの画像内に出現する位置の関係に基づいて、欠陥が基板上の欠陥であるのか又は基板の内部の欠陥であるのかを検出し、且つ、欠陥が基板の3つの画像上に出現する異なる特徴及び欠陥が基板上の欠陥であるのか又は基板の内部の欠陥であるのかに基づいて、欠陥を分類するべく、適合された画像処理モジュールと、
を有するシステム。 - 第1照明ユニットは、基板の1つの表面の外側に配置されており、且つ、第1撮像ユニットは、第1照明ユニットによって照射されると共に基板を通じて透過した光を検知することによって画像を取得するべく適合されており、
第2照明ユニットは、基板の1つの表面の外側に配置されており、且つ、第2撮像ユニットは、第2照明ユニットによって照射されると共に基板を通じて透過した光を検知することによって画像を取得するべく適合されており、
第3撮像ユニットは、第3照明ユニットによって照射された光の基板による散乱から導出された光を検知することによって画像を取得するべく適合されている請求項22に記載のシステム。 - 第3照明ユニットは、基板の1つの表面の外側に配置される請求項23に記載のシステム。
- 第3チャネルは、第3反射器を更に含み、第3照明ユニットは、基板の別の反対側の表面の外側に配置されており、第3反射器は、基板の別の反対側の表面の外側に配置され、且つ、第3照明ユニットによって照射された光の基板による散乱から導出された後に第3反射器に進入した光を反射するべく適合されており、且つ、第3撮像ユニットは、第3反射器によって反射された光を検知することによって画像を取得するべく適合されている請求項23に記載のシステム。
- 第1チャネルは、第1反射器を更に含み、第1反射器は、基板の別の反対側の表面の外側に配置され、且つ、第3照明ユニットによって照射され、基板を通じて透過すると共に、第1反射器に進入した光を反射するべく適合されており、且つ、第1撮像ユニットは、第1反射器によって反射された光を検知することによって画像を取得するべく適合されている請求項23に記載のシステム。
- 第3照明ユニットは、基板の1つの表面の外側に配置されており、且つ、第3撮像ユニットは、第3照明ユニットによって照射されると共に基板を通じて透過した光を検知することによって画像を取得するべく適合されており、
第1撮像ユニットは、第1照明ユニットによって照射された光の基板による散乱から導出された光を検知することによって画像を取得するべく適合されており、
第2撮像ユニットは、第2照明ユニットによって照射された光の基板による散乱から導出された光を検知することによって画像を取得するべく適合されている請求項22に記載のシステム。 - 第1照明ユニット及び第2照明ユニットは、基板の1つの表面の外側に配置される請求項27に記載のシステム。
- 第1照明ユニットは、基板の1つの表面の外側に配置されており、
第2チャネルは、第2反射器にを更に含み、第2照明ユニットは、基板の別の反対側の表面の外側に配置され、第2反射器は、基板の別の反対側の表面の外側に配置され、且つ、第2照明ユニットによって照射された光の基板による散乱から導出された後に第2反射器に進入した光を反射するべく適合されており、且つ、第2撮像ユニットは、第2反射器によって反射された光を検知することによって画像を取得するべく適合されている請求項27に記載のシステム。 - 第3チャネルは、第3反射器を更に含み、第3反射器は、基板の別の反対側の表面の外側に配置され、且つ、第2照明ユニットによって照射され、基板を通じて透過すると共に、第3反射器に進入した光を反射するべく適合されており、且つ、第3撮像ユニットは、第3反射器によって反射された光を検知することによって画像を取得するべく適合されている請求項27に記載のシステム。
- 第1照明ユニットは、基板の1つの表面の外側に配置されており、且つ、第1撮像ユニットは、第1照明ユニットによって照射されると共に基板を通じて透過した光を検知することによって画像を取得するべく適合されており、
第2照明ユニットは、基板の1つの表面の外側に配置されており、且つ、第2撮像ユニットは、第2照明ユニットによって照射されると共に基板を通じて透過した光を検知することによって画像を取得するべく適合されており、且つ、
第3チャネルは、第1偏光方向を具備する第5偏光コンポーネントと、第1偏光方向と直交する第2偏光方向を具備する第6偏光コンポーネントと、を更に含み、第3照明ユニットは、基板の1つの表面の外側に配置され、且つ、第5偏光コンポーネントは、第3照明ユニットと基板の間に配置され、第6偏光コンポーネントは、基板と第3撮像ユニットの間に配置され、且つ、第3撮像ユニットは、第3照明ユニットによって照射されると共に、第5偏光コンポーネント、基板、及び第6偏光コンポーネントを通じて透過した光を検知することにより、或いは、第3照明ユニットによって照射されると共に第5偏光コンポーネントを通じて透過した光の基板による散乱から導出された後に第6偏光コンポーネントを通じて透過した光を検知することにより、画像を取得するべく適合されている請求項22に記載のシステム。 - 第1チャネルは、第1反射器を更に含み、第1反射器は、基板の別の反対側の表面の外側に配置され、且つ、第1照明ユニットによって照射され、基板を通じて透過すると共に、第1反射器に進入した光を反射するべく適合されており、且つ、第1撮像ユニットは、第1反射器によって反射された光を検知することによって画像を取得するべく適合されている請求項31に記載のシステム。
- 第3チャネルは、第1偏光方向を具備する第5偏光コンポーネントと、第1偏光方向と直交する第2偏光方向を具備する第6偏光コンポーネントと、を更に含み、第3照明ユニットは、基板の1つの表面の外側に配置され、第5偏光コンポーネントは、第3照明ユニットと基板の間に配置され、第6偏光コンポーネントは、基板と第3撮像ユニットの間に配置され、且つ、第3撮像ユニットは、第3照明ユニットによって照射されると共に、第5偏光コンポーネント、基板、及び第6偏光コンポーネントを通じて透過した光を検知することにより、或いは、第3照明ユニットによって照射されると共に第5偏光コンポーネントを通じて透過した光の基板による散乱から導出された後に第6偏光コンポーネントを通じて透過した光を検知することにより、画像を取得するべく適合されており、
第1撮像ユニットは、第1照明ユニットによって照射された光の基板による散乱から導出される光を検知することによって画像を取得するべく適合されており、且つ
第2撮像ユニットは、第2照明ユニットによって照射された光の基板による散乱から導出される光を検知することによって画像を取得するべく適合されている請求項22に記載のシステム。 - 第1照明ユニット及び第2照明ユニットは、基板の1つの表面の外側に配置される請求項33に記載のシステム。
- 第1照明ユニットは、基板の1つの表面の外側に配置されており、且つ、
第2チャネルは、第2反射器を更に含み、第2照明ユニットは、基板の別の反対側の表面の外側に配置され、第2反射器は、基板の別の反対側の表面の外側に配置され、且つ、第2照明ユニットによって照射された光の基板による散乱から導出された後に第2反射器に進入した光を反射するべく適合されており、且つ、第2撮像ユニットは、第2反射器によって反射された光を検知することによって画像を取得するべく適合されている請求項33に記載のシステム。 - 第1チャネルは、第1偏光方向を具備する第1偏光コンポーネントと、第1偏光方向と直交する第2偏光方向を具備する第2偏光コンポーネントと、を更に含み、第1照明ユニットは、基板の1つの表面の外側に配置され、第1偏光コンポーネントは、第1照明ユニットと基板の間に配置され、第2偏光コンポーネントは、基板と第1撮像ユニットの間に配置され、且つ、第1撮像ユニットは、第1照明ユニットによって照射されると共に、第1偏光コンポーネント、基板、及び第2偏光コンポーネントを通じて透過した光を検知することにより、或いは、第1照明ユニットによって照射されると共に第1偏光コンポーネントを通じて透過した光の基板による散乱から導出された後に第2偏光コンポーネントを通じて透過した光を検出することにより、画像を取得するべく適合されており、且つ、
第2チャネルは、第1偏光方向を具備する第3偏光コンポーネントと、第2偏光方向を具備する第4偏光コンポーネントと、を更に含み、第2照明ユニットは、基板の1つの表面の外側に配置され、第3偏光コンポーネントは、第2照明ユニットと基板の間に配置され、第4偏光コンポーネントは、基板と第2撮像ユニットの間に配置され、且つ、第2撮像ユニットは、第2照明ユニットによって照射されると共に、第3偏光コンポーネント、基板、及び第4偏光コンポーネントを通じて透過した光を検知することにより、或いは、第2照明ユニットによって照射されると共に第3偏光コンポーネントを通じて透過した光の基板による散乱から導出された後に第4偏光コンポーネントを通じて透過した光を検知することにより、画像を取得するべく適合されている請求項22に記載のシステム。 - 第3照明ユニットは、基板の1つの表面の外側に配置されており、且つ、第3撮像ユニットは、第1照明ユニットによって照射されると共に基板を通じて透過した光を検知することによって画像を取得するべく適合されている請求項36に記載のシステム。
- 第3チャネルは、第3反射器を更に含み、第3反射器は、基板の別の反対側の表面の外側に配置され、且つ、第2照明ユニットによって照射され、基板を通じて透過すると共に、第3反射器に進入した光を反射するべく適合されており、且つ、第3撮像ユニットは、第3反射器によって反射された光を検知することによって画像を取得するべく適合される請求項37に記載のシステム。
- 第3照明ユニットは、基板の1つの表面の外側に配置されており、且つ、第3撮像ユニットは、第3照明ユニットによって照射された光の基板による散乱から導出された光を検知することによって画像を取得するべく適合されている請求項36に記載のシステム。
- 第3チャネルは、第3反射器を更に含み、
第3照明ユニットは、基板の別の反対側の表面の外側に配置されており、第3反射器は、基板の別の反対側の表面の外側に配置され、且つ、第2照明ユニットによって照射された光の基板による散乱から導出された後に第3反射器に進入した光を反射するべく適合されており、且つ、第3撮像ユニットは、第3反射器によって反射された光を検知することによって画像を取得するべく適合されている請求項36に記載のシステム。 - 第1照明ユニットは、基板の1つの表面の外側に配置されており、且つ、第1撮像ユニットは、第1照明ユニットによって照射されると共に基板を通じて透過した光を検知することによって画像を取得するべく適合されており、
第2撮像ユニットは、第1照明ユニットによって照射された光の基板による散乱から導出される光を検知することによって画像を取得するべく適合されており、且つ、
第3チャネルは、第1偏光方向を具備する第5偏光コンポーネントと、第1偏光方向と直交する第2偏光方向を具備する第6偏光コンポーネントと、を更に含み、第3照明ユニットは、基板の1つの表面の外側に配置され、第5偏光コンポーネントは、第3照明ユニットと基板の間に配置され、第6偏光コンポーネントは、基板と第3撮像ユニットの間に配置され、且つ、第3撮像ユニットは、第3照明ユニットによって照射されると共に、第5偏光コンポーネント、基板、及び第6偏光コンポーネントを通じて透過した光を検知することにより、或いは、第3照明ユニットによって照射されると共に第5偏光コンポーネントを通じて透過した光の基板による散乱から導出された後に第6偏光コンポーネントを通じて透過した光を検知することにより、画像を取得するべく適合されている請求項22に記載のシステム。 - 第2照明ユニットは、基板の1つの表面の外側に配置される請求項41に記載のシステム。
- 第2チャネルは、第2反射器を更に含み、第2反射器は、基板の別の反対側の表面の外側に配置され、且つ、第2照明ユニットによって照射された光の基板による散乱から導出された後に第2反射器に進入した光を反射するべく適合されており、且つ、第2撮像ユニットは、第2反射器によって反射された光を検知することによって画像を取得するべく適合されている請求項41に記載のシステム。
- 第1チャネルは、第1反射器を更に含み、第1反射器は、基板の別の反対側の表面の外側に配置され、且つ、第1照明ユニットによって照射され、基板を通じて透過すると共に、第1反射器に進入した光を反射するべく適合されており、且つ、第1撮像ユニットは、第1反射器によって反射された光を検知することによって画像を取得するべく適合されている請求項41に記載のシステム。
- 第1撮像ユニット、第2撮像ユニット、及び第3撮像ユニットは、1つの且つ同一の撮像ユニットであり、第1撮像ユニットによって取得される画像、第2撮像ユニットによって取得される画像、及び第3撮像ユニットによって取得される画像は、1つの且つ同一の撮像ユニット内において互いに分離されている請求項22に記載のシステム。
- 第1撮像ユニット及び第2撮像ユニットは、1つの且つ同一の撮像ユニットであり、第1撮像ユニットによって取得される画像及び第2撮像ユニットによって取得される画像は、1つの且つ同一の撮像ユニット内において互いに分離されている請求項22に記載のシステム。
- 画像処理モジュールは、欠陥が2つの画像内に出現する位置が同一であるか、又は位置の間のオフセットが最大オフセットに等しい際に、欠陥が基板上の欠陥であると検出するべく更に適合されており、最大オフセットは、基板の1つの表面上に位置した欠陥が2つの画像内に出現する位置の間のオフセットである請求項22に記載のシステム。
- 画像処理モジュールは、欠陥が2つの画像内に出現する位置が同一でなく、且つ、位置の間のオフセットが最大オフセットを下回っている際に、欠陥が基板の内部の欠陥であると検出するべく更に適合されており、最大オフセットは、基板の1つの表面上に位置した欠陥が2つの画像内に出現する位置の間のオフセットに等しい請求項22に記載のシステム。
- 基板の欠陥を検出及び分類する方法であって、
第1チャネルをセッティングするステップであって、第1チャネルは、光を透明又は半透明の基板に照射するべく適合された第1照明ユニットと、第1照明ユニットが光を基板に照射した際に基板からの光を検知することによって画像を取得するべく適合された第1撮像ユニットと、を含む、ステップと、
第2チャネルをセッティングするステップであって、第2チャネルは、光を基板に照射するべく適合された第2照明ユニットと、第2照明ユニットが光を基板に照射した際に基板からの光を検知することによって画像を取得するべく適合された第2撮像ユニットと、を含む、ステップと、
画像構築モジュールをセッティングするステップであって、画像構築モジュールは、それぞれ、第1撮像ユニットによって取得された画像及び第2撮像ユニットによって取得された画像を使用することによって基板の2つの画像を構築するべく適合されている、ステップと、
画像処理モジュールをセッティングするステップであって、画像処理モジュールは、基板が欠陥を具備している際に、基板の欠陥が基板の2つの画像内に出現する位置の関係に基づいて、欠陥が基板上の欠陥であるのか又は基板の内部の欠陥であるのかを検出するべく適合されている、ステップと、
を有する方法。 - 基板の欠陥を検出及び分類する方法であって、
第1チャネルをセッティングするステップであって、第1チャネルは、第1照明ユニットと、第1撮像ユニットと、を含み、第1照明ユニットは、光を透明又は半透明の基板に照射するべく適合されており、且つ、第1撮像ユニットは、基板の1つの表面の別の反対側の表面の外側に配置され、且つ、第1照明ユニットが光を基板に照射した際に基板からの光を検知することによって画像を取得するべく適合されている、ステップと、
第2チャネルをセッティングするステップであって、第2チャネルは、第2照明ユニットと、第2撮像ユニットと、を含み、第2照明ユニットは、光を基板に照射するべく適合されており、且つ、第2撮像ユニットは、基板の別の反対側の表面の外側に配置され、且つ、第2照明ユニットが光を基板に照射した際に基板からの光を検知することによって画像を取得するべく適合されている、ステップと、
第3チャネルをセッティングするステップであって、第3チャネルは、第3照明ユニットと、第3撮像ユニットと、を含み、第3照明ユニットは、光を基板に照射するべく適合されており、且つ、第3撮像ユニットは、基板の別の反対側の表面の外側に配置され、且つ、第3照明ユニットが光を基板に照射した際に基板からの光を検知することによって画像を取得するべく適合されている、ステップと、
画像構築モジュールをセッティングするステップであって、画像構築モジュールは、それぞれ、第1撮像ユニットによって取得された画像、第2撮像ユニットによって取得された画像、及び第3撮像ユニットによって取得された画像を使用することによって基板の3つの画像を構築するべく適合されている、ステップと、
画像処理モジュールをセッティングするステップであって、画像処理モジュールは、基板の3つの画像に対して画像処理を実行することによって基板の欠陥を検出し、欠陥が、それぞれ、第1撮像ユニットによって取得された画像及び第2撮像ユニットによって取得された画像によって構築された基板の2つの画像内に出現する位置の関係に基づいて、欠陥が基板上の欠陥であるのか又は基板の内部の欠陥であるのかを検出し、且つ、欠陥が基板の3つの画像上に出現する異なる特徴及び欠陥が基板上の欠陥であるのか又は基板の内部の欠陥であるのかに基づいて、欠陥を分類するべく適合されている、ステップと、
を有する方法。
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